电子行业用高纯金溅射靶材研究综述

围绕半导体集成电路产业的需求,综述高纯金提纯中杂质元素的控制,制备工艺中的金靶材结构设计、微结构调控技术及靶材与背板焊接绑定等技术的研究现状。提出通过行业协调修订相关产品标准,结合溅射设备完善靶材的结构设计,开展靶材微结构调控进行金薄膜与靶材结构的关联性研究,拓展高纯金靶材的绑定技术等研究方向。

铸态Ni-Pt二元合金的显微组织及力学性能

通过光学显微金相分析、XRD分析以及显微硬度测试等实验手段，研究Pt添加量为5%-60%的铸态Ni-Pt二元合金的显微组织与力学性能。实验结果表明，Pt质量分数在5%-60%的Ni-Pt二元合金铸态组织为NiPt单相固溶体，且Ni-Pt固溶体为置换型固溶体，其固溶强化主要由Pt原子固溶到Ni基体中产生晶格畸变所导致，各晶面间距d随铂质量分数呈线性增大的趋势，显微硬度随Pt质量分数的增加而增大，且满足：Hv=2.10×Pt%＋85.04的线性数学表达式；铸态组织的柱状晶区的柱状晶随铂质量分数的增加向等轴晶和树枝晶发展，晶粒尺寸得到细化。当Pt质量分数达到6%时，铸态组织表现为发达的树枝晶，存在铸造裂纹。

电接触现象数值模拟的研究现状及发展趋势

综合介绍了国内外电接触现象数值模拟的研究与发展情况,分析了电接触数值模拟研究已经取得的成果及存在的问题,提出了电接触现象数值模拟进一步研究的发展方向。

镍铂合金溅射靶材在半导体制造中的应用及发展趋势

镍铂合金靶材广泛应用于半导体工业。通过磁控溅射,镍铂合金靶材在硅器件表面沉积并反应生成镍铂硅化物薄膜,实现半导体接触及互连。对镍铂硅化物在肖特基二极管制造和半导体集成电路中的应用进行了分析,综述了镍铂合金结构与性质研究成果及制备方法,提出了镍铂合金靶材高纯化、提高磁透率和控制晶粒度的发展趋势。

磁控溅射用CoCrPt系靶材制备技术研究进展

目前在高密度磁记录薄膜中大量使用到CoCrPt系溅射靶材。重点介绍了CoCrPt系磁性靶材国内外发展现状,靶材制备中的主要工艺以及质量控制内容和方法,最后分析了存在的技术难点和需要解决的问题。

江阴大桥钢桥面浇注式沥青混凝土铺装车辙破坏分析

浇注式沥青混凝土具有优良的防水、抗老化性能,抗疲劳性能以及对钢桥面板优良的随从性,是一种理想的钢桥面铺装材料。但浇注式沥青混凝土应用于我国的江阴大桥却出现了较为严重的车辙问题。为分析浇注式沥青铺装未达到设计年限便产生车辙破坏的可能原因,本文从铺装使用的交通条件、气候条件以及混合料设计等方面进行了探讨,以便为我国的相关研究提供有益的借鉴。

Ag/TiO_2纳米复合材料的结构及抗菌性能研究

采用化学氧化法在金属Ti表面制备出了多孔纳米TiO2,通过离子束溅射在TiO2表面沉积纳米Ag,最终在Ti表面制备出Ag/TiO2纳米复合材料。利用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM),电子探针(EPMA)等分析手段分析了500℃热处理条件下,不同Ag含量对TiO2晶型转变的影响及结构变化。同时,采用细菌生长的抑菌圈法进行测试,研究了Ag/TiO2纳米复合材料对不同菌种的抗菌性能的影响。结果表明:通过化学氧化法和离子束溅射相结合的方法可以得到具有优异抗菌性能的Ag/TiO2纳米复合材料。

玻纤工业中铂基漏板的设计和优化方法的研究进展

介绍了玻纤工业中玻璃纤维制造用铂基漏板的基本工作原理以及主要构成部件。多年来国内外在漏板设计和优化方面主要采用传统的经验方法,近年来出现了采用有限元方法进行漏板设计和优化的相关研究。详细介绍了传统的经验方法和最新的有限元方法进行漏板设计和优化的基本过程、步骤,并给出了有限元方法设计和优化具体漏板研究实例。通过对传统方法和有限元方法的比较和分析,表明有限元方法将是漏板设计和优化方法发展的方向和趋势。

Ru非磁性中间层的制备及其结构研究

以不同晶面的Si片作为基底,室温下,采用射频磁控溅射的方法制备得到Ru非磁性薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)分析薄膜的结构和形貌。研究不同基底材料对Ru中间层结构和形貌的影响。结果表明:以单晶Si(100)、Si(110)、Si(111)片作为基底制备的Ru薄膜均呈(002)晶面的择优取向生长;Ru-Si(100)、Ru-Si(110)和Ru-Si(111)薄膜表面均由细小的圆形晶粒组成。Si(111)面上生长的Ru薄膜表面颗粒尺寸最小,表面粗糙度最大,有利于磁记录层磁学性能的提高。

NiPt60%合金靶材磁控溅射前后形貌及结构观察

镍合金和铂合金靶材是电子半导体行业重要的镀膜材料。悁究镍合金和铂合金靶材对于改善薄膜质量和提高器件性能有重要意义。采用2种不同工艺制备了NiPt60%合金溅射靶材。使用金相显微镜（OM），扫描电子显微镜（SEM）和X射线衍射仪（XRD）观察并分析了磁控溅射前后靶材表面的形貌及结构。结果表明，采用热轧-热处理制备的靶材晶粒粗大但均匀，平均晶粒尺寸约为100μm；采用温轧-热处理制备的靶材细小但不均匀，平均晶粒尺寸约为50μm。溅射后的靶材形貌与晶粒尺寸和分布息息相关。

Ru籽晶层对CoCrPt-SiO_2垂直记录层形貌及结构的影响

采用磁控溅射方法,制备了以不同厚度Ru薄膜为籽晶层的CoCrPt-SiO2垂直磁记录薄膜。利用原子力显微镜(AFM)、透射电镜(TEM)分析Ru薄膜的结构和形貌,并研究了其结构对CoCrPt-SiO2薄膜表面形貌、粗糙度及结构的影响。结果表明,CoCrPt-SiO2记录层的晶粒尺寸和粗糙度均随着Ru籽晶层厚度的增加而增加,薄而粗糙的籽晶层适合于高密度磁记录介质。对于CoCrPt-SiO2记录层晶粒的优化,厚度为70nm的Ru籽晶层有利于记录层薄膜晶粒的完全隔离,从而提高了磁记录性能。

高温抗氧化铱涂层材料的研究进展

铱涂层具有良好的抗氧化性能、高的电导率、很强的催化活性以及很好的抗腐蚀性等。这使它在电学、抗氧化涂层、催化领域都有广泛的应用。文章阐述了高温抗氧化铱涂层材料的研究发展现状及其应用领域,介绍了其主要制备方法和存在的问题,并且预测了铱涂层将来的发展趋势。

扩散阻挡层用WTi合金的制备及其表征

WTi合金具有低的电阻系数、良好的热稳定性能和抗氧化性能,已被成功地应用于半导体器件的扩散阻挡层。迄今为止,中国大量半导体行业用靶材仍从国外进口。因此,通过研究靶材制备工艺及性能的关系,制备出高密度、高纯度、富钛相β1(Ti,W)少的WTi合金靶材,不仅能够把握相关领域发展方向,并且具有十分可观的市场前景。本文用行星球磨的方式对Ti、W粉末进行预处理及混合,得到不同粒度组成的混合粉末,用真空热压法对粉末进行成型,制备得到的WTi10合金。利用X射线衍射仪(XRD)、金相和扫描电子显微镜(SEM)分析混合粉末的粒度组成,并对合金的结构和形貌进行分析,采用排水法及ICP测试仪,分析合金的密度及杂质含量。结果表明,在温度1 200℃,压力30 MPa的真空热压条件下,制备得到的4个样品均已形成体心立方β相的WTi固溶体。且混粉球磨时间对WTi固溶体的峰位及峰强没有影响。但粉末混合球磨时间对热压后合金的微观组织形貌影响较大,随着混粉时间的延长,富钛相β1呈先减少后增加的趋势,混粉3 h的热压得到的样品黑色富Ti固溶体相区域最少,性能最优,合金的密度均达到理论密度的99.48%,纯度>99.97%。采用该方法制备得到的WTi10合金可用于磁控溅射制备WTi扩散阻挡层。以上研究为真空热压法制备半导体行业用钨钛靶材的研究提供一定的基础研究数据。

浇注式沥青混凝土在钢桥面铺装中的应用

浇注式沥青混凝土具有优良的防水、抗老化、抗疲劳性能以及对钢桥面板优良的追从性 ,是一种理想的钢桥面铺装材料。浇注式沥青在国外应用于桥面铺装较为成功 ,但在国内 ,其使用效果并不是很理想。该文以我国的江阴长江大桥为例 ,借助于有限元方法 ,从铺装使用的交通条件、气候条件以及混合料的设计、生产以及摊铺等方面出发 ,对产生这种状况的可能原因进行剖析 。

碳载体的预处理对Pt/C催化剂结构和性能的影响

采用一种新的调变多元醇制备方法,通过调节碳载体热处理条件,制备得到不同的Pt/C燃料电池催化剂。采用p H计及物理吸附仪表征碳黑表面的含氧官能团和比表面积,利用电感耦合等离子光谱、X射线衍射、透射电镜和循环伏安法分别表征催化剂的成分、物相组成、微观组织形貌和电化学性能,并与进口的Johnson Matthey（JM）Pt/C催化剂的性能进行对比。结果表明：采用调变多元醇法,以400℃热处理碳黑作载体所制备的Pt/C催化剂的电化学比表面积达到83 m^2·g^-1,质量电流密度为49.03 A·g^-1。而进口催化剂JM 20%Pt/C的电化学比表面积为77 m^2·g^-1,质量电流密度仅11.13 A·g^-1,自制催化剂即使Pt载量降低3wt%～4wt%,其电催化活性仍优于进口催化剂。

放电等离子体烧结FePt合金的微观结构和磁学性能（英文）

采用熔炼、机械破碎和放电等离子体烧结法制备了Fe50Pt50合金,研究了合金的微观结构和磁学性能。结果表明在烧结过程中合金中无序的面心立方相向有序的L10有序相转变,Fe50Pt50合金的有序度和矫顽力随着放电等离子体烧结温度的升高而降低;在800℃烧结时,可获得的最大磁能积为50.81 kJ/m3。

表面严重塑性变形过程中Ag-Cu共晶合金的结构演变

采用表面机械研磨处理技术对Ag-Cu共晶合金进行了表面严重塑性变形处理。采用硬度、透射电镜（TEM）等手段对Ag-Cu共晶合合金结构演变进行了研究。研究表明，采用表面严重塑性变形方法获得了具有纳米表层的Ag-Cu共晶梯度结构，合金变形层厚度为~100μm，最表层纳米晶尺寸~10 nm。同时对其晶粒细化机制进行了讨论。

钌粉在不同温度下双向真空热压后的显微结构和晶体学演变(英文)

在温度为1050℃至1450℃、时间为2 h的条件下对钌粉进行了双向真空热压烧结。采用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)对烧结样品进行了分析。在1250℃烧结时,真空热压样品的相对密度达到理论密度的99.7%;当温度进一步升高,密度出现下降。在不同的烧结温度可以看到不同的晶粒和孔洞形貌。XRD数据表明在烧结过程中获得了(002)择优取向。随着烧结温度的增加残余应力有所减小。

公司治理结构的多变性

公司治理结构是由某一特定具体公司治理系统的要素--物质资本所有者与人力资本所有者竞争协同谈判的结果,它受市场环境影响,随着企业发展阶段不同而动态演进。模式本身不是一成不变的,它必然呈现多样性,因此立法及实践中应为公司治理结构的多元化提供必要的空间。

渗铝时间对PtAl涂层高温抗氧化行为的影响

以镍基高温合金GH586为基体材料,采用电镀Pt和固体粉末包埋渗铝的方法在其表面制备PtAl涂层。采用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)对不同渗铝时间下PtAl涂层的高温氧化过程中各阶段的物相结构及微观组织变化进行表征及分析。研究表明,在高温氧化过程中,随着渗铝时间的增加,涂层中β-NiAl相转变为γ'-Ni_3Al相的几率越小,迅速生成Al_2O_3膜的时间越短,形成起扩散障作用的Cr、W等元素富集区的厚度越大,从而大大提高了镍基合金的抗氧化性。渗铝3 h的PtAl涂层具有最优的抗氧化性能,其氧化速率常数k_(3h)=1.17×10^(-6)。