期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
射频磁控溅射工艺参数对掺钨氧化铟锡透明导电薄膜性能的影响
被引量:
1
1
作者
许阳晨
张群
《复旦学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第2期169-177,共9页
ITO薄膜是目前应用最为广泛的透明导电薄膜,通过在ITO中掺杂其他金属可以进一步改善ITO薄膜的光学和电学性能。本文采用射频(RF)磁控溅射法制备了掺钨氧化铟锡(ITO∶W)透明导电薄膜,研究了薄膜厚度、表面形貌、晶体结构以及光学和电学...
ITO薄膜是目前应用最为广泛的透明导电薄膜,通过在ITO中掺杂其他金属可以进一步改善ITO薄膜的光学和电学性能。本文采用射频(RF)磁控溅射法制备了掺钨氧化铟锡(ITO∶W)透明导电薄膜,研究了薄膜厚度、表面形貌、晶体结构以及光学和电学性能与各溅射参数之间的关系。当溅射功率大于40 W时,制备的ITO∶W薄膜为方铁锰矿结构的多晶薄膜,此时薄膜表面光滑平整而且具有良好的结晶性。在基板温度320℃、溅射功率80 W、溅射时间15 min、工作气压0.6 Pa条件下得到了光学和电学性能优良的ITO∶W薄膜,其方块电阻为10.5Ω/、电阻率为4.41×10^(-4)Ω·cm,对应的载流子浓度为2.23×10^(20)cm^(-3)、迁移率为27.3 cm^(2)·V^(-1)·s^(-1)、可见光(400~700 nm)范围内平均透射率为90.97%。此外,本研究还发现通过调节基板温度影响氧元素的状态可以改变ITO∶W薄膜的电学性能。
展开更多
关键词
ITO薄膜
掺钨
透明导电氧化物
射频磁控溅射
下载PDF
职称材料
西方“大嘴政客”现象透视
2
作者
许阳晨
《中外文摘》
2017年第7期6-7,共2页
西方有这样一群政客,他们在公众场合的发言肆无忌惮,口无遮拦并外加人身攻击。抛开所代表政党的政治立场,他们被媒体贴上“大嘴巴”“毒舌”之类的标签,
关键词
现象透视
政客
西方
公众场合
人身攻击
政治立场
原文传递
题名
射频磁控溅射工艺参数对掺钨氧化铟锡透明导电薄膜性能的影响
被引量:
1
1
作者
许阳晨
张群
机构
复旦大学材料科学系
出处
《复旦学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第2期169-177,共9页
文摘
ITO薄膜是目前应用最为广泛的透明导电薄膜,通过在ITO中掺杂其他金属可以进一步改善ITO薄膜的光学和电学性能。本文采用射频(RF)磁控溅射法制备了掺钨氧化铟锡(ITO∶W)透明导电薄膜,研究了薄膜厚度、表面形貌、晶体结构以及光学和电学性能与各溅射参数之间的关系。当溅射功率大于40 W时,制备的ITO∶W薄膜为方铁锰矿结构的多晶薄膜,此时薄膜表面光滑平整而且具有良好的结晶性。在基板温度320℃、溅射功率80 W、溅射时间15 min、工作气压0.6 Pa条件下得到了光学和电学性能优良的ITO∶W薄膜,其方块电阻为10.5Ω/、电阻率为4.41×10^(-4)Ω·cm,对应的载流子浓度为2.23×10^(20)cm^(-3)、迁移率为27.3 cm^(2)·V^(-1)·s^(-1)、可见光(400~700 nm)范围内平均透射率为90.97%。此外,本研究还发现通过调节基板温度影响氧元素的状态可以改变ITO∶W薄膜的电学性能。
关键词
ITO薄膜
掺钨
透明导电氧化物
射频磁控溅射
Keywords
indium-tin oxide thin film
tungsten doping
transparent conductive oxide
radio frequency magnetron sputtering
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
TB43 [一般工业技术]
下载PDF
职称材料
题名
西方“大嘴政客”现象透视
2
作者
许阳晨
出处
《中外文摘》
2017年第7期6-7,共2页
文摘
西方有这样一群政客,他们在公众场合的发言肆无忌惮,口无遮拦并外加人身攻击。抛开所代表政党的政治立场,他们被媒体贴上“大嘴巴”“毒舌”之类的标签,
关键词
现象透视
政客
西方
公众场合
人身攻击
政治立场
分类号
G212 [文化科学—新闻学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
射频磁控溅射工艺参数对掺钨氧化铟锡透明导电薄膜性能的影响
许阳晨
张群
《复旦学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2024
1
下载PDF
职称材料
2
西方“大嘴政客”现象透视
许阳晨
《中外文摘》
2017
0
原文传递
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部