期刊文献+
共找到29篇文章
< 1 2 >
每页显示 20 50 100
无压力辅助硅/玻璃激光局部键合 被引量:6
1
作者 马子文 汤自荣 +2 位作者 廖广兰 史铁林 聂磊 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期217-221,共5页
提出了一种新的无需外压力作用的硅/玻璃激光局部键合方法,通过对晶圆进行表面活化处理,选择合适的激光参数及加工环境,成功地实现了无压力辅助硅/玻璃激光键合.同时研究了该键合工艺参数如激光功率、激光扫描速度、底板材料等的影响.... 提出了一种新的无需外压力作用的硅/玻璃激光局部键合方法,通过对晶圆进行表面活化处理,选择合适的激光参数及加工环境,成功地实现了无压力辅助硅/玻璃激光键合.同时研究了该键合工艺参数如激光功率、激光扫描速度、底板材料等的影响.实验表明,激光功率越大,扫描速度越小,键合线的宽度就越大.实验结果显示,该方法能有效减少键合片的残余应力,控制键合线宽,并能得到较好的键合强度.该工艺可为MEMS器件的封装与制造提供简洁、快速、键合区可选择的新型键合方法. 展开更多
关键词 MEMS 激光键合 表面活化 键合线宽
下载PDF
激光键合的有限元仿真及工艺参数优化 被引量:2
2
作者 马子文 汤自荣 +3 位作者 廖广兰 史铁林 聂磊 周平 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期995-1000,共6页
在硅/玻璃激光键合中,温度场的分布是影响晶片能否键合的关键因素.本文利用有限元法建立了移动高斯热源作用下硅/玻璃激光键合的三维温度场数值分析模型.运用该模型计算了不同的工艺参数条件下硅/玻璃的温度场分布,并由此得出键合线宽.... 在硅/玻璃激光键合中,温度场的分布是影响晶片能否键合的关键因素.本文利用有限元法建立了移动高斯热源作用下硅/玻璃激光键合的三维温度场数值分析模型.运用该模型计算了不同的工艺参数条件下硅/玻璃的温度场分布,并由此得出键合线宽.然后通过漏选试验确定影响激光键合的主要工艺参数有激光功率、激光扫描速度及键合初始温度.最后通过对仿真结果进行回归分析,得到激光键合工艺的最优参数,为进一步研究激光键合工艺提供了理论依据. 展开更多
关键词 激光键合 有限元法 回归分析 键合线宽
下载PDF
晶片直接键合所需表面粗糙度条件 被引量:3
3
作者 马子文 汤自荣 +1 位作者 廖广兰 史铁林 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期465-469,共5页
根据JKR接触理论,推导出晶片直接键合时晶片接触表面粗糙度需要满足的条件,其中晶片接触表面粗糙度的描述是基于缝隙长度和缝隙高度的正弦波模型.分析结果表明,晶片直接键合的条件与无量纲参数α有关.以硅片键合为例,根据参数α可以把... 根据JKR接触理论,推导出晶片直接键合时晶片接触表面粗糙度需要满足的条件,其中晶片接触表面粗糙度的描述是基于缝隙长度和缝隙高度的正弦波模型.分析结果表明,晶片直接键合的条件与无量纲参数α有关.以硅片键合为例,根据参数α可以把硅片键合分为三种类型硅片直接键合(α>1.065);在外压力作用下键合(0.57<α<1.065)和有空洞产生的键合(α<0.57).实验数据与理论结果吻合得很好. 展开更多
关键词 直接键合 微观粗糙度 JKR接触理论
下载PDF
表面翘曲度对晶圆直接键合的影响 被引量:1
4
作者 马子文 廖广兰 +3 位作者 史铁林 汤自荣 聂磊 林晓辉 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第10期729-732,共4页
根据薄板弯曲理论,推导出晶圆表面翘曲度及夹具形状影响晶圆直接键合的理论公式,很好地解释了晶圆材料性质及尺寸大小对直接键合的影响。利用理论公式比较了晶圆在外压力和无外压力作用下翘曲度对晶圆直接键合的不同影响,结果表明晶圆... 根据薄板弯曲理论,推导出晶圆表面翘曲度及夹具形状影响晶圆直接键合的理论公式,很好地解释了晶圆材料性质及尺寸大小对直接键合的影响。利用理论公式比较了晶圆在外压力和无外压力作用下翘曲度对晶圆直接键合的不同影响,结果表明晶圆键合后的形状由晶圆的初始形状及键合所用的夹具决定。最后应用有限元进行了仿真分析,仿真结果表明,晶圆存在一定翘曲度时施加合适的外压力将有助于晶圆的直接键合。 展开更多
关键词 晶圆直接键合 翘曲度 弹性应变能 有限元 仿真
下载PDF
表面活化处理在激光局部键合中的应用 被引量:1
5
作者 聂磊 史铁林 +2 位作者 汤自荣 李晓平 马子文 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第5期476-478,共3页
为了研究低热应力键合工艺,提出了一种将表面活化直接键合与激光局部键合相结合的键合技术。首先采用RCA溶液对键合片进行表面亲水活化处理,并在室温下成功地完成了预键合。然后在不使用任何夹具施加外力辅助的情况下,利用波长1064nm、... 为了研究低热应力键合工艺,提出了一种将表面活化直接键合与激光局部键合相结合的键合技术。首先采用RCA溶液对键合片进行表面亲水活化处理,并在室温下成功地完成了预键合。然后在不使用任何夹具施加外力辅助的情况下,利用波长1064nm、光斑直径500μm、功率70W的Nd∶YAG连续式激光器,实现了激光局部键合,并取得了6.3MPa^6.8MPa的键合强度。结果表明,这种以表面活化预键合代替加压的激光局部键合技术克服了传统激光键合存在的激光对焦困难,以及压力不匀易损害键合片和玻璃盖板等缺点,同时缩短了表面活化直接键合的退火时间,提高了键合效率。 展开更多
关键词 激光技术 局部键合 表面活化 键合强度
下载PDF
考虑电动斥力的低压直流断路器动力学仿真及应力分析 被引量:4
6
作者 马子文 涂煜 《低压电器》 2013年第6期10-14,20,共6页
以多体系统动力学为基础,建立低压直流断路器的动力学模型。将机械运动方程和电路、电磁场方程耦合求解,从而实现考虑电动斥力的断路器分断过程仿真。通过有限元分析软件Ansys与多体动力学分析软件ADAMS的协同仿真,建立断路器的刚柔耦... 以多体系统动力学为基础,建立低压直流断路器的动力学模型。将机械运动方程和电路、电磁场方程耦合求解,从而实现考虑电动斥力的断路器分断过程仿真。通过有限元分析软件Ansys与多体动力学分析软件ADAMS的协同仿真,建立断路器的刚柔耦合动力学模型,完成关键零件在断路器短路故障分断过程中的强度分析,为断路器设计中关键零件的设计和优化提供一条有效的途径。 展开更多
关键词 低压直流断路器 电动斥力 柔性体 应力
下载PDF
永磁接触器的有限元分析及结构优化 被引量:1
7
作者 马子文 赵成宏 +1 位作者 黄中 李广 《船电技术》 2009年第6期25-27,共3页
永磁接触器可以克服普通电磁式接触器存在的耗能、线圈易烧灰等缺点,该文采用有限元方法研究了永磁接触器磁场分布特点,并进一步分析了不同结构参数对永磁接触器保持力的影响,为永磁接触器的设计提供了理论参考。
关键词 永磁接触器 有限元分析 永磁体保持力
下载PDF
余姚榨菜出口的现状和对策研究 被引量:4
8
作者 马子文 《商场现代化》 2013年第22期64-65,共2页
余姚是全国最大的榨菜生产加工基地,享有"中国榨菜之乡"之美誉。榨菜产业是余姚市农业六大主导产业中产业化程度最高的一个产业,它还带动了食盐、运输、机械等二、三产业的发展,为余姚的经济发展作出重要的贡献。但是近几年以... 余姚是全国最大的榨菜生产加工基地,享有"中国榨菜之乡"之美誉。榨菜产业是余姚市农业六大主导产业中产业化程度最高的一个产业,它还带动了食盐、运输、机械等二、三产业的发展,为余姚的经济发展作出重要的贡献。但是近几年以来,由于贸易壁垒、自然环境以及竞争对手等因素的影响,余姚榨菜出口面临了重重挑战。本文就余姚榨菜的发展现状、出口存在的问题以及如何扩大余姚榨菜出口的对策进行了具体分析。 展开更多
关键词 余姚榨菜 出口 现状 对策
下载PDF
3种苹果病毒实时荧光定量RT-PCR检测体系的建立
9
作者 李紫腾 潘媛 +4 位作者 马子文 胡同乐 王树桐 曹克强 王亚南 《河北农业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期84-92,共9页
苹果茎沟病毒(Apple stem grooving virus,ASGV)、苹果茎痘病毒(Apple stem pitting virus,ASPV)和苹果坏死花叶病毒(Apple necrotic mosaic virus,ApNMV)对果树的生长发育危害严重,而且复合侵染几率较高,为快速、灵敏和高效的检测3种病... 苹果茎沟病毒(Apple stem grooving virus,ASGV)、苹果茎痘病毒(Apple stem pitting virus,ASPV)和苹果坏死花叶病毒(Apple necrotic mosaic virus,ApNMV)对果树的生长发育危害严重,而且复合侵染几率较高,为快速、灵敏和高效的检测3种病毒,本研究根据ASPV、ASGV和ApNMV基因组保守序列设计特异引物建立了3种病毒高灵敏度的实时荧光定量PCR检测体系(Real-time fluorescence quantitative reverse transcription PCR,RT-qPCR)。结果表明:引物ASGV-qF/qR-1、ASPV-qF/R-2和ApNMV-qF/R-3有较高的特异性,最适宜的退火温度分别为60℃、58℃和58℃,ASGV、ASPV和ApNMV 3种病毒的RT-qPCR体系比常规RT-2 PCR检测体系灵敏度高100倍,最低检出限分别为82.6、1.49×10^(2)和13.3 copies/μL。检测体系的Ct值的变异系数均小于5%,组间的变异系数在5%以内。河北农业大学果园中经RT-PCR确定带毒的88棵苹果树RT-qPCR检出率为100%,表明建立的RT-qPCR方法的可靠性和稳定性高,适用于田间果树3种病毒的检测,为苹果病毒的准确诊断提供了技术支撑。 展开更多
关键词 苹果茎沟病毒 苹果茎痘病毒 苹果坏死花叶病毒 荧光定量RT-PCR检测体系
下载PDF
爆炸式开关的有限元分析及结构优化
10
作者 马子文 赵成宏 《低压电器》 北大核心 2010年第14期15-18,23,共5页
为满足爆炸式开关在允许温升及耐冲击性条件下的最小质量要求,运用有限元方法,建立了爆炸开关触头的数值计算模型,对触头的强度及弹性回复力进行了分析,通过对比有限元分析结果与试验结果,验证了该模型的有效性与正确性。最后在此数值... 为满足爆炸式开关在允许温升及耐冲击性条件下的最小质量要求,运用有限元方法,建立了爆炸开关触头的数值计算模型,对触头的强度及弹性回复力进行了分析,通过对比有限元分析结果与试验结果,验证了该模型的有效性与正确性。最后在此数值计算模型基础上,对开关触头结构进行了优化设计,根据优化设计结果设计并制造了爆炸式开关,额定分断试验表明,该开关完全满足设计要求。该研究成果为该型开关的应用提供了重要的理论依据和技术支持。 展开更多
关键词 触头结构 有限元分析 优化设计
下载PDF
一种断路器操作机构的直流螺管电磁铁的有限元设计 被引量:1
11
作者 李广 黄中 马子文 《船电技术》 2010年第3期18-21,共4页
通过有限元分析方法,针对ZDS断路器的操作机构,采用直流螺管电磁铁的仿真设计,对盆式磁极结构、磁场分布情况和电磁力进行了研究。设计结果较好地满足了ZDS断路器的负载特性要求,实现了断路器操作机构电动驱动方式由传统的电动机驱动转... 通过有限元分析方法,针对ZDS断路器的操作机构,采用直流螺管电磁铁的仿真设计,对盆式磁极结构、磁场分布情况和电磁力进行了研究。设计结果较好地满足了ZDS断路器的负载特性要求,实现了断路器操作机构电动驱动方式由传统的电动机驱动转为电磁铁驱动的改造,为电磁铁在断路器操作机构中的应用完成了一次成功的实践。 展开更多
关键词 断路器 电磁铁 有限元法 机构
下载PDF
瞬时转速波动在轴向柱塞泵故障诊断中的应用 被引量:5
12
作者 谷立臣 马子文 +1 位作者 田晴晴 孙昱 《排灌机械工程学报》 CSCD 北大核心 2021年第7期740-746,共7页
针对轴向柱塞泵配流盘磨损的故障诊断所使用的信号大多存在非平稳、非线性特性的缺点,提出利用轴向柱塞泵的瞬时转速波动信号进行故障诊断.利用瞬时转速波动信号良好的抗噪性能与经过阶比分析后可以转化为角度域内的平稳信号的特点,以... 针对轴向柱塞泵配流盘磨损的故障诊断所使用的信号大多存在非平稳、非线性特性的缺点,提出利用轴向柱塞泵的瞬时转速波动信号进行故障诊断.利用瞬时转速波动信号良好的抗噪性能与经过阶比分析后可以转化为角度域内的平稳信号的特点,以克服传统监测信号的不足.通过动力学分析对轴向柱塞泵瞬时转速波动的成因进行了溯源.结果表明,对于具有Z个柱塞的轴向柱塞泵,活塞的惯性力和配流副处的库仑摩擦力会产生Z倍于转频的转矩波动,从而在轴向柱塞泵主轴上产生Z阶转速波动.柱塞高压腔的压力的变化会产生2Z倍于转频的转矩波动,从而在轴向柱塞泵主轴上产生2Z阶转速波动.在变负载条件下对理论分析结果进行了试验验证,结果表明对于9柱塞的轴向柱塞泵,其9阶瞬时转速波动分量幅值的变化可以很好地反映出配流盘磨损状况的变化.随着配流盘磨损程度增加,9阶瞬时转速波动的最大幅值从1.229增大至2.023 r/min;9阶瞬时转速波动分量幅值随着配流盘磨损加剧而增大. 展开更多
关键词 轴向柱塞泵 配流盘磨损 瞬时转速波动 故障诊断
下载PDF
5 kV快速中压直流空气断路器的研发 被引量:5
13
作者 马子文 彭振东 +1 位作者 赵成宏 徐庭伟 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第1期312-318,共7页
为满足大容量中压直流供配电系统的保护需求,开展了中压直流空气断路器的研制工作。针对中压直流空气断路器大电流分断的技术难点,结合仿真分析及试验研究,建立了空气电弧的3维磁流体动力学模型,计算得到了断路器分断过程中灭弧室内部... 为满足大容量中压直流供配电系统的保护需求,开展了中压直流空气断路器的研制工作。针对中压直流空气断路器大电流分断的技术难点,结合仿真分析及试验研究,建立了空气电弧的3维磁流体动力学模型,计算得到了断路器分断过程中灭弧室内部温度场及压力场数据,并利用高速摄影仪记录大电流分断时电弧的运动过程,验证了仿真模型的有效性。最后,根据研究结果研制5 kV/110 kA直流断路器样机,并进行了大电流分断试验。试验结果表明,该快速中压直流空气断路器成功分断了峰值110 kA的短路电流,分断电流为91.8 kA,全分断时间为17 ms。 展开更多
关键词 空气电弧等离子体 中压直流断路器 磁流体动力学 电弧仿真 大电流分断
下载PDF
爆炸式开关的瞬态温度场仿真计算 被引量:2
14
作者 贺开华 马子文 《船电技术》 2008年第4期228-230,共3页
通过对爆炸式开关的热学分析,考虑开关内部传导散热和外表面的对流和辐射散热,建立了开关的瞬态热分析模型。考虑回路电阻、动静触头接触电阻的发热作用,利用热电耦合分析回路的温度分布;用三维有限元法对一额定电流为500A的爆炸式开关... 通过对爆炸式开关的热学分析,考虑开关内部传导散热和外表面的对流和辐射散热,建立了开关的瞬态热分析模型。考虑回路电阻、动静触头接触电阻的发热作用,利用热电耦合分析回路的温度分布;用三维有限元法对一额定电流为500A的爆炸式开关温度场进行了仿真分析,并进行了实验验证。仿真结果为爆炸式开关的设计和优化提供了理论依据。 展开更多
关键词 爆炸式开关 瞬态温度场 接触电阻
下载PDF
我国旅游电商发展现状及策略研究 被引量:3
15
作者 马子文 程康 陈娟 《农村经济与科技》 2019年第24期45-46,共2页
随着我国经济的逐渐发展,人们收入以及消费水平的不断提升,消费观和思想观念发生了翻天覆地的变化,旅游行业潜力巨大,因此为了面对时代发展,旅游行业急需进行转变,将电子商务与传统旅游行业结合无疑成为了重中之重,我们应当从实际出发,... 随着我国经济的逐渐发展,人们收入以及消费水平的不断提升,消费观和思想观念发生了翻天覆地的变化,旅游行业潜力巨大,因此为了面对时代发展,旅游行业急需进行转变,将电子商务与传统旅游行业结合无疑成为了重中之重,我们应当从实际出发,发展特色旅游电商,提升旅游电商的综合体验,保障消费者的隐私以及安全,使得旅游电商行业更加完善,所以本文通过分析旅游电商发展的重要性以及此过程中出现的客观问题进行讨论,同时提出一系列对策,帮助其更好地完善服务体系。 展开更多
关键词 互联网 旅游行业 旅游电商
下载PDF
把握动向科学应对 加强交流争创佳绩——2005年高考备考策略
16
作者 马子文 王进德 《甘肃教育》 2005年第6期17-17,共1页
关键词 高考 备考 策略
下载PDF
人体的一面镜子——舌苔
17
作者 马子文 《开卷有益(求医问药)》 2000年第10期42-43,共2页
舌头和人体的很多系统都有着密切的关系,比如,消化、循环、呼吸、内分泌等,尤其和消化系统的关系更加密切。如果一个人食欲不振、消化不良时,舌苔就会增厚,食不知味。舌头和人体很多经络和脏腑也都有联系,所以,舌头虽小也是五脏俱全呢!... 舌头和人体的很多系统都有着密切的关系,比如,消化、循环、呼吸、内分泌等,尤其和消化系统的关系更加密切。如果一个人食欲不振、消化不良时,舌苔就会增厚,食不知味。舌头和人体很多经络和脏腑也都有联系,所以,舌头虽小也是五脏俱全呢!一般舌火是代表心脏。 展开更多
关键词 青紫舌 人体 消化不良 舌粘膜 晚期血吸虫病 消化系统功能紊乱 面镜 食不知味 支气管扩张 内分泌
下载PDF
胃肠不适怎么办
18
作者 马子文 《医学文选》 1991年第1期29-31,共3页
有相当多的人,都有过胃肠不舒服的感觉,其中一部分人常常自我感觉痛得哼哼唉唉,但又并不那样严重,因而也不去看医生。这样,有时就不免误事。这里,列举几种最常见的消化系统疾病,并说明病因以及预防和治疗的方法。
关键词 消化系统疾病 抗酸剂 看医生 胃肠 食物 治疗 腹泻 阿斯匹林 自我感觉 病因
下载PDF
大白菜的几种吃法
19
作者 马子文 《烹调知识》 1989年第12期35-36,共2页
关键词 烹饪法 白菜 菜肴 菜谱
下载PDF
直流真空断路器的新型大电流强迫换流分断方法 被引量:1
20
作者 彭振东 马子文 +3 位作者 沙新乐 李博 邹顺 李杰 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第10期3666-3673,共8页
为提升直流真空断路器的大电流分断可靠性,在典型强迫换流技术的基础上,提出了一种新型的换流分断方案。利用一辅助开关的导通分流作用,通过减小有效换流电流,大幅降低真空断路器熄弧前附近的电流下降率;并在熄弧后,通过该辅助开关的导... 为提升直流真空断路器的大电流分断可靠性,在典型强迫换流技术的基础上,提出了一种新型的换流分断方案。利用一辅助开关的导通分流作用,通过减小有效换流电流,大幅降低真空断路器熄弧前附近的电流下降率;并在熄弧后,通过该辅助开关的导通电压钳位作用,使真空断路器的暂态恢复电压产生一段低电压区间,从而改善真空间隙的弧后介质恢复特性,实现中、高压直流大电流的可靠分断。同时详细分析了新型换流分断方案的换流过程及其主要影响因素,获得了换流电路杂散电感及辅助开关导通时刻等参数对换流性能的影响规律。最后,开展了快速真空断路器的13 kA换流分断试验,试验过程中熄弧前的电流下降率被有效降低为约55 A/μs、总共持续了约50μs;且在熄弧后约130μs时间内,暂态恢复电压被限制至未超过600 V。试验结果验证了该新型方案的实用性和有效性。 展开更多
关键词 直流真空断路器 强迫换流 有效换流电流 介质恢复 电弧电流下降率 弧后暂态恢复电压
下载PDF
上一页 1 2 下一页 到第
使用帮助 返回顶部