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适用声波谐振器的磁控溅射制备AlN薄膜优化技术
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作者 马新国 程正旺 +3 位作者 王妹 贺晶 邹维 邓水全 《材料导报》 CSCD 北大核心 2023年第11期56-62,共7页
AlN具有优良的物理化学性质以及与标准CMOS晶硅技术的兼容性,显示出优于相应的ZnO和PZT等性能,使其成为最受关注的压电材料之一。AlN压电薄膜表现出合适的机电耦合系数、高纵波声速、大杨氏模量和高热导率等特点,以及随着制备工艺和材... AlN具有优良的物理化学性质以及与标准CMOS晶硅技术的兼容性,显示出优于相应的ZnO和PZT等性能,使其成为最受关注的压电材料之一。AlN压电薄膜表现出合适的机电耦合系数、高纵波声速、大杨氏模量和高热导率等特点,以及随着制备工艺和材料微结构调控技术的快速发展,使其成为5G时代声波谐振器中的关键电子材料。其成膜质量直接决定器件的工作频率、Q值和可靠性。近些年来,在反应磁控溅射法制备AlN薄膜及其微结构调控方面取得重要进展,具有成膜质量好、沉积速率高以及成本低等优点,已成为这类薄膜的首选制备方法。由于影响其成膜质量的因素很多,以至于通过某一个工艺参数调控其成膜质量往往无法同时满足多个质量指标。研究表明,AlN薄膜定向生长受溅射功率、工作气压和N_(2)/Ar流量比等多重因素影响,提高薄膜取向性相对复杂。降低薄膜应力一般通过简单地调节Ar气流量来实现,这是因为薄膜应力对Ar气流量变化极为敏感。而表面粗糙度和膜厚均匀性等主要受到溅射功率和工作气压影响。除了反应磁控溅射基本参数外,还普遍发现基底放置方向、基底材料、基底清洁度、退火温度和气氛等对薄膜的结晶及择优取向的影响也十分显著。本文围绕影响AlN压电薄膜在声波谐振器应用的主要物理指标:晶面择优取向、薄膜应力、表面粗糙度和沉积速率来展开说明,系统分析了反应磁控溅射法中的溅射功率、气体分压、基底温度等关键工艺参数对其影响的规律;最后,对AlN薄膜研究中亟待解决的问题以及未来发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 ALN薄膜 压电材料 声波谐振器 磁控溅射 择优取向
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Synthesis and Crystal Structure of Δ^6—4—Amino—5,6—diphenyl—5—hydroxy
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作者 邓水全 林振光 《Chinese Journal of Structural Chemistry》 SCIE CAS CSCD 1994年第1期40-44,共5页
关键词 合成 缩合反应 晶体结构 席夫碱 Δ6-4-氨基-5 6-二苯基-5-羟基-1 2 4-三氮杂-环己烯-3-硫酶
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平面应变对二维单层MoSi_(2)N_(4)能带结构和光电性质的影响
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作者 袁罡 马新国 +4 位作者 贺华 邓水全 段汪洋 程正旺 邹维 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第5期527-533,共7页
二维单层MoSi_(2)N_(4)具有优异的载流子输运能力与出色的化学稳定性,受到了广泛关注,但其光电性质与外加平面应变间的内在关系尚未展开深入探讨。本研究采用平面波超软赝势方法探索了平面应变对二维单层MoSi_(2)N_(4)能带结构和光电性... 二维单层MoSi_(2)N_(4)具有优异的载流子输运能力与出色的化学稳定性,受到了广泛关注,但其光电性质与外加平面应变间的内在关系尚未展开深入探讨。本研究采用平面波超软赝势方法探索了平面应变对二维单层MoSi_(2)N_(4)能带结构和光电性质的影响,发现单层MoSi_(2)N_(4)为间接带隙半导体,其价带顶由Mo4d轨道和部分N2p轨道杂化而成,导带底则均由Mo4d轨道组成。在拉应变作用下,单层MoSi_(2)N_(4)的带隙逐渐变窄且光生载流子的有效质量不断减小;在压应变作用下,其带隙逐渐变宽,光生载流子的有效质量缓慢增大。值得注意的是,当压应变ε=-2.8%时,体系由间接带隙转变为直接带隙。单层MoSi_(2)N_(4)的光学吸收表现出明显的各向异性,且在平面应变作用下光吸收带边发生了不同程度的移动,有效地拓展了体系的光谱响应范围,有利于提升光电特性。这可为进一步研究二维单层MoSi_(2)N_(4)在新型可调谐纳米光电器件领域的应用提供理论指导。 展开更多
关键词 二维材料 平面应变 光电性质 第一性原理 能带结构
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SYNTHESIS AND CRYSTAL STRUCTURE OF Ta_3(Te_2)_6
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作者 邓水全 庄鸿辉 《Chinese Journal of Structural Chemistry》 SCIE CAS CSCD 1993年第1期10-14,共5页
Ta3(Te2)6, Mr = 2074. 04, tetragonal, P4/ncc, a = 9. 204(1) A , c=20,401(8) A, V=1728. 3 A 3, Z = 4, Dc = 7. 97g/cm3, λ(MoKa) = 0. 71073 A . μ= 386, 3cm-1,F(000) = 3372, T= 296K , R= 0. 027, Rw = 0, 029 for 493 obse... Ta3(Te2)6, Mr = 2074. 04, tetragonal, P4/ncc, a = 9. 204(1) A , c=20,401(8) A, V=1728. 3 A 3, Z = 4, Dc = 7. 97g/cm3, λ(MoKa) = 0. 71073 A . μ= 386, 3cm-1,F(000) = 3372, T= 296K , R= 0. 027, Rw = 0, 029 for 493 observed unique reflections. The structure is composed of infinite [TaTe4] chains along the e axis. In these chains, the Ta sequences distort in such a way that linear Ta, clusters are formed. 展开更多
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SYNTHESIS AND CRYSTAL STRUCTURE OF Nb_3(Se_2)_6I
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作者 邓水全 黄金陵 《Chinese Journal of Structural Chemistry》 SCIE CAS CSCD 1992年第1期51-54,共4页
Nb3(Se2)6I,Mr = 1353. 1, tetragonal, space group D64h-P4/mnc, a= 9. 45(1), b = 9. 45(1) , c=19. 08(3)(?), V = 1705. 6(9)(?)3, and Z = 4, Dc=5. 27g/cm3. Final R = 0. 045 and Rw = 0. 053 for 881 independent reflections ... Nb3(Se2)6I,Mr = 1353. 1, tetragonal, space group D64h-P4/mnc, a= 9. 45(1), b = 9. 45(1) , c=19. 08(3)(?), V = 1705. 6(9)(?)3, and Z = 4, Dc=5. 27g/cm3. Final R = 0. 045 and Rw = 0. 053 for 881 independent reflections with I> 3σ(I). In the structure of Nb3(Se2)6I, the Nb(Se2)4 units are almost regular rectangular antiprism, which are packed in chain forms along c axis with the I (0) atoms between these chains. 展开更多
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非线性光学原子响应理论及最新进展
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作者 程曦月 秘汉相 +1 位作者 洪茂椿 邓水全 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第7期1270-1285,共16页
二阶非线性光学晶体材料通过倍频效应转换激光频率,并且调制激光的振幅和位相,在现代制造、激光医疗、光通信,以及基础科学研究领域都有重要用途。本文简要介绍了近年来在部分响应泛函方法的基础上发展起来的非线性光学原子响应理论。... 二阶非线性光学晶体材料通过倍频效应转换激光频率,并且调制激光的振幅和位相,在现代制造、激光医疗、光通信,以及基础科学研究领域都有重要用途。本文简要介绍了近年来在部分响应泛函方法的基础上发展起来的非线性光学原子响应理论。该理论使人们能够在第一性原理计算的基础上定量评估单个组成原子及轨道对非线性光学晶体材料倍频效应的贡献。在此基础上,本团队还发展了一套普适的以物理性能为标准的基团划分方案,为确定倍频效应的功能基元提供了概念基础。本工作对该理论方法的最新进展及其带来的一些新观点,如导带的作用、原子负贡献、静态偶极矩的作用、非共价基团的压倒性贡献、线性规律等进行解释和阐述,并给出了在新材料设计中的应用实例。 展开更多
关键词 原子响应理论 非线性光学晶体 第一性原理 非共价相互作用 基团划分 部分响应泛函
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蒸汽发生器二次侧pH分布的模型研究
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作者 肖发亮 钟婷婷 +2 位作者 付威伶 康晓言 邓水全 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2022年第11期87-98,共12页
核电站二回路的腐蚀问题一直是影响其安全和效率的重要原因之一。实际运行中通过加入碱化剂调控二回路水的pH可以有效减缓管道腐蚀。然而,二回路实际工况的复杂性使pH的分布存在显著的非均匀性而难于获得。目前,对于一些关键部位的pH大... 核电站二回路的腐蚀问题一直是影响其安全和效率的重要原因之一。实际运行中通过加入碱化剂调控二回路水的pH可以有效减缓管道腐蚀。然而,二回路实际工况的复杂性使pH的分布存在显著的非均匀性而难于获得。目前,对于一些关键部位的pH大多采用外部实验或用国外的商用软件进行模拟,但这些模拟很难考虑实际的工况条件。本文首先建立含有碱化剂的二回路水中重要离子之间温度相关的平衡关系,并进一步通过有限元方法研究了二回路模型系统中水的温度场分布,据此计算了相应的pH分布,研究了不同总浓度条件下,复合碱化剂摩尔浓度比、支撑板等对pH分布的影响;研究了乙醇胺(Ethanolamine,ETA)对pH更好的提升效应并发现了有关的饱和效应。这些结果对解决核电站二回路的腐蚀问题及降低其运行成本提供了有价值的参考。 展开更多
关键词 PH 碱化剂 有限元模拟 腐蚀 二回路
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Structure Refinement of Samarium Tritellurides
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作者 池利生 邓水全 《Chinese Journal of Structural Chemistry》 SCIE CAS CSCD 1996年第4期267-269,共3页
The title compound was prepared from the corresponding elements(Sm, Te) using iodine as transport agent. The crystal structure was determined by the single crystal X-ray diffraction techniques with the crystal data as... The title compound was prepared from the corresponding elements(Sm, Te) using iodine as transport agent. The crystal structure was determined by the single crystal X-ray diffraction techniques with the crystal data as follows: SmTe3,M_r= 533. 15, orthorhombic. Cmcm, a=4. 323(2), b= 25. 613(3),c=4. 335(2) A,V=480. 0 A ̄3, Z=4, D_x=7. 38 g/cm ̄3, F(000) =872,μ= 300. 2 cm ̄(-1), R=0. 061,Rw.=0. 066 for 660 observed(I≥3σ(I)) unique reflections. The compound is isostructural with NdTe_3 ̄[1]. 展开更多
关键词 SYNTHESIS TELLURIDE crystal structure
全文增补中
拓扑绝缘体Bi_2Te_3的热膨胀系数研究
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作者 李平原 陈永亮 +5 位作者 周大进 陈鹏 张勇 邓水全 崔雅静 赵勇 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第11期256-261,共6页
利用低温X射线衍射研究了Bi2Te3晶体的线热膨胀系数.结果表明:拓扑绝缘体Bi2Te3晶体的线热膨胀系数α||和α⊥表现为各向异性,并遵从不同的温度依赖关系.反映a-a平面内的膨胀系数α⊥在较宽的温区内服从Debye关系,而反映垂直于a-a平面... 利用低温X射线衍射研究了Bi2Te3晶体的线热膨胀系数.结果表明:拓扑绝缘体Bi2Te3晶体的线热膨胀系数α||和α⊥表现为各向异性,并遵从不同的温度依赖关系.反映a-a平面内的膨胀系数α⊥在较宽的温区内服从Debye关系,而反映垂直于a-a平面方向的膨胀系数α||在100 K左右就开始出现与Debye模型在定性上的差别.利用Debye模型并结合Bi2Te3晶体的面内和层间原子之间的键合特性对α||和α⊥所表现出的不同温度依赖特性进行了解释. 展开更多
关键词 拓扑绝缘体 热膨胀系数 德拜模型 格律乃森关系
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一个双三核钼簇合物的合成、结构及其簇间相互作用
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作者 庄鸿辉 吴鼎铭 +3 位作者 邓水全 张绪穆 黄建全 黄金陵 《中国科学(B辑)》 CAS CSCD 北大核心 1997年第6期481-490,共10页
报道了一个新的双三核钼簇合物{Mo_3S_2P[&P(OC_2H_5)_2]_3}{Mo_3S_4[S_2P(OC_2H_5)_2]_4(SCN)}的合成方法和晶体结构.结构分析和对整个簇合物的量子化学计算结果表明,属于不同结构类型的两个三核钼簇单元,虽然保留了显著的离子特征,... 报道了一个新的双三核钼簇合物{Mo_3S_2P[&P(OC_2H_5)_2]_3}{Mo_3S_4[S_2P(OC_2H_5)_2]_4(SCN)}的合成方法和晶体结构.结构分析和对整个簇合物的量子化学计算结果表明,属于不同结构类型的两个三核钼簇单元,虽然保留了显著的离子特征,但它们通过几对桥S原子间较强的相互作用形成双三核钼标题簇合物.还对[Mo_3]簇核电子数和三核钼簇合物稳定性之间的关系进行了初步讨论. 展开更多
关键词 三核 晶体结构 双三核 钼簇合物
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Synthesis and structure of {Mo_3S_7[S_2P(OC_2H_5)_2]_3}{Mo_3S_4[S_2P(OC_2H_5)_2]_4(SCN)} and interaction between their cluster units
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作者 庄鸿辉 吴鼎铭 +3 位作者 邓水全 张绪穆 黄建全 黄金陵 《Science China Chemistry》 SCIE EI CAS 1998年第5期510-519,共10页
The synthesis method and crystal structure of a novel Mo 3 cluster compound are reported. The results of structural analysis and the quantum calculation for the entire cluster molecule reveal that though two Mo 3 clus... The synthesis method and crystal structure of a novel Mo 3 cluster compound are reported. The results of structural analysis and the quantum calculation for the entire cluster molecule reveal that though two Mo 3 cluster units, which belong to two different kinds of structural type respectively, show an apparent ionic characteristic, the interaction between them via the bridging S atoms is still quite certain. The relationship between cluster electron counting and stability of the Mo 3 clusters are also primarily discussed. 展开更多
关键词 MOLYBDENUM CLUSTER crystal STRUCTURE intercluster action
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