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利用LIF法诊断微波等离子体鞘层 被引量:5
1
作者 邓新绿 吴桂林 +4 位作者 张家良 刘延伟 陆文琪 刘峰 马腾才 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第2期160-165,共6页
简要地阐明了利用激光诱导荧光法(LIF)诊断等离子体特性的原理,分别对二能级情况(共振荧光)与三能级情况(非共振荧光)采用饱和荧光法测量粒子浓度的公式进行了推导.在此基础上。
关键词 诊断 LIF法 能量分布 微波等离子体 鞘层
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双放电腔微波-ECR等离子体源增强磁控溅射沉积技术 被引量:12
2
作者 徐军 邓新绿 +2 位作者 张家良 陆文棋 马腾才 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期275-278,共4页
因其设备简单、沉积速率高等特点 ,磁控溅射沉积技术被广泛地用于各种薄膜制备中 .但用反应磁控溅射制备化合物薄膜如氧化物、氮化物膜时 ,为了得到化学配比的膜层 ,薄膜生长表面的反应激活基团、离子等的密度必须足够大 .为此对原有的... 因其设备简单、沉积速率高等特点 ,磁控溅射沉积技术被广泛地用于各种薄膜制备中 .但用反应磁控溅射制备化合物薄膜如氧化物、氮化物膜时 ,为了得到化学配比的膜层 ,薄膜生长表面的反应激活基团、离子等的密度必须足够大 .为此对原有的微波 -ECR等离子体源进行了改造 .研究了双放电腔微波 -ECR等离子体源增强磁控溅射的放电特性 ,并用该方法制备了氮化碳膜 .结果表明 :该方法是一种有效的制备化合物薄膜的技术 ;用该方法制备的氮化碳膜 。 展开更多
关键词 磁控溅射 放电特性 氮化碳膜 等离子体源 薄膜制备 沉积
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医用不锈钢表面沉积类金刚石薄膜的电化学腐蚀性能研究 被引量:11
3
作者 刘成龙 杨大智 +1 位作者 邓新绿 齐民 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期559-563,共5页
医用316L不锈钢植入物植入体内后,体内环境可导致其产生腐蚀和Ni离子的析出。利用双放电腔微波等离子体源全方位离子注入设备,采用等离子体源离子注入(plasmasourceionimplantation,PSII)和等离子体增强化学气相沉积(plasmaenhancedchem... 医用316L不锈钢植入物植入体内后,体内环境可导致其产生腐蚀和Ni离子的析出。利用双放电腔微波等离子体源全方位离子注入设备,采用等离子体源离子注入(plasmasourceionimplantation,PSII)和等离子体增强化学气相沉积(plasmaenhancedchemicalvapordeposi tion,PECVD)复合工艺在医用316L不锈钢表面沉积类金刚石薄膜,进行表面改性,以提高其在模拟体液环境中的腐蚀阻抗。扫描电子显微镜和原子力显微镜观察发现,薄膜由纳米粒子构成,膜层连续光滑。电化学腐蚀测试表明:采用PSII+PECVD复合工艺制备的类金刚石薄膜与316L不锈钢改性体系在(37±1)℃的Troyde’s模拟体液中的自腐蚀电位约为120mV,体系的击穿电位超过1.9V,与基体316L不锈钢相比,其热力学稳定性与抗腐蚀性能得到增强,改性效果优于单独的PECVD工艺。 展开更多
关键词 等离子源离子注入 等离子增强化学气相沉积 类金刚石薄膜 医用不锈钢 抗腐蚀性 模拟体液
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用发射光谱法测量氮气直流辉光放电的转动温度 被引量:7
4
作者 刘莉莹 张家良 +1 位作者 马腾才 邓新绿 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期1013-1018,共6页
本文报道了氮气气压分别为 10和 2 0Pa时 ,对直流辉光放电的发射光谱进行测量和分析的结果。选择的研究对象为N2 放电中形成的N+2 B2 Σ+u →X2 Σ+g 跃迁的Δν=ν′-ν″ =0谱带系中ν′=0→ν″=0谱带的R支。在阴极背面辉光区、阴极... 本文报道了氮气气压分别为 10和 2 0Pa时 ,对直流辉光放电的发射光谱进行测量和分析的结果。选择的研究对象为N2 放电中形成的N+2 B2 Σ+u →X2 Σ+g 跃迁的Δν=ν′-ν″ =0谱带系中ν′=0→ν″=0谱带的R支。在阴极背面辉光区、阴极鞘层区、正柱区以及阳极辉光区中分别选择一点进行了转动分辨的发射光谱的测量。利用自己编写的光谱拟合程序 ,获得了相应的实验条件下N+ 2 的转动温度 ,给出了转动温度随放电电压的变化趋势 ,其结果可以用直流放电的帕邢定律得到很好的解释。在 10和 2 0Pa气压下 ,放电的阴极鞘层区、正柱区、阳极辉光区中的转动温度都随放电电压呈现出了不同的变化趋势 ,甚至是完全相反的变化趋势。我们认为这是由于气压不同时 ,放电状态不同所致 :气压为 10Pa时的放电是正常辉光放电 ,而气压为时 2 0Pa的放电为反常辉光放电。 展开更多
关键词 发射光谱法 测量 氮气 直流辉光放电 转动温度 等离子体 温度测量
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稀土Ce^(4+)对镍铜磷化学镀层性能的影响 被引量:6
5
作者 刘贵昌 黄宗响 +4 位作者 王立达 鲁强 刘洋 李雨 邓新绿 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2012年第12期4-6,共3页
稀土可有效改善化学镀Ni-Cu-P层的硬度、耐蚀性能,目前,对此研究还不够深入。在Ni-Cu-P化学镀液中引入不同含量的Ce4+,采用金相显微镜和电子能谱分析了所得Ni-Cu-P镀层的表面形貌和成分,利用极化曲线和交流阻抗谱考察了Ce4+对Ni-Cu-P镀... 稀土可有效改善化学镀Ni-Cu-P层的硬度、耐蚀性能,目前,对此研究还不够深入。在Ni-Cu-P化学镀液中引入不同含量的Ce4+,采用金相显微镜和电子能谱分析了所得Ni-Cu-P镀层的表面形貌和成分,利用极化曲线和交流阻抗谱考察了Ce4+对Ni-Cu-P镀层在室温海水中的耐蚀性能的影响。结果表明,加入Ce4+能减少Ni-Cu-P镀层的缺陷,使晶粒细化,镀层表面平整;镀层中不含Ce,Ce4+促进了镀层的非晶态化程度,从而提高了其耐蚀性;镀层的自腐蚀电位比紫铜基材的低,自腐蚀电流密度远小于紫铜基材,添加Ce4+能提高Ni-Cu-P镀层的耐蚀性,其自腐蚀电流密度低于未加稀土所得的镀层。 展开更多
关键词 化学镀Ni—Cu-P 稀土Ce4+ 镀层 耐蚀性 形貌 成分
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类金刚石磁盘保护膜的性能、应用与制备 被引量:4
6
作者 丁万昱 高鹏 +2 位作者 邓新绿 董闯 徐军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期41-46,49,共7页
类金刚石膜在磁盘和读写磁头之上形成一层关键的保护膜。磁存储密度的飞速发展可以使存储密度上限达到 1万亿字节 /英寸2 。这要求读写磁头距离磁盘更近 ,即需要一层仅 1nm~ 2nm厚的类金刚石薄膜。四面体结构的非晶碳膜能够满足磁存储... 类金刚石膜在磁盘和读写磁头之上形成一层关键的保护膜。磁存储密度的飞速发展可以使存储密度上限达到 1万亿字节 /英寸2 。这要求读写磁头距离磁盘更近 ,即需要一层仅 1nm~ 2nm厚的类金刚石薄膜。四面体结构的非晶碳膜能够满足磁存储技术的要求 ,即形成原子尺度平滑、连续、致密 ,只有几个原子层厚的碳膜。磁过滤阴极弧方法、等离子体增强化学气相沉积方法可用来制备符合要求的超薄碳膜。 展开更多
关键词 非晶碳膜 连续 类金刚石膜 原子 类金刚石薄膜 上限 磁存储 等离子体增强化学气相沉积 超薄 磁头
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类金刚石薄膜的表面性能研究 被引量:7
7
作者 刘成龙 杨大智 +1 位作者 邓新绿 齐民 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期720-726,共7页
利用微波-ECR等离子体源全方位离子注入设备,采用PSII与PSII+PECVD工艺在医用316L不锈钢上制备碳改性薄膜.Raman光谱分析表明,薄膜为典型的类金刚石(DLC) 薄膜.静态接触角测量技术研究表明:在酸碱溶液中,DLC薄膜表面价键遭到破坏,稳定... 利用微波-ECR等离子体源全方位离子注入设备,采用PSII与PSII+PECVD工艺在医用316L不锈钢上制备碳改性薄膜.Raman光谱分析表明,薄膜为典型的类金刚石(DLC) 薄膜.静态接触角测量技术研究表明:在酸碱溶液中,DLC薄膜表面价键遭到破坏,稳定性降低.不同工艺制备的DLC薄膜表面能在40mN/m左右,极性分量大于色散分量,呈现出疏水性质.DLC薄膜表面能高低取决于表面碳碳键与粗糙度的变化. 展开更多
关键词 DLC薄膜 表面能 316L不锈钢 接触角
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用微波ECR等离子体增强磁控溅射沉积法在玻璃上镀膜 被引量:12
8
作者 孙洪福 汤华娟 +2 位作者 王承遇 陶瑛 邓新绿 《玻璃与搪瓷》 CAS 北大核心 2004年第2期34-37,共4页
利用微波ECR等离子体增强磁控溅射沉积技术在玻璃表面制备了硅膜。研究了所得硅膜的表面形貌、附着力和化学稳定性及其红外-可见光谱特性。结果表明此法制备的硅膜均匀性好,附着力及化学稳定性高,对近红外波段有较低的透过率和较高的反... 利用微波ECR等离子体增强磁控溅射沉积技术在玻璃表面制备了硅膜。研究了所得硅膜的表面形貌、附着力和化学稳定性及其红外-可见光谱特性。结果表明此法制备的硅膜均匀性好,附着力及化学稳定性高,对近红外波段有较低的透过率和较高的反射率。 展开更多
关键词 玻璃 镀膜 硅膜 磁控溅射 微波 等离子体
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微波ECR等离子体特性及其对DLC膜性能的影响 被引量:3
9
作者 陈小锰 邓新绿 +3 位作者 张治国 刘天伟 丁万昱 徐军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期146-149,共4页
为了解并优化在微波ECR等离子体增强化学气相沉积制备类金刚石膜工艺研究中的等离子体特性,利用朗缪尔探针法系统地测量了等离子体密度(Ne)、电子温度(Te)随工作气压(p)变化的关系。DLC膜的结构和性能依赖于沉积条件,提高等离子体密度... 为了解并优化在微波ECR等离子体增强化学气相沉积制备类金刚石膜工艺研究中的等离子体特性,利用朗缪尔探针法系统地测量了等离子体密度(Ne)、电子温度(Te)随工作气压(p)变化的关系。DLC膜的结构和性能依赖于沉积条件,提高等离子体密度有利于DLC膜的生长。本文示出了不同的CH4流量时,DLC膜的拉曼光谱和表面均方根粗糙度Rrms变化曲线,阐述了等离子体密度Ne、电子温度Te对DLC膜结构和性能的影响。 展开更多
关键词 等离子体特性 ECR 等离子体增强化学气相沉积 微波 膜性能 等离子体密度 结构和性能 DLC膜 均方根粗糙度 电子温度 类金刚石膜 工艺研究 工作气压 沉积条件 变化曲线 拉曼光谱 探针法 CH4 表面
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含二氮杂萘酮结构聚醚砜酮膜的微波等离子体处理研究 被引量:4
10
作者 彭静 蹇锡高 +2 位作者 李琦 邓新绿 顾彪 《高分子学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2000年第3期354-357,共4页
Low temperature plasma has been used to modify the surface properties of polymers to a large extent. The effects of ECR microwave plasma with carbon dioxide (CO\-2) on the wettability of the poly(phthalazinone ether s... Low temperature plasma has been used to modify the surface properties of polymers to a large extent. The effects of ECR microwave plasma with carbon dioxide (CO\-2) on the wettability of the poly(phthalazinone ether sulfone ketone) (PPESK) surface were discussed. Results showed that a shorter treatment time and a higher discharge power could give the best wettability of PPESK films. The toughness of the treated film surface increased with the discharge power. The wettability of PPESK films treated by CO\-2 plasma declined with the aging time after treatment, and the changing rate of different power is resemble. The increase in water contact angle for plasma treated PPESK surfaces upon ageing is mainly ascribed to the surface rearrangement of macromolecular segments, the loss of oxygen\|containing moieties introduced by the plasma treatment. ESCA analysis of CO\-2 plasma treated polymer surfaces showed that carbonyl groups could be increased by carbon oxide plasma treatment in short time. 展开更多
关键词 CO2微波等离子体 表面性能 PPESK膜 改性
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Ti/TiN纳米多层薄膜改性层在Troyde's模拟体液中的抗腐蚀性能 被引量:3
11
作者 刘成龙 林国强 +2 位作者 杨大智 赵彦辉 邓新绿 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期940-946,共7页
用电弧离子镀设备,在医用不锈钢基体上沉积Ti/TiN纳米多层薄膜,考察薄膜在Troyde's模拟体液中的抗腐蚀性能.结果表明,在中性与酸性模拟体液中316L+Ti/TiN(45/45s) 体系的击穿电位分别提高5倍和2倍,腐蚀电流密度为基体的1/8与1/3,明... 用电弧离子镀设备,在医用不锈钢基体上沉积Ti/TiN纳米多层薄膜,考察薄膜在Troyde's模拟体液中的抗腐蚀性能.结果表明,在中性与酸性模拟体液中316L+Ti/TiN(45/45s) 体系的击穿电位分别提高5倍和2倍,腐蚀电流密度为基体的1/8与1/3,明显降低发生局部腐蚀的敏感性,但滞后环的出现说明薄膜被击穿后自修复能力较差.分析说明薄膜的纳米多层结构与纯Ti层的存在可有效提高医用不锈钢在Troyde's模拟体液中的抗点蚀能力. 展开更多
关键词 Ti/TiN纳米多层薄膜 抗腐蚀性能 医用不锈钢 模拟体液
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类金刚石膜的应用及制备 被引量:24
12
作者 马国佳 邓新绿 《真空》 CAS 北大核心 2002年第5期27-31,共5页
类金刚石膜 (DL C)是由无定形碳和金刚石相混合组成的碳材料 ,由于具有与金刚石膜 (DF)相类似的性能——优异的机械特性、电学特性、光学特性、热学和化学特性以及生物相溶性 ,同时制备方法相对容易实现 ,因此引起人们极大兴趣 ,现在已... 类金刚石膜 (DL C)是由无定形碳和金刚石相混合组成的碳材料 ,由于具有与金刚石膜 (DF)相类似的性能——优异的机械特性、电学特性、光学特性、热学和化学特性以及生物相溶性 ,同时制备方法相对容易实现 ,因此引起人们极大兴趣 ,现在已经应用到很多领域。本文将简要介绍类金刚石膜的性能。 展开更多
关键词 类金刚石膜 应用 制备 属性 结构 性能 物理气相沉积 化学气相沉积
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用发射探针降落法测量等离子体空间电位 被引量:4
13
作者 孙秋普 邓新绿 +1 位作者 马腾才 宋远红 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期67-72,共6页
介绍了一种用发射探针测量等离子体空间电位的方法———"降落法",并利用这种方法测量了双共振腔ECR微波等离子体源的空间电位分布,从中得到该等离子体内部的一些电场信息。给出了不同微波功率和不同压强下Ar等离子体空间电... 介绍了一种用发射探针测量等离子体空间电位的方法———"降落法",并利用这种方法测量了双共振腔ECR微波等离子体源的空间电位分布,从中得到该等离子体内部的一些电场信息。给出了不同微波功率和不同压强下Ar等离子体空间电位的分布情况。 展开更多
关键词 等离子体诊断 发射探针降落法 等离子体空间电位 悬浮电位 空间电位分布 微扰电流
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溅射靶功率对氮化碳薄膜结构的影响 被引量:3
14
作者 高鹏 徐军 +4 位作者 朴勇 丁万煜 邓新绿 王德和 董闯 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期350-354,共5页
利用双放电腔微波ECR等离子体增强非平衡磁控溅射技术,在Si(100)上制备氮化碳薄膜,并对薄膜进行了拉曼(Raman)、原子力显微镜(AFM)、X射线光电子谱(XPS)等结构的表征。发现溅射靶功率对制膜工艺、薄膜的结构和表面形貌产生很大影响。随... 利用双放电腔微波ECR等离子体增强非平衡磁控溅射技术,在Si(100)上制备氮化碳薄膜,并对薄膜进行了拉曼(Raman)、原子力显微镜(AFM)、X射线光电子谱(XPS)等结构的表征。发现溅射靶功率对制膜工艺、薄膜的结构和表面形貌产生很大影响。随着溅射靶功率的增大,薄膜的沉积速率减小,表面粗糙度增大,薄膜结构中的sp2含量增加。 展开更多
关键词 非平衡磁控溅射 拉曼光谱 X射线光电子谱 原子力显微镜
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掺杂对类金刚石薄膜性能的影响 被引量:3
15
作者 王立达 刘贵昌 邓新绿 《材料导报》 EI CAS CSCD 2004年第F10期310-312,316,共4页
类金刚石膜具有良好的机械性能、电学性能、光学性能、摩擦学性能、热学和化学性能以及生物相容性。为了进一步挖掘并改善类金刚石膜潜在性能,人们在类金刚石膜中掺入不同元素并研究了膜性能变化。总结了掺杂对类金刚石膜性能的影响。
关键词 薄膜性能 掺杂 类金刚石膜 摩擦学性能 生物相容性 机械性能 电学性能 光学性能 化学性能 性能变化
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超薄类金刚石膜纳米摩擦性能研究 被引量:4
16
作者 陈曦 丁建宁 +5 位作者 李长生 刘东平 范真 朱守星 邓新绿 杨继昌 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期47-50,共4页
使用原子力显微镜对由微波等离子体电子回旋共振化学气相沉积技术制备的超薄类金刚石薄膜的纳米摩擦性能进行了研究。结果表明:氢化非晶碳膜(a C∶H)的摩擦力和外加载荷基本成线性关系,可以使用修正的Amonton公式进行表征;厚度在64.9nm... 使用原子力显微镜对由微波等离子体电子回旋共振化学气相沉积技术制备的超薄类金刚石薄膜的纳米摩擦性能进行了研究。结果表明:氢化非晶碳膜(a C∶H)的摩擦力和外加载荷基本成线性关系,可以使用修正的Amonton公式进行表征;厚度在64.9nm以下薄膜的微观承载性能和膜厚存在明显的正比例关系。通过分析磨损深度和循环次数之间的关系以及对磨损区域的导电性研究,表明a C∶H膜表层的微观承载性能较其内层相差很大,表面存在着一层软膜。 展开更多
关键词 类金刚石膜 原子力显微镜 摩擦性能
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微波ECR等离子体源增强非平衡磁控溅射DLC膜的制备与表征 被引量:2
17
作者 李新 唐祯安 +3 位作者 邓新绿 徐军 张虹霞 杨梅 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期304-305,307,共3页
 介绍了微波ECR等离子体源增强非平衡磁控溅射设备的结构和工作原理,详细叙述了利用该设备制备类金刚石膜的过程。Raman光谱证实了薄膜的类金刚石特性;采用原子力显微镜(AFM)观察薄膜的微观表面形貌,均方根粗糙度大约为1.9nm,结果表明...  介绍了微波ECR等离子体源增强非平衡磁控溅射设备的结构和工作原理,详细叙述了利用该设备制备类金刚石膜的过程。Raman光谱证实了薄膜的类金刚石特性;采用原子力显微镜(AFM)观察薄膜的微观表面形貌,均方根粗糙度大约为1.9nm,结果表明薄膜表面非常光滑;利用CERT微摩擦计进行摩擦、磨损和划痕实验,薄膜的平均摩擦系数较小,大约为0.175;DLC膜和Si衬底磨损情况的扫描电镜图片相对比,可以看到DLC膜的磨痕小的多,说明薄膜有较好的耐磨性能;划痕测试结果表明制备薄膜临界载荷大约为40mN。 展开更多
关键词 非平衡磁控溅射 电子回旋共振 等离子体源 类金刚石膜
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Al_2O_3薄膜的应用与制备 被引量:17
18
作者 刘永杰 刘忆 +1 位作者 董闯 邓新绿 《真空与低温》 2002年第4期236-240,共5页
Al2O3薄膜因其光学性能优良、机械强度与硬度高、透明性与绝缘性好、耐磨、抗蚀及化学惰性等特点而引起人们的极大兴趣,已经广泛地应用于光学、机械及微电子等领域。简述了Al2O3薄膜的应用及制备方法。
关键词 AL2O3薄膜 氧化铝 性能 应用 制备方法 光学机械 物理气相沉积 脉冲激光沉积 化学气相沉积
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类金刚石薄膜在模拟体液中的电化学阻抗 被引量:2
19
作者 刘成龙 杨大智 +1 位作者 彭乔 邓新绿 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期1314-1320,共7页
利用双放电腔微波等离子体源全方位离子注入设备,分别采用等离子体增强化学气相沉积技术、等离子体源离子注入和等离子体增强化学气相沉积复合技术两种工艺对医用316L不锈钢进行类金刚石薄膜表面改性。利用电化学阻抗谱法考察了两种工... 利用双放电腔微波等离子体源全方位离子注入设备,分别采用等离子体增强化学气相沉积技术、等离子体源离子注入和等离子体增强化学气相沉积复合技术两种工艺对医用316L不锈钢进行类金刚石薄膜表面改性。利用电化学阻抗谱法考察了两种工艺制备的类金刚石薄膜在模拟体液中的抗腐蚀性能。结果表明:与采用等离子体增强化学气相沉积技术制备的类金刚石薄膜相比,在72 h的浸泡时间内,采用等离子体源离子注入和等离子体增强化学气相沉积复合技术制备的类金刚石薄膜防腐蚀性能明显增高,腐蚀阻抗较高,碳注入层可有效抑制溶液渗入薄膜和基体之间的界面,起到了腐蚀防护层的作用。动电位极化测试表明:采用复合技术制备的类金刚石薄膜在模拟体液中的腐蚀倾向性更低,钝态稳定性更好。 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 电化学阻抗谱 模拟体液 等离子体源离子注入 等离子体增强化学气相沉积
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ECR微波等离子体离子输运的数值模拟 被引量:3
20
作者 宫野 宋远红 +1 位作者 温晓军 邓新绿 《计算物理》 CSCD 北大核心 2001年第2期152-156,共5页
建立了ECR微波等离子体源离子输运的平板和圆柱模型 ,对离子历经的空间区域的输运过程进行了数值研究 .采用MonteCarlo (M C)方法模拟了存在外磁场情况下 ,离子离开放电室后历经中性区、鞘层区、最后被加负偏压的工件表面吸收的全过程 ... 建立了ECR微波等离子体源离子输运的平板和圆柱模型 ,对离子历经的空间区域的输运过程进行了数值研究 .采用MonteCarlo (M C)方法模拟了存在外磁场情况下 ,离子离开放电室后历经中性区、鞘层区、最后被加负偏压的工件表面吸收的全过程 .考虑了离子与中性粒子的电荷交换碰撞和弹性散射 ,统一处理了中性区和鞘层区电势的衔接 .采用曲线拟合 ,电势自洽迭代方法把中性区和鞘层区衔接起来 ,得到了光滑自洽的电势分布曲线和鞘层区不同位置处的速度分布。 展开更多
关键词 ECR微波等离子体 离子输运 蒙特卡罗方法 数值模拟
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