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激光技术在金刚石加工中的研究及应用进展 被引量:3
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作者 叶盛 赵上熳 +6 位作者 邢忠福 彭志勇 郑宇亭 陈良贤 刘金龙 李成明 魏俊俊 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第2期36-57,共22页
激光加工是目前金刚石的主流加工方法,相较于传统的机械加工形式,激光加工精度高、效率高、普适性强,因而在金刚石切割、微孔成型、微槽道加工及平整化等方面均得到广泛应用。文中阐述了金刚石激光加工原理,介绍了不同类型激光与金刚石... 激光加工是目前金刚石的主流加工方法,相较于传统的机械加工形式,激光加工精度高、效率高、普适性强,因而在金刚石切割、微孔成型、微槽道加工及平整化等方面均得到广泛应用。文中阐述了金刚石激光加工原理,介绍了不同类型激光与金刚石材料相互作用机制,重点总结了近几年多种激光加工金刚石模式的发展现状,分析了新型的激光加工方法的特点,探讨了现阶段激光技术在金刚石加工领域面临的问题、挑战及未来的发展趋势。 展开更多
关键词 金刚石 激光加工 激光切割 微孔成型 微槽道 激光平整化
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译者、评者与读者:苏童在英语世界接受的三维透视
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作者 郑宇亭 乔媛 《黄山学院学报》 2024年第4期91-98,共8页
基于译者、评者、读者三个不同维度,对苏童小说英译本进行深入考察。苏童小说英译本的两位主要译者采用了不同的翻译策略,但都还原了小说的故事情节和主题思想,扩大了苏童作品在海外的传播度。国外评者主要从写作话题和小说风格两方面... 基于译者、评者、读者三个不同维度,对苏童小说英译本进行深入考察。苏童小说英译本的两位主要译者采用了不同的翻译策略,但都还原了小说的故事情节和主题思想,扩大了苏童作品在海外的传播度。国外评者主要从写作话题和小说风格两方面对苏童作品进行了专业评价,皆以肯定为主。在读者方面,苏童小说在外文网站上的好评居多,表现出海外英语读者对苏童作品的喜爱。苏童作品在西方世界成功传播的因素有三:作品本身的内容符合西方读者的阅读兴趣、知名汉学家和翻译学家出色翻译的推动、企鹅和莫洛等海外著名出版机构的助力。苏童作品的成功外译,可以给中国文学作品走出国门提供有益的借鉴和启示。 展开更多
关键词 苏童 文学外译 作品接受 英语世界
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金刚石色心调控及光学谐振器的研究进展
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作者 杨良禾 刘金龙 +5 位作者 屠菊萍 郑宇亭 牟恋希 李灏 魏俊俊 李成明 《固体电子学研究与进展》 CAS 2024年第2期93-108,共16页
金刚石因其优异的光学特性和色心发射器而被应用于光子器件领域。光学谐振器是一种微纳米光学结构,基于有限模体积内的光-物质相互作用增强,能够将金刚石色心的发射与谐振器的增强效应相结合,有选择性地增强色心的发射,用于在光子电路... 金刚石因其优异的光学特性和色心发射器而被应用于光子器件领域。光学谐振器是一种微纳米光学结构,基于有限模体积内的光-物质相互作用增强,能够将金刚石色心的发射与谐振器的增强效应相结合,有选择性地增强色心的发射,用于在光子电路中提供稳定且强度充足的光学信号。近年来,金刚石微纳加工技术的发展推动了金刚石光学谐振器的研究和应用。本文总结了金刚石光学谐振器的研究现状,概述了金刚石的基本性质、合成与加工方法,介绍了金刚石色心的生成以及其与光学谐振器的耦合原理,梳理了三种不同类型的金刚石光学谐振器的研究进展,并对未来金刚石光学谐振器的发展进行了展望。 展开更多
关键词 金刚石 光学谐振器 色心 微纳加工 Purcell效应
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《妻妾成群》中梅珊的人物形象
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作者 郑宇亭 《今古文创》 2024年第21期7-9,共3页
《妻妾成群》塑造了一个“性格心理深度几乎填补了当代文学空白”的“典型”女性形象——梅珊。在小说中,梅珊容貌美丽,生活优渥,但内心孤独,性格张狂,敢于追求自我本性,最终因偷情事发而被投井杀害,结局异常悲惨,但其个体生命形象被勾... 《妻妾成群》塑造了一个“性格心理深度几乎填补了当代文学空白”的“典型”女性形象——梅珊。在小说中,梅珊容貌美丽,生活优渥,但内心孤独,性格张狂,敢于追求自我本性,最终因偷情事发而被投井杀害,结局异常悲惨,但其个体生命形象被勾勒得鲜活而张扬。《妻妾成群》呈现的宿命意味极其浓厚,梅珊即代表了封建制度下大多数女性的宿命,很大程度上还原了那个时代女性的悲惨命运。 展开更多
关键词 苏童 《妻妾成群》 梅珊 人物形象
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《妻妾成群》英译本对女性人物形象的改写与影响
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作者 郑宇亭 乔媛 《巢湖学院学报》 2023年第5期142-148,164,共8页
1993年,苏童的中篇小说《妻妾成群》被加拿大汉学家杜迈可译介到西方,题为Raise the Red Lantern。该译本基本上还原了原小说的故事内容,译出了小说的主要情节,但是女性人物形象却发生了一些改变。通过深入解读中英文本,并对小说中女性... 1993年,苏童的中篇小说《妻妾成群》被加拿大汉学家杜迈可译介到西方,题为Raise the Red Lantern。该译本基本上还原了原小说的故事内容,译出了小说的主要情节,但是女性人物形象却发生了一些改变。通过深入解读中英文本,并对小说中女性人物形象进行对比分析,可发现英译本至少在女性人物的人名、对话语言和动作等方面进行了改写,导致原小说所建构的女性人物形象发生改变,一定程度上淡化了女性人物的性格设定特征,进而削弱了女性形象的艺术呈现效果。 展开更多
关键词 《妻妾成群》 文学外译 女性形象 苏童 杜迈可
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磁控溅射铱薄膜的表面形态与取向演变的控制优化 被引量:1
6
作者 夏天 黄珂 +4 位作者 郑宇亭 陈良贤 刘金龙 魏俊俊 李成明 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第3期338-344,369,共8页
目的研究磁控溅射制备金属Ir膜的过程中溅射参数对Ir膜表面微结构和晶体质量的影响,制备高质量(100)取向的外延Ir膜,为单晶金刚石的异质外延生长奠定重要基础。方法通过磁控溅射技术在单一改变参数(溅射功率、溅射厚度)的条件下制备金... 目的研究磁控溅射制备金属Ir膜的过程中溅射参数对Ir膜表面微结构和晶体质量的影响,制备高质量(100)取向的外延Ir膜,为单晶金刚石的异质外延生长奠定重要基础。方法通过磁控溅射技术在单一改变参数(溅射功率、溅射厚度)的条件下制备金属Ir膜,通过分析原子力显微镜、扫描电子显微镜、X射线衍射、电子背散射衍射等测试结果,研究了各条件对所制备Ir膜粗糙度、表面形貌、晶体结构和取向的影响,并通过摇摆曲线衡量真空退火对薄膜晶体质量的优化效果。结果在(100)MgO衬底上外延生长的Ir膜具有均匀的微结构,该结构由规则且紧密的矩形颗粒排列而成。薄膜表面微结构特征尺寸随溅射功率升高而逐渐减小;当功率为45 W时,Ir(200)X射线衍射峰强度最大、半高宽最宽;而随着厚度的增大,Ir(200)X射线衍射峰的半高宽及强度均增大。经优化的Ir膜表面光滑(Ra<0.5nm)、薄膜晶体质量高(θFWHM<0.5°)。结论功率、厚度和退火处理都会影响薄膜晶体质量和表面微结构尺寸,合适的功率和厚度结合退火处理能获得具有特定表面微结构的高质量Ir膜。 展开更多
关键词 磁控溅射 功率 厚度 Ir膜 表面微结构 晶体质量
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2英寸MPCVD光学级均匀金刚石膜的制备研究
7
作者 产思义 屠菊萍 +9 位作者 黄珂 邵思武 杨志亮 刘鹏 刘金龙 陈良贤 魏俊俊 安康 郑宇亭 李成明 《无机材料学报》 SCIE EI CSCD 北大核心 2023年第12期1413-1419,共7页
均匀生长大尺寸光学级金刚石膜一直是微波化学气相沉积(Microwave plasma chemical vapor deposition,MPCVD)金刚石研究领域的热点和难点,沉积台的结构与位置对于金刚石膜均匀性以及厚膜生长的长期稳定性至关重要。本研究通过COMSOL模... 均匀生长大尺寸光学级金刚石膜一直是微波化学气相沉积(Microwave plasma chemical vapor deposition,MPCVD)金刚石研究领域的热点和难点,沉积台的结构与位置对于金刚石膜均匀性以及厚膜生长的长期稳定性至关重要。本研究通过COMSOL模拟结合实验研究了沉积台高度对衬底表面电场均匀性、等离子体状态和温度均匀性的影响规律,优化了光学级金刚石膜均匀生长的工艺参数,在最佳沉积台高度(2 mm)下沉积得到的2英寸金刚石膜(最大厚度337μm),厚度不均匀性<11%,从膜中心到边缘的拉曼半峰全宽为3~4 cm^(-1),可见光波段内最高透过率为69%~70%,10.6μm处红外透过率为70%。结果表明:金刚石膜的厚度和品质较为均匀,实现了两英寸光学级金刚石膜的均匀沉积。沉积台高度对衬底表面的电场分布、等离子体形状和温度分布都有一定影响,随着沉积台高度增加,衬底表面电场分布均匀性和温度均匀性得到明显改善,且衬底表面的等离子体分布更均匀,H原子和含碳基团的浓度增加。 展开更多
关键词 光学级金刚石膜 温度均匀性 红外透过率 沉积台高度 COMSOL模拟
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SiN_(x)介质薄膜制备及其对GaN表面金刚石形核生长的影响 被引量:1
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作者 刘思彤 张钦睿 +5 位作者 郑宇亭 郝志恒 刘金龙 陈良贤 魏俊俊 李成明 《真空与低温》 2023年第1期12-19,共8页
SiN_(x)作为GaN和金刚石异质结构的中间层,不仅是下层GaN材料的保护层,也是上层金刚石的形核生长层,因此SiN_(x)介质薄膜对于GaN表面合成高质量金刚石具有重要的意义。研究分别采用低压化学气相沉积(LPCVD)和磁控溅射(MS)方法在GaN-Si... SiN_(x)作为GaN和金刚石异质结构的中间层,不仅是下层GaN材料的保护层,也是上层金刚石的形核生长层,因此SiN_(x)介质薄膜对于GaN表面合成高质量金刚石具有重要的意义。研究分别采用低压化学气相沉积(LPCVD)和磁控溅射(MS)方法在GaN-Si衬底上制备SiN_(x)介质薄膜。利用扫描电镜、傅立叶红光光谱、X射线衍射、激光拉曼等技术对SiN_(x)薄膜的表面形貌、晶体结构和表面官能团等进行分析。结果表明,采用LPCVD镀制的非晶态SiN_(x)介质薄膜经籽晶播种、形核生长金刚石后,金刚石/SiN_(x)/GaN界面完整致密;采用MS制备的SiN_(x)介质薄膜呈晶态特征,对应的界面出现明显的刻蚀坑。沉积方式会影响SiN_(x)薄膜的晶体结构和微观形貌,高致密度的非晶态结构有利于金刚石层快速形核生长,对于构建金刚石基GaN结构更为有利。 展开更多
关键词 磁控溅射 低温等离子体化学气相沉积 氮化硅 介质钝化薄膜 金刚石形核
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水热-离子交换法制备m-LiMnO_2及工艺优化 被引量:1
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作者 郑宇亭 郝晓剑 潘保武 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期507-509,513,共4页
单斜层状m-Li Mn O2,合成方法单一且苛刻。为降低其成本及合成复杂性,以Na Mn O2为研究对象,用高温固相法将Mn2O3和无水Na2CO3合成α-Na Mn O2,在此研究钠与锰的浓度不同、煅烧温度不同、保温时间不同、有无碳粉保护的不同对α-Na Mn O... 单斜层状m-Li Mn O2,合成方法单一且苛刻。为降低其成本及合成复杂性,以Na Mn O2为研究对象,用高温固相法将Mn2O3和无水Na2CO3合成α-Na Mn O2,在此研究钠与锰的浓度不同、煅烧温度不同、保温时间不同、有无碳粉保护的不同对α-Na Mn O2结构的影响。以得到的α-Na Mn O2为前驱体探究通过水热-离子交换法在不同条件下得到m-Li Mn O2,并对水热-离子交换法进行优化探索,效果优于目前的回流蒸馏法。 展开更多
关键词 高温固相法 前驱体 水热-离子交换法 m-Li Mn O2
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最小二乘法在精确测定o-LiMnO_2掺杂中的应用
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作者 郑宇亭 郝晓剑 +2 位作者 牛甲明 胡慧中 潘保武 《材料导报(纳米与新材料专辑)》 EI 2015年第2期186-190,共5页
正交层状锰酸锂(o-LiMnO2)是高能量密度锂离子电池关键正极材料之一,是当前的研究热点。掺杂改性是提高晶体结构稳定性,改善循环性能的有效方法之一。采用水热法分别进行了Cr、Y、Mg掺杂实验及掺杂分析,得出了最优掺杂条件。在此实验基... 正交层状锰酸锂(o-LiMnO2)是高能量密度锂离子电池关键正极材料之一,是当前的研究热点。掺杂改性是提高晶体结构稳定性,改善循环性能的有效方法之一。采用水热法分别进行了Cr、Y、Mg掺杂实验及掺杂分析,得出了最优掺杂条件。在此实验基础上,以正交晶系法式方程,利用最小二乘法精确测定了o-LiMnO2最优掺杂量(4%Cr、4%Y(原子分数))的晶格常数,验证了对主体晶格的影响,与理论相吻合。并且通过计算Mg的不同掺杂量引起的晶格常数变化逆向证明了该方法的可靠性,得出对于层状结构6%Mg(原子分数)为最优掺杂比例。 展开更多
关键词 o-LiMnO2掺杂 最小二乘法 晶格计算
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锂离子电池正极材料尖晶石锰酸锂的研究进展 被引量:7
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作者 牛甲明 郑宇亭 潘保武 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2016年第2期46-48,共3页
介绍了锂离子电池正极材料尖晶石锰酸锂的一些结构特性,重点描述了尖晶石LiMn_2O_4正极材料的制备方法及其优缺点,以及关于尖晶石LiMn_2O_4正极材料的最新改性研究,根据尖晶石LiMn_2O_4现有的状况展望了其发展前景。
关键词 锂离子电池 尖晶石LIMN2O4 正极材料 制备 改性
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化学气相沉积(CVD)金刚石研究现状和发展趋势 被引量:15
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作者 李成明 任飞桐 +8 位作者 邵思武 牟恋希 张钦睿 何健 郑宇亭 刘金龙 魏俊俊 陈良贤 吕反修 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2022年第5期759-780,共22页
化学气相沉积(CVD)技术的发展使得金刚石优异的综合性能得以充分发挥,在诸多领域获得应用,并有可能实现跨越式的发展。色心使得金刚石量子加速器初步显示了巨大可行性,包括紫外激光写入窗口等诸多应用场景将金刚石的光、电、热和力学综... 化学气相沉积(CVD)技术的发展使得金刚石优异的综合性能得以充分发挥,在诸多领域获得应用,并有可能实现跨越式的发展。色心使得金刚石量子加速器初步显示了巨大可行性,包括紫外激光写入窗口等诸多应用场景将金刚石的光、电、热和力学综合优势发挥到了极致,超宽禁带金刚石半导体应用将很快实现,金刚石的散热应用也在不断拓展。本文在总结CVD金刚石的制备方法和性能特点的基础上,根据金刚石的本征特点和应用领域,将其分为量子级、电子级、光学级、热学级和力学级五类,对各类金刚石的研究和应用状况进行了详细阐述,进一步明晰CVD金刚石目前的发展状态,对研判其未来发展趋势有重要意义。 展开更多
关键词 化学气相沉积 金刚石 色心 超宽禁带 散热 超硬材料
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Effects of the electric field at the edge of a substrate to deposit a φ100 mm uniform diamond film in a 2.45 GHz MPCVD system 被引量:3
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作者 Kang AN Shuai ZHANG +6 位作者 Siwu SHAO Jinlong LIU Junjun WEI Liangxian CHEN Yuting ZHENG Qing LIU Chengming LI 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第4期147-154,共8页
In this study,uniform diamond films with a diameter of 100 mm were deposited in a 15 kW/2.45 GHz ellipsoidal microwave plasma chemical vapour deposition system.A phenomenological model previously developed by our grou... In this study,uniform diamond films with a diameter of 100 mm were deposited in a 15 kW/2.45 GHz ellipsoidal microwave plasma chemical vapour deposition system.A phenomenological model previously developed by our group was used to simulate the distribution of the electric strength and electron density of plasma.Results indicate that the electric field in the cavity includes multiple modes,i.e.TM_(02) and TM_(03).When the gas pressure exceeds 10 kPa,the electron density of plasma increases and plasma volume decreases.A T-shaped substrate was developed to achieve uniform temperature,and the substrate was suspended in air fromφ70 to 100 mm,thus eliminating vertical heat dissipation.An edge electric field was added to the system after the introduction of the T-shaped substrate.Moreover,the plasma volume in this case was greater than that in the central electric field but smaller than that in the periphery electric field of the TM_(02) mode.This indicates that the electric field above and below the edge benefits the plasma volume rather than the periphery electric field of the TM_(02) mode.The quality,uniformity and surface morphology of the deposited diamond films were primarily investigated to maintain substrate temperature uniformity.When employing the improved substrate,the thickness unevenness of theφ100 mm diamond film decreased from 22%to 7%. 展开更多
关键词 MPCVD 2.45 GHz diamond film plasma simulation
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CVD金刚石膜激光平整化效率和粗糙度 被引量:2
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作者 李世谕 安康 +7 位作者 邵思武 黄亚博 张建军 郑宇亭 陈良贤 魏俊俊 刘金龙 李成明 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2022年第1期61-68,共8页
对化学气相沉积(CVD)多晶金刚石膜进行激光平整化的正交试验,使用场发射环境扫描电子显微镜(SEM)进行形貌分析,激光共聚焦扫描显微镜测量线粗糙度R_(a)、面粗糙度S_(a)和切缝锥度,分析激光参数对CVD膜平整化的影响。结果表明:影响切缝... 对化学气相沉积(CVD)多晶金刚石膜进行激光平整化的正交试验,使用场发射环境扫描电子显微镜(SEM)进行形貌分析,激光共聚焦扫描显微镜测量线粗糙度R_(a)、面粗糙度S_(a)和切缝锥度,分析激光参数对CVD膜平整化的影响。结果表明:影响切缝锥度的因素依次为脉冲宽度、脉冲频率、进给速度和激光电流,影响线粗糙度Ra的因素依次为进给速度、激光电流、脉冲频率、脉冲宽度。正交试验优化后,当激光电流为64 A、脉冲宽度为400μs、脉冲频率为275 Hz、进给速度为100 mm/min时,可获得最佳的切槽表面形貌。采用该优化参数进行面扫描,测得面粗糙度S_(a)为11.7μm;进一步增加入射角度至75°时,面粗糙度S_(a)降低至1.9μm,实际去除效率达到1.1 mm^(3)/min。 展开更多
关键词 CVD金刚石膜 激光平整化 面粗糙度 机械研磨
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MPCVD金刚石薄膜微波功率和沉积压力匹配性研究 被引量:1
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作者 张帅 安康 +7 位作者 邵思武 黄亚博 杨志亮 陈良贤 魏俊俊 刘金龙 郑宇亭 李成明 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2022年第5期910-919,共10页
微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备的高质量金刚石在很多领域均有广泛应用前景。本研究采用9 kW微波功率,分别在13 kPa、14 kPa、15.5 kPa、17 kPa的腔室压力下进行薄膜沉积实验,发现在15.5 kPa、17 kPa的腔室压力下沉积的薄膜在... 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备的高质量金刚石在很多领域均有广泛应用前景。本研究采用9 kW微波功率,分别在13 kPa、14 kPa、15.5 kPa、17 kPa的腔室压力下进行薄膜沉积实验,发现在15.5 kPa、17 kPa的腔室压力下沉积的薄膜在中心区域出现异常生长情况,具体表现为中心存在明显的阶梯式凸起。为揭示薄膜中心出现异常沉积的原因,使用SEM和Raman分析薄膜表面形貌和质量,通过数值模拟进行沉积过程建模计算和分析功率密度和流场分布。结果表明在相同功率下,提高腔室压力,压缩等离子体,因平均自由程较短,扩散能力不足,将导致衬底中心区域比边缘区域更易密集生长,金刚石薄膜中心区域出现明显的阶梯。同时,薄膜整体的生长速率、均匀性、质量均会在超过压力极值后降低。 展开更多
关键词 金刚石薄膜 MPCVD 沉积压力 微波功率 均匀性 数值模拟
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直流电弧等离子体喷射化学气相沉积法制备金刚石膜过程中冷阱的设计及作用 被引量:1
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作者 陈良贤 邵思武 +8 位作者 刘鹏 安康 郑宇亭 黄亚博 白明洁 张建军 刘金龙 魏俊俊 李成明 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2022年第2期150-155,共6页
首先,介绍直流电弧等离子体喷射化学气相沉积法的原理以及气体循环系统的设计和其优缺点;其次,详细介绍冷阱系统的设计及其工作原理;最后,使用拉曼光谱和傅里叶变换红外光谱与光致发光光谱对比添加冷阱系统前后的金刚石薄膜的质量。结... 首先,介绍直流电弧等离子体喷射化学气相沉积法的原理以及气体循环系统的设计和其优缺点;其次,详细介绍冷阱系统的设计及其工作原理;最后,使用拉曼光谱和傅里叶变换红外光谱与光致发光光谱对比添加冷阱系统前后的金刚石薄膜的质量。结果表明:冷阱系统可以有效过滤循环气路中的热油气,避免杂质的掺入;在添加冷阱系统后,金刚石膜内掺入的杂质减少,金刚石拉曼峰半高宽降低到6.76 cm^(−1),接近于Ib型单晶金刚石的,且自支撑金刚石膜的晶体质量明显提高,光学透过率提升较大,在10.6μm波长处达到68.4%。 展开更多
关键词 直流电弧等离子体喷射化学气相沉积法 金刚石膜 循环系统 冷阱
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新型MPCVD沉积模式制备高均匀性的D100mm金刚石薄膜 被引量:2
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作者 张帅 安康 +6 位作者 杨志亮 邵思武 陈良贤 魏俊俊 刘金龙 郑宇亭 李成明 《真空与低温》 2022年第5期549-555,共7页
频率为2.45 GHz的微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置能够沉积直径超过60 mm的金刚石薄膜,但由于MPCVD技术中等离子体的半球形分布特点,很难保证沉积出均匀性好的大尺寸薄膜,调整等离子体分布可以在一定程度上解决这一问题。基于数值... 频率为2.45 GHz的微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置能够沉积直径超过60 mm的金刚石薄膜,但由于MPCVD技术中等离子体的半球形分布特点,很难保证沉积出均匀性好的大尺寸薄膜,调整等离子体分布可以在一定程度上解决这一问题。基于数值模拟的研究发现,衬底边缘悬空产生的间隙能够形成空心阴极放电,提高边缘薄膜的沉积率,优化均匀性。检测结果表明,D100 mm金刚石薄膜上80个点的厚度方差值从4.5×10^(-4)降低到5.0×10^(-5),证明薄膜的均匀性得到提高。金刚石薄膜表面热应力分布更均匀,厚度极值差从70μm降低到30μm,从而降低了薄膜在研磨抛光中产生裂纹的可能性。在较低的沉积压力下,薄膜生长的均匀性和质量均有提升,极值差只有10μm。 展开更多
关键词 数值模拟 MPCVD 均匀性 边缘弱空心阴极效应 金刚石膜
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第三代半导体发展现状及未来展望
18
作者 高爽 郑宇亭 张志国 《科技导报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第8期29-38,共10页
在分析第三代半导体重要战略意义的基础上,讨论了中国在相关领域技术和产业化能力的发展状况,阐述了“大尺寸、降成本”是当前碳化硅及氮化镓技术的发展重心,并探讨了第三代半导体行业企业发展模式以及可能存在的问题及风险。尽管中国... 在分析第三代半导体重要战略意义的基础上,讨论了中国在相关领域技术和产业化能力的发展状况,阐述了“大尺寸、降成本”是当前碳化硅及氮化镓技术的发展重心,并探讨了第三代半导体行业企业发展模式以及可能存在的问题及风险。尽管中国已具备良好基础,但仍存在不足,建议在国家政策的指导下,以应用牵引实现发展,加大产线的持续支持力度,系统地丰富产品形态,促进第三代半导体产业高质量发展,把握未来应用新机遇。 展开更多
关键词 第三代半导体 碳化硅 氮化镓 5G通讯 企业模式
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歧管式全金刚石微通道表面终端及换热性能
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作者 冯旭瑞 韦欣怡 +5 位作者 张建军 郑宇亭 陈良贤 刘金龙 李成明 魏俊俊 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2023年第10期50-58,共9页
采用直流电弧等离子体喷射装置沉积金刚石膜,利用高能激光将其加工成Z型歧管式全金刚石微通道,对微通道进行氢等离子体处理、酸处理和氟等离子体处理后获得氢终端、氧终端和氟终端。通过搭建泵驱两相流体测试平台开展金刚石微通道换热... 采用直流电弧等离子体喷射装置沉积金刚石膜,利用高能激光将其加工成Z型歧管式全金刚石微通道,对微通道进行氢等离子体处理、酸处理和氟等离子体处理后获得氢终端、氧终端和氟终端。通过搭建泵驱两相流体测试平台开展金刚石微通道换热性能测试。研究发现,在恒定热流处理过程中,随运行时间增加,氢终端歧管式全金刚石微通道疏水性能快速降低;氧终端的亲水性能降低后趋于稳定;氟终端表面最为稳定,其疏水特性经初期轻微降低后保持恒定。同时,发现氧终端和氟终端的歧管式全金刚石微通道对沸腾初期换热以核态沸腾为主导,其核态为泡状流和弹状流。继续加热,大量气泡汇聚形成环形流,此时薄膜蒸发成为主导机制。疏水性的氟终端微通道会加速气泡成核,在流动沸腾状态下传热性能要大于氟终端。气泡过度的形成造成逆流的发生,氧终端微通道可以延缓逆流的发生,表现出更高的沸腾起始点和临界热流密度。而在沸腾状态氟终端微通道的传热系数高于氧终端,氟终端为更加适合的制备疏水性金刚石热沉的表面改性技术。 展开更多
关键词 歧管式 全金刚石微通道 终端稳定性 换热性能
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光学级多晶金刚石膜的快速生长 被引量:1
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作者 产思义 屠菊萍 +8 位作者 黄珂 邵思武 刘鹏 杨志亮 刘金龙 陈良贤 魏俊俊 郑宇亭 李成明 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第19期296-304,共9页
光学级金刚石膜的快速生长一直是微波化学气相沉积金刚石研究领域的热点和难点之一,通常对于大尺寸金刚石膜的生长速率和光学质量不可兼得。采用正交实验方法,优化光学级金刚石膜的工艺参数,最终在高功率、高甲烷同时辅助氧气刻蚀条件下... 光学级金刚石膜的快速生长一直是微波化学气相沉积金刚石研究领域的热点和难点之一,通常对于大尺寸金刚石膜的生长速率和光学质量不可兼得。采用正交实验方法,优化光学级金刚石膜的工艺参数,最终在高功率、高甲烷同时辅助氧气刻蚀条件下,实现了光学级金刚石材料的快速生长,其生长速率为3.1μm/h,可见光波段内透过率最高为70.9%,10.6μm处红外透过率达到68.9%。等离子体诊断结果表明,高质量金刚石的快速生长主要由于高功率密度有助于原子H的激发和CH4的分解,加入氧气也有助于CH4的分解,同时对非金刚石相具有刻蚀作用,从而实现了高质量金刚石膜的快速沉积。 展开更多
关键词 光学级金刚石膜 正交实验法 高功率密度 高生长速率 氧气
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