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p型GaN的渐变δ掺杂研究 被引量:2
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作者 邹泽亚 刘挺 +4 位作者 王振 赵红 赵文伯 罗木昌 杨谟华 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期825-828,共4页
采用MOCVD技术及渐变-δMg掺杂方法生长了p型GaN薄膜,对样品进行了两步退火处理以对Mg进行激活。通过Hall测试发现,经过950℃下的第一次退火后,样品空穴浓度为1.64×1016cm-3,电阻率为77.9Ω.cm。经过750℃下的第二次退火后,样品的... 采用MOCVD技术及渐变-δMg掺杂方法生长了p型GaN薄膜,对样品进行了两步退火处理以对Mg进行激活。通过Hall测试发现,经过950℃下的第一次退火后,样品空穴浓度为1.64×1016cm-3,电阻率为77.9Ω.cm。经过750℃下的第二次退火后,样品的空穴浓度增大了10倍,电阻率减小为原来的1/20。分析认为,渐变δ掺杂减小了Mg的自补偿效应,两步退火提高了Mg的激活效率,从而显著提高了样品的空穴浓度和降低了电阻率。实验还发现,经过750℃下15 min的第二次退火后得到的样品的空穴浓度最大,达5.13×1017cm-3。 展开更多
关键词 渐变δ掺杂 Mg掺杂 P型GAN 两步退火 MOCVD
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A Solar-Blind AlGaN-Based p-i-n Back-Illuminated Photodetector with a High Temperature AlN Template Layer
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作者 邹泽亚 杨谟华 +4 位作者 刘挺 赵文伯 赵红 罗木昌 王振 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期20-23,共4页
The growth, fabrication, and characterization of a solar-blind A1GaN-based p-i-n back-illuminated photodetector with a high temperature A1N template are reported for the first time. The photodetector was fabricated fr... The growth, fabrication, and characterization of a solar-blind A1GaN-based p-i-n back-illuminated photodetector with a high temperature A1N template are reported for the first time. The photodetector was fabricated from multilayer AIx Gal-xN films grown by MOCVD on double-polished c-plane (0001) sapphire substrates. Crack free, high A1 content (0.7) A1GaN multilayer structure,designed for the solar-blind p-i-n back-illuminated photodetector,was grown on a high temperature A1N template without a nuclear layer. The high quality of the epitaxial layers is demonstrated by in-situ optical reflectance monitoring curve, triple-axis X-ray diffraction, and atomic-force microscope. At a 1.8V bias, the processed p-i-n photodetector exhibits a solar-blind photoresponse with a maximum responsivity of 0. 0864A/W at 270nm. The photodetector exhibits a forward turn-on voltage at around 3.5V and a reverse breakdown voltage above 20V, and the leakage current is below 20pA for 2V reverse bias. 展开更多
关键词 solar-blind high temperature A1N template back-illuminated photodetector p-ion
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GaAs基Ⅲ-Ⅴ族多结太阳电池技术研究进展 被引量:8
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作者 周勋 罗木昌 +3 位作者 赵红 周勇 刘万清 邹泽亚 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期639-646,652,共9页
GaAs太阳电池由于其性能优越,成为了光伏领域的发展重点。简单介绍了GaAs基Ⅲ-Ⅴ族多结太阳电池的应用和研究进展,并对其发展趋势进行了展望。
关键词 GAAS Ⅲ-Ⅴ族 多结太阳电池 光伏技术
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蓝宝石衬底上原子级光滑AlN外延层的MOCVD生长 被引量:5
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作者 赵红 邹泽亚 +6 位作者 赵文伯 刘挺 杨晓波 廖秀英 王振 周勇 刘万清 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第10期1568-1573,共6页
在蓝宝石衬底表面无氮化、低Ⅴ/Ⅲ比的情况下,采用1200℃的衬底温度、5kPa反应室气压,用MOCVD方法在蓝宝石衬底上生长出了表面原子级光滑的AlN外延层.原子力显微镜测试表明其平均粗糙度为0.44nm,X射线衍射(0002)回摆曲线FWHM为166″.实... 在蓝宝石衬底表面无氮化、低Ⅴ/Ⅲ比的情况下,采用1200℃的衬底温度、5kPa反应室气压,用MOCVD方法在蓝宝石衬底上生长出了表面原子级光滑的AlN外延层.原子力显微镜测试表明其平均粗糙度为0.44nm,X射线衍射(0002)回摆曲线FWHM为166″.实验结果和分析表明,极性和气相反应是影响AlN表面形貌的主要原因.以原子级光滑的AlN为模板生长出了高质量的高Al组分的n型AlGaN,证实了AlN模板具有较好的质量. 展开更多
关键词 MOCVD ALN 极性 原子级光滑
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Al_xGa_(1-x)N日盲紫外探测器及其焦平面阵列 被引量:5
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作者 赵文伯 赵红 +7 位作者 叶嗣荣 黄烈云 唐遵烈 罗木昌 杨晓波 廖秀英 向勇军 邹泽亚 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期21-24,共4页
报道了320×256元AlxGa1-xN日盲型紫外探测器及其焦平面阵列探测器的研制情况,介绍了材料生长、器件制备工艺和器件的光电特性。器件的开启电压大于3.5V,-0.5V偏压时暗电流小于1.2×10^-12A(φ=300ttm台面),光谱响应范... 报道了320×256元AlxGa1-xN日盲型紫外探测器及其焦平面阵列探测器的研制情况,介绍了材料生长、器件制备工艺和器件的光电特性。器件的开启电压大于3.5V,-0.5V偏压时暗电流小于1.2×10^-12A(φ=300ttm台面),光谱响应范围260~280nm,268nm峰值波长的响应度大于0.095A/W。器件实现了日盲紫外成像演示。 展开更多
关键词 ALXGA1-XN 日盲探测器 紫外焦平面阵列 PIN光电二极管
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高温AlN模板上p型GaN的生长研究
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作者 刘挺 邹泽亚 +6 位作者 王振 赵红 赵文伯 罗木昌 周勋 杨晓波 廖秀英 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期128-132,共5页
利用低压金属有机物化学气相沉积技术,采用均匀掺杂和渐变Mg-δ掺杂方法,分别在氮化镓(GaN)和高温氮化铝(HT-AlN)模板上,生长了p型GaN外延材料.生长后,双晶X射线衍射和霍尔测试结果表明:HT-AlN模板上采用渐变Mg-δ掺杂方法生长的p型GaN... 利用低压金属有机物化学气相沉积技术,采用均匀掺杂和渐变Mg-δ掺杂方法,分别在氮化镓(GaN)和高温氮化铝(HT-AlN)模板上,生长了p型GaN外延材料.生长后,双晶X射线衍射和霍尔测试结果表明:HT-AlN模板上采用渐变Mg-δ掺杂方法生长的p型GaN材料,具有最好的晶体质量和电学性能.该p型GaN样品的(0002)面半峰宽值小至178″,其空穴氧浓度为5.78×1017cm-3.在对Cp2Mg/TMGa进行了优化试验后,p型GaN的空穴氧浓度被提高到8.03×1017cm-3. 展开更多
关键词 高温A1N 渐变δ掺杂 均匀掺杂 金属有机物化学气相沉积 P型GAN
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二次退火对P型GaN的应变影响
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作者 周勋 左长明 +5 位作者 邹泽亚 廖秀英 姬洪 罗木昌 刘挺 赵红 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期374-378,共5页
采用LP-MOCVD在蓝宝石基片上外延生长了Mg掺杂p-GaN,并对样品进行了退火处理。利用高分辨X射线衍射(HRXRD)对经不同退火时间处理后的样品进行了测试分析,从应变的角度对p型GaN中的杂质和缺陷行为特性进行了分析和探讨。结果表明:p型GaN... 采用LP-MOCVD在蓝宝石基片上外延生长了Mg掺杂p-GaN,并对样品进行了退火处理。利用高分辨X射线衍射(HRXRD)对经不同退火时间处理后的样品进行了测试分析,从应变的角度对p型GaN中的杂质和缺陷行为特性进行了分析和探讨。结果表明:p型GaN的应变状态与其退火过程中的杂质和缺陷行为及其最后的电学性能都有着一定的规律性。 展开更多
关键词 GAN Mg掺杂 退火 应变 HRXRD
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蓝宝石衬底上AlGaN外延材料的低压MOCVD生长
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作者 赵红 邹泽亚 +6 位作者 赵文伯 杨晓波 刘挺 廖秀英 王振 周勇 刘万清 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期800-803,共4页
采用低温AlN成核层在1180℃温度下在(0001)蓝宝石衬底上用低压MOCVD设备生长了AlGaN外延层。Al组分高达0.6、厚度大于1μm的AlGaN外延层表面光亮,晶体质量较好,(0002)X射线衍射回摆曲线半峰宽FWHM为853弧秒。当反应室气压从5×103P... 采用低温AlN成核层在1180℃温度下在(0001)蓝宝石衬底上用低压MOCVD设备生长了AlGaN外延层。Al组分高达0.6、厚度大于1μm的AlGaN外延层表面光亮,晶体质量较好,(0002)X射线衍射回摆曲线半峰宽FWHM为853弧秒。当反应室气压从5×103Pa降到2×103Pa后,AlGaN外延层的生长速率和固相Al组分都显著提高。 展开更多
关键词 MOCVD ALGAN 低温核化层
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多象限光探测器组件研究
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作者 谭千里 徐道润 +2 位作者 邹泽亚 鲁卿 曹飞 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2010年第6期864-865,869,共3页
介绍了多象限探测器光敏面的设计,讨论了简易制导用多象限光探测器组件的特点。设计了一种新型九象限探测器及其组件,结果表明该器件具有响应速度快、抗冲击能力强等特点。
关键词 激光简易制导 多象限探测器 九象限探测器组件
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六角相GaN外延膜的高分辨X射线衍射分析研究
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作者 姬洪 周勋 +1 位作者 邹泽亚 左长明 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A10期3977-3980,共4页
通过实例介绍运用高分辨X射线衍射分析技术对GaN异质外延薄膜材料的微结构进行研究,希望能获得不同缓冲层生长与优化工艺以及结构模型对其结构特性参数影响方面的信息,为GaN材料和器件制备者提供有用的参考。
关键词 高分辨X射线衍射:异质外延 GAN材料
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光电探测器组件辐照后性能退化的噪声表征
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作者 张兴 王品红 +4 位作者 但伟 曹飞 陈春霞 邹泽亚 李祖安 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期634-635,727,共3页
本文用爆裂噪声表征总剂量电离辐射(TID)对光电探测器组件的损伤情况。通过对辐照前后的光电探测器组件进行噪声测试,然后对比分析其结果。实验结果表明,总剂量辐照后,相对于辐照前,光电探测器组件内部明显出现了爆裂噪声,即组件内部出... 本文用爆裂噪声表征总剂量电离辐射(TID)对光电探测器组件的损伤情况。通过对辐照前后的光电探测器组件进行噪声测试,然后对比分析其结果。实验结果表明,总剂量辐照后,相对于辐照前,光电探测器组件内部明显出现了爆裂噪声,即组件内部出现了大量缺陷,导致组件的可靠性降低。 展开更多
关键词 总剂量电离辐射 爆裂噪声 损伤情况 可靠性
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基于探测器阵列组件的光斑辅助定位系统的设计
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作者 曾铮 孙诗 +2 位作者 邹泽亚 徐道润 陈春霞 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期600-602,共3页
设计并实现了一种基于探测器阵列组件的光斑辅助定位系统。该系统以120元Si-PIN探测器作为光电传感器,将其排列为正方形,由120路光电转换电路将每个光电传感器采集到的电流信号转换为电压信号并与预先设置的阈值电平进行比较,以判断该... 设计并实现了一种基于探测器阵列组件的光斑辅助定位系统。该系统以120元Si-PIN探测器作为光电传感器,将其排列为正方形,由120路光电转换电路将每个光电传感器采集到的电流信号转换为电压信号并与预先设置的阈值电平进行比较,以判断该点探测器是否探测到光信号,在CPLD时序控制下将每个探测器的响应情况通过数据采集电路实时传送至上位机。将探测器阵列组件放置在指定位置,通过调节光源位置直至上位机反映的图像为对准后的形式,由此实现光斑辅助定位。经测试表明,该系统能实现240mm×240mm大面积、精度2mm的光斑位置实时探测和辅助定位,且相对传统方式更加简单可行。 展开更多
关键词 光电探测器阵列 USB接口 光斑辅助定位
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Noise Characteristics of Optocouplers on Neutron Radiation
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作者 李应辉 陈春霞 +4 位作者 刘永智 蒋城 邹泽亚 欧熠 李祖安 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2008年第11期4093-4096,共4页
Neutron dose radiation experiment is designed to study the optocoupler's displacement effects and the noise characteristics. The burst noise is introduced in optocouplers on neutron radiation, which is indicated from... Neutron dose radiation experiment is designed to study the optocoupler's displacement effects and the noise characteristics. The burst noise is introduced in optocouplers on neutron radiation, which is indicated from experiments. With the increasing neutron radiation the displacement defects in space-charge region increase, the scattering enhances and the noise signal mutations increase. All these represent the noise time series mutations, the random pulses and the increasing noise complexity. The burst noise becomes evident, and the power spectrum density, the characteristic frequency and the fractal dimension of time series of noise greatly increase. 展开更多
关键词 the power-law exponents PRECIPITATION durative abrupt precipitation change
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