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基于TRIZ理论的一种提升罗茨真空泵基础压力的设计方法 被引量:1
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作者 李小金 李正清 +3 位作者 韩仙虎 蔡宇宏 杨建斌 刘筱文 《真空》 CAS 2024年第2期62-67,共6页
以TRIZ理论为研究工具,采用因果分析方法得到了影响罗茨真空泵基础压力的根本原因和薄弱点,通过技术矛盾和技术系统进化法则解决方案模型的启示,进一步改进了罗茨真空泵的密封结构和转子型线,然后基于改进方案,对ZJP70型罗茨真空泵进行... 以TRIZ理论为研究工具,采用因果分析方法得到了影响罗茨真空泵基础压力的根本原因和薄弱点,通过技术矛盾和技术系统进化法则解决方案模型的启示,进一步改进了罗茨真空泵的密封结构和转子型线,然后基于改进方案,对ZJP70型罗茨真空泵进行了优化。测试结果表明:在同等条件下,优化后的新型罗茨真空泵基础压力提升明显,同时最大零流量压缩比、整机漏率和噪声等核心指标也得到了显著改善。 展开更多
关键词 罗茨真空泵 基础压力 TRIZ 真空电机 转子型线
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一种腰部为椭圆线的罗茨真空泵转子型线设计与分析
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作者 李正清 韩仙虎 +4 位作者 蔡宇宏 杨建斌 李小金 刘筱文 王毅 《真空》 2024年第1期47-51,共5页
转子作为罗茨泵的关键零部件之一,对产品的整机性能具有重要影响,而转子设计的核心是转子型线的设计。本文以腰部椭圆线为基础开展转子型线设计,转子位于节圆内的型线由椭圆线构成,位于节圆外的型线由椭圆线的共轭曲线组成。设计中首先... 转子作为罗茨泵的关键零部件之一,对产品的整机性能具有重要影响,而转子设计的核心是转子型线的设计。本文以腰部椭圆线为基础开展转子型线设计,转子位于节圆内的型线由椭圆线构成,位于节圆外的型线由椭圆线的共轭曲线组成。设计中首先确定位于腰部的椭圆线及其啮合角,然后应用两个转子间的啮合关系,分析求解型线位于节圆外的共轭曲线,从而获得整个转子型线。最后,设计了抽速为70 L/s的罗茨泵转子,并分析了转子容积利用率与独立可变参数的关系。该型线与顶部为椭圆线的转子型线相比,容积利用率可大于50%,优势明显。 展开更多
关键词 罗茨真空泵 椭圆 共轭曲线 容积利用率
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用于柔性电子器件的有机/无机薄膜封装技术研究进展
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作者 冯尔鹏 董茂进 +7 位作者 韩仙虎 蔡宇宏 冯煜东 王毅 马敏 王冠 秦丽丽 马凤英 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期101-112,共12页
有机/无机薄膜封装技术被广泛用于有机发光二极管(OLED)、量子点显示及有机光伏等领域,是一种新型的柔性封装技术。综述近年来有机/无机薄膜封装技术的发展趋势,首先概述了传统硬质盖板封装方式与薄膜封装方式的发展及其优缺点。其次,... 有机/无机薄膜封装技术被广泛用于有机发光二极管(OLED)、量子点显示及有机光伏等领域,是一种新型的柔性封装技术。综述近年来有机/无机薄膜封装技术的发展趋势,首先概述了传统硬质盖板封装方式与薄膜封装方式的发展及其优缺点。其次,系统地总结了有机/无机薄膜的制备方法,如原子层沉积、等离子体化学气相沉积等,详细阐述了不同制备方法的原理及其应用。再次,讨论了薄膜的微观缺陷、内应力,以及材料界面工程对有机/无机薄膜封装性能的影响,分析总结了有机/无机封装薄膜制备的技术要点,如采用基底表面预处理、引入中性层、调节层间应力等方式获得优质的封装薄膜。最后,探究了有机/无机封装薄膜的内在阻隔机理,提出气体在有机/无机薄膜中的传输方式以努森扩散为主,并总结了提高薄膜封装的策略,即延长气体扩散路径、“主动”引入阻隔基团及薄膜表面改性。提出了未来薄膜封装技术面临的问题,拟为柔性电子器件封装技术的发展提供一定参考。 展开更多
关键词 柔性电子 有机/无机薄膜封装 界面 内应力 阻隔机制
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基于PLC和MCGS的超高灵敏度检漏仪控制系统设计 被引量:1
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作者 刘筱文 王毅 +4 位作者 蔡宇宏 韩仙虎 李正清 李小金 马凤英 《现代电子技术》 2023年第23期178-182,共5页
真空器件的寿命主要取决于封装结构的极小漏率,为了保证真空器件的真空寿命,通常需要其封装结构具有极小的漏率。针对极小漏率的超高灵敏度检测,文中设计了基于PLC和MCGS的控制系统,通过工控机与PLC之间的Modbus通信以及与质谱计之间的... 真空器件的寿命主要取决于封装结构的极小漏率,为了保证真空器件的真空寿命,通常需要其封装结构具有极小的漏率。针对极小漏率的超高灵敏度检测,文中设计了基于PLC和MCGS的控制系统,通过工控机与PLC之间的Modbus通信以及与质谱计之间的OPC通信,实现了超高灵敏度检漏仪各部件的自动控制和底层数据的采集交换,提高了超高灵敏度检漏仪的灵敏度和自动化水平。系统上位机由MCGS组态软件实现账户登录、数据导出、曲线动态显示等功能。主程序及功能模块程序由PLC控制执行,提高了设备的可靠性,同时提高了检测效率,减少了检漏操作人员的劳动强度,减小了误操作的可能性。 展开更多
关键词 PLC MCGS OPC MODBUS 检漏仪 控制系统 组态软件 自动控制
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罗茨真空泵圆弧型转子型线设计及加工 被引量:1
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作者 李正清 王小军 +3 位作者 韩仙虎 蔡宇宏 李小金 杨建斌 《真空》 CAS 2023年第1期36-41,共6页
罗茨泵转子型线的研究是罗茨泵设计的核心部分,圆弧型转子型线为广泛应用的罗茨泵转子型线之一。圆弧转子型线的设计中,首先实现转子理论型线的设计,然后基于理论型线,设计转子的实际型线和铸造毛坯型线。本文在实际型线和铸件毛坯型线... 罗茨泵转子型线的研究是罗茨泵设计的核心部分,圆弧型转子型线为广泛应用的罗茨泵转子型线之一。圆弧转子型线的设计中,首先实现转子理论型线的设计,然后基于理论型线,设计转子的实际型线和铸造毛坯型线。本文在实际型线和铸件毛坯型线的设计过程中,提出基于共轭特性的圆弧线实际型线和铸件毛坯型线设计方法,大幅简化了分析设计过程,并以此为基础,设计了70L/s罗茨泵圆弧转子型线及其粗加工和精加工方法。 展开更多
关键词 罗茨真空泵 圆弧 共轭 实际型线 铸造型线
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螺杆真空泵平滑连接摆线型转子型线设计及分析 被引量:1
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作者 李正清 韩仙虎 +4 位作者 蔡宇宏 王毅 李小金 杨建斌 刘筱文 《真空与低温》 2023年第2期117-120,共4页
螺杆泵转子型线的设计是螺杆泵研究的重要内容之一。摆线转子型线是一种常用的型线,型线位于节圆外的部分为外摆线,位于节圆内的部分为内摆线。选取合适的齿顶圆半径和节圆半径,分析构建了转子型线外摆线和内摆线方程及齿顶圆和齿根圆方... 螺杆泵转子型线的设计是螺杆泵研究的重要内容之一。摆线转子型线是一种常用的型线,型线位于节圆外的部分为外摆线,位于节圆内的部分为内摆线。选取合适的齿顶圆半径和节圆半径,分析构建了转子型线外摆线和内摆线方程及齿顶圆和齿根圆方程;设计了单头对称的摆线型螺杆泵转子型线及转子,并以此为基础,分析了转子容积利用率与相关参数的关系,为摆线型罗茨泵的设计奠定基础。 展开更多
关键词 螺杆真空泵 摆线 滚圆 转子 型线
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超高水氧阻隔膜研究进展
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作者 秦丽丽 董茂进 +5 位作者 冯煜东 韩仙虎 蔡宇宏 王毅 李小金 马凤英 《真空》 CAS 2023年第1期23-29,共7页
在柔性电子领域,如有机薄膜太阳能电池、OLED显示、量子点显示等封装时都需要对水氧具有超高阻隔性的薄膜。针对超高水氧阻隔膜制备工艺现状,为提高阻隔膜性能指标,满足快速发展的柔性电子封装技术需求,本文分析了基底材料对水氧阻隔膜... 在柔性电子领域,如有机薄膜太阳能电池、OLED显示、量子点显示等封装时都需要对水氧具有超高阻隔性的薄膜。针对超高水氧阻隔膜制备工艺现状,为提高阻隔膜性能指标,满足快速发展的柔性电子封装技术需求,本文分析了基底材料对水氧阻隔膜性能指标的影响,综述了超高阻隔膜叠层制备技术,为开展超高阻隔膜研究与产业开发提供依据,并对后续技术发展进行了展望。 展开更多
关键词 柔性基底 高阻隔膜 柔性电子 单层阻隔膜 多层阻隔膜
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基于“双一流”背景下科研院所二级办公室队伍能力建设的思考 被引量:2
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作者 李晓霞 韩仙虎 马敏 《办公室业务》 2023年第7期10-12,共3页
本文基于航天科研院所二级组织办公室工作实践,分析二级办公室队伍建设面临的困境,探究新时期开展办公室队伍建设的实施路径,以期为科研院所提供符合发展预期的管理服务。
关键词 航天科研院所 办公室 队伍建设 双一流
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基于PECVD方法制备的透明硅氧烷(SiOxCyHz)阻隔薄膜特性研究 被引量:1
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作者 董茂进 冯煜东 +6 位作者 韩仙虎 蔡宇宏 秦丽丽 王毅 王冠 马凤英 王济洲 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第2期99-103,共5页
柔性、透明的高阻隔性薄膜在有机太阳能薄膜电池、柔性有机发光二极管、电子纸和真空绝热板等领域都有需求。采用对电极辊结构的等离子体增强化学气相沉积方法,卷对卷的方式在聚酯(PET)基膜上,以硅醚(HMDSO)为单体,氧气(O;)为反应气体,... 柔性、透明的高阻隔性薄膜在有机太阳能薄膜电池、柔性有机发光二极管、电子纸和真空绝热板等领域都有需求。采用对电极辊结构的等离子体增强化学气相沉积方法,卷对卷的方式在聚酯(PET)基膜上,以硅醚(HMDSO)为单体,氧气(O;)为反应气体,制备了柔性硅氧烷(SiOxCyHz)薄膜。研究了膜厚,氧气/单体比例、压力等参数对透水率(WVTR)的影响规律、测试了膜层的组分、透射光谱、应力等特性。研究结果表明,透水率随硅氧烷薄膜厚度增大而减小,随氧气/单体比例增大而减小,随压力减小而增大。500 nm厚的硅氧烷薄膜透水率低于5×10;g/(m;·day),可见光谱段(380-760 nm)透光率达到88.6%,表面粗糙度为1.8 nm,薄膜应力随薄膜厚度增加显著增大。 展开更多
关键词 硅氧烷薄膜 对电极辊 等离子体增强化学气相沉积方法 阻隔膜 透水率
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罗茨真空泵偏心大圆弧转子型线设计及分析
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作者 李正清 李小金 +5 位作者 杨建斌 刘筱文 韩仙虎 蔡宇宏 王毅 李晓霞 《真空与低温》 2022年第6期699-704,共6页
转子型线的设计是罗茨泵研究的重要内容之一。偏心大圆弧转子型线由圆心位于节圆内横坐标负半轴的圆弧、销齿圆弧及其共轭曲线组成。首先确定转子偏心大圆弧、顶部销齿圆弧以及偏心大圆弧对应的共轭曲线,完成了理论型线的设计;然后根据... 转子型线的设计是罗茨泵研究的重要内容之一。偏心大圆弧转子型线由圆心位于节圆内横坐标负半轴的圆弧、销齿圆弧及其共轭曲线组成。首先确定转子偏心大圆弧、顶部销齿圆弧以及偏心大圆弧对应的共轭曲线,完成了理论型线的设计;然后根据理论型线和实际型线的转换关系,获得实际型线的设计方法;最后在给定的罗茨泵抽速、转子中心距和间隙下,完成了转子的型线设计。研究发现,当节圆半径和顶圆半径相同时,偏心大圆弧转子型线的容积利用系数高于圆弧转子型线的容积利用系数。研究为偏心大圆弧转子罗茨泵的制造奠定了基础。 展开更多
关键词 罗茨真空泵 偏心大圆弧 共轭曲线 转子型线
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量子点膜用高阻隔膜制备技术研究进展 被引量:3
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作者 秦丽丽 冯煜东 +5 位作者 董茂进 韩仙虎 王毅 蔡宇宏 马凤英 王冠 《表面工程与再制造》 2021年第1期23-28,共6页
量子点膜用高阻隔膜产品是量子显示封装技术的关键产品,高阻隔膜的制备技术决定着阻隔膜产品性能特性。通过分析量子点膜用高阻隔膜产品性能指标,总结热蒸发、化学气相沉积、原子层沉积等制备柔性高阻隔薄膜的方法、原理、特点及应用,... 量子点膜用高阻隔膜产品是量子显示封装技术的关键产品,高阻隔膜的制备技术决定着阻隔膜产品性能特性。通过分析量子点膜用高阻隔膜产品性能指标,总结热蒸发、化学气相沉积、原子层沉积等制备柔性高阻隔薄膜的方法、原理、特点及应用,展望量子点膜用阻隔膜产品的发展前景。研究表明,量子点膜用高阻隔薄膜制备工艺趋向于有机/无机多层结构的超高阻隔复合薄膜,是快速、高效、批量化制备量子点膜用高阻隔封装薄膜的发展趋势。 展开更多
关键词 量子点膜 高阻隔膜 有机/无机多层膜
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铝合金聚四氟乙烯复合膜的摩擦学性能 被引量:3
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作者 胡继星 韩仙虎 《合成润滑材料》 CAS 2005年第3期7-9,共3页
利用阳极氧化技术处理铝合金表面,制备铝合金聚四氟乙烯复合膜,该复合膜既具有氧化铝的硬度特性,又具有聚四氟乙烯的润滑性能。阳极氧化层的硬度越大,复合膜摩擦学性能越好。
关键词 铝合金 聚四氟乙烯 复合膜 摩擦学
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