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中西文化融合视域下将中华传统文化融入高职英语教学的策略探究 被引量:1
1
作者 王风丽 《语言与文化研究》 2024年第3期45-48,共4页
目前,我国大多数高职院校英语教学普遍注重西方文化的输入、忽略中国文化的传承与弘扬。作为从事职业教育的工作者,高职英语教师应当承担传统文化薪火相传的重任。针对目前我国高职英语教学中英语文化占主体、中华文化缺失的问题,本文... 目前,我国大多数高职院校英语教学普遍注重西方文化的输入、忽略中国文化的传承与弘扬。作为从事职业教育的工作者,高职英语教师应当承担传统文化薪火相传的重任。针对目前我国高职英语教学中英语文化占主体、中华文化缺失的问题,本文指出在高职英语教学中融入中华传统文化既能提高学生综合文化素养、跨文化交际能力、英语综合应用能力,又能够满足中国社会经济发展和对外交流日益扩大需求。结合高职英语教学特征,本文从转变教学理念、优化教学内容、拓展教学资源、完善测试内容、营造学习氛围等方面就如何将中华传统文化融入高职英语教学进行策略探究。 展开更多
关键词 中华传统文化 高职英语教学 探究教学策略
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基于双能X射线透射成像与能量色散衍射的物质分类与识别虚拟仿真实验
2
作者 刘斐 王风丽 +3 位作者 王新 方恺 张锦龙 王占山 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2024年第8期35-40,46,共7页
X射线相关技术发展至今已逾百年。针对安检领域快速、准确应用要求,以双能X射线透射成像与能量色散X射线衍射技术相结合的复合式违禁品快速检测的前沿课题研究为基础,通过模拟实验场景和实验过程,设计基于X射线技术的物质分类与识别虚... X射线相关技术发展至今已逾百年。针对安检领域快速、准确应用要求,以双能X射线透射成像与能量色散X射线衍射技术相结合的复合式违禁品快速检测的前沿课题研究为基础,通过模拟实验场景和实验过程,设计基于X射线技术的物质分类与识别虚拟仿真实验。内容包含参观虚拟实验室与实验预习、系统搭建、实验操作与数据处理和实验拓展等多个模块,构建全过程、多环节在线教学环境,实现分层次教学。学生通过X射线技术分类识别物质的原理、方法和安全规范,加深对X射线与物质相互作用原理的理解,培养学生的实验能力、科学观察和创新思维能力。 展开更多
关键词 X射线 虚拟仿真实验 双能X射线透射成像 能量色散X射线衍射
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W/B_4C、W/C、W/Si多层膜的研究 被引量:9
3
作者 王风丽 王占山 +5 位作者 张众 吴文娟 王洪昌 张淑敏 秦树基 陈玲燕 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期28-33,共6页
给出了W/B4C、W/C、W/Si(钨/碳化硼、钨/碳、钨/硅)周期多层膜的制备和测量研究.用超高真空直流磁控溅射方法制备出周期在1.1~7.2 nm范围内的多层膜样品,采用X射线衍射仪(XRD)小角度测量方法检测多层膜的光学性能,并用透射电镜(TEM)对... 给出了W/B4C、W/C、W/Si(钨/碳化硼、钨/碳、钨/硅)周期多层膜的制备和测量研究.用超高真空直流磁控溅射方法制备出周期在1.1~7.2 nm范围内的多层膜样品,采用X射线衍射仪(XRD)小角度测量方法检测多层膜的光学性能,并用透射电镜(TEM)对样品的微观结构进行了研究.结果表明:周期大于1.3 nm的多层膜样品的结构质量高,膜层结构清晰,界面粗糙度小;周期为1.15 nm的多层膜的膜层结构不是很明显;所有膜层均为非晶态,没有晶相生成.结果还表明:采用目前的溅射设备和工艺过程能够制备出满足同步辐射荧光光束线上单色器用多层膜. 展开更多
关键词 多层膜 X射线衍射仪 同步辐射 透射电镜
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光信息科学与技术专业实验室建设探讨 被引量:4
4
作者 王风丽 王占山 +2 位作者 陈铭南 章昌奕 毛俊健 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第S1期315-316,共2页
根据同济大学光信息科学与技术专业的教学计划,同时结合我校的科研条件,筹建了相应的专业实验室。介绍了同济大学光信息科学与技术专业实验室建设过程中的规划和7类实验项目的内容和意义,如光谱学系列实验、光学系统CAD设计系列、光学薄... 根据同济大学光信息科学与技术专业的教学计划,同时结合我校的科研条件,筹建了相应的专业实验室。介绍了同济大学光信息科学与技术专业实验室建设过程中的规划和7类实验项目的内容和意义,如光谱学系列实验、光学系统CAD设计系列、光学薄膜CAD设计系列、光学薄膜特性测试实验、激光系列实验、光电基础和光电探测系列实验和光纤光学与光纤通信系列实验。 展开更多
关键词 光谱学 光学设计 薄膜设计 激光原理 光纤通信
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真空紫外Al/MgF_2反射镜 被引量:5
5
作者 王风丽 周东伟 +1 位作者 张金帅 王占山 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期913-918,共6页
采用三步热舟蒸发制作法研制了真空紫外Al/MgF2反射镜,研究了改善制备工艺有效提升反射率的方法。在两层Al/MgF2反射镜制备过程中,第一步在室温石英基板上快速蒸发厚约70nm的铝膜;第二步在铝膜表面迅速蒸发厚约10nm的MgF2;第三步先对基... 采用三步热舟蒸发制作法研制了真空紫外Al/MgF2反射镜,研究了改善制备工艺有效提升反射率的方法。在两层Al/MgF2反射镜制备过程中,第一步在室温石英基板上快速蒸发厚约70nm的铝膜;第二步在铝膜表面迅速蒸发厚约10nm的MgF2;第三步先对基板加热到一定温度后,再在Al+MgF2的表面上蒸发15~20nm厚的MgF2。通过调整基板温度(室温、100℃、200℃和300℃),研究了基板温度对Al/MgF2反射率的影响。真空紫外反射率计测试结果表明:第二步蒸镀MgF2之后增加基板温度有利于提高反射镜的反射率;MgF2薄膜的厚度对反射镜的反射率起到一定的调制作用,MgF2厚为26.7nm的反射镜在122nm处的反射率达85%。在实验室环境下存放1个月和5个月后,反射镜的反射率没有变化。研究结果为真空紫外光学系统需求的高性能光学元件的研制提供了技术基础。 展开更多
关键词 真空紫外反射镜 Al/MgF2反射镜 基板温度 反射率
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真空紫外波段Al膜保护层MgF_2的光学常数 被引量:4
6
作者 王风丽 张壮壮 +2 位作者 王占山 周洪军 霍同林 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第11期2823-2828,共6页
由于Al膜的保护层MgF_2薄膜的光学常数对Al/MgF_2高反射镜的性能有极大的影响,本文研究了获取MgF_2薄膜光学常数的方法。用热舟蒸发的方法在室温B270基底上镀制了3块不同MgF_2厚度的Al/MgF_2反射镜样品,通过掠入射X射线小角反射方法表... 由于Al膜的保护层MgF_2薄膜的光学常数对Al/MgF_2高反射镜的性能有极大的影响,本文研究了获取MgF_2薄膜光学常数的方法。用热舟蒸发的方法在室温B270基底上镀制了3块不同MgF_2厚度的Al/MgF_2反射镜样品,通过掠入射X射线小角反射方法表征样品,获得了膜层厚度和粗糙度。在国家同步辐射实验中心计量站测试了入射角为5°时,样品在105~130nm波段的反射率。在Al、MgF_2膜层的厚度和Al的光学常数已知条件下,依据菲涅尔公式,得出了满足某波长处样品反射率的等值曲线,然后从三条曲线的交点得出了MgF_2薄膜在108~128nm波段的光学常数。对比和分析显示:利用此方法得到的108~128nm波段MgF_2薄膜光学常数计算的反射率曲线和实际测试得到的反射率曲线吻合较好。 展开更多
关键词 真空紫外 反射镜 保护层 光学常数 菲涅尔公式 热蒸发
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亚飞秒啁啾Mo/Si多层膜反射镜的设计、制作与性能检测 被引量:2
7
作者 王风丽 陈锐 +3 位作者 王占山 徐敬 朱京涛 张众 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第9期2247-2250,共4页
针对利用高次谐波获取亚飞秒脉冲的实验需求,设计制备了啁啾为-2 800 as2的啁啾Mo/Si多层膜反射镜.数值计算表明,采用所设计的啁啾多层膜反射镜可以获得86 as的脉冲.通过直流磁控溅射方法实现了Mo/Si多层膜样品的制备.在合肥同步辐射上... 针对利用高次谐波获取亚飞秒脉冲的实验需求,设计制备了啁啾为-2 800 as2的啁啾Mo/Si多层膜反射镜.数值计算表明,采用所设计的啁啾多层膜反射镜可以获得86 as的脉冲.通过直流磁控溅射方法实现了Mo/Si多层膜样品的制备.在合肥同步辐射上进行了多层膜反射率的测量,在所设计的工作波长内,多层膜的平均反射率为5.6±2.3%.在考虑最上层Si的氧化作用后,对测量曲线进行拟合,得到的反射率曲线和膜层厚度分布分别与测试曲线和设计结果相吻合. 展开更多
关键词 亚飞秒 高次谐波 啁啾多层膜 磁控溅射 反射率
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C/W多层膜的制备及其光学特性 被引量:1
8
作者 王风丽 王占山 +5 位作者 王洪昌 吴文娟 张众 张淑敏 秦树基 陈玲燕 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期385-387,共3页
介绍了软X射线波段C/W多层膜的制备和光学性能检测。采用高真空直流磁控溅射方法在超光滑硅基片上制作了C/W多层膜,用X射线衍射(XRD)仪,小角测量方法测试多层膜的光学性能,采用透射电镜(TEM)观测多层膜断层样品的微观结构,并在同步辐射... 介绍了软X射线波段C/W多层膜的制备和光学性能检测。采用高真空直流磁控溅射方法在超光滑硅基片上制作了C/W多层膜,用X射线衍射(XRD)仪,小角测量方法测试多层膜的光学性能,采用透射电镜(TEM)观测多层膜断层样品的微观结构,并在同步辐射软X射线光束线上,测试了所制备的C/W多层膜样品的反射率,然后对测试结果进行拟合分析。结果表明,所制备的C/W多层膜样品的质量较高,界面清晰,粗糙度小,所有膜层均为无定形态,没有晶相生成,以44.2°入射在5.9 nm处有约6%的反射率。 展开更多
关键词 磁控溅射 多层膜 X射线衍射仪 透射电镜 同步辐射
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基于Zemax软件的光栅光谱仪分辨能力仿真实验 被引量:3
9
作者 王风丽 马晓英 +1 位作者 侯虎 方恺 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2021年第11期111-116,共6页
利用Zemax光学设计软件,可以分析衍射级次、光栅常数、入射狭缝、出射狭缝和光学元件性能等对光栅光谱仪分辨率的影响。在仿真过程中,用光线追迹方法,直观地以点列图的形式展现衍射方程各参数、入射和出射狭缝宽度对衍射效果的影响。结... 利用Zemax光学设计软件,可以分析衍射级次、光栅常数、入射狭缝、出射狭缝和光学元件性能等对光栅光谱仪分辨率的影响。在仿真过程中,用光线追迹方法,直观地以点列图的形式展现衍射方程各参数、入射和出射狭缝宽度对衍射效果的影响。结果表明,入射狭缝和出射狭缝都对光谱仪分辨能力具有较大影响,狭缝越大,光谱分辨率越低。光谱仪中的准直镜和聚焦镜的焦距影响系统整体尺寸和分辨率。两镜固有的剩余球差、色差、慧差降低光谱分辨率,采用非球面镜、非球面反射镜可以适当改善像差,提高系统分辨率。用WGD-8A光栅光谱仪实测钠双黄线光谱,测得光谱随入射狭缝和出射狭缝变化的曲线变化与软件仿真结论一致。 展开更多
关键词 光栅光谱仪 分辨能力 Zemax软件 狭缝宽度 光学透镜
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Nd:YAG固体脉冲激光器实验研究 被引量:2
10
作者 王风丽 张锦龙 +2 位作者 王占山 樊荣伟 陈德应 《物理与工程》 2011年第6期16-21,共6页
介绍了Nd:YAG固体脉冲激光器相关的实验项目:静态和调Q状态的出光阈值、激光脉宽、倍频和激光光束形状等.采用普通相纸、红外相纸和激光能量计检测出不同的激光器静态和调Q出光阈值;采用散射、反射和透射方法研究了静态和调Q输出激光脉... 介绍了Nd:YAG固体脉冲激光器相关的实验项目:静态和调Q状态的出光阈值、激光脉宽、倍频和激光光束形状等.采用普通相纸、红外相纸和激光能量计检测出不同的激光器静态和调Q出光阈值;采用散射、反射和透射方法研究了静态和调Q输出激光脉冲的宽度,发现用K9玻璃和多层膜镜测试的激光脉冲宽度比散射方法的大;采用激光能量计测试激光器静态和调Q的倍频效率和倍频激光能量与倍频晶体的位置关系;激光光束探测器表征激光器静态和调Q输出光的光斑形状.通过这些实验项目,学生将深入了解和掌握固体脉冲激光器的工作原理、性能参数,以及表征激光器性能参数的仪器设备,并深入地研究解决实验发现的问题,为今后激光相关领域的工作奠定坚实的基础. 展开更多
关键词 固体激光器 出光阈值 脉冲宽度 倍频 光束形状
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X射线超反射镜的设计与制备 被引量:5
11
作者 王风丽 张众 +4 位作者 吴文娟 王利 王占山 秦树基 陈玲燕 《光学仪器》 2004年第2期136-142,共7页
介绍了一种可用于X射线成像望远镜中的高能X射线反射元件的设计和制备。结合Spiller和Yamamoto方法选择了W、C作为膜层材料,用Yamshita设计方法给出初始膜系,经单纯形调优算法设计出掠入射角为8.7mrad时,对波长范围在0.0475nm~0.0886n... 介绍了一种可用于X射线成像望远镜中的高能X射线反射元件的设计和制备。结合Spiller和Yamamoto方法选择了W、C作为膜层材料,用Yamshita设计方法给出初始膜系,经单纯形调优算法设计出掠入射角为8.7mrad时,对波长范围在0.0475nm~0.0886nm范围内的X射线计算反射率达21%宽波段X射线超反射镜。样品采用高精度磁控溅射方法制备,并用X射线衍射仪(XRD)测得在8.7mrad~15.7mrad内反射率为15%左右。 展开更多
关键词 宽波段超反射镜 单纯形调优 粗糙度 磁控溅射 X射线成像望远镜 X射线超反射镜 设计 制备
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最小膜层厚度对X射线非周期多层膜光学性能的影响 被引量:3
12
作者 王风丽 张众 +4 位作者 朱京涛 王洪昌 吴文娟 王占山 陈玲燕 《光学仪器》 2006年第4期48-51,共4页
选用能制备小周期的钨/硅(W/S i)作为膜层材料对,着重研究最小膜层厚度对X射线非周期多层膜光学性能的影响。基于矩阵法计算多层膜反射率和单纯形数值优化方法,设计了入射光子能量为8.0keV,掠入射角的宽度分别为0.85°~1.10°,1... 选用能制备小周期的钨/硅(W/S i)作为膜层材料对,着重研究最小膜层厚度对X射线非周期多层膜光学性能的影响。基于矩阵法计算多层膜反射率和单纯形数值优化方法,设计了入射光子能量为8.0keV,掠入射角的宽度分别为0.85°~1.10°,1.40°~1.70°的X射线超反射镜。结合实际实验制备技术,考虑了W/S i两种膜层材料的最小成膜厚度,确定了膜堆中最小膜层厚度为0.5nm^1.0nm。通过改变最小膜层厚度的值,优化设计了上述条件下的非周期多层膜并对其光学性能进行比较。结果表明:同一个工作波长下,随着多层膜工作角度(掠入射)的增加,膜堆中膜层的厚度减小,最小膜层厚度对其光学性能的影响增加,其光学性能变差。 展开更多
关键词 非周期多层膜 光学性能 最小膜层厚度 掠入射角 X射线超反射镜
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“高职基础英语与轨道交通专业英语的有效衔接”应用研究 被引量:1
13
作者 王风丽 《高教探索》 CSSCI 北大核心 2016年第S1期130-131,141,共3页
城市轨道交通是世界公认的"绿色交通",对于实现城市的可持续发展具有非常重要的意义。近10年来,随着经济的迅猛发展,我国的城市轨道交通行业步入了一个跨越式发展的新阶段,中国已经成为了世界最大的城市轨道交通市场。纵观我... 城市轨道交通是世界公认的"绿色交通",对于实现城市的可持续发展具有非常重要的意义。近10年来,随着经济的迅猛发展,我国的城市轨道交通行业步入了一个跨越式发展的新阶段,中国已经成为了世界最大的城市轨道交通市场。纵观我国轨道交通行业发展动态,该行业对轨道交通类的人才需求量不断高涨。新增员工的主体为高职高专层次毕业生。为顺应人才市场需求,部分高职院校纷纷开设了城市轨道交通类专业。为深化职业教育教学改革,全面提高人才培养质量,《教育部关于深化职业教育教学改革全面提高人才培养质量的若干意见》(教职成[2015]6号)要求:加强公共基础课与专业课间的相互融通和配合,注重学生的文化素质、科学素养、综合职业能力和可持续发展能力培养,为学生实现更高质量就业和职业生涯更好发展奠定基础。我院始终围绕"基础课程教学充分体现为专业服务"这一主线,从教学内容、教学方法、教学模式等方面深入开展《基础英语》课程教学改革研究。本文以天津交通职业学院轨道交通专业为例,就"基础英语与轨道交通专业英语进行有效衔接"问题进行了深入研究,以期达到将课程学习与学生职业能力培养有机结合的目的。 展开更多
关键词 人才需求 轨道交通 基础英语 专业英语 有效衔接
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拉曼光谱退偏度实验数据处理方法改进 被引量:1
14
作者 王风丽 《物理与工程》 2017年第S1期276-280,共5页
针对CCl4拉曼光谱退偏度实验中实验值与理论值间存在偏差较大的问题,提出了利用专业的数据处理软件扣除本底噪声,以提高实验结果的可靠性。分别采用多峰拟合和单峰拟合的方法扣除拉曼光谱的本底,计算分析了退偏度与理论值的偏差。结果表... 针对CCl4拉曼光谱退偏度实验中实验值与理论值间存在偏差较大的问题,提出了利用专业的数据处理软件扣除本底噪声,以提高实验结果的可靠性。分别采用多峰拟合和单峰拟合的方法扣除拉曼光谱的本底,计算分析了退偏度与理论值的偏差。结果表明:多峰拟合时,扣除的是斯托克斯或反斯托克斯3个峰的共同本底,忽略瑞利散射峰对其附近拉曼散射峰影响大的因素,单峰拟合扣除的是每一个拉曼散射峰的本底,使得单峰拟合的光谱强度与实际更接近,退偏度与理论值偏差最小。 展开更多
关键词 拉曼光谱 退偏度 多峰拟合 单峰拟合
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“以工作过程为导向”的高职英语教学模式的应用研究——以《商务谈判英语口语》课程为例 被引量:1
15
作者 王风丽 《大学英语教学与研究》 2013年第3期75-77,共3页
本文针对目前许多高职院校的英语教学模式相对陈旧这一问题,以《商务谈判英语口语》课程为例,对在工学结合人才培养模式下,"以工作过程为导向"的高职英语教学模式进行了研究,以期达到将课程学习与职业能力培养进行有机结合的... 本文针对目前许多高职院校的英语教学模式相对陈旧这一问题,以《商务谈判英语口语》课程为例,对在工学结合人才培养模式下,"以工作过程为导向"的高职英语教学模式进行了研究,以期达到将课程学习与职业能力培养进行有机结合的目的。 展开更多
关键词 高职院校 工学结合 英语教学模式 职业能力 应用研究
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浅谈含有身体部位词的英汉习语之翻译
16
作者 王风丽 《英语广场(学术研究)》 2013年第3期13-14,共2页
东西方人在交谈中经常用到习语,在这些习语中含有身体部位的词汇颇多,而同一词汇在不同习语中的含义有相同,也有不同。因此,我们在对这些习语进行英汉互译时,要尽量不直抒其意,而是要在了解相关的背景知识后去理解其更深层的内涵。本文... 东西方人在交谈中经常用到习语,在这些习语中含有身体部位的词汇颇多,而同一词汇在不同习语中的含义有相同,也有不同。因此,我们在对这些习语进行英汉互译时,要尽量不直抒其意,而是要在了解相关的背景知识后去理解其更深层的内涵。本文旨在通过分析典型例子,与大家一起探讨"含有身体部位词"的英汉习语的翻译方法,力求在翻译过程中少犯错误。 展开更多
关键词 身体部位词 英汉习语 翻译
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基于非周期多层膜的X射线成像研究 被引量:10
17
作者 顾春时 王占山 +4 位作者 穆宝忠 王风丽 张众 秦树基 陈玲燕 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期881-885,共5页
本文设计了惯性约束聚变(ICF)诊断实验用X射线Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜,给出了系统的结构参量·使用ZEMAX光学软件对KB型显微镜进行了性能模拟,结果表明:在8keV能点,放大率为8倍时,轴上点的最佳空间分辨率小于2μm,200微米视场... 本文设计了惯性约束聚变(ICF)诊断实验用X射线Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜,给出了系统的结构参量·使用ZEMAX光学软件对KB型显微镜进行了性能模拟,结果表明:在8keV能点,放大率为8倍时,轴上点的最佳空间分辨率小于2μm,200微米视场的空间分辨率优于10μm·采用磁控溅射方法制备了W/B4C非周期多层膜,经X射线衍射仪(XRD,工作能量8keV)测量,其反射率为20%,带宽为0.3°,达到了KB型显微镜成像系统的要求·使用Cu靶X射线管进行了成像实验,得到了放大倍数分别为1倍和2倍的一维X射线像· 展开更多
关键词 KB型显微镜 X射线非周期多层膜 X射线成像 空间分辨率
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基于遗传算法的30.4nm多层膜设计 被引量:10
18
作者 陈锐 王风丽 +2 位作者 朱京涛 王洪昌 王占山 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1819-1824,共6页
阐述了用遗传算法设计周期和非周期多层膜的原理和实现过程,完成了30.4nmMg/SiC周期和非周期多层膜设计,研究了遗传算法中不同种群数和多层膜膜厚取值范围对优化结果的影响.计算发现,种群数的恰当选取是使算法快速达到或逼近最优解的前... 阐述了用遗传算法设计周期和非周期多层膜的原理和实现过程,完成了30.4nmMg/SiC周期和非周期多层膜设计,研究了遗传算法中不同种群数和多层膜膜厚取值范围对优化结果的影响.计算发现,种群数的恰当选取是使算法快速达到或逼近最优解的前提,膜厚取值范围的合理选择是提高算法效率的关键.设计得到入射角10°的周期多层膜和15°~22°范围内的宽角多层膜在波长30.4nm处的反射率依次为56.57%与39.96±0.29%,5°入射的双功能多层膜在波长30.4nm和58.4nm处的反射率分别为54.1%和0.1%.结果表明遗传算法也是一种很好的多层膜设计方法. 展开更多
关键词 薄膜光学 多层膜 遗传算法 反射率
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50~110nm波段高反射率多层膜的设计与制备 被引量:8
19
作者 李存霞 王占山 +5 位作者 王风丽 朱京涛 吴永荣 王洪昌 程鑫彬 陈玲燕 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第10期1862-1866,共5页
阐述了50~110nm强吸收波段亚四分之一波长多层膜的设计方法.这种膜系是由强吸收材料叠加而成,每层膜光学厚度小于四分之一个波长.与常规周期多层膜相比,这种膜系更适用于提高强吸收波段的反射率.利用该方法设计了50nm处高反射多... 阐述了50~110nm强吸收波段亚四分之一波长多层膜的设计方法.这种膜系是由强吸收材料叠加而成,每层膜光学厚度小于四分之一个波长.与常规周期多层膜相比,这种膜系更适用于提高强吸收波段的反射率.利用该方法设计了50nm处高反射多层膜,并以此为初始条件通过Levenberg-Marquart优化方法完成了50~110nm强吸收波段宽带高反射率Si/W/Co多层膜的设计,其平均反射率达到45%.采用直流磁控溅射方法制备了Si/W/Co多层膜,用X射线衍射仪(XRD)对膜层结构进行了测试,测试结果表明制作出的多层膜结构与设计结构基本相符. 展开更多
关键词 亚四分之一波长 多层膜 极紫外 高反射率 磁控溅射
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用X射线反射测量法表征双层结构中低原子序数材料的特性(英文) 被引量:8
20
作者 徐垚 王占山 +7 位作者 徐敬 张众 王洪昌 朱京涛 王风丽 王蓓 秦树基 陈玲燕 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1838-1843,共6页
介绍了用X射线反射测量术表征双层薄膜中低原子序数材料特性的方法。由于低原子序数材料的光学常数与Si基板材料的光学常数非常接近,用X射线反射法确定镀制在Si基板上的低原子序数材料膜层结构的变化十分困难,因此,提出了在镀制低原子... 介绍了用X射线反射测量术表征双层薄膜中低原子序数材料特性的方法。由于低原子序数材料的光学常数与Si基板材料的光学常数非常接近,用X射线反射法确定镀制在Si基板上的低原子序数材料膜层结构的变化十分困难,因此,提出了在镀制低原子序数材料前,首先在基板上镀制一层非常薄的金属层的方法。实验中,选用Cr作为金属层材料,制备并测试了三种不同C膜镀制时间的Cr/C双层薄膜。反射率曲线拟合结果表明,C膜密度约为2 .25 g/cm3,沉积速率为0 .058 nm/s。 展开更多
关键词 X射线衍射仪 低原子序数材料 反射率测试 薄膜
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