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8寸CMP设备对小尺寸镀铜InP晶圆的工艺开发
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作者 成明 赵东旭 +3 位作者 王云鹏 王飞 范翊 姜洋 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期392-400,共9页
为了实现在8寸化学机械抛光设备上进行小尺寸镀铜InP晶圆的减薄抛光工作,提高设备的兼容性,缩减工艺步骤,减少过多操作导致InP晶圆出现裂纹暗伤和表面颗粒增加等问题,自制特殊模具,使小尺寸InP晶圆在8寸化学机械抛光设备上进行加工,再根... 为了实现在8寸化学机械抛光设备上进行小尺寸镀铜InP晶圆的减薄抛光工作,提高设备的兼容性,缩减工艺步骤,减少过多操作导致InP晶圆出现裂纹暗伤和表面颗粒增加等问题,自制特殊模具,使小尺寸InP晶圆在8寸化学机械抛光设备上进行加工,再根据InP晶圆易碎的缺陷问题,通过调整设备的抛光头压力、转速和抛光垫的转速等相关工艺参数,使其满足后续键合工艺的相关需求。实验结果表明:在使用特殊模具下,当抛光头的压力调整为20.684 kPa、抛光头与抛光垫的转速分别为:93 r/min和87 r/min时,InP晶圆的表面粗糙度达到:Ra≤1 nm;表面铜层的去除速率达到3857×10^(-10)/min;后续与8寸晶圆的键合避免键合位置出现空洞等缺陷,实现2寸InP晶圆在8寸设备上的CMP工艺,大大降低了CMP工艺成本,同时避免晶圆在转移过程中出现表面颗粒度增加和划伤的情况,实现了InP晶圆与Si晶圆的异质键合及Cu互连工艺。 展开更多
关键词 化学机械抛光 磷化铟 去除速率 键合 表面粗糙度
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硼酸表面处理对ZnxMg_(1-x)O量子点自驱动光电探测器性能的影响
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作者 何玥仪 宋玺尧 +8 位作者 王浩然 胡均义 刘少尧 周芩安 成明 范翊 王云鹏 王飞 赵东旭 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第9期1521-1530,共10页
氧化锌材料(ZnO)因其独特的物理和化学性质在自驱动光电探测领域中展现出巨大应用潜力。然而,目前基于ZnO材料的自驱动光电探测器存在结构复杂、响应时间长、响应度低等问题,难以满足实际应用需求。本文构建了一种结构简单、响应速度快... 氧化锌材料(ZnO)因其独特的物理和化学性质在自驱动光电探测领域中展现出巨大应用潜力。然而,目前基于ZnO材料的自驱动光电探测器存在结构复杂、响应时间长、响应度低等问题,难以满足实际应用需求。本文构建了一种结构简单、响应速度快的ITO/ZnO量子点(QDs)/Au光电探测器,并提出了一种硼酸(BA)表面处理结合退火的处理工艺,成功降低了ZnO QDs薄膜中的表面态密度,提高了器件光电性能。器件在0 V下响应时间约为1 ms,开/关比达到104,响应度达到8.81 mA/W。将这一工艺应用在Mg2+掺杂ZnO量子点基光电探测器中,同样提高了器件的比探测率和响应度,获得了具有0.93 ms上升时间的高响应速度自驱动光电探测器,Mg2+掺杂量越高,器件的上升时间越短。这项工作证实了BA表面处理结合退火处理工艺对化学合成的ZnO材料性能具有普遍提升作用,有望广泛应用于ZnO基紫外光电探测器的性能优化中。 展开更多
关键词 氧化锌量子点 自驱动光电探测器 溶液表面处理 带隙调控
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糖脂功能化聚二乙炔Langmuir-Schaefer薄膜与大肠杆菌的分子识别及动力学过程研究 被引量:2
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作者 范翊 张立功 +3 位作者 候芳玉 马保亮 申德振 李亚军 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期657-661,共5页
在气液界面上研究了 α-D-甘露糖苷 -十六烷 ( MC1 6 )与 1 0 ,1 2 -二十五碳双炔酸混合单分子膜行为 ,二者具有较好的互溶性 .在疏水的玻璃衬底上用 Langmuir-Schaefer( LS)薄膜技术制备单层 MC1 6 /PDA薄膜 ,研究了这种仿生薄膜与大... 在气液界面上研究了 α-D-甘露糖苷 -十六烷 ( MC1 6 )与 1 0 ,1 2 -二十五碳双炔酸混合单分子膜行为 ,二者具有较好的互溶性 .在疏水的玻璃衬底上用 Langmuir-Schaefer( LS)薄膜技术制备单层 MC1 6 /PDA薄膜 ,研究了这种仿生薄膜与大肠杆菌 jm 1 0 9的相互作用 .大肠杆菌 jm 1 0 9对 MC1 6 修饰的聚二乙炔 LS薄膜的吸附 ,使薄膜颜色由蓝色变为红色 ,用紫外 -可见吸收光谱可进行定量检测 .动力学研究显示比色响应值随时间的增加而增加 ,3 min内即有显著变化 ,1 5 min后趋于饱和 ,2 0 min后 CR值达到 2 8% 。 展开更多
关键词 功能化聚二乙炔 大肠杆菌 动力学 糖脂 Langmuir-Schaefer薄膜 分子识别 生物传感器
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聚糖联乙炔类脂轭合物与大肠杆菌的识别作用研究 被引量:2
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作者 范翊 李亚军 +3 位作者 张立功 蒋大鹏 于雅琴 黎明兰 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第2期193-195,共3页
聚糖联乙炔类脂轭合物与大肠杆菌的识别作用研究*范翊a)李亚军a)WangGPb)张立功a)蒋大鹏a)于雅琴c)黎明兰c)a)(中国科学院长春物理研究所,长春130021)b)(DepartmentofChemistr... 聚糖联乙炔类脂轭合物与大肠杆菌的识别作用研究*范翊a)李亚军a)WangGPb)张立功a)蒋大鹏a)于雅琴c)黎明兰c)a)(中国科学院长春物理研究所,长春130021)b)(DepartmentofChemistry,WayneStateUnive... 展开更多
关键词 聚糖联乙炔类脂 大肠杆菌 比色响应 识别作用
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聚糖联乙炔类脂仿生膜与大肠杆菌的识别作用研究 被引量:1
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作者 范翊 李亚军 +2 位作者 张立功 施雨露 蒋大鹏 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第11期1655-1657,共3页
People has known that the recognition between cells and bacteria is related to the glycolipid, as a receptor on the cell surface. Diacetylene moiety in the hydrocarbon region can be cross linked by UV irradiation to f... People has known that the recognition between cells and bacteria is related to the glycolipid, as a receptor on the cell surface. Diacetylene moiety in the hydrocarbon region can be cross linked by UV irradiation to form the corresponding polydiacetylene polymer. Color changes of polydiacetylenes have been known to occur in response to a variety of environmental perturbations such as heating, pH, mechanical stress or in the case of biosensor, due to the strong π π * absorption of the conjugation backbone. In this report, polydiacetylene mixed with mannopyranoside monolayer is prepared by Langmuir Blodgett film technology, E.coli K 12 adheres on the monolayer surface after gram strain. The result shows that the mannopyraoside could be recognitized by E.coli, but couldn’t be recognitized by O 111 B 4 and S.flexneri. 展开更多
关键词 糖脂 生物膜 肠道杆菌 识别作用 LB膜 检测
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二乙炔类脂衍生物在气-液界面的单分子膜特性 被引量:1
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作者 范翊 李亚军 +1 位作者 张立功 蒋大鹏 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2000年第1期11-13,共3页
研究了 1 0 ,1 2 二十五碳双炔酸与α D 吡喃甘露糖苷 1 N ( 3,6 ,9 三氧杂十一烷基 ) p 1 0 ,1 2 二十五碳双炔的混合物在不同 pH值及温度下的气 液界面的单分子膜特性 .研究结果表明 ,当 pH在 5 1 6~ 5 6 4之间 ,温度为 1 4... 研究了 1 0 ,1 2 二十五碳双炔酸与α D 吡喃甘露糖苷 1 N ( 3,6 ,9 三氧杂十一烷基 ) p 1 0 ,1 2 二十五碳双炔的混合物在不同 pH值及温度下的气 液界面的单分子膜特性 .研究结果表明 ,当 pH在 5 1 6~ 5 6 4之间 ,温度为 1 4℃时 ,薄膜具有较好的稳定性 . 展开更多
关键词 二乙炔衍生物 单分子膜性能 气-液界面 糖苷
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单晶6H-SiC纳米线的可控掺杂及光学特性
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作者 范翊 高凤梅 +2 位作者 杨为佑 蒋大鹏 张立功 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期804-808,共5页
采用有机前驱体制备纳米材料工艺,制备出不同Al掺杂浓度的6H-SiC纳米线(Al/6H-SiC)。用HRTEM、EDX、XRD等对纳米线进行了表征,发现随着起始材料中异丙醇铝含量的增加,所制备的纳米线中的Al浓度也在增加,最高可达到1.25%,HRTEM显示晶格... 采用有机前驱体制备纳米材料工艺,制备出不同Al掺杂浓度的6H-SiC纳米线(Al/6H-SiC)。用HRTEM、EDX、XRD等对纳米线进行了表征,发现随着起始材料中异丙醇铝含量的增加,所制备的纳米线中的Al浓度也在增加,最高可达到1.25%,HRTEM显示晶格间距为0.26nm和0.25nm,对应为6H-SiC的(101)和(102)面间距,Si、C原子比为1:1。拉曼光谱得到这种6H-SiC的声子能量为100meV,由吸收光谱带边吸收外推计算得到Al/6H-SiC纳米线光学带隙,掺杂浓度越大,吸收边红移越大。 展开更多
关键词 SIC 有机前驱体 热裂解 纳米线 掺杂 光学性质
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Si-B-C-N有机聚合物形成非晶陶瓷的机制研究
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作者 范翊 罗劲松 +5 位作者 王岩松 徐世峰 褚明辉 王文全 张立功 安立楠 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期490-492,共3页
用FTIR及微区拉曼光谱等方法,研究了Si-B-C-N有机聚合物在不同热裂解温度下最终形成非晶陶瓷的结构变化.结果表明:从常温到600℃这个区域内,有小分子溢出,伴随着质量的大幅度失去,而在600℃~800℃范围内形成自由碳,表明Si-B-C-N材料已... 用FTIR及微区拉曼光谱等方法,研究了Si-B-C-N有机聚合物在不同热裂解温度下最终形成非晶陶瓷的结构变化.结果表明:从常温到600℃这个区域内,有小分子溢出,伴随着质量的大幅度失去,而在600℃~800℃范围内形成自由碳,表明Si-B-C-N材料已完成从有机到无机的转变,形成非晶陶瓷. 展开更多
关键词 Si-B-C-N 非晶陶瓷 FTIR光谱 RAMAN光谱
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α-Si3N4单晶纳米带的光致发光及激发光谱研究
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作者 范翊 金华 +4 位作者 罗劲松 杨为有 张立功 谢志鹏 安立楠 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z2期956-958,共3页
采用催化裂解有机前驱体方法制备出单晶a-Si3N4纳米带,研究了纳米带的吸收光谱、光致发光(PL)及激发(PLE)光谱.吸收光谱表明约5.0eV禁带宽度的纳米带是间接带半导体吸收.室温下纳米带的PL光谱在1.8eV, 2.3eV和3.0eV处有3个宽峰.PLE光谱... 采用催化裂解有机前驱体方法制备出单晶a-Si3N4纳米带,研究了纳米带的吸收光谱、光致发光(PL)及激发(PLE)光谱.吸收光谱表明约5.0eV禁带宽度的纳米带是间接带半导体吸收.室温下纳米带的PL光谱在1.8eV, 2.3eV和3.0eV处有3个宽峰.PLE光谱显示在能隙中存在多个能级. 展开更多
关键词 a-Si3N4 单晶 吸收 光致发光
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温度和电流对白光LED发光效率的影响 被引量:65
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作者 王健 黄先 +9 位作者 刘丽 吴庆 褚明辉 张立功 侯凤勤 刘学彦 赵成久 范翊 罗劲松 蒋大鹏 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期358-362,共5页
对大功率白光LED发光效率进行了研究,得出温度和电流对LED发光效率的影响:随着温度的升高,势阱中辐射复合几率降低,从而降低了发光效率;电流的升高,使更多的非平衡载流子穿过势垒,降低了发光效率。LED工作时,过高的工作温度或者过大的... 对大功率白光LED发光效率进行了研究,得出温度和电流对LED发光效率的影响:随着温度的升高,势阱中辐射复合几率降低,从而降低了发光效率;电流的升高,使更多的非平衡载流子穿过势垒,降低了发光效率。LED工作时,过高的工作温度或者过大的工作电流都会产生明显的光衰:如果LED工作温度超过芯片的承载温度,这将会使LED的发光效率快速降低,产生明显的光衰,并且对LED造成永久性破坏;如果LED的工作电流超过芯片的饱和电流,也会使LED发光效率快速降低,产生明显的光衰。并且LED所能承载的温度与饱和电流有一定关系,散热良好的装置可以使LED工作温度相对降低些,饱和电流也可以更大,LED也就可以在相对较大的电流下工作。 展开更多
关键词 LED 发光效率 温度 电流 势垒
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白光发光二极管的制备技术及主要特性 被引量:26
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作者 蒋大鹏 赵成久 +6 位作者 侯凤勤 刘学彦 范翊 张立功 褚明辉 申德振 范希武 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期385-389,共5页
利用发射波长为470nm的蓝光发光二极管作为基础光源,通过荧光粉转换方法制备白光发光二极管,荧光粉主要采用稀土激活的铝酸盐Y3Al5O12∶Ce3+(YAG)。在工作电流为15mA条件下,所研制的白光LED的法向光强为2890mcd;色坐标为x=0 29,y=0 33;... 利用发射波长为470nm的蓝光发光二极管作为基础光源,通过荧光粉转换方法制备白光发光二极管,荧光粉主要采用稀土激活的铝酸盐Y3Al5O12∶Ce3+(YAG)。在工作电流为15mA条件下,所研制的白光LED的法向光强为2890mcd;色坐标为x=0 29,y=0 33;显色指数为77;流明效率为14 9lm/W。研究制备了不同色温的白光LED,色温范围从2700~8000K,研究了色温与色坐标之间的对应关系。并且与国外同类产品进行比较,部分指标已经超过了国外同类产品水平。 展开更多
关键词 白光发光二极管 制备技术 荧光粉转换方法 白光LED 特性
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白光LED荧光粉涂敷工艺及光学性质 被引量:19
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作者 刘丽 吴庆 +9 位作者 黄先 王健 褚明辉 张立功 侯凤勤 刘学彦 赵成久 范翊 罗劲松 蒋大鹏 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期890-894,共5页
在20mA电流下,对自行设计的白光LED进行测试,发现荧光粉远离芯片封装方法与传统封装方法相比,流明效率提高了20.3%。效率的提高主要是因为减小了LED芯片对荧光粉散射的吸收。同时测得随着正向电流的增加,色坐标x,y的值逐渐减小,色温升高... 在20mA电流下,对自行设计的白光LED进行测试,发现荧光粉远离芯片封装方法与传统封装方法相比,流明效率提高了20.3%。效率的提高主要是因为减小了LED芯片对荧光粉散射的吸收。同时测得随着正向电流的增加,色坐标x,y的值逐渐减小,色温升高,而光通量呈非线性增加,流明效率逐渐下降。 展开更多
关键词 白光LED 色坐标 色温 光通量 流明效率
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色坐标对白光LED光通量的影响 被引量:17
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作者 吴庆 黄先 +9 位作者 刘丽 王健 褚明辉 张立功 侯凤勤 刘学彦 赵成久 范翊 罗劲松 蒋大鹏 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期736-740,共5页
研究了在蓝光芯片加黄色荧光粉制备白光LED方法中,色坐标位置对光通量的影响。在同样蓝光功率条件下,我们对标准白光点(色坐标x=0.33±0.05,y=0.33±0.05)附近不同色坐标位置的光通量进行了计算。假设(0.325,0.332)位置流明效率... 研究了在蓝光芯片加黄色荧光粉制备白光LED方法中,色坐标位置对光通量的影响。在同样蓝光功率条件下,我们对标准白光点(色坐标x=0.33±0.05,y=0.33±0.05)附近不同色坐标位置的光通量进行了计算。假设(0.325,0.332)位置流明效率为100 lm/W,计算得出,最大光通量对应的色坐标位置为(0.35,0.38),光通量为112 lm;最小光通量对应的色坐标位置为(0.29,0.28),光通量为93.5 lm。相对于100 lm的变化幅度达到18.5%。通过与实验数据的对比和分析,进一步验证了白光LED光通量随色坐标增大而增加的这一趋势。 展开更多
关键词 白光LED 光通量 色坐标
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电荷补偿剂对YAG:Ce荧光粉效率的影响 被引量:7
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作者 黄先 王健 +7 位作者 吴庆 刘丽 赵成久 刘学彦 侯凤勤 张立功 范翊 蒋大鹏 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期869-874,共6页
在研制传统的YAG:Ce3+荧光粉过程中引入NH4F作为助熔剂,BaF2和MgF2作为电荷补偿剂,使得荧光粉的性能得到有效的改善。助熔剂的引入使YAG:Ce3+荧光粉的合成温度由原来的1600℃降低到1340℃左右,这对于降低生产成本有着十分重要的意义。引... 在研制传统的YAG:Ce3+荧光粉过程中引入NH4F作为助熔剂,BaF2和MgF2作为电荷补偿剂,使得荧光粉的性能得到有效的改善。助熔剂的引入使YAG:Ce3+荧光粉的合成温度由原来的1600℃降低到1340℃左右,这对于降低生产成本有着十分重要的意义。引入BaF2和MgF2作为电荷补偿剂,荧光粉的发光强度得到有效的提高。尤其是引入MgF2后,光致发光强度提高了42%。从XRD谱可以看出,Mg和Ba进入晶格取代了Y。通过对晶格常数的计算,发现Mg的引入可以部分补偿Ce3+掺杂带来的晶格增大。同时电荷补偿剂的引入使荧光粉达到电荷平衡:2AYYx→2Mg′Y→VO¨、2YYx→2Ba′Y+V¨O减少了烧制过程中产生的氧空位缺陷的影响,从而减少了由于氧空位带来的无辐射跃迁。另外,以杂质离子的半径和原子的电负性为出发点,对发射光谱的峰位相对移动作了定性的解释。 展开更多
关键词 YAG:Ce 助熔剂 电荷补偿剂 光致发光
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Ag纳米颗粒对有机小分子太阳能电池性能的改善 被引量:7
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作者 庄陶钧 苏子生 +3 位作者 刘亚东 初蓓 李文连 范翊 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期1266-1270,共5页
在有机小分子太阳能电池CuPc/C60和TiOPc/C60的阳极ITO表面分别制备了一层Ag纳米颗粒,并采用MoO3作为阳极缓冲层,器件的性能均得到有效改善。Ag纳米颗粒的引入所形成的表面等离子激元共振可显著提高有机光活性层的吸收效率和光生激子的... 在有机小分子太阳能电池CuPc/C60和TiOPc/C60的阳极ITO表面分别制备了一层Ag纳米颗粒,并采用MoO3作为阳极缓冲层,器件的性能均得到有效改善。Ag纳米颗粒的引入所形成的表面等离子激元共振可显著提高有机光活性层的吸收效率和光生激子的分解效率;而MoO3有效抑制了光生激子在有机/金属界面处发生的猝灭,提高了器件的短路电流,并保持其它性能不变,最终提高器件的光电转化效率。 展开更多
关键词 有机太阳能电池 AG纳米颗粒 表面等离子激元 MOO3
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透明导电铟铋氧化物薄膜的制备及其性能 被引量:11
16
作者 田苗苗 范翊 刘星元 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期605-608,共4页
以氧化铟为主体材料,以铋为掺杂材料,采用真空热蒸发方法研制出2.5%铋掺杂的透明导电氧化物薄膜(IBO)。实验表明:IBO薄膜具有良好的表面形貌,载流子浓度为3.955×10^19cm^-3,载流子迁移率达到50.21cm^2·V^-1·s^-1,电... 以氧化铟为主体材料,以铋为掺杂材料,采用真空热蒸发方法研制出2.5%铋掺杂的透明导电氧化物薄膜(IBO)。实验表明:IBO薄膜具有良好的表面形貌,载流子浓度为3.955×10^19cm^-3,载流子迁移率达到50.21cm^2·V^-1·s^-1,电导率为3.143×10^-3Ω·cm,在可见光范围内的平均透过率超过82%,功函数为4.76eV。采用其作为阳极制作的OLED得到最大亮度30230cd/m^2,最大电流效率为5.1cd/A。结果表明IBO是一种良好的光电器件阳极材料。 展开更多
关键词 透明导电氧化物 掺杂 IN2O3 BI2O3 有机电致发光器件
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氮气氛中高温退火对NaYF_4∶Yb^(3+),Er^(3+)纳米粒子上转换发光的影响 被引量:5
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作者 赵军伟 单含 +2 位作者 贾铁昆 范翊 孔祥贵 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期1227-1232,共6页
以柠檬酸三钠为螯合剂,采用共沉淀和水热相结合的方法成功制备出尺寸为40 nm的NaYF4∶Yb3+,Er3+纳米粒子。将得到的部分样品在300℃氮气保护下退火2 h。退火前后的样品晶体结构都属于立方相,尺寸保持在40 nm左右。在980 nm光激发下,退... 以柠檬酸三钠为螯合剂,采用共沉淀和水热相结合的方法成功制备出尺寸为40 nm的NaYF4∶Yb3+,Er3+纳米粒子。将得到的部分样品在300℃氮气保护下退火2 h。退火前后的样品晶体结构都属于立方相,尺寸保持在40 nm左右。在980 nm光激发下,退火后样品的上转换发光整体强度和绿光相对发射强度明显增强。分析认为高温退火改善了纳米粒子的结晶质量并降低了纳米粒子表面有机配体的浓度,改善了样品上转换发光性能。 展开更多
关键词 纳米粒子 上转换 稀土 退火
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有机电致发光中的电致激基复合物(英文) 被引量:5
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作者 田苗苗 范翊 +1 位作者 高颉 陈红 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期779-783,共5页
获得了一种基于电致激基复合物的高效率白光有机电致发光器件,采用p-i-n结构,有效地降低了器件的工作电压。器件的最大亮度为9 050 cd/m2,最大功率效率为2.63 lm/W。随着电压的增加,器件的C IE色坐标一直处于白光区域。
关键词 有机电致发光 白光 复合物
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阳极氧化法制备Y型TiO_2纳米管 被引量:4
19
作者 杨旭 曲轶 +1 位作者 范翊 刘星元 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期269-274,共6页
在含有质量分数为0.5%的NH4F和体积分数为5%的H2O的乙二醇混合溶液中,采用三步阳极氧化法制备了表面形貌高度有序的Y型TiO2纳米管阵列。讨论了钛片预处理过程对优化TiO2纳米管阵列表面形貌的影响以及采用升温法制备Y型TiO2纳米管的内在... 在含有质量分数为0.5%的NH4F和体积分数为5%的H2O的乙二醇混合溶液中,采用三步阳极氧化法制备了表面形貌高度有序的Y型TiO2纳米管阵列。讨论了钛片预处理过程对优化TiO2纳米管阵列表面形貌的影响以及采用升温法制备Y型TiO2纳米管的内在机理,并在较宽的温度范围内(20~60℃)对钛片进行阳极氧化。实验结果表明当阳极氧化第三步的电解液温度设置在40℃以上时,Y型TiO2纳米管阵列的顶端将出现环状纳米线、管壁破裂以及管长减小等现象,不利于保证Y型TiO2纳米管阵列的整体质量。因此,30~40℃是选取阳极氧化第三步温度的理想范围。 展开更多
关键词 阳极氧化 Y型TiO2纳米管 电解液温度
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CaF_2晶体及加工技术研究 被引量:12
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作者 段安锋 范翊 +1 位作者 刘景和 沈永宏 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2007年第2期97-99,共3页
随着深紫外准分子激光光刻技术的发展,所用CaF2光学晶体镜头材料的加工对传统的冷加工技术提出了挑战。本文结合CaF2晶体的基本性质,对其加工技术进行了极大的改进。通过控制合适的工艺参数,采用特殊的加工方法可以加工出高质量的CaF2... 随着深紫外准分子激光光刻技术的发展,所用CaF2光学晶体镜头材料的加工对传统的冷加工技术提出了挑战。本文结合CaF2晶体的基本性质,对其加工技术进行了极大的改进。通过控制合适的工艺参数,采用特殊的加工方法可以加工出高质量的CaF2光学晶体。 展开更多
关键词 CaF2晶体 切割 抛光 晶体加工
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