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PN1B微小卫星激光反射器设计及激光测距试验 被引量:7
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作者 罗青山 郭唐永 +6 位作者 邹彤 李欣 朱威 李世鹏 时文涛 张慧华 姚运生 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期18-23,共6页
大气密度探测实验卫星PN1B于2015年9月在太原卫星发射中心成功发射,为了实现对该卫星星载GPS定轨数据提供检核标准及高精度测轨应用要求,依据卫星无法提供阵列结构激光反射器所需要的安装面积的限制,首次采用通光口径为10mm的微小激光... 大气密度探测实验卫星PN1B于2015年9月在太原卫星发射中心成功发射,为了实现对该卫星星载GPS定轨数据提供检核标准及高精度测轨应用要求,依据卫星无法提供阵列结构激光反射器所需要的安装面积的限制,首次采用通光口径为10mm的微小激光反射器按照不同的指向分布在卫星的棱边。利用TROS1000流动人卫激光测距系统对该卫星进行追踪和激光测距试验,测量结果表明激光回波数据充足,每秒平均激光回波光子数达173个,标志着此类微小激光反射器的应用将会在卫星轨道精密定轨方面发挥重要作用。 展开更多
关键词 皮纳卫星 激光反射器 人卫激光测距 速差补偿
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HY-2卫星激光反射器理论分析及激光测距实验 被引量:7
2
作者 罗青山 郭唐永 +2 位作者 邹彤 朱威 姚运生 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第11期104-110,共7页
激光反射器作为一种被动无源光学合作目标,是人造卫星激光测距系统中的重要组成部分。对于运行在低轨卫星中的激光反射器,既要在较大的激光入射角范围提供服务,又要将角反射器阵列结构所引入的综合测距误差控制在一定范围内,以保证高精... 激光反射器作为一种被动无源光学合作目标,是人造卫星激光测距系统中的重要组成部分。对于运行在低轨卫星中的激光反射器,既要在较大的激光入射角范围提供服务,又要将角反射器阵列结构所引入的综合测距误差控制在一定范围内,以保证高精度的激光测距,因此绝大多数采用半球形阵列结构。文中以我国海洋二号卫星激光反射器为例,对半球形激光反射器的远场衍射分布、相对有效反射面积分布、距离更正误差分布和激光测距综合精度等核心技术参数进行理论分析。并以国内流动式卫星激光测距系统TROS1000对海洋二号卫星激光反射器进行追踪和激光测距实验,测量结果表明,激光测距内符合精度为1.1 cm,理论分析与实测结果相符。标志着海洋二号卫星激光反射器性能优良,这对以后激光卫星反射器的设计具有指导意义。 展开更多
关键词 激光反射器 人卫激光测距 速差补偿 相对有效反射面积
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角锥棱镜加工工艺研究 被引量:6
3
作者 罗青山 郭唐永 +1 位作者 李翠霞 姚运生 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期520-523,共4页
设计了一种适用于角锥棱镜加工的靠体,在铣磨成型、粗磨及精磨和粗抛工序中直接通过该靠体的翻转实现角锥棱镜的成盘化加工,最后以配重分离器工艺进行精抛。该工艺可实现光束平行差为1″的高精度角锥棱镜的批量生产,且使得角锥棱镜整体... 设计了一种适用于角锥棱镜加工的靠体,在铣磨成型、粗磨及精磨和粗抛工序中直接通过该靠体的翻转实现角锥棱镜的成盘化加工,最后以配重分离器工艺进行精抛。该工艺可实现光束平行差为1″的高精度角锥棱镜的批量生产,且使得角锥棱镜整体工艺方案加工工序减少、生产节奏快、效率高、质量可保证。 展开更多
关键词 角锥棱镜 靠体 角度精度 光束平行差
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适用于立方体卫星的激光测距合作目标 被引量:6
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作者 罗青山 郭唐永 姚运生 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第7期1705-1713,共9页
为了给立方体卫星星载GPS定轨数据提供检核标准,并满足高精度测定轨道的应用要求,通过在10cm×10cm×10cm的标准立方体卫星的每个表面分布3个通光口径为1.0cm的微小激光反射器,设计了质量约为108g、视场角满足360°、测距... 为了给立方体卫星星载GPS定轨数据提供检核标准,并满足高精度测定轨道的应用要求,通过在10cm×10cm×10cm的标准立方体卫星的每个表面分布3个通光口径为1.0cm的微小激光反射器,设计了质量约为108g、视场角满足360°、测距精度可达厘米级的激光测距合作目标。根据角锥棱镜的二面角误差、反射面面形误差及入射面面形误差所引起的光束附加相位,分析角锥棱镜在远场的衍射分布特性;接着,根据激光合作目标在卫星上的分布方式,计算激光合作目标的相对有效面积分布;然后,利用激光测距方程估算不同轨道高度的立方体卫星激光反射器回波光子数,并根据卫星质心改正模型估算激光测距精度;最后,以皮卫星激光合作目标测距试验为例,验证了装载在卫星上的1.0cm微小激光反射器能够反射回足够的激光回波信号。结果表明,此种分布方式对于运行在250~1 000km轨道上的立方体卫星能够提供足够的回波信号,激光测距内精度可达厘米级,满足立方体卫星对激光测距合作目标质量轻、分布灵活、测距精度高的要求。 展开更多
关键词 激光测距 立方体卫星 激光合作目标 有效反射面积 测距精度
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两起民办小学麻疹暴发调查报告 被引量:2
5
作者 罗青山 单芙香 +3 位作者 刘跃红 谭洁 卢紫燕 曾华堂 《现代预防医学》 CAS 北大核心 2007年第2期F0003-F0003,共1页
关键词 麻疹 暴发 调查
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刘青山喊冤
6
作者 罗青山 《决策探索》 2005年第6期93-93,共1页
关键词 刘青山 阎王
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深圳市2010-2014年急性乙型肝炎流行病学特征分析 被引量:3
7
作者 罗青山 卢紫燕 《疾病监测与控制》 2015年第7期451-453,共3页
目的了解深圳市急性乙肝流行病学特征和疫情发展动态,寻找有效的预防措施。方法使用描述性流行病学方法分析急性乙肝病例。结果深圳市2010-2014年共报告5 255例急性乙肝病例,年均发病率为9.96/10万,发病率呈逐年下降趋势。男女发病比为3... 目的了解深圳市急性乙肝流行病学特征和疫情发展动态,寻找有效的预防措施。方法使用描述性流行病学方法分析急性乙肝病例。结果深圳市2010-2014年共报告5 255例急性乙肝病例,年均发病率为9.96/10万,发病率呈逐年下降趋势。男女发病比为3.30:1,发病年龄集中在20~50岁,职业为工人(41.67%)、家务及待业(23.18%)发病较多,市郊(82.65%)发病多于市区(17.35%),发病无明显季节性。结论深圳市乙肝防治取得一定成效,应继续做好国家免疫规划工作,加强宣传教育,建议对〉20岁未感染乙肝人群开展预防接种。 展开更多
关键词 乙型肝炎 流行病学 发病率
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皮纳微小卫星激光反射器设计及激光测距分析 被引量:2
8
作者 罗青山 《国际地震动态》 2019年第2期46-47,共2页
皮纳卫星是指质量为千克级、以微机电系统技术为基础的小卫星。皮纳卫星能够通过组成星座、编队或卫星群完成单颗大卫星难以实现的任务,被广泛地应用于科研、技术试验、商业遥感等领域。皮纳卫星设计寿命短,在完成在轨服务后就会成为空... 皮纳卫星是指质量为千克级、以微机电系统技术为基础的小卫星。皮纳卫星能够通过组成星座、编队或卫星群完成单颗大卫星难以实现的任务,被广泛地应用于科研、技术试验、商业遥感等领域。皮纳卫星设计寿命短,在完成在轨服务后就会成为空间碎片,这时要想对皮纳卫星进行精准定位,就必须采用非合作目标的方式进行激光测距。按照目前空间非合作目标的激光探测能力,由于皮纳卫星尺寸小,导致返回的激光信号弱,探测难度大,且随着皮纳卫星发射次数的增多,将严重影响人类的空间科技活动。因此设计出适合于皮纳卫星的激光测距合作目标,使得激光测距技术的高精度特性应用于皮纳卫星的目标监测,这对空间目标高精度测量和提升碎片目标精密监测与预警有着重要的实用价值。本论文紧紧围绕研制出适合于皮纳卫星的微小激光反射器这一目标,立足于低轨皮纳卫星高难度的激光测距实用需求,设计质量轻、分布灵活、满足在轨和成为空间碎片后仍能采用常规的人卫激光测距技术进行观测、且便于标准化配置的微小卫星激光反射器。论文的主要工作内容如下:(1)理论计算并分析了星载激光测距合作目标的速差效应及其补偿方法、有效视场角、有效反射器面积、可观测时间、远场衍射分布、质心误差改正分布等核心技术参数,并以低轨卫星中常用的金字塔结构和八棱台结构激光反射器为例进行分析,为皮纳卫星激光反射器设计提供理论依据。(2)针对轨道高度在250—1 000 km的皮纳卫星,以标准立方体结构皮纳卫星为例,设计了质量不超过150 g、视场角满足360°、测距精度达厘米级、具有足够回波强度、且便于标准化配置的微小激光反射器,并设计了长方体和多面体结构皮纳卫星激光反射器。(3)为我国第一颗大气密度探测实验卫星PN1B设计了星载卫星激光反射器,这是国内首次采用通光口径为1 cm的微小激光反射器阵列,通过TROS1000流动人卫激光测距系统对该卫星进行的激光测距试验,观测期间其回波数最大值达314个/秒,验证了微小激光合作目标能够提供足够的的回波光子数。(4)设计了一种适用于角锥棱镜加工的靠体,在铣磨成型、粗磨及精磨和粗抛工序中直接通过该靠体的翻转实现角锥棱镜的成盘化加工,最后以配重分离器工艺进行精抛。使得角锥棱镜整体工艺方案加工工序减少、生产节奏快、效率高、质量可保证。(5)为确保卫星激光反射器发射成功后在太空环境中能正常工作,以皮纳低轨卫星激光反射器为例,介绍了激光反射器在地面进行的光学性能、力学性能、热学性能及空间辐照性能测试。 展开更多
关键词 人卫激光测距(SLR) 激光反射器 皮纳卫星 测距精度 角锥棱镜 空心角锥棱镜
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深圳市麻疹监测及其控制策略评价 被引量:17
9
作者 谭洁 单芙香 +2 位作者 卢紫燕 罗青山 刘跃红 《实用预防医学》 CAS 2004年第4期730-732,共3页
为了解深圳市控制麻疹的进展 ,以进一步控制麻疹疫情 ,对麻疹的发病资料进行流行病学分析 ,并结合麻疹疫苗常规接种和强化免疫情况对麻疹发病率的影响进行分析。结果显示 ,2 0 0 0~ 2 0 0 3年麻疹年平均发病率 ( 10 .2 1/10万 )比 1996... 为了解深圳市控制麻疹的进展 ,以进一步控制麻疹疫情 ,对麻疹的发病资料进行流行病学分析 ,并结合麻疹疫苗常规接种和强化免疫情况对麻疹发病率的影响进行分析。结果显示 ,2 0 0 0~ 2 0 0 3年麻疹年平均发病率 ( 10 .2 1/10万 )比 1996~ 1999年 ( 5 .95 /10万 )上升了 71.6% ,2 0 0 2年麻疹发病率在近几年中是最低。全市六个区均有病例发生 ,龙岗区、宝安区和南山区发病率较高。流行模式主要为散发。 3~ 7月为麻疹高发季节 ,1~ 5岁和 2 0~ 2 9岁为麻疹高发病年龄组。男女性别比为 1.12 :1。对麻疹免疫史分析表明 ,10 .2 5 %的麻疹病例未接种麻疹疫苗 (MV ) ,47.49%的病例无免疫史 ,42 .2 5 %免疫史不详。建议采用以下控制麻疹策略 ,维持高水平麻疹接种率 ,加强免疫年龄提前到 1.5~ 2岁 ,在外来青工中开展麻疹疫苗接种工作 ,进一步加强麻疹监测工作 ,充分利用麻疹监测系统 ,及时制定免疫方案以控制麻疹疫情。 展开更多
关键词 麻疹监测 控制策略 评价
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SWATH船型及其阻力性能计算 被引量:7
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作者 邹早建 罗青山 +1 位作者 徐海祥 史一鸣 《武汉理工大学学报(交通科学与工程版)》 北大核心 2002年第3期300-302,共3页
介绍了小水线面双体船 (SWATH)船型结构、主要性能特点、发展简史以及我国在这方面的研究与开发工作 ,并对 SWATH阻力性能进行了计算研究 。
关键词 SWATH 船型 阻力性能 小水线面双体船 数值计算 半潜双体船 SSC
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深圳市健康人群麻疹抗体水平监测和疫苗效果分析 被引量:9
11
作者 卢紫燕 刘跃红 +3 位作者 单芙香 谭洁 罗青山 曾华堂 《实用预防医学》 CAS 2006年第4期894-895,共2页
目的 了解深圳市人群麻疹免疫状况,为制定麻疹预防控制措施提供科学依据。方法 对8~12月龄和4岁儿童进行免疫成功率监测,对刚出生婴儿于0、3、6月龄时进行母传抗体水平监测;对1~40岁人群,分5个年龄组进行人群麻疹抗体水平监测。结... 目的 了解深圳市人群麻疹免疫状况,为制定麻疹预防控制措施提供科学依据。方法 对8~12月龄和4岁儿童进行免疫成功率监测,对刚出生婴儿于0、3、6月龄时进行母传抗体水平监测;对1~40岁人群,分5个年龄组进行人群麻疹抗体水平监测。结果 初免组(8~12月龄婴儿)和加强组(4岁儿童)免疫成功率分别为88.81%和100%;0、3、6月龄婴幼儿母传麻疹抗体阳性率分别为73.08%、4231%和3.85%,GMT分别为1:1543、1:907、1:800;人群麻疹抗体阳性率、保护率和GMT分别为86.10%、64.44%和1:975。结论 为有效控制麻疹流行,建议提高麻疹免疫接种覆盖率和接种质量,加快成人免疫步伐,减少免疫空白人群。 展开更多
关键词 麻疹 抗体 监测 免疫效果
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小水线面双体船阻力预报研究 被引量:13
12
作者 邹早建 罗青山 史一鸣 《中国造船》 EI CSCD 北大核心 2005年第1期14-21,共8页
小水线面双体船 (SWATH)船型设计的关键技术之一是其水动力性能的预报 ,而其静水阻力预报是其水动力性能预报的重要内容。本文应用船舶计算流体动力学 (CFD)技术并结合传统的阻力估算方法 ,开发了一个 SWATH船型阻力数值预报集成软件系... 小水线面双体船 (SWATH)船型设计的关键技术之一是其水动力性能的预报 ,而其静水阻力预报是其水动力性能预报的重要内容。本文应用船舶计算流体动力学 (CFD)技术并结合传统的阻力估算方法 ,开发了一个 SWATH船型阻力数值预报集成软件系统。为了验证该系统的有效性 ,将其应用于一 SWATH船型的总阻力和有效功率计算 ,并将计算结果和现有的船模试验结果进行了比较。结果表明 ,本文所开发的 SWATH阻力预报系统可以很好地预报 SWATH船型阻力随航速的变化规律以及阻力曲线峰、谷点的位置 ;在傅汝德数小于 0 .45的速度范围内 ,计算得到的总阻力和试验结果吻合良好。 展开更多
关键词 小水线面双体船 预报研究 SWATH 计算流体动力学 试验结果 水动力性能 关键技术 船型设计 性能预报 阻力预报 估算方法 软件系统 预报集成 功率计算 计算结果 阻力曲线 变化规律 预报系统 总阻力 应用 开发 船舶 船模 航速
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在高氯酸铕二苯亚砜邻菲罗啉三元配合物中Pr^(3+)对Eu^(3+)发光的影响 被引量:4
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作者 李文先 钟瑞霞 罗青山 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第11期1306-1308,共3页
合成了一系列异核配合物[(Eu1-xPrx)(DPSO)(phen)3(ClO4)2]ClO4·nH2O(x=0000~0200,DPSO为二苯亚砜,phen为邻菲罗啉,n=1,2,3,4,5,6)。对配合物进行了组成分析,摩尔电导,IR光谱及荧光激发和发射光谱的测定。荧光光谱测定结果表明本... 合成了一系列异核配合物[(Eu1-xPrx)(DPSO)(phen)3(ClO4)2]ClO4·nH2O(x=0000~0200,DPSO为二苯亚砜,phen为邻菲罗啉,n=1,2,3,4,5,6)。对配合物进行了组成分析,摩尔电导,IR光谱及荧光激发和发射光谱的测定。荧光光谱测定结果表明本身不发光的Pr3+对Eu3+的发光产生较大影响,当Pr3+的掺入量为0001mol时,可使Eu3+的发光强度提高到200%以上,随着Pr3+浓度的增大,对Eu3+的发光先敏化后猝灭。Eu3+在配合物中所处的格位对称性低,无对称中心。 展开更多
关键词 EU^3+ 二苯亚砜 发光强度 三元配合物 猝灭 邻菲罗啉 高氯酸 光激 敏化 发射光谱
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不同能量密度下脉冲激光烧蚀制备纳米Si晶粒成核生长动力学研究 被引量:4
14
作者 邓泽超 罗青山 +6 位作者 胡自强 丁学成 褚立志 梁伟华 陈金忠 傅广生 王英龙 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期1547-1551,共5页
在室温、10 Pa氩气环境下,采用脉冲激光烧蚀(PLA)技术,通过改变激光能量密度,在烧蚀点正下方、与烧蚀羽辉轴线平行放置的衬底上沉积制备了一系列纳米Si晶薄膜。采用SEM、Raman散射谱和XRD对纳米Si晶薄膜进行了表征。结果表明:沉积在衬... 在室温、10 Pa氩气环境下,采用脉冲激光烧蚀(PLA)技术,通过改变激光能量密度,在烧蚀点正下方、与烧蚀羽辉轴线平行放置的衬底上沉积制备了一系列纳米Si晶薄膜。采用SEM、Raman散射谱和XRD对纳米Si晶薄膜进行了表征。结果表明:沉积在衬底上的纳米Si晶粒分布在距靶一定的范围内,晶粒尺寸随与靶面距离的增加先增大后减小;随着激光能量密度的增加,晶粒在衬底上的沉积范围双向展宽,但沉积所得最大晶粒尺寸基本保持不变,只是沉积位置随激光能量密度的增加相应后移。结合流体力学模型、成核分区模型和热动力学方程,通过模拟激光烧蚀靶材的动力学过程,对纳米Si晶粒的成核生长动力学过程进行了研究。 展开更多
关键词 脉冲激光烧蚀 Si纳米晶粒 能量密度 成核生长动力学
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深圳市小学和幼儿园新生麻疹接种情况及其影响因素分析 被引量:4
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作者 刘刚 单芙香 +3 位作者 罗青山 卢紫燕 黄芳 谭洁 《中国学校卫生》 CAS 北大核心 2007年第9期808-809,共2页
目的了解深圳市小学、幼儿园新生麻疹接种情况及其影响因素,为制定学校、托幼机构麻疹控制措施提供依据。方法分层整群随机抽取深圳市67所幼儿园和55所小学作为调查单位,采用调查表收集学生的预防接种信息,同时核对预防接种证。结果深... 目的了解深圳市小学、幼儿园新生麻疹接种情况及其影响因素,为制定学校、托幼机构麻疹控制措施提供依据。方法分层整群随机抽取深圳市67所幼儿园和55所小学作为调查单位,采用调查表收集学生的预防接种信息,同时核对预防接种证。结果深圳市入学、入园新生1剂次和2剂次麻疹疫苗接种率分别为86.2%和60.4%。影响学生麻疹2剂次接种的主要因素包括学校类别(小学/幼儿园)、学校属性(公立/私立)、学生年龄、户籍、父亲及母亲的文化程度和地区差别。结论深圳市入学学生2剂次麻疹疫苗接种率不高。教育部门和卫生部门应联合加强对入学、入园新生预防接种证的查验,通过对父母进行宣传教育,提高学生免疫接种的机会,最终提高麻疹疫苗免疫覆盖率。 展开更多
关键词 麻疹 接种 因素分析 统计学 儿童
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视频监控系统中阴影去除方法的研究 被引量:6
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作者 苑颖 罗青山 曾贵华 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2008年第36期187-188,197,共3页
提出了一种基于颜色不变性和建立阴影高斯模型的阴影检测和消除的方法。首先对亮度小于背景的前景根据颜色特征的相近性进行划分,再利用阴影的光谱特性建立高斯模型,去除运动目标的投影。最后利用阴影的空间特性对图像进行后处理,完成... 提出了一种基于颜色不变性和建立阴影高斯模型的阴影检测和消除的方法。首先对亮度小于背景的前景根据颜色特征的相近性进行划分,再利用阴影的光谱特性建立高斯模型,去除运动目标的投影。最后利用阴影的空间特性对图像进行后处理,完成阴影的检测与消除。实验结果表明,该方法能够有效地检测和消除阴影。 展开更多
关键词 阴影检测与消除 颜色不变性 阴影高斯模型 相似区域的划分
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深圳市中职学生毒品使用情况和影响因素分析 被引量:5
17
作者 周丽 谌丁艳 +2 位作者 罗青山 黄泽鹏 王增珍 《中国健康教育》 北大核心 2017年第1期45-48,共4页
目的了解深圳市职业中学学生的毒品使用情况及其危险因素,为制定学生毒品滥用预防策略提供理论依据。方法采用问卷调查方法,调查深圳市2所中职学校的学生毒品使用情况。采用χ2检验,比较不同特征的学生毒品使用情况差异;再通过逐步Logis... 目的了解深圳市职业中学学生的毒品使用情况及其危险因素,为制定学生毒品滥用预防策略提供理论依据。方法采用问卷调查方法,调查深圳市2所中职学校的学生毒品使用情况。采用χ2检验,比较不同特征的学生毒品使用情况差异;再通过逐步Logistic回归方法,探索相关危险因素。结果在调查的1582名学生中,非法使用毒品的46人(2.9%),其中,曾使用过快乐水/神仙水的学生人次(1.3%),冰毒(1.2%)、K粉(1.2%)、摇头丸(1.1%)、海洛因(1.1%)、麻果(1.0%)和大麻(1.0%)。冲动(OR=1.22,95%CI:1.04~1.44)、朋友吸毒(OR=5.72,95%CI:2.23~14.70)以及父母赞同吸毒(OR=66.54,95%CI:10.37~426.75)是中职学生使用毒品的危险因素。结论中职学生中存在使用毒品的现象,对青少年的健康构成威胁。改善不良的行为习惯,结交益友,培养良好的家庭氛围尤为重要。 展开更多
关键词 毒品使用 影响因素 中职学生
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高精度千赫兹流动激光测距系统中国西部地区实测结果分析 被引量:2
18
作者 李欣 朱威 +2 位作者 罗青山 邹彤 郭唐永 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第2期113-121,共9页
为了解决人造卫星激光测距观测站在我国东西部地区分布不均衡的现状,中国地震局地震研究所采用方便运输的载车结构和皮秒级千赫兹半导体激光器,结合自行研制的皮秒级事件计数器和纳秒级距离门,研制了新一代的大口径流动卫星激光测距系统... 为了解决人造卫星激光测距观测站在我国东西部地区分布不均衡的现状,中国地震局地震研究所采用方便运输的载车结构和皮秒级千赫兹半导体激光器,结合自行研制的皮秒级事件计数器和纳秒级距离门,研制了新一代的大口径流动卫星激光测距系统TROS1000.TROS1000具备千赫兹流动激光测距的能力,并且具有机动灵活、架设周期短等特点.2019年9月,TROS1000抵达中国科学院新疆天文台南山观测站,在我国西部地区首次获取千赫兹激光观测数据.经过数据预处理,中低轨卫星的单次精度优于14 mm,高轨卫星的单次精度优于19 mm,与上一代流动激光测距系统相比,其单次精度更高,有效回波信号更多,目标探测能力更强. 展开更多
关键词 卫星激光测距 流动观测 千赫兹激光器 事件计数器 距离门
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一起成人麻疹暴发的调查 被引量:4
19
作者 谭洁 单芙香 +1 位作者 罗青山 卢紫燕 《现代预防医学》 CAS 北大核心 2006年第6期1011-1011,共1页
关键词 麻疹 成人 暴发
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外加气流对脉冲激光烧蚀制备纳米Si晶粒尺寸分布的影响 被引量:2
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作者 王英龙 罗青山 +5 位作者 邓泽超 褚立志 丁学成 梁伟华 陈超 傅广生 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期2199-2202,共4页
提出一种控制脉冲激光烧蚀制备纳米Si晶粒尺寸分布的新方法。在10Pa的Ar环境中,采用脉冲激光烧蚀高阻抗单晶硅靶沉积制备了纳米Si晶薄膜。在羽辉正上方2.0cm,距靶0.3~3.0cm范围内的不同位置引入氩气流,在烧蚀点正下方2.0cm处水平放置单... 提出一种控制脉冲激光烧蚀制备纳米Si晶粒尺寸分布的新方法。在10Pa的Ar环境中,采用脉冲激光烧蚀高阻抗单晶硅靶沉积制备了纳米Si晶薄膜。在羽辉正上方2.0cm,距靶0.3~3.0cm范围内的不同位置引入氩气流,在烧蚀点正下方2.0cm处水平放置单晶Si(111)衬底来收集制备的纳米Si晶粒。利用扫描电子显微镜观察样品表面形貌,并对衬底不同位置上纳米Si晶粒进行统计。结果表明:在不引入气流时,晶粒的尺寸随靶衬间距的增加先增大后减小,晶粒尺寸峰值出现在距靶1.7cm处;引入气流后,晶粒尺寸分布发生变化,在距靶1.7cm引入气流时晶粒尺寸峰值最大,在距靶3.0cm引入气流时晶粒尺寸峰值最小,且出现晶粒尺寸峰值的位置随着引入气流位置的增加而增大。 展开更多
关键词 纳米SI晶粒 脉冲激光烧蚀 环境气体 气流 尺寸分布
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