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一种新的高成品率InP基T型纳米栅制作方法 被引量:7
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作者 石华芬 张海英 +3 位作者 刘训春 陈宝钦 刘明 王云翔 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期411-415,共5页
提出了一种新的 PMMA/ PMGI/ PMMA三层胶复合结构 ,通过一次对准和电子束曝光、多次显影在 In PPHEMT材料上制作出高成品率的 T型纳米栅 .在曝光显影条件变化 2 0 %的情况下 ,In P HEMT成品率达到 80 %以上 ;跨导变化范围在 5 90~ 6 10... 提出了一种新的 PMMA/ PMGI/ PMMA三层胶复合结构 ,通过一次对准和电子束曝光、多次显影在 In PPHEMT材料上制作出高成品率的 T型纳米栅 .在曝光显影条件变化 2 0 %的情况下 ,In P HEMT成品率达到 80 %以上 ;跨导变化范围在 5 90~ 6 10 m S/ mm,夹断电压为 - 1.0~ - 1.2 V,器件的栅长分布均匀 .这种新的结构工艺步骤少 ,工艺宽容度大 ,重复性好 。 展开更多
关键词 InP 制作方法 三层胶复合结构 PHEMT 电子束曝光 T型纳米栅 磷化铟 电子迁移率晶体管
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0.25μm GaAs基MHEMT器件 被引量:4
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作者 石华芬 刘训春 +4 位作者 张海英 石瑞英 王润梅 汪宁 罗明雄 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期325-328,共4页
采用普通接触曝光研制成栅长为 0 .2 5 μm的 Ga As基 In Al As/ In Ga As变组分高电子迁移率晶体管(MHEMT) ,测得其跨导为 5 2 2 m S/ m m,沟道电流密度达 4 90 m A/ mm,截止频率为 75 GHz,比同样工艺条件下Ga As基 In Ga P/ In Ga As ... 采用普通接触曝光研制成栅长为 0 .2 5 μm的 Ga As基 In Al As/ In Ga As变组分高电子迁移率晶体管(MHEMT) ,测得其跨导为 5 2 2 m S/ m m,沟道电流密度达 4 90 m A/ mm,截止频率为 75 GHz,比同样工艺条件下Ga As基 In Ga P/ In Ga As PHEMT的性能有很大的提高 .对该器件工艺及结果进行了分析 ,提取了器件的交流小信号等效电路模型参数 ,并提出了进一步得到高稳定性、高性能器件的方法 . 展开更多
关键词 铟铝砷/铟镓砷 变组分高电子迁移率晶体管 赝配高电子迁移率晶体管
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用改进的遗传算法从S参数中提取HBT交流小信号等效电路模型参数 被引量:7
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作者 石瑞英 刘训春 +1 位作者 钱永学 石华芬 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第9期957-961,共5页
将遗传算法用于 HBT等效电路模型参数的提取并对其进行改进 ,改进后的遗传算法自动优化遗传、杂交和变异算子 ,节省了寻找最佳遗传、杂交和变异概率的时间并提高了提取参数的速度 .在 1~ 2 6 .5 GHz频率范围内 ,用改进的遗传算法提取了... 将遗传算法用于 HBT等效电路模型参数的提取并对其进行改进 ,改进后的遗传算法自动优化遗传、杂交和变异算子 ,节省了寻找最佳遗传、杂交和变异概率的时间并提高了提取参数的速度 .在 1~ 2 6 .5 GHz频率范围内 ,用改进的遗传算法提取了 Ga0 .4 9In0 .51 P/ Ga As HBT交流小信号等效电路模型的全部 16个参数 ,得到了令人满意的模拟与测量 S参数的比较结果 . 展开更多
关键词 全局优化遗传算法 小信号等效电路 参数提取 HBT 异质结双极型晶体管
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GaAs HBT中BC结耗尽区电子渡越时间的修正
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作者 石瑞英 刘训春 +1 位作者 石华芬 钱永学 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2003年第1期30-34,共5页
在对已发表的 Ga As HBT文献的研究中发现 ,其截止频率 f T 的理论计算结果比实验值小很多 ,而相应的文献中并没有给出 f T的计算结果。针对上述问题 ,文中对产生这种差距的原因进行了分析 ,认为由于速度过冲效应的存在 ,使得电子并非... 在对已发表的 Ga As HBT文献的研究中发现 ,其截止频率 f T 的理论计算结果比实验值小很多 ,而相应的文献中并没有给出 f T的计算结果。针对上述问题 ,文中对产生这种差距的原因进行了分析 ,认为由于速度过冲效应的存在 ,使得电子并非以饱和速度 Vsat渡越 BC结耗尽区 ,而是以更高的速度运动。基于上述理论 ,对产生截止频率误差的 BC结耗尽区电子渡越时间τsc进行了修正。利用修正后的公式对文献中的数据进行了重新计算 ,得到了令人满意的结果。 展开更多
关键词 GAAS HBT 砷化镓异质结双极晶体管 能量弛豫时间 速度过冲 BC结耗尽区电子渡越时间
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从三个内部项目化案例看HR管理的平台化转型
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作者 郑春国 石华芬 《首席人才官商业与管理评论》 2018年第2期64-72,共9页
对于大部分企业的人力资源管理现状,我们要做的不是调整管理模式,而是资源整合,把手头的资源盘活,用项目制运作来打通六大模块,让人力资源部成为平台部门,调配资源而不是管控资源,从而实现与业务的共赢。
关键词 HR 业务部门 员工流失率 人力资源部 人力资源平台 研发部门
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