退火对非晶Al_2O_3高k栅介质薄膜特性的影响

利用射频反应溅射方法制备了Al2O3非晶薄膜,用椭圆偏振仪获得了薄膜的厚度,用高频C-V和变频C-V及J-V测量了薄膜的电学特性,用X射线以衍射(XRD)检测了薄膜的结构,用原子力显微镜(AFM)观察了薄膜的表面形貌.实验得到了电学特性优异的薄膜样品,对薄膜的退火研究发现,氮气低温退火使Al2O3薄膜的介电常数得到了提高并使漏电流特性得到了改善.可以认为,氮气退火消除了薄膜中原有的缺陷,并使得薄膜更加致密是主要的原因,而过高温度的退火会导致氧化铝中少量的氧的损失,从而导致了氧化铝层中固定电荷密度的增大,进而出现了大的平带电压.XRD显示样品的非晶特性非常稳定,AFM显示薄膜表面非常平整,能够满足大规模集成电路短期的发展需要.

分子模板法制备纳米多孔SiO_2薄膜

报道了用分子模板法制备纳米有序多孔SiO2 薄膜。用扫描电子显微镜 (SEM)观察改性前后薄膜的表面形貌 ,发现改性后薄膜孔洞大小均匀 ,排列有序 ,孔径在 2 0 0nm左右。付立叶红外变换光谱 (FTIR)研究表明 ,改性后薄膜内存在大量的 -CH3键 ,增强了薄膜的憎水性 ,可以有效抑制孔洞塌缩。用椭圆偏振光测试仪测量并计算了薄膜的介电常数和膜厚 ,并且研究了热处理温度对二者的影响 ,发现当热处理温度为3 5 0℃时薄膜厚度约为 40 0nm ,此时介电常数有最低值 1.

可持续开发利用的PCB实践课程设计

以燕山大学电子信息科学与技术专业的PCB课程设计实践教学环节为例,介绍了近年来该专业通过以单片机最小系统为载体的PCB电路板设计,将学生自主设计开发出的电路板带入下一级实践环节,充分发挥和扩展每一级实物设计的功能,实现了PCB设计电路板的可持续开发利用,提高了实践教学经费的综合利用效率,使学生的实践活动由被动的模仿式学习转变为主动的创新性实践。

闪烁体Y_2SiO_5:Ce的发光特性

Y_2SiO_5:Ce^(3+)(YSO:Ce)具有高密度、不吸潮以及良好的光输出和快速衰减的特性,是一种重要的闪烁材料。研究采用高温固相法制备Y_2SiO_5:Ce^(3+)+0.2%(YSO:Ce)。在低温及室温下,对闪烁体YSO:Ce的时间分辨发射光谱、激发光谱以及衰减曲线进行了测量和分析。YSO:Ce主要有两类发射,一是晶体的缺陷发射,发射中心在320 nm;二是掺杂的Ce^(3+)的5d→4f发射,发射中心在440 nm。只有当激发能量(E_x)大于材料带隙宽度(E_g)时才能够激发出晶体缺陷发射,对应慢速的激发发射过程,且低温时发射强度较大,当温度升高时有温度猝灭,在室温下时间分辨发射光谱中几乎观察不到晶体缺陷发射。对于发射中心位于440 nm Ce^(3+)的5d→4f能级发射,在60~300 nm范围内能够观察到多个激发峰,其中能量小于材料禁带宽度的激发是属于Ce^(3+)5d能级的直接激发带,对应快速的激发发射过程。在低温时能够观测到发光中心位于392和426 nm分立的发射峰,对应Ce^(3+)的5d→4f(~2F_(5/2),~2F_(7/2))的发射。当温度升高到室温时,光谱宽化,无法观测到分立的发射峰。在温度200和300 K时,当激发光的能量大于带隙宽度,衰减曲线有明显的上升沿,说明有能量传递给Ce^(3+)。

基于GIS的秦皇岛市旅游信息系统(QTIS)设计研究

本文主要以GIS为技术平台,开发了秦皇岛旅游信息系统,把秦皇岛市的旅游活动信息进行采集、存储、管理、分析、计算和显示,以各种手段综合的展示了GIS处理信息的结果,为秦皇岛市的旅游业发展提供可靠的科学依据。

烟幕干扰的建模与仿真

阐述了舰用遮蔽式烟幕干扰的工作机理,对典型舰用遮蔽式烟幕干扰进行了数学模拟仿真,建立了舰艇、烟幕、导弹的数学模型,提出了干扰评估准则,给出了仿真流程图。并对多次仿真结果进行了统计分析,获得了烟幕弹战斗使用的一般规律。

渐进式实践教学体系的设计

如何优化高校理工科实践成本,提高实践经费的综合使用效率,提高学生的创新实践能力,是高等学校亟待研究解决的问题。以燕山大学电子信息科学与技术专业的实践教学环节为例,该专业近年来通过渐进式教学设计方法,减少了以实物设计为载体的实践教学成本,实现了实践教学经费的合理支配,通过项目式教学以及竞赛机制,使学生由单纯的模仿式学习转变为主动的创新性开发,达到了教学成本的优化与学生创新实践能力提高的双重目的。

全耗尽SOI MOSFET自加热效应的模拟研究

利用Silvaco软件模拟全耗尽SOI n沟道MOSFET器件的自加热效应。在温度300～500K、栅偏压2～10V范围内研究了该器件的ID-VD特性和器件的温度分布规律。在低温和高栅偏压时,SOI结构中自加热效应明显。此现象归因于低温和高栅偏压时,SOI n-MOSFET中的漏电流密度大,热载流子使晶格升温迅速。

Effect of film thickness on interfacial barrier of manganite-based heterojunctions

Interracial barrier is a key factor that determines the performances of heterojunctions. In this work, we study the effect of manganite film thickness on the effective interracial barrier for La0.67Sr0.33MnO3/Nb：SrTiO3 junctions, The barrier is extracted from the forward current-voltage characteristics. Our results demonstrate that the barrier decreases gradually from -0.85 eV to -0.60 eV when the film thickness decreases from 150 nm to 2 nm. The overall value of the barrier is only about 50% of the corresponding one determined from the photovoltaic effect.

面向学生发展需求的微专业建设实践

微专业是一种注重满足学生个性化发展需要、提升人才培养供给与社会需求契合度的培养模式。该文依托微电子微专业的建设实践,建立了适应微专业人才培养的教学方案,通过课程知识网络构建、翻转课堂建设和差异化考核等教学手段,实现了解决学生学习困难和激发学生学习兴趣的目的,并对基于微专业人才培养模式的教师队伍建设提出了建议。

Y掺杂Al_2O_3高k栅介质薄膜的制备及性能研究

利用射频反应共溅射方法制备了Y掺杂Al2O3电介质薄膜,用掠入射x射线衍射检测了薄膜的结构,用高分辨率扫描电子显微镜(HRSEM)、原子力显微镜(AFM)观察了薄膜断面和表面形貌,用高频C_V和变频C_V及J_V测量了样品的电学特性.结果表明,Y的掺入使电介质薄膜的介电常数k有了很大提高(8.14—11.8),并体现出了较好的介电特性.分析认为与氧具有较大电负性差的Y离子的加入,增大了薄膜中的金属—氧键(M—O)的强度;同时,Y的加入使Al2O3的结构和原子配位发生了改变,从而提高了离子极化对薄膜介电常数的贡献.退火前后的XRD谱均显示薄膜为非晶态;HRSEM断面和AFM形貌像显示所制备的薄膜非常平整,能够满足器件要求.

《集成电路原理与设计》课程思政教学设计与思考

该文从《集成电路原理与设计》的课程思政情况着手,阐述了课程思政的教学设计,分析了多媒体教学与校企合作等教学手段对课程思政的支撑作用,梳理了思政案例与思政内容的关系,介绍了关联法、类比法和评论法等思政案例的引入途径。结合教学实施中的经验,讨论了教师的认同与师生互动在课程思政中的关键作用。