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重离子辐射对AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管低频噪声特性的影响
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作者 吕玲 邢木涵 +5 位作者 薛博瑞 曹艳荣 胡培培 郑雪峰 马晓华 郝跃 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期209-216,共8页
采用^(181)Ta^(32+)重离子辐射AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管,获得器件在重离子辐射前后的电学特性和低频噪声特性.重离子辐射导致器件的阈值电压正向漂移、最大饱和电流减小等电学参数的退化.微光显微测试发现辐射后器件热点数量明显增... 采用^(181)Ta^(32+)重离子辐射AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管,获得器件在重离子辐射前后的电学特性和低频噪声特性.重离子辐射导致器件的阈值电压正向漂移、最大饱和电流减小等电学参数的退化.微光显微测试发现辐射后器件热点数量明显增加,引入更多缺陷.随着辐射注量的增加,电流噪声功率谱密度逐渐增大,在注量为1×10^(10)ions/cm^(2)重离子辐射后,缺陷密度增大到3.19×10^(18)cm^(-3)·eV^(-1),不同栅压下的Hooge参数增大.通过漏极电流噪声归一化功率谱密度随偏置电压的变化分析,发现重离子辐射产生的缺陷会导致寄生串联电阻增大. 展开更多
关键词 重离子辐射 氮化镓 高电子迁移率晶体管 低频噪声
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金刚石二维电导和场效应管研究新进展
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作者 张金风 张进成 +2 位作者 任泽阳 苏凯 郝跃 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第6期2151-2160,共10页
金刚石表面沟道场效应管以氢终端金刚石表面的二维空穴气2DHG(Two-Dimensional Hole Gas)作为沟道实现输入电压对输出电流的控制,是目前金刚石电子器件的主流结构.该2DHG面电导具有可大范围调控的面电荷密度和较高空穴饱和漂移速度.本... 金刚石表面沟道场效应管以氢终端金刚石表面的二维空穴气2DHG(Two-Dimensional Hole Gas)作为沟道实现输入电压对输出电流的控制,是目前金刚石电子器件的主流结构.该2DHG面电导具有可大范围调控的面电荷密度和较高空穴饱和漂移速度.本文回顾了金刚石场效应管器件在直流、频率和功率特性的研究进展,揭示了低迁移率是制约金刚石低功耗高速数字电路、高频器件和高功率微波器件发展的主要因素.从理论和实验总结了金刚石表面电导出现的类调制掺杂的新掺杂机理,尤其实现了室温下2DHG霍尔迁移率提升到680 cm^(2)/Vs,材料方阻从10 kΩ/sq数量级降低到1.4 kΩ/sq电导性能的突破.相信这将会引起金刚石场效应管性能极大提升和器件的快速发展. 展开更多
关键词 金刚石 氢终端 场效应管 二维空穴气
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光子神经网络研究进展
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作者 项水英 宋紫薇 +3 位作者 张雅慧 郭星星 韩亚楠 郝跃 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2024年第7期27-50,共24页
在数据海量化、信息化的时代,电子计算机处理系统所面临的算力和能耗等性能要求愈发严苛,传统冯·诺依曼架构存在“内存墙”和“功耗墙”瓶颈,加之摩尔定律放缓甚至失效,使得电子芯片在计算速度和功耗方面遇到极大挑战,利用光计算... 在数据海量化、信息化的时代,电子计算机处理系统所面临的算力和能耗等性能要求愈发严苛,传统冯·诺依曼架构存在“内存墙”和“功耗墙”瓶颈,加之摩尔定律放缓甚至失效,使得电子芯片在计算速度和功耗方面遇到极大挑战,利用光计算替代传统电子计算将是解决当前算力与功耗问题的极具潜力的途径之一。本文系统地梳理了片上集成和自由空间的光子神经网络架构与算法方面的研究进展,详细介绍了典型的研究工作,然后讨论并对比了这两种光子神经网络的优劣势,以及光子神经网络的训练策略等。最后探讨了光子神经网络面临的挑战,并对其未来发展进行了前瞻性的展望。 展开更多
关键词 光子神经网络 片上集成 自由空间 类脑计算
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面向聚变中子探测的宽禁带半导体探测器关键问题与研究挑战
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作者 苏凯 张金风 +4 位作者 张逸韵 蒋树庆 郭辉 张进成 郝跃 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第8期2933-2938,共6页
近年来国际聚变反应研究获得重大进展,选择抗位移能力强的宽禁带半导体探测器是推动聚变研究的关键技术之一.金刚石超宽禁带半导体具备卓越抗辐照和时间响应等特性,是聚变诊断特别是高能中子诊断的理想材料,碳化硅宽禁带半导体也可测量... 近年来国际聚变反应研究获得重大进展,选择抗位移能力强的宽禁带半导体探测器是推动聚变研究的关键技术之一.金刚石超宽禁带半导体具备卓越抗辐照和时间响应等特性,是聚变诊断特别是高能中子诊断的理想材料,碳化硅宽禁带半导体也可测量中子,且大尺寸外延技术更成熟,可覆盖聚变研究装置上的大规模应用.通过这两种宽禁带半导体辐射探测器的研究并实现自主可控的高性能器件制备,将显著提高我国核聚变反应测量系统的性能,支持我国在未来的全球能源革命中处于领先优势.本文将对这两种宽禁带半导体探测器在聚变中子探测应用场景下研制的关键问题和研究挑战进行探讨,助力我国聚变能源开发和应用. 展开更多
关键词 中子探测器 金刚石 碳化硅 能量分辨 脉冲响应
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等离子体增强原子层沉积AlN外延单晶GaN研究
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作者 卢灏 许晟瑞 +9 位作者 黄永 陈兴 徐爽 刘旭 王心颢 高源 张雅超 段小玲 张进成 郝跃 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期547-553,共7页
氮化镓(GaN)作为第三代半导体材料,具有较大的禁带宽度,较高的击穿电场强度、电子迁移率、热导系数以及直接带隙等优异特性,被广泛应用于电子器件和光电子器件中。由于与衬底的失配问题,早期工艺制备GaN材料难以获得高质量单晶GaN薄膜... 氮化镓(GaN)作为第三代半导体材料,具有较大的禁带宽度,较高的击穿电场强度、电子迁移率、热导系数以及直接带隙等优异特性,被广泛应用于电子器件和光电子器件中。由于与衬底的失配问题,早期工艺制备GaN材料难以获得高质量单晶GaN薄膜。直到采用两步生长法,即先在衬底上低温生长氮化铝(AlN)成核层,再高温生长GaN,才极大地提高了GaN材料的质量。目前用于制备AlN成核层的方法有磁控溅射以及分子束外延等,为了进一步提高GaN晶体质量,本研究提出在两英寸c面蓝宝石衬底上使用等离子体增强原子层沉积(Plasma-enhanced Atomic Layer Deposition,PEALD)方法制备AlN成核层来外延GaN。相比于磁控溅射方法,PEALD方法制备AlN的晶体质量更好;相比于分子束外延方法,PEALD方法的工艺简单、成本低且产量大。沉积AlN的表征结果表明,AlN沉积速率为0.1 nm/cycle,并且AlN薄膜具有随其厚度变化而变化的岛状形貌。外延GaN表征结果表明,当沉积厚度为20.8 nm的AlN时,GaN外延层的表面最平整,均方根粗糙度为0.272 nm,同时具有最好的光学特性以及最低的位错密度。本研究提出了在PEALD制备的AlN上外延单晶GaN的新方法,沉积20.8 nm的AlN有利于外延高质量的GaN薄膜,可以用于制备高电子迁移率晶体管及发光二极管。 展开更多
关键词 GAN ALN 等离子体增强原子层沉积 成核层 外延
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离子注入诱导成核外延高质量AlN
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作者 余森 许晟瑞 +6 位作者 †陶鸿昌 王海涛 安瑕 杨赫 许钪 张进成 郝跃 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第19期244-250,共7页
超宽禁带AlN材料具有禁带宽度大、击穿电场高、热导率高、直接带隙等优势,被广泛应用于光电子器件和电力电子器件等领域.AlN材料的质量影响着AlN基器件的性能,为此研究人员提出了多种方法来提高异质外延AlN晶体的质量,但是这些方法工艺... 超宽禁带AlN材料具有禁带宽度大、击穿电场高、热导率高、直接带隙等优势,被广泛应用于光电子器件和电力电子器件等领域.AlN材料的质量影响着AlN基器件的性能,为此研究人员提出了多种方法来提高异质外延AlN晶体的质量,但是这些方法工艺复杂且成本高昂.因此,本文提出了诱导成核的新方法来获得高质量的AlN材料.首先,对纳米图案化的蓝宝石衬底注入不同剂量的N离子进行预处理,随后基于该衬底用金属有机化学气相沉积法外延AlN基板,并在其上生长多量子阱结构,最后基于此多量子阱结构制备紫外发光二极管.研究结果表明,在注入N离子剂量为1×10^(13) cm^(-2)的衬底上外延获得的AlN基板,其表面粗糙度最小且位错密度最低.由此可见,适当剂量的N离子注入促进了AlN异质外延过程中的横向生长与合并过程;这可能是因为N离子的注入,抑制了初期成核过程中形成的扭曲的镶嵌结构,有效地降低了AlN的螺位错以及刃位错密度.此外,基于该基板制备的多量子阱结构,其残余应力最小,光致发光强度提高到无注入样品的152%.此外,紫外发光二极管的光电性能大幅提高,当注入电流为100 mA时,光输出功率和电光转换效率分别提高了63.8%和61.7%. 展开更多
关键词 氮化铝 离子注入 金属有机化学气相淀积 发光二极管
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孔金属化设计对高温共烧陶瓷基板热阻的影响
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作者 刘林杰 李杰 郝跃 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第9期867-872,共6页
高温共烧陶瓷(HTCC)基板广泛应用于电子封装领域,其热阻是一个重要指标。围绕Al_(2)O_(3)和AlN陶瓷基板,探究在不同金属化孔间距和布局下的热阻规律。建立了陶瓷基板热传递有限元模型,并对其热阻进行仿真。制备了两种陶瓷基板,测试了其... 高温共烧陶瓷(HTCC)基板广泛应用于电子封装领域,其热阻是一个重要指标。围绕Al_(2)O_(3)和AlN陶瓷基板,探究在不同金属化孔间距和布局下的热阻规律。建立了陶瓷基板热传递有限元模型,并对其热阻进行仿真。制备了两种陶瓷基板,测试了其在不同功率负载下的热阻。测试结果表明,相同规格的AlN陶瓷基板的热阻约为Al_(2)O_(3)的25%;Mo孔金属化对Al_(2)O_(3)陶瓷基板的散热能力有明显提升作用,孔密度越大,基板热阻越低;而不同W金属化孔密度下的AlN基板热阻没有显著差异。仿真结果与实测结果基本吻合,为陶瓷基板的热设计提供了参考。 展开更多
关键词 陶瓷基板 高温共烧陶瓷(HTCC) 热阻 热设计 孔金属化
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一种20GHz四通道差分传输CQFN外壳
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作者 刘林杰 郝跃 +1 位作者 杨振涛 余希猛 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第8期773-778,共6页
基于高温共烧陶瓷(HTCC)技术,设计了一款适用于四通道差分信号并行传输的高密度陶瓷四边无引线扁平(CQFN)外壳。差分传输的垂直结构采用侧面城堡结构和金属化过孔相结合的设计,该结构可以在保证差分信号传输质量的同时,兼顾外壳的板级... 基于高温共烧陶瓷(HTCC)技术,设计了一款适用于四通道差分信号并行传输的高密度陶瓷四边无引线扁平(CQFN)外壳。差分传输的垂直结构采用侧面城堡结构和金属化过孔相结合的设计,该结构可以在保证差分信号传输质量的同时,兼顾外壳的板级安装可靠性,同时在该结构基础上对金属化过孔直径以及多通道并行结构进行仿真和优化。测试结果表明,在DC~20 GHz频段,该CQFN外壳的单通道差分传输结构的回波损耗≤-10.00 dB,插入损耗优于-1.50 dB,验证了该外壳可以有效地保证信号的完整性。利用实测数据进行信号传输验证,结果表明四通道差分传输结构可支持20 GHz信号传输。 展开更多
关键词 陶瓷四边无引线扁平(CQFN)外壳 差分传输结构 垂直互连 高密度 信号完整性
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开态应力下氮化镓HEMT器件的退化机理研究
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作者 韩红波 张豪 +3 位作者 郑雪峰 马晓华 于洪喜 郝跃 《空间电子技术》 2024年第5期62-67,共6页
当前,氮化镓(gallium nitride,GaN)高电子迁移率晶体管(high electron mobility transistors,HEMTs)器件已逐渐被广泛应用。然而,退化问题仍然是困扰其高可靠应用的重要因素。特别是开态应力下,器件的退化机理值得深入研究。文章基于实... 当前,氮化镓(gallium nitride,GaN)高电子迁移率晶体管(high electron mobility transistors,HEMTs)器件已逐渐被广泛应用。然而,退化问题仍然是困扰其高可靠应用的重要因素。特别是开态应力下,器件的退化机理值得深入研究。文章基于实验测试及仿真,重点研究了氮化镓射频HEMT器件在开态应力下的退化现象与机理。研究结果表明,单一的高漏压应力并不会对器件带来明显退化,而高漏压与大的漏极电流结合则会对器件产生明显退化,这一影响重点集中在栅极与漏极之间的有源区。需要注意的是,栅极偏置电压在沟道电子进入栅下区域的过程中也起到了重要作用。开态应力下,栅极偏压形成的垂直电场会使得器件栅下区域损伤更加严重。文章的研究成果可以为氮化镓射频器件在复杂环境下的高可靠性应用提供重要支撑。 展开更多
关键词 氮化镓 开态应力 热电子效应 电子俘获 可靠性
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金刚石硼掺杂准垂直肖特基二极管特性研究
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作者 李逸江 宋松原 +6 位作者 任泽阳 祝子辉 张金风 苏凯 张进成 马源辰 郝跃 《真空电子技术》 2024年第5期64-70,共7页
金刚石是超宽禁带半导体材料的典型代表,因其优异的材料特性,在高温、高频、大功率微波和电力电子器件应用中有着显著的优势。金刚石体掺杂p型二极管由于工艺简单、并且有望发挥出金刚石击穿场强高的特性。采用微波等离子体化学气相沉... 金刚石是超宽禁带半导体材料的典型代表,因其优异的材料特性,在高温、高频、大功率微波和电力电子器件应用中有着显著的优势。金刚石体掺杂p型二极管由于工艺简单、并且有望发挥出金刚石击穿场强高的特性。采用微波等离子体化学气相沉积设备实现了单晶金刚石外延过程中硼掺杂浓度的调控,在金刚石本征衬底上制备出p^(-)/p^(+)结构的金刚石外延层,掺杂浓度分别为1018 cm^(-3)和1020 cm^(-3)。进而采用该结构制备了金刚石准垂直结构的肖特基二极管器件。测试结果表明,器件正向导通电阻为90 mΩ·cm^(2),开启电压约为-1.68 V,反向击穿场强为2.4 MV/cm,归一化后的电流密度为53.05 A/cm^(2)。计算得该器件中漂移层的载流子浓度为1.16×10^(18)cm^(-3)。 展开更多
关键词 金刚石 硼掺杂 肖特基二极管 准垂直结构
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具有微型倾斜栅场板的高频AlGaN/GaN HEMT器件结构研究
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作者 黄真通 宓珉瀚 +2 位作者 王鹏飞 马晓华 郝跃 《空间电子技术》 2024年第4期27-33,共7页
较小的器件尺寸可以帮助GaN基HEMT实现更高的频率特性,但会使器件内部电场集聚,引起击穿电压降低,严重限制器件的高频功率特性。为了解决上述问题,采用微型倾斜栅场板,可以在保持频率特性的情况下提升器件的击穿电压。通过对具有不同关... 较小的器件尺寸可以帮助GaN基HEMT实现更高的频率特性,但会使器件内部电场集聚,引起击穿电压降低,严重限制器件的高频功率特性。为了解决上述问题,采用微型倾斜栅场板,可以在保持频率特性的情况下提升器件的击穿电压。通过对具有不同关键参数(既倾斜角度)的AlGaN/GaN HEMT进行仿真分析,系统研究不同倾斜角度对器件特性的影响。研究发现击穿电压(V_(BK))随着倾斜角度的减小而增大;电流截止频率(f_(T))和最大振荡频率(f_(max))均随着倾斜角度的减小而降低。JFOM(JFOM=f_(T)·V_(BK))随着倾斜角度的减小先增大后降低,具有26.6°倾斜角度的器件的JFOM最大,达到了11.13THz V。通过大信号仿真,发现具有最优倾斜角度的器件工作在深AB类状态时,器件的最大增益、饱和输出功率密度、功率附加效率(PAE)分别为12.90dB、5.62W/mm、52.56%。 展开更多
关键词 AlGaN/GaN HEMTs 高频 微型倾斜栅场板 约翰逊品质因数 大信号仿真
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AlGaN/GaN肖特基二极管阳极后退火界面态修复技术
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作者 武鹏 李若晗 +2 位作者 张涛 张进成 郝跃 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第19期278-284,共7页
AlGaN/GaN异质结构材料在较强自发极化和压电极化的作用下,会产生高面密度和高迁移率的二维电子气,保障了基于该异质结构的GaN肖特基二极管器件具有高输出电流密度和低导通电阻特性.阳极作为GaN肖特基二极管的核心结构,对器件的开启电... AlGaN/GaN异质结构材料在较强自发极化和压电极化的作用下,会产生高面密度和高迁移率的二维电子气,保障了基于该异质结构的GaN肖特基二极管器件具有高输出电流密度和低导通电阻特性.阳极作为GaN肖特基二极管的核心结构,对器件的开启电压、反向漏电、导通电阻、击穿电压等核心参数具有重要影响.因此,制备低界面态密度肖特基结是实现高性能GaN肖特基二极管的前提.本文基于低功函数金属钨阳极AlGaN/GaN肖特基二极管结构,通过采用阳极后退火技术促进阳极金属与下方GaN材料反应成键,有效抑制了阳极金-半界面的界面态密度,经阳极后退火处理后,器件阳极界面态密度由9.48×10^(15)eV^(-1)·cm^(-2)降低至1.77×10^(13)eV^(-1)·cm^(-2).得益于良好的阳极低界面态特性,反向偏置下,阳极隧穿路径被大幅度抑制,器件反向漏电降低了2个数量级.另外,器件正向导通过程中,载流子受界面陷阱态影响的输运机制也被抑制,器件微分导通电阻从17.05Ω·mm降低至12.57Ω·mm.实验结果表明,阳极后退火技术可以有效抑制阳极金-半界面态密度,大幅度提高GaN肖特基二极管的器件特性,是制备高性能GaN肖特基二极管器件的核心关键技术. 展开更多
关键词 ALGAN/GAN 肖特基二极管 低反向漏电 低界面态密度
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基于湿法腐蚀凹槽阳极的低漏电高耐压AlGaN/GaN肖特基二极管
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作者 武鹏 朱宏宇 +3 位作者 吴金星 张涛 张进成 郝跃 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第17期364-370,共7页
得益于铝镓氮/氮化镓异质结材料较大的禁带宽度、较高的击穿场强以及异质界面存在的高面密度及高迁移率的二维电子气,基于该异质结材料的器件在高压大功率及微波射频方面具有良好的应用前景,尤其是随着大尺寸硅基氮化镓材料外延技术的... 得益于铝镓氮/氮化镓异质结材料较大的禁带宽度、较高的击穿场强以及异质界面存在的高面密度及高迁移率的二维电子气,基于该异质结材料的器件在高压大功率及微波射频方面具有良好的应用前景,尤其是随着大尺寸硅基氮化镓材料外延技术的逐渐成熟,低成本的氮化镓器件在消费电子方面也展现出极大的优势.为了提高铝镓氮/氮化镓肖特基二极管的整流效率,通常要求器件具有较小的开启电压、较低的反向漏电和较高的击穿电压,采用低功函数金属阳极结构能有效降低器件开启电压,但较低的阳极势垒高度使器件易受界面缺陷的影响,导致器件反向漏电增大.本文采用一种新型的基于热氧氧化及氢氧化钾腐蚀的低损伤阳极凹槽制备技术,解决了常规干法刻蚀引入的表面等离子体损伤难题,使凹槽表面粗糙度由0.57 nm降低至0.23 nm,器件阳极反向偏置为-1 kV时的漏电流密度由1.5×10^(-6) A/mm降低至2.6×10^(-7) A/mm,另外,由于热KOH溶液对热氧氧化后的AlGaN势垒层及GaN沟道层具有良好的腐蚀选择比,因此避免了干法刻蚀腔体中由于等离子体分布不均匀导致的边缘刻蚀尖峰问题,使器件反向耐压由-1.28 kV提升至-1.73 kV,器件性能得到极大提升. 展开更多
关键词 铝镓氮/氮化镓 肖特基二极管 低反向漏电 高击穿电压
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DRS660筛分式双齿辊破碎机齿辊优化改进
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作者 郝跃 李永强 《煤炭加工与综合利用》 CAS 2024年第8期42-45,共4页
针对新疆准东能源公司的DRS660筛分式双齿辊破碎机出现的破碎齿磨损严重、更换频繁、破碎效率低下及破碎堵塞等问题,在不改变原有破碎机本体结构条件下,采取交错高低齿和双侧齿梳结构优化破碎齿板。生产实践表明,优化后的破碎机处理能... 针对新疆准东能源公司的DRS660筛分式双齿辊破碎机出现的破碎齿磨损严重、更换频繁、破碎效率低下及破碎堵塞等问题,在不改变原有破碎机本体结构条件下,采取交错高低齿和双侧齿梳结构优化破碎齿板。生产实践表明,优化后的破碎机处理能力达到560 t/h,梳齿板使用寿命长达10~12个月,出料粒级50~25 mm占比达到59.05%,取得了显著的经济效益。 展开更多
关键词 筛分式破碎机 齿板 交错高低齿 双侧齿梳
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多晶金刚石薄膜硅空位色心形成机理及调控 被引量:1
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作者 李俊鹏 任泽阳 +7 位作者 张金风 王晗雪 马源辰 费一帆 黄思源 丁森川 张进成 郝跃 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第3期299-306,共8页
金刚石硅空位色心在量子信息技术和生物标记领域有重要应用前景.本文对硅衬底上多晶金刚石生长过程中硅空位色心形成机理及调控方法进行研究.通过改变金刚石生长氛围中的氮气和氧气比例,实现了对硅空位色心发光强度的有效调控,所制备系... 金刚石硅空位色心在量子信息技术和生物标记领域有重要应用前景.本文对硅衬底上多晶金刚石生长过程中硅空位色心形成机理及调控方法进行研究.通过改变金刚石生长氛围中的氮气和氧气比例,实现了对硅空位色心发光强度的有效调控,所制备系列多晶金刚石样品的光致发光光谱显示,硅空位色心荧光峰与金刚石本征峰的比值最低为1.48,最高可达334.46,该比值与金刚石晶粒尺寸正相关.进一步用光致发光面扫描和拉曼面扫描分析样品可知,多晶金刚石中的硅应来自于硅衬底,在多晶金刚石生长过程中,衬底硅单质先扩散至金刚石晶粒处,随着金刚石晶粒生长,硅单质再扩散并入金刚石晶体结构中形成硅空位色心.不同样品硅空位发光强度的差异,是由于生长过程中氮气和氧气对金刚石硅空位色心的形成分别起到促进和抑制的作用. 展开更多
关键词 金刚石 硅空位色心 光致发光 拉曼光谱
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斜切蓝宝石衬底上GaN薄膜的位错降低机制 被引量:1
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作者 徐爽 许晟瑞 +7 位作者 王心颢 卢灏 刘旭 贠博祥 张雅超 张涛 张进成 郝跃 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第19期188-194,共7页
GaN材料以其宽禁带、高击穿电场、高热导率、直接带隙等优势被广泛应用于光电子器件、大功率器件以及高频微波器件等方面.由于GaN材料异质外延带来的大晶格失配和热失配问题,GaN在生长过程中会产生大量位错,降低了GaN材料晶体质量,导致... GaN材料以其宽禁带、高击穿电场、高热导率、直接带隙等优势被广泛应用于光电子器件、大功率器件以及高频微波器件等方面.由于GaN材料异质外延带来的大晶格失配和热失配问题,GaN在生长过程中会产生大量位错,降低了GaN材料晶体质量,导致器件性能难以进一步提升.为此,研究人员提出使用斜切衬底来降低位错密度,但是关于斜切衬底上外延层的位错湮灭机制的研究还不充分.所以,本文采用金属有机化合物化学气相淀积技术在不同角度的斜切蓝宝石衬底上生长了GaN薄膜,采用原子力显微镜、高分辨X射线衍射仪、光致发光测试、透射电子显微镜详细地分析了斜切衬底对GaN材料的影响.斜切衬底可以显著降低GaN材料的位错密度,但会导致其表面形貌发生退化.并且衬底斜切角度越大,样品的位错密度越低.通过透射电子显微镜观察到了斜切衬底上特殊的位错终止现象,这是斜切衬底降低位错密度的主要原因之一.基于上述现象,提出了斜切衬底上GaN生长模型,解释了斜切衬底提高GaN晶体质量的原因. 展开更多
关键词 斜切蓝宝石衬底 GAN 位错终止 透射电子显微镜
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Sensitivity investigation of 100-MeV proton irradiation to SiGe HBT single event effect
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作者 冯亚辉 郭红霞 +7 位作者 刘益维 欧阳晓平 张晋新 马武英 张凤祁 白如雪 马晓华 郝跃 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第1期554-562,共9页
The single event effect(SEE) sensitivity of silicon–germanium heterojunction bipolar transistor(Si Ge HBT) irradiated by 100-Me V proton is investigated. The simulation results indicate that the most sensitive positi... The single event effect(SEE) sensitivity of silicon–germanium heterojunction bipolar transistor(Si Ge HBT) irradiated by 100-Me V proton is investigated. The simulation results indicate that the most sensitive position of the Si Ge HBT device is the emitter center, where the protons pass through the larger collector-substrate(CS) junction. Furthermore, in this work the experimental studies are also carried out by using 100-Me V proton. In order to consider the influence of temperature on SEE, both simulation and experiment are conducted at a temperature of 93 K. At a cryogenic temperature, the carrier mobility increases, which leads to higher transient current peaks, but the duration of the current decreases significantly.Notably, at the same proton flux, there is only one single event transient(SET) that occurs at 93 K. Thus, the radiation hard ability of the device increases at cryogenic temperatures. The simulation results are found to be qualitatively consistent with the experimental results of 100-Me V protons. To further evaluate the tolerance of the device, the influence of proton on Si Ge HBT after gamma-ray(^(60)Coγ) irradiation is investigated. As a result, as the cumulative dose increases, the introduction of traps results in a significant reduction in both the peak value and duration of the transient currents. 展开更多
关键词 silicon–germanium heterojunction bipolar transistor(Si Ge HBT) 100-Me V proton technology computer-aided design(TCAD) single event effect(SEE)
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DC-55 GHz高性能焊球阵列封装用非垂直互连结构
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作者 刘林杰 郝跃 +2 位作者 周扬帆 王轲 乔志壮 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第3期363-370,共8页
根据5G信号对通道带宽的要求,通过研究陶瓷基板中“类同轴”互连的微波特性,设计了一种新型非垂直互连结构,通过陶瓷介电层之间金属化通孔的错位设计,改善垂直过孔与水平传输线转弯处的阻抗突变,更有利于高频信号的传输,进一步扩展带宽... 根据5G信号对通道带宽的要求,通过研究陶瓷基板中“类同轴”互连的微波特性,设计了一种新型非垂直互连结构,通过陶瓷介电层之间金属化通孔的错位设计,改善垂直过孔与水平传输线转弯处的阻抗突变,更有利于高频信号的传输,进一步扩展带宽。分析了错位角度、阶梯级数、焊球半径和焊球间距对传输性能的影响,设计并实现了宽带低损耗互连陶瓷基板。测试结果表明,该结构的最高应用频率可达55 GHz,在DC-55 GHz频带内插入损耗小于1.5 dB,回波损耗大于15 dB,同时利用实测数据进行信号传输验证,结果表明在未引入预加重、均衡的情况下即可满足56 G/112 G NRZ,112 G PAM4高速信号的传输。 展开更多
关键词 无线通信 5G 高速 陶瓷基板 类同轴 预加重
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聚丙烯-石英砂-石墨三元复合材料的制备及性能研究
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作者 李永强 许圣业 +3 位作者 郝跃 刘迪 姜玉恒 杨俊峰 《科技资讯》 2024年第2期103-106,共4页
以二氧化硅(SiO_(2))和石墨(Graphite)为填料,聚丙烯(PP)为基体,通过机械球磨混合,高温加热成浆料,模压成型制备了聚丙烯-二氧化硅-石墨三元复合材料(PSG),并对复合材料的抗压强度和表面电阻率进行了测试,研究了石英砂和石墨的含量对PS... 以二氧化硅(SiO_(2))和石墨(Graphite)为填料,聚丙烯(PP)为基体,通过机械球磨混合,高温加热成浆料,模压成型制备了聚丙烯-二氧化硅-石墨三元复合材料(PSG),并对复合材料的抗压强度和表面电阻率进行了测试,研究了石英砂和石墨的含量对PSG性能的影响。研究结果表明:石墨的添加可以提高PSG的电导率,当石墨含量达到14%时,PSG的表面电阻率为1.9×10^(8)Ω,具有抗静电性能;随着石英砂的添加,PSG的抗压强度表现为先增加后减少的变化规律,当石英砂的含量为65 wt%时,PSG的抗压强度达到最大值73 MPa,与聚丙烯-石墨复合材料相比提高了1.3倍。 展开更多
关键词 聚丙烯 二氧化硅 石墨 复合材料
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基于EDEM的辊式破碎机的破碎性能分析
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作者 李永强 郝跃 《煤炭加工与综合利用》 CAS 2024年第8期51-54,共4页
考虑到大型矿山机械设备的研发与优化需要建立在大量实验数据的基础上,但是实体研发不仅需要耗费大量人力物力,而且时效性低,利用EDEM仿真软件对辊式破碎机工作性能进行分析。首先使用三维建模软件建立齿辊式破碎机三维模型,导入EDEM软... 考虑到大型矿山机械设备的研发与优化需要建立在大量实验数据的基础上,但是实体研发不仅需要耗费大量人力物力,而且时效性低,利用EDEM仿真软件对辊式破碎机工作性能进行分析。首先使用三维建模软件建立齿辊式破碎机三维模型,导入EDEM软件中,在软件中设置运动部件运动参数;然后设置颗粒工厂,生成模拟物料,利用颗粒粘结模型(BPM)模拟破碎物料;最后运行仿真程序,进行物料破碎模拟,得到不同工况下的运行参数。仿真结果表明,齿辊转速度增加,产量和功率会随之增加,但是产量的增长趋势会随之减缓。随着齿辊间距的增加,产量会随之增加,但是产量的增长并不是线性的,增速会出现先减慢再增快的趋势,为辊式破碎机的参数优化和选型提供了参考。 展开更多
关键词 破碎机 EDEM 颗粒粘结模型 模拟仿真
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