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化爆材料瞬态切削温度的NiCr/NiSi薄膜热电偶温度传感器的研制 被引量:14
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作者 曾其勇 孙宝元 +4 位作者 徐静 贾颖 崔云先 邓新禄 徐军 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期206-211,共6页
针对化爆材料的切削特点,研制出一种集切削和测温功能于一体的NiCr/NiSi薄膜热电偶快速响应温度传感器。用多弧离子镀将NiCr/NiSi热电偶薄膜直接镀于高速钢刀头内。薄膜热电偶电极与高速钢之间采用最先进的多层镀膜法绝缘,即用微波ECR... 针对化爆材料的切削特点,研制出一种集切削和测温功能于一体的NiCr/NiSi薄膜热电偶快速响应温度传感器。用多弧离子镀将NiCr/NiSi热电偶薄膜直接镀于高速钢刀头内。薄膜热电偶电极与高速钢之间采用最先进的多层镀膜法绝缘,即用微波ECR等离子体源增强射频反应非平衡磁控溅射技术首次成功在W18Cr4V高速钢基底上沉积绝缘性能良好的SiO2膜。对研制的薄膜热电偶温度传感器进行了静态和动态标定,结果表明传感器在0- 600℃测温范围内具有很好的线性和热稳定性,而且响应快,时间常数小于0.8 ms。热电偶薄膜与绝缘膜、绝缘膜与基体之间有足够的附着强度。该温度传感器已安装在现场使用,为国防工业部门的高效、安全生产提供了有力的保障。 展开更多
关键词 薄膜热电偶 切削温度 磁控溅射 离子镀 化爆材料
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功能表面降膜蒸发传热特性的实验研究 被引量:21
2
作者 马学虎 高大志 +3 位作者 安家明 朱晓波 陈嘉宾 邓新禄 《热科学与技术》 CAS CSCD 2003年第2期119-123,共5页
研究了处理表面镀铬铝管、PTFE铜管和纯铝氧化管水平管降膜蒸发传热 ,研究了喷淋密度、热流密度、管内蒸汽速度和管表面处理对降膜蒸发传热特性的影响。实验结果表明 :在表面蒸发区 ,水平管降膜蒸发传热系数随热流密度的增加而提高 ,随... 研究了处理表面镀铬铝管、PTFE铜管和纯铝氧化管水平管降膜蒸发传热 ,研究了喷淋密度、热流密度、管内蒸汽速度和管表面处理对降膜蒸发传热特性的影响。实验结果表明 :在表面蒸发区 ,水平管降膜蒸发传热系数随热流密度的增加而提高 ,随喷淋密度增大先降低后升高 ,冷凝侧传热系数基本保持不变。总传热系数对操作条件变化很不明显 ,表面阳极氧化膜使传热系数略有下降 ,但由于其优良的抗垢耐蚀性能 ,非常有必要再进行深入地研究。 展开更多
关键词 降膜蒸发传热 功能表面 抗污垢耐腐蚀 水平管降膜蒸发器
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Langmuir探针诊断微波ECR非平衡磁控溅射等离子体 被引量:8
3
作者 张治国 陈小锰 +3 位作者 刘天伟 徐军 邓新禄 董闯 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期110-114,共5页
利用朗谬尔探针诊断了ECR非平衡磁控溅射等离子体,给出了微观等离子体参量随宏观工艺参量变化关系。实验测得基片架附近等离子体密度达到1010~1011数量级,电子温度在(5~10)eV之间。随溅射靶功率变化,等离子体密度在130W时取得最大值;... 利用朗谬尔探针诊断了ECR非平衡磁控溅射等离子体,给出了微观等离子体参量随宏观工艺参量变化关系。实验测得基片架附近等离子体密度达到1010~1011数量级,电子温度在(5~10)eV之间。随溅射靶功率变化,等离子体密度在130W时取得最大值;同样随微波源功率变化,等离子体密度在功率为850W时也达到最大值。电子温度、等离子体空间电位变化与等离子体密度呈相同趋势。 展开更多
关键词 非平衡磁控溅射 LANGMUIR 探针诊断 ECR 等离子体密度 等离子体参量 电子温度 功率变化 变化关系 电位变化 最大值 工艺参 数量级 溅射靶 微波源 片架
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表面处理水平管外海水降膜蒸发传热的初步实验研究 被引量:6
4
作者 马学虎 安家明 +2 位作者 朱晓波 陈嘉宾 邓新禄 《水处理技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期22-25,共4页
对经处理的表面进行了传热性能测定和表面抗垢特性的考察。考察了淡水和海水在离子镀铬、氮化钛和化学处理水平铝管外表面的降膜传热热性。实验结果表明,经过表面改性处理后的表面可以实现高传热率、耐腐蚀和抗污垢的多重综合功效,对于... 对经处理的表面进行了传热性能测定和表面抗垢特性的考察。考察了淡水和海水在离子镀铬、氮化钛和化学处理水平铝管外表面的降膜传热热性。实验结果表明,经过表面改性处理后的表面可以实现高传热率、耐腐蚀和抗污垢的多重综合功效,对于开发新型海水淡化蒸发技术和设备具有重要的意义。但是表面处理的工艺条件需作进一步的研究和分析,以期实现在较长时期内的稳定工作的需要。 展开更多
关键词 表面处理铝管 海水淡化 降膜蒸发 传热率 水资源
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通过制备Ti/TiC和Si/Si_xN_y过渡层在铜基体上沉积类金刚石膜的研究 被引量:5
5
作者 王静 刘贵昌 +2 位作者 汲大鹏 徐军 邓新禄 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期397-403,共7页
将磁控溅射物理气相沉积(MS-PVD)和电子回旋共振-微波等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)技术相结合,在铜基体上通过制备两种不同的过渡层,成功地沉积了类金刚石膜。拉曼光谱结果分析表明,所制备的碳膜都具有典型的类金刚石结构特征... 将磁控溅射物理气相沉积(MS-PVD)和电子回旋共振-微波等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)技术相结合,在铜基体上通过制备两种不同的过渡层,成功地沉积了类金刚石膜。拉曼光谱结果分析表明,所制备的碳膜都具有典型的类金刚石结构特征。通过原子力显微镜对薄膜的微观形貌进行分析,采用纳米压痕测量薄膜的硬度和模量。并对Ti/TiC过渡层和Si/SixNy过渡层上沉积的类金刚石薄膜进行了研究对比。 展开更多
关键词 类金刚石膜 铜基体 过渡层 拉曼光谱(Raman) 原子力显微镜(AFM) 纳米压痕
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用冷等离子体技术制备TiO_2/γ-Al_2O_3催化剂的方法 被引量:8
6
作者 宫为民 张秀玲 +5 位作者 朱爱民 代斌 张报安 邓新禄 张家良 陆文祺 《催化学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1999年第5期565-568,共4页
A new method for preparing supported metal oxide catalyst has been studied by cool plasma technique and TiO 2/ γ Al 2O 3 catalyst has been prepared with ECR microwave plasma device. The activity of the catalyst was a... A new method for preparing supported metal oxide catalyst has been studied by cool plasma technique and TiO 2/ γ Al 2O 3 catalyst has been prepared with ECR microwave plasma device. The activity of the catalyst was appraised by dehydrogenative coupling of methane on pulsed discharge plasma catalysis device. The experimental results showed that the performance of the catalyst obviously is better than that of the same catalyst prepared by conventional method. In addition, the effect of plasma parameters on the catalytic performance was also studied, and the results indicated that it is a method for catalyst preparation with brilliant prospects. 展开更多
关键词 催化剂 制备 二氧化钛 等离子体 甲烷 脱氢偶联
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微波-ECR等离子体辅助沉积Zr-N薄膜结构和性能研究 被引量:3
7
作者 刘天伟 邓新禄 +2 位作者 王小英 王英敏 董闯 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期334-338,342,共6页
在不同氮流量下 ,利用微波 ECR等离子体溅射沉积技术在 4 5 # 钢基体上制备了ZrN薄膜。XRD、TEM分析结果表明 :随着充入N2 流量的改变 ,薄膜结构由单一的ZrN结构向ZrN和ZrNx 复合结构转变 ,然后出现非晶态结构。当N2 流量在 (2~ 8)scc... 在不同氮流量下 ,利用微波 ECR等离子体溅射沉积技术在 4 5 # 钢基体上制备了ZrN薄膜。XRD、TEM分析结果表明 :随着充入N2 流量的改变 ,薄膜结构由单一的ZrN结构向ZrN和ZrNx 复合结构转变 ,然后出现非晶态结构。当N2 流量在 (2~ 8)sccm之间 ,薄膜为ZrN结构 ;在 (10~ 12 )sccm时 ,为ZrN和正交的ZrNx(a =0 35 85nm ,b =0 4 4 4 3nm ,c =0 5 798nm)混合型结构 ;14sccm时出现非晶化趋势。俄歇电子谱仪 (AES)和探针分析表明 :薄膜中氮含量为 7 73%~ 6 6 96 %。同时对薄膜的硬度进行了测试 ,薄膜硬度在 19 82GPa~ 2 6 32GPa之间 ,随氮值的变化 ,先增加后降低。对硬度最高的 4 # 样品进行了摩擦性能测试 ,磨损率约 4 5× 10 -8mg/min。薄膜这些性能的变化是由于不同氮流量下薄膜结构发生变化造成的。 展开更多
关键词 薄膜结构 等离子体 俄歇电子谱 溅射沉积 正交 非晶态结构 XRD 薄膜硬度 钢基体 45^#钢
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光谱诊断冷等离子体作用下甲烷转化机理的初步研究(英文) 被引量:11
8
作者 张秀玲 刘中凡 +4 位作者 李学慧 代斌 宫为民 张家良 邓新禄 《光散射学报》 2004年第2期166-171,共6页
冷等离子体是甲烷无氧活化制C2烃较为有效的技术手段之一,由于等离子体反应体系的复杂性,甲烷无氧活化制C2烃反应机理及过程尚不十分清楚。本文采用发射光谱原位诊断技术对冷等离子体作用下甲烷无氧活化制C2烃反应中若干激发态物种进行... 冷等离子体是甲烷无氧活化制C2烃较为有效的技术手段之一,由于等离子体反应体系的复杂性,甲烷无氧活化制C2烃反应机理及过程尚不十分清楚。本文采用发射光谱原位诊断技术对冷等离子体作用下甲烷无氧活化制C2烃反应中若干激发态物种进行诊断研究,在250nm~670nm波长范围内检测到下列激发态物种:CH、C和C2。依据激发态物种检测结果、气相色谱反应产物分析结果及等离子体特性,推断了等离子体作用下甲烷无氧活化制C2烃的自由基反应历程。 展开更多
关键词 发射光谱 甲烷 激发态物种 等离子体
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偏压对ECR-微波等离子增强沉积ZrN薄膜的结构及性能的影响
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作者 刘天伟 董闯 +1 位作者 邓新禄 陈曦 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期424-429,共6页
利用ECR-微波等离子溅射沉积技术加不同偏压在45#钢基体上制备了ZrN薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)对薄膜的微观组织结构进行了分析。结果表明,无偏压时薄膜为非晶膜,随着偏压的升高,薄膜呈ZrN晶体结构。利用扫描电镜... 利用ECR-微波等离子溅射沉积技术加不同偏压在45#钢基体上制备了ZrN薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)对薄膜的微观组织结构进行了分析。结果表明,无偏压时薄膜为非晶膜,随着偏压的升高,薄膜呈ZrN晶体结构。利用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)测试了薄膜表面形貌。薄膜表面平整,但仍存在局部缺陷;粗糙度(RMS)在0.311—0.811nm之间变化,轮廓算术平均值(Ra)在0.239—0.629nm之间变化。同时利用电化学极化实验在0.5mol/LNaCl溶液中测试了基体及薄膜的耐蚀性能,基体自腐蚀电位Ecorr为–512.3mV,样品Ecorr在–400.3—–482.6mV之间变化,45#钢基体自腐蚀电流Icorr为9.036μA,样品Icorr在0.142—0.694μA之间变化。并讨论了偏压对薄膜的微观组织和耐蚀性能产生影响的原因。 展开更多
关键词 等离子体增强沉积 非平衡磁控溅射 ZrN薄膜 偏压
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MW-ECR PE-UMS等离子体特性及对Zr-N薄膜结构性能的影响 被引量:3
10
作者 张治国 刘天伟 +2 位作者 徐军 邓新禄 董闯 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期3257-3262,共6页
采用静电探针技术对微波电子回旋共振(MW ECR)等离子体进行了诊断,利用等离子体增强非平衡磁控溅射(PE UMS)法在常温下制备了Zr N薄膜,通过EPMA,XRD,显微硬度对膜的结构和性能进行评价.实验结果表明,随氮气流量增加,总的等离子体密度从8... 采用静电探针技术对微波电子回旋共振(MW ECR)等离子体进行了诊断,利用等离子体增强非平衡磁控溅射(PE UMS)法在常温下制备了Zr N薄膜,通过EPMA,XRD,显微硬度对膜的结构和性能进行评价.实验结果表明,随氮气流量增加,总的等离子体密度从8.07×109cm-3增加到8.31×109cm-3然后逐渐减小为7.52×109cm-3;而N2+密度则从3.12×108cm-3线性递增到3.35×109cm-3;电子温度变化不大.对薄膜而言,随N2+密度增大,样品中氮含量增加,而晶粒逐渐变小,当样品中N Zr原子比达到1.4时,薄膜中出现亚稳态的Zr3N4相以及非晶相,在更高氮流量下,整个薄膜转变为非晶态.与此相应,薄膜硬度由最初的22.5GPa增大到26.78GPa然后逐渐减小到19.82GPa. 展开更多
关键词 等离子体特性 结构性能 非平衡磁控溅射 电子回旋共振 等离子体增强 等离子体密度 结构和性能 探针技术 EPMA 显微硬度 温度变化 薄膜硬度 XRD 气流量 氮含量 原子比 非晶相 亚稳态 氮流量 非晶态 减小 增大 样品 静电
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铜上采用过渡层沉积类金刚石薄膜的研究 被引量:4
11
作者 王静 刘贵昌 +2 位作者 汲大鹏 徐军 邓新禄 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期3748-3755,共8页
将等离子增强非平衡磁控溅射物理气相沉积(PEUMS-PVD)和电子回旋共振-微波等离子体增强化学气相沉积(MW-ECRPECVD)技术相结合,通过制备不同的过渡层,在铜基上成功地制备了类金刚石膜.拉曼光谱分析表明,所制备的碳膜具有典型的类金刚石... 将等离子增强非平衡磁控溅射物理气相沉积(PEUMS-PVD)和电子回旋共振-微波等离子体增强化学气相沉积(MW-ECRPECVD)技术相结合,通过制备不同的过渡层,在铜基上成功地制备了类金刚石膜.拉曼光谱分析表明,所制备的碳膜具有典型的类金刚石结构特征.检测结果表明,随着沉积偏压的增大,D峰和G峰均向高波数漂移,ID/IG值增大,表面粗糙度减小,而平均硬度和弹性模量呈先增大后减小的趋势. 展开更多
关键词 铜基体 类金刚石膜 过渡层 拉曼光谱
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负偏压射频放电过程的流体力学模拟 被引量:3
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作者 朱武飚 王友年 +1 位作者 邓新禄 马腾才 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1996年第7期1138-1145,共8页
采用流体力学方法研究了负偏压射频放电的物理过程,计算了带电粒子密度及电场的时空分布,分析了在不同的近似条件下,离子动量平衡方程中各项的贡献。
关键词 等离子体 射频放电 流体力学模拟
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等离子体作用下甲烷氢化偶联 被引量:6
13
作者 代斌 张秀玲 +4 位作者 张琳 宫为民 何仁 陆文琪 邓新禄 《中国科学(B辑)》 CSCD 北大核心 2001年第2期174-177,共4页
在常温常压下, 研究了脉冲放电等离子体及其协同催化剂强化CH4氢化偶联反应. 结果表明: 脉冲电晕等离子体条件下, 甲烷中引入氢气可以实现偶联, 而且随着氢气引入量的增加甲烷的转化率以及C2收率增大, 积碳减少; 脉冲电压和重复频率影响... 在常温常压下, 研究了脉冲放电等离子体及其协同催化剂强化CH4氢化偶联反应. 结果表明: 脉冲电晕等离子体条件下, 甲烷中引入氢气可以实现偶联, 而且随着氢气引入量的增加甲烷的转化率以及C2收率增大, 积碳减少; 脉冲电压和重复频率影响CH4的转化; 引入Ni/(-Al2O3催化剂后可改善产物C2烃的分布, 等离子体法制备的Ni/(-Al2O3催化剂性能优于化学法制备的Ni/(-Al2O3催化剂. 开辟了一条甲烷偶联新技术路线. 展开更多
关键词 甲烷 氢气 脉冲放电等离子体 镍/氧化铝 氢化偶联 催化剂 转化率 化学法
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Study on the hydrogenation coupling of methane 被引量:1
14
作者 代斌 张秀玲 +4 位作者 张琳 宫为民 何仁 陆文琪 邓新禄 《Science China Chemistry》 SCIE EI CAS 2001年第2期191-195,共5页
At atmospheric pressure and ambient temperature, the hydrogenation coupling of methane was studied by using pulse corona plasma and its synergism with catalyst. The results showed that (i) under pulse corona plasma, t... At atmospheric pressure and ambient temperature, the hydrogenation coupling of methane was studied by using pulse corona plasma and its synergism with catalyst. The results showed that (i) under pulse corona plasma, the coupling of methane could be fulfilled by the addition of hydrogen, and with the increase of the amount of hydrogen, the conversion of methane and the yield of C2 hydrocarbon increased, and the deposit of carbon decreased; (ii) the conversion of methane was affected by pulse voltage and repeated frequency; (iii) in the system, the addition of Ni/γ-Al2O3 could improve the distribution of C2 hydrocarbon; (iv) the activity of Ni/γ-Al2O3 prepared by cold plasma was better than that by chemical methods. The experiment opened up a new technical route of the coupling of methane. 展开更多
关键词 METHANE hydrogenation coupling pulse corona plasma Ni/γ-Al2O3
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