300mm晶圆制造厂AMHS系统工程设计及仿真

集成电路生产制造作为高科技行业中的劳动密集型产业,包括几十种生产流程,每道流程之间都需要进行物料流转,在这种情况下,物料流转的精确性和稳定性就极为重要。自动物料搬运系统(AMHS,Automated Material Handling System)应运而生,其是半导体制造实现自动化的重要一环。本文结合某300mm晶圆制造厂的实际情况,基于仿真模型理论,对工厂的AMHS系统进行了建模,并搭建三维仿真模型,分析研究其工程设计、轨道布局设计,提出了符合实际工程情况的评价模型的指标,提高了实际工程问题中AMHS的搬运效率。

农村生活污水处理工程的工艺应用探讨

农村生活污水是影响农村水环境质量的重要因素。在分析了2008～2011年期间上海市（除浦东新区外）农村生活污水处理工程进展的基础上，探讨了上海农村生活污水处理方式、工艺应用等内容，并提出处理方式、处理工艺选取的建议。结果如下：（1）截止2011年底，上海完成了9．55万户农户生活污水收集与处理，且各区县工程量差异大；（2）处理方式以就地处理为主，部分区域采用纳管处理；（3）就地处理的应用工艺繁多，生物型处理工艺逐渐为主导工艺类型；（4）建议优先对适宜区域采取纳管处理的方式，而就地处理应采取因地制宜，相对集中的处理策略。

多线切割保公差工艺对烧结钕铁硼永磁体表面质量的影响

采用多线切割保公差工艺切割烧结钕铁硼永磁体,利用SJ-410粗糙度仪、JMS-6010LA型扫描电子显微镜对微观形貌及表面粗糙度R_(a)进行表征。结果表明:随着进给速度增高和线速度的降低,金刚石磨粒压入深度减小,微观形貌由深犁沟、凹坑、破损变为浅犁沟、浅凹坑和破碎,材料去除机理由塑性去除变为塑性变形。粗糙度R_(a)随着进给速度和线速度的增高而减小;进给速度和线速度对法向载荷呈相反作用,在不同工艺参数下的材料去除方式中,塑性变形和塑性去除占据主导作用,进给速度10 mm/h和线速度1190 m/min的粗糙度最低,表面质量最优。切割时间只与进给速度有关,线弓随着进给速度增加,随线速度降低。

基于PlantSimulation的半导体机台配置优化仿真分析

半导体制造工厂的机台数量配置对产线的生产效率具有重要影响,然而传统机台配置方法不能将时间维度和复杂派工策略统筹考虑,难以量化评估机台配置对产能的影响,容易出现投资浪费、产能不足、空间布局不合理等问题。在Plant Simulation仿真软件中建立半导体制造执行系统(MES)实时派工机制,模拟工厂的真实运行状态,同时提出了一种机台配置的优化算法。将此方法用于某半导体工厂的设备配置,有效提升了产能及设备利用率,为半导体及其他行业的机台配置提供借鉴和参考。

手机用烧结钕铁硼材料的发展

本文主要分析了目前高端手机市场用烧结钕铁硼材料的发展状况,从摄像头音圈马达用烧结钕铁硼、振动马达用烧结钕铁硼、磁吸及TWS耳机用烧结钕铁硼三个主要方面对目前市场的应用进行了详细的分析和说明。并对烧结钕铁硼材料的需求性能、材料制备工艺、加工技术、电镀技术、自动充磁和检验技术的现状进行了详细的分析。并指出高性能材料制备,高精度加工方法,低磁衰电镀工艺及自动充磁检验一体化,是未来一段时期高端手机用烧结钕铁硼材料的发展方向。

TFT-LCD工厂能源消费结构及用能特点分析

TFT-LCD工厂具有投资高、建筑体量大、能源消耗量大的特点.为了在工厂设计、建设、运营阶段有的放矢地做好节能降耗工作,针对重点耗能工序、耗能设备以及影响能耗的关键因素,采取科学、合理、可行的节能措施和节能工程,从而达到更好的节能效果.本文对TFT-LCD工厂能源消耗种类、能源消费结构及能源分布特点、主要能源加工转换过程中的能量平衡、能效指标等进行了研究分析.总结我院多年来完成的同类项目经验数据,通过层次分析法、能量平衡分析方法、标准对照方法等对主要用能体系及用能特点进行深入剖析.分析结果表明,电力是TFT-LCD项目消耗量最大的能源,约占全厂综合能耗的75％以上,其中工艺生产设备电力消耗约占全厂用电的45％～50％,阵列为最主要的工艺耗能工序,厂务系统中冷水机组等动力设备是主要耗能设备;氮气是消耗量最大的耗能工质,约占全厂综合能耗的20％.能源消费结构及用能特点基本符合此类工厂实际运行特点,对TFT-LCD面板项目节能具有较高的指导价值.

熵权-灰色关联模型在农村生活污水处理技术选取中的应用

建立了考虑污水处理技术经济、环境、技术三方面要求的农村生活污水处理技术评价指标体系。为有效避免人为主观因素影响,采用熵权法客观确定评价指标的权重,并耦合模糊隶属度、灰色关联分析法,建立熵权-灰色关联模型,以评估东部某市农村生活污水处理技术。评价结果表明,新型复合生物滤池+高负荷人工湿地污水处理技术最优;采用组合工艺的处理技术综合性能优于采用单项工艺的处理技术;采用生物型的处理技术综合性能优于采用生态型的处理技术。

中间语态句的隐性施事

中间语态句是介于主动语态句和被动语态句之间的第三种语态。中间语态句的动词在句法转换过程中仍保留其及物动词的特征。中间语态句的隐性施事存在语义表达层次中,是一种被抑制的,在词库中得到饱和的题元角色。

磁粉粒度分布和抗氧化剂对注射成型NdFeB粘结磁体性能的影响

本文研究了磁粉的粒度分布以及不同抗氧化剂的加入对注射成型NdFeB粘结磁体密度和磁性能的影响。结果表明 ,磁粉的粒度分布影响熔体的粘度 ,适当的粒度分布可以提高磁粉的松装密度和磁体的密度 ,获得高性能的粘结磁体 ;抗氧化剂的加入 ,很好地解决了NdFeB粘结磁体在湿热环境下易氧化生锈的问题 。

CMP抛光液和终点检测技术研究

随着集成电路器件集成度的提高,晶圆尺寸和表面布线层数不断增加,特征尺寸不断减小,对晶圆表面的平整度提出了更高要求。作为唯一可以实现全局平坦化的方法,化学机械抛光(Chemical-Mechanical Polishing,CMP)成为晶圆制造过程的重要工艺。在各部件和化学品的协同作用下,化学机械抛光质量受到多个因素影响,介绍了抛光液和抛光终点检测(Endpoint detection,EPD)技术的研究新进展,着重阐述了抛光液在磨粒、化学添加剂和绿色环保方面的国内外研究方向,以及终点检测方法的几种新思路,展望了化学机械抛光技术的开发方向。

美式英语“主谓语一致”新析

“一致性”是指句子中两个或更多成分之间的一种语法关系,各个成分具有某一相同的特征。例如,英语中第三人称单数的主语后跟单数动词,而复数则跟复数动词。但是在美式英语中“一致性”的原则不再受到严格的执行。

TFT-LCD等平板显示项目节能评估要点分析及探讨

国家发布实施《固定资产投资项目节能评估和审查暂行办法》以来的这几年，正值我国TFT-LCD（薄膜晶体管液晶显示器）产业加速发展。TFT-LCD项目属于资金密集、技术密集的高新技术产业，属于精密电子器件加工制造。具有投资规模大、厂房体量大、工艺流程复杂、自动化程度高、厂务系统复杂、能源及耗能工质种类多、污染物种类多、排放量较大等特点。本文根据实际工作经验，对TFT-LCD项目节能评估报告中的能评要点及存在问题进行分析和探讨。

烧结钕铁硼磁体磁定向偏角形成原因分析

1 引言 随着绿色环保和新能源材料成为世界各国竞相发展的目标，钕铁硼永磁电机得到了迅猛的发展和广泛的应用，其关键材料高性能钕铁硼永磁材料发展迅速。烧结钕铁硼磁体的磁N—S轴线和其几何轴线存在一定的角度，定义该夹角为磁定向偏角。磁定向偏角大的磁体装配在稀土永磁电机上，会带来电机振动、噪声和电机精度降低等。磁定向偏角和钕铁硼磁体的制作过程、磁体磁取向度和后期机械加工等有关系，本文剖析了烧结钕铁硼磁体磁定向偏角产生原因，并提出了改进措施。

新形势下行政审批制度政策解析

截至2014年3月，国务院取消和下放的行政审批项目已达362项，今年还将再取消和下放行政审批事项200余项，在新的改革形势下，固定资产投资项目审批制度正在发生重大变化，以往需要审批或核准的项目，如今可以通过更简化的程序完成立项。但是在当下各地方政府加快转变政府职能，抓紧做好取消和下放管理层级行政审批项目的落实和衔接工作阶段，对于部分重大项目行政审批级别、方式、程序仍然存在不明晰或理解不一致的情况。本文将对新形势下行政审批改革的相关政策进行解读和分析。

回线偏移型钴基非晶带热磁处理中微结构的变化

钴基非晶薄带经热磁处理后,磁滞回线呈不对称特性,这种特性可以在室温下获得。我们前期的研究工作着重于该现象的实验观测和简单的唯象解释。本文通过XRD、HRTEM等测试手段研究了热磁处理过程中薄带微结构的变化。研究了不同热处理条件对钴基非晶薄带磁滞回线特征的影响,并分析了发生回线偏移行为样品的微结构特征。认识到热磁处理生成的适宜微晶相是导致非晶薄带磁滞回线发生偏移的主要因素。

酸洗工艺对烧结NdFeB镍电镀层结合力的影响

对Nd-Fe-B基体及镍镀层表面形貌的观察发现,当镀层脱落时,在基体表面产生残缺晶粒并与内部完整晶粒分离,说明电镀前的酸洗过程导致钕铁硼基体表面过腐蚀对结合力影响较大。对Nd-Fe-B样品进行不同时间的酸洗,发现酸洗时间为30 s左右时不仅能去除样品表面氧化皮,而且也能防止样品表面的过腐蚀,镀层与基体结合力较佳。

烧结钕铁硼磁体腐蚀失重的影响因素及耐蚀性改进

采用粉末冶金法制备系列烧结钕铁硼磁体。采用扫描电子显微镜和电子能谱分析了磁体的微观组织成分,研究了其合金成分(包括Dy含量、Pr含量、稀土总量和微量添加元素)和工艺方法对磁体腐蚀失重影响,并分析了相关机制。实验结果表明,Pr含量、Dy含量以及稀土总量的控制可以改善磁体的失重,改善耐蚀性能。在此基础上通过优化磁体成分和制备工艺,制备出低失重磁体。改善后的磁体失重性能都达到了30天小于3 mg/cm2的水平。通过元素复合添加,提高了磁体磁性能及耐腐蚀性,使其能广泛应用于腐蚀环境。

言语错误的评判与纠正

本文从以认知心理学为基础的错误分析理论出发 ,阐述了言语错误与学习者学习过程间的内在联系 ,着重探讨了言语错误的评判标准和错误的纠正原则 ,从而引导外语教师正确对待学习者的言语错误 。

建筑用新型防护安全帽与安全服设计初探

目前很多用于建筑施工用的安全帽存在防护性能不佳和穿戴不舒适的问题,导致很多的安全事故对佩戴者造成严重伤害,而穿戴不舒适也影响了施工人员的工作效率,给施工人员的生命安全带来很大的威胁,存在着很大的弊端。而建筑施工用安全服则相对比较缺乏,且保障施工人员临空作业安全的能力也存在不足,安全帽和安全服功能的创新研究还需要有更多。

回火温度对NdCeFeB烧结磁体微观结构及磁性能的影响

采用双主相工艺制备了名义成分为Di_(26.8)Ce_(5.6)Fe_(bal)Al_(0.3)Cu_(0.2)Co_(1.0)B_(1.0)的烧结磁体,烧结后分别在440℃、470℃、500℃、530℃进行不同温度回火处理。结果表明,磁体剩磁在回火前后基本没有变化,但是磁体矫顽力却对回火温度较为敏感:在440℃回火时矫顽力最高,达到1091 k A/m;在530℃回火时矫顽力最低,为936 k A/m。对比各样品回火前后的背散射像发现,440℃回火后微观结构并没有明显变化,当温度提高至470℃以上时晶界相变得连续且团块晶界相占比变大。EDS点分析和XRD结果显示,随着回火温度提高,晶界相中Ce含量逐步增高,且富Ce相及CeFe_(2)相衍射峰区域明显,而Nd_(2)Fe_(14)B主相占比逐步减少。富Ce合金的DSC分析结果发现,在424℃左右出现吸热峰,很可能是富Ce与CeFe_(2)相产生的相变点。晶界中Ce含量的提高可能降低各主相晶粒外延区的各向异性场,从而降低磁体矫顽力。