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马春雨作品选
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作者 马春雨 林运熙 《中国花卉盆景》 2007年第1期40-41,共2页
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中国外交话语的批评隐喻分析:国家形象建构的视角
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作者 武建国 马春雨 宋玥 《中国语言战略》 2024年第1期141-150,共10页
国家形象是一国内外对其行为、活动、成就等的总体认知和评价,在一定程度上反映了一个国家的综合实力和影响力。本文基于中国外交话语语料库,对中国外交话语中的隐喻进行批评性分析,探讨外交话语如何通过隐喻来建构国家形象。研究表明,... 国家形象是一国内外对其行为、活动、成就等的总体认知和评价,在一定程度上反映了一个国家的综合实力和影响力。本文基于中国外交话语语料库,对中国外交话语中的隐喻进行批评性分析,探讨外交话语如何通过隐喻来建构国家形象。研究表明,中国外交话语中大量使用旅程隐喻和建筑隐喻,这是由于旅程、建筑与中国意识形态的内容和结构具有高度相似性。隐喻广泛存在于外交话语中,我们可以通过批评隐喻分析模型展开分析,为国家形象建构提供方向参考。 展开更多
关键词 批评隐喻分析 外交话语 国家形象建构 语料库
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基于增强CT影像组学联合临床特征预测肝细胞癌病理分化程度的应用研究 被引量:1
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作者 吕娜 马春雨 +1 位作者 朱林 郭飞 《中国CT和MRI杂志》 2024年第3期126-129,共4页
目的 探讨增强CT影像组学模型联合临床特征对术前预测肝细胞癌(HCC)的病理分化程度的应用价值。方法 回顾性分析经手术切除或病理穿刺证实为HCC的196例患者的病理学及术前增强CT影像学资料。按照WHO标准将患者分为高分化组及中-低分化组... 目的 探讨增强CT影像组学模型联合临床特征对术前预测肝细胞癌(HCC)的病理分化程度的应用价值。方法 回顾性分析经手术切除或病理穿刺证实为HCC的196例患者的病理学及术前增强CT影像学资料。按照WHO标准将患者分为高分化组及中-低分化组,按照7:3比例将患者随机分为训练组(137例)和验证组(59例),保存增强CT动脉期(AP)、静脉期(VP)及延迟期(DP)影像学图像,在医准-达尔文科研平台中提取并筛选各期图像的影像组学特征,应用“最大值归一化法、最优特征筛选、最小绝对收缩和选择算子(LASSO)回归”进行降维、筛选,构建动脉期+静脉期、动脉期+延迟期、静脉期+延迟期及三期联合的影像组学模型。应用单因素及多因素分析方法从临床资料中筛选具有统计学差异的危险因素并建立临床模型。用逻辑回归(Logistic)方法分析影像组学模型、临床模型及影像组学联合临床模型,使用受试者工作特征曲线(ROC)评估各模型预测肝癌病理分化程度的效能,并计算曲线下面积(AUC)、准确度、特异度及敏感度等。结果 1.在影像组学模型中,三期联合模型预测肝癌病理分化程度效能最佳,训练组及验证组曲线下面积(AUC)分别为0.877及0.801。2.单因素及多因素分析结果显示AFP (P=0.010)及A LT(P=0.024)最终为预测HCC病理分化程度的危险因素。临床特征AFP及ALT构建临床模型,训练组及验证组曲线下面积(AUC)分别为0.695及0.816。3.联合模型的预测效能优于各期像影像组学模型及临床模型。训练组及验证组曲线下面积(AUC)分别为0.899及0.890。结论 基于增强CT影像组学模型联合临床模型能够准确地预测肝细胞癌(HCC)的病理分化程度。 展开更多
关键词 肝细胞癌 影像组学 病理分化程度 体层摄影术 X线计算机
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大历史观视野下中国式现代化的中国特色和本质要求的三重维度研究
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作者 马春雨 《时代人物》 2024年第17期0065-0068,共4页
从唯物史观和中国共产党理论传统来看,大历史观是习近平总书记反复强调的我们分析问题的重要视野、 方法和理论,是马克思主义重要世界观和方法论。大历史观要求从宽广的、宏观视野来认识问题、了解历史和现实。本文 拟从大历史观视角,... 从唯物史观和中国共产党理论传统来看,大历史观是习近平总书记反复强调的我们分析问题的重要视野、 方法和理论,是马克思主义重要世界观和方法论。大历史观要求从宽广的、宏观视野来认识问题、了解历史和现实。本文 拟从大历史观视角,对中国式现代化的中国特色和本质要求的历史发展、演变规律及价值定位三个维度进行研究。 展开更多
关键词 大历史观 中国式现代化 中国特色 本质要求 历史发展 价值定位
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全株玉米青贮对肉羊生产性能和肉品质的影响
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作者 马春雨 孙瑞琳 周宏大 《中国动物保健》 2024年第4期83-84,共2页
青贮饲料是一种具有特殊芳香味、营养价值较高的经微生物发酵后制作而成的饲料,被广泛应用在畜禽养殖业中。肉羊作为草食动物,在其饲养过程中也广泛的使用全株玉米青贮作为粗饲料来源之一,而应用全株玉米青贮是否会对肉羊的生产性能及... 青贮饲料是一种具有特殊芳香味、营养价值较高的经微生物发酵后制作而成的饲料,被广泛应用在畜禽养殖业中。肉羊作为草食动物,在其饲养过程中也广泛的使用全株玉米青贮作为粗饲料来源之一,而应用全株玉米青贮是否会对肉羊的生产性能及提供的羊肉和其他产品的质量产生影响成为广大养殖户关注的问题。因此本文总结阐述了饲喂全株玉米青贮对肉羊生产性能和肉品质产生的影响,以期为广大养殖户提出参考。 展开更多
关键词 全株玉米青贮 肉羊 生产性能 肉品质 影响
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钨基氮化铀微球弥散燃料制备工艺及性能研究
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作者 刘文涛 杜江平 +3 位作者 赵雨梦 马春雨 刘伟 蔡振方 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第S01期96-103,共8页
金属陶瓷(CERMET)弥散燃料是目前核热推进反应堆用燃料研发热点。氮化铀(UN)微球具有高铀密度、高热导率、高填充率等特点,钨基体具有高熔点、高热导率及低线性热膨胀系数等优点,将两者结合形成的钨基氮化铀微球弥散燃料是空间核动力的... 金属陶瓷(CERMET)弥散燃料是目前核热推进反应堆用燃料研发热点。氮化铀(UN)微球具有高铀密度、高热导率、高填充率等特点,钨基体具有高熔点、高热导率及低线性热膨胀系数等优点,将两者结合形成的钨基氮化铀微球弥散燃料是空间核动力的理想候选材料。本文突破了碳热还原-氮化关键难点,成功制备了高纯UN微球,采用无压通氢烧结的工艺路线,实现了钨基UN弥散燃料芯块制备,研究了不同参数对UN微球和弥散燃料芯块性能的影响规律。结果表明,当碳化温度为1900℃、保温时间为8 h、氮化温度为1900℃、保温时间为3 h时,UN微球的纯度最高,达93.79%,相对密度为96%T.D.;以丙三醇为黏结剂、无水乙醇为稀释剂,对UN微球与基体钨粉进行湿混后直接装模压制,UN微球在钨基体中分布较均匀;使用氢气进行致密化烧结,在1900℃可获得95%T.D.以上致密度。对燃料芯块的性能测试表明,钨基UN芯块中的微球完整且分布均匀,微球中U、N原子比为1.04∶1,钨基体与UN微球界面粘附紧密,无分层;随着温度的升高,芯块的导热系数逐渐降低,100℃时的导热系数为182.6 W/(m·K)。 展开更多
关键词 金属陶瓷燃料 氮化铀微球 钨基体 碳热还原-氮化
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落实课标要求 助力小初衔接——“尺规作图基础课”教学与思考
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作者 马春雨 《特区教育》 2024年第34期44-46,共3页
2022版新课标在小学第二、三阶段新增了“尺规作图”的学业要求,但按照现行北师大版教材安排,学生在六年级上册学习《圆》时才初次接触圆规,感受圆规画圆、画弧的功能。针对“课标先行,教材滞后”的现状,笔者在六年级进行尺规作图教学... 2022版新课标在小学第二、三阶段新增了“尺规作图”的学业要求,但按照现行北师大版教材安排,学生在六年级上册学习《圆》时才初次接触圆规,感受圆规画圆、画弧的功能。针对“课标先行,教材滞后”的现状,笔者在六年级进行尺规作图教学活动的尝试与探索,基于“落实课标要求,助力小初衔接”的理念,设计了三个主要的教学环节。 展开更多
关键词 课标要求 尺规作图 小初衔接 《圆》 新课标 尝试与探索 圆规 教材滞后
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矿山综采工作面智能化开采技术应用
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作者 马春雨 《中国金属通报》 2024年第4期31-33,共3页
综合智能化采矿技术是目前我国采矿技术发展的一个重要方向。综采工作面环境复杂、装备种类多、采掘工序间相互耦合程度高、作业间协同性强,对装备智能化控制提出了极大挑战。为了理清矿山智能化开采的技术状况,挖掘出其中的技术难点,... 综合智能化采矿技术是目前我国采矿技术发展的一个重要方向。综采工作面环境复杂、装备种类多、采掘工序间相互耦合程度高、作业间协同性强,对装备智能化控制提出了极大挑战。为了理清矿山智能化开采的技术状况,挖掘出其中的技术难点,探索其今后的发展趋势。本文对目前智能化综采面的系统结构及关键技术进行了介绍,并对其在智能化施工中遇到的技术难题进行了梳理,并结合人工智能研究领域的发展动向,对采矿机、液压支架、运输系统等智能化技术应用进行了分析。 展开更多
关键词 矿山综采 智能化 开采技术 技术应用
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煤矿综采工作面智能化开采探讨
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作者 马春雨 《内蒙古煤炭经济》 2024年第11期34-36,共3页
煤炭开采关系民生经济发展和正常生活。随着科技的发展,煤矿生产逐步采用机械化、自动化以及智能化技术,使采矿质量和效率得到很大提升,为煤炭工业发展带来生机。本文从智能化综采工作面技术特征入手,分析当前综采工作面智能开采,并对... 煤炭开采关系民生经济发展和正常生活。随着科技的发展,煤矿生产逐步采用机械化、自动化以及智能化技术,使采矿质量和效率得到很大提升,为煤炭工业发展带来生机。本文从智能化综采工作面技术特征入手,分析当前综采工作面智能开采,并对综采工作面智能化开采的关键技术进行阐述。 展开更多
关键词 煤矿综采 综采工作面 智能开采 关键技术
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基于Python的高校评估数据处理技术应用研究
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作者 马春雨 蒲渝媛 《中国科技期刊数据库 工业A》 2023年第7期115-117,共3页
大数据时代,社会对各行各业从业者的数据处理能力要求越来越高。本文主要研究了基于Python语言的高校评估数据处理技术,着重介绍了引用Python第三方库xlwings、pandas、Pyecharts、OS处理高校教学评估、教学评价数据的技术方法,为广大... 大数据时代,社会对各行各业从业者的数据处理能力要求越来越高。本文主要研究了基于Python语言的高校评估数据处理技术,着重介绍了引用Python第三方库xlwings、pandas、Pyecharts、OS处理高校教学评估、教学评价数据的技术方法,为广大高校教学管理者在处理Excel业务数据时提供一种工作思路及技术参考。 展开更多
关键词 PYTHON EXCEL 高校评估数据
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锅炉扁钢用免退火12Cr1MoV盘条控轧控冷工艺优化 被引量:1
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作者 朱帅 李阳 +3 位作者 王广顺 马春雨 陈猛 曹长法 《特殊钢》 2024年第1期94-97,共4页
为开发免球化退火扁钢用12Cr1MoV热轧盘条,基于形变诱导相变机理,采用830℃终轧温度和800℃的吐丝温度。通过抑制形变奥氏体晶粒回复和再结晶过程增加形变储能,促进奥氏体分解为铁素体和珠光体组织。同时配合轧后风冷辊道速度调节,实现... 为开发免球化退火扁钢用12Cr1MoV热轧盘条,基于形变诱导相变机理,采用830℃终轧温度和800℃的吐丝温度。通过抑制形变奥氏体晶粒回复和再结晶过程增加形变储能,促进奥氏体分解为铁素体和珠光体组织。同时配合轧后风冷辊道速度调节,实现分段控制冷却,延长盘条在630~750℃区间停留时间,可完全消除盘条中马氏体和贝氏体组织。试验结果为:热轧盘条抗拉强度从576 MPa降至520 MPa,断面收缩率从66%提高至74%,淬火组织的消除使盘条变形能力明显优化,避免少量或极少量马氏体组织无法协同变形而产生的心部孔洞或拉拔断裂,经用户多规格批量使用,未发生塑性开裂问题。 展开更多
关键词 锅炉扁钢 12CR1MOV钢 形变能 形变诱导相变 马氏体
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裹包青贮和发酵饲料在肉羊养殖中的应用
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作者 蒋红波 徐云 +4 位作者 朴聪雁 陈飞飞 胡多多 马春雨 胡旭光 《中国动物保健》 2024年第11期145-146,154,共3页
裹包青贮和发酵饲料是目前肉羊养殖中较为常用的粗饲料类型,与其他饲料相比,具有独特的优势。裹包青贮具有取用方便、延长饲草保存时间、便于运输等优势;发酵饲料具有提高肉羊饲料利用效率、提高饲料适口性、维持肉羊胃肠道微生物种群... 裹包青贮和发酵饲料是目前肉羊养殖中较为常用的粗饲料类型,与其他饲料相比,具有独特的优势。裹包青贮具有取用方便、延长饲草保存时间、便于运输等优势;发酵饲料具有提高肉羊饲料利用效率、提高饲料适口性、维持肉羊胃肠道微生物种群等优势。本文从对肉羊生长性能、血清生化指标、瘤胃发酵等角度介绍了裹包青贮和发酵饲料在肉羊养殖中的应用,以期为广大养殖户科学应用裹包青贮和发酵饲料提供参考,促进肉羊养殖业的繁荣发展。 展开更多
关键词 裹包青贮 发酵饲料 肉羊养殖 应用
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羊感冒的病因分析及综合防治措施
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作者 王云凤 张政 +3 位作者 马春雨 胡多多 朴聪雁 陈飞飞 《中国动物保健》 2024年第11期78-79,共2页
羊感冒是养羊业中常见的一种疾病,可以分为普通感冒和流行性感冒。前者一般是由环境因素导致的,后者一般是由细菌或者病毒的入侵导致的。目前,该病在我国各地区的养殖场均存在且呈短暂的地方流行趋势,在一定程度上会对养殖户造成损失。... 羊感冒是养羊业中常见的一种疾病,可以分为普通感冒和流行性感冒。前者一般是由环境因素导致的,后者一般是由细菌或者病毒的入侵导致的。目前,该病在我国各地区的养殖场均存在且呈短暂的地方流行趋势,在一定程度上会对养殖户造成损失。该文论述了羊感冒的发病原因、临床症状、中西医的治疗方案以及综合防控措施,以期促进养羊业的健康持续发展。 展开更多
关键词 羊感冒 病因 防治措施
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临床-MRI影像组学的列线图模型可有效预测宫颈癌淋巴脉管浸润
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作者 邹梦梦 周欣冉 +4 位作者 马春雨 吕娜 朱林 高圆圆 郭飞 《分子影像学杂志》 2024年第10期1046-1053,共8页
目的基于临床-MRI影像组学的列线图模型在预测宫颈癌淋巴脉管浸润中的价值。方法回顾性分析2019年1月~2023年11月于蚌埠医科大学第一附属医院术前行MRI检查且术后病理证实为宫颈癌的患者168例。收集患者的临床和影像资料,按照7:3的比例... 目的基于临床-MRI影像组学的列线图模型在预测宫颈癌淋巴脉管浸润中的价值。方法回顾性分析2019年1月~2023年11月于蚌埠医科大学第一附属医院术前行MRI检查且术后病理证实为宫颈癌的患者168例。收集患者的临床和影像资料,按照7:3的比例随机分为训练集(n=112)和验证集(n=56)。通过单-多因素Logistic回归分析筛选与宫颈癌淋巴脉管浸润相关的临床独立危险因素;分别于T2WI和T1WI增强序列矢状位手动勾画感兴趣区,提取瘤内、瘤周及瘤内+瘤周影像组学特征,通过对影像特征降维并筛选最优特征构建影像组学模型;结合临床预测因子与影像组学评分构建列线图模型。采用ROC曲线下面积、校准曲线、决策曲线分析评价模型的预测效能。结果两组中性粒细胞与淋巴细胞计数比值及淋巴结是否转移的差异有统计学意义(P<0.05),线图模型的预测效能最佳,其曲线下面积在训练集和验证集分别为0.932(95%CI:0.862~0.984)、0.896(95%CI:0.803~0.990)显著高于瘤内、瘤周影像组学模型和临床模型。结论本研究构建的列线图模型在预测宫颈癌淋巴脉管浸润方面具有较高的诊断性能,可以术前为临床决策提供重要指导。 展开更多
关键词 宫颈癌 淋巴脉管浸润 瘤内 瘤周 影像组学 磁共振 列线图
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父母婚姻质量、亲子关系与幼儿心理健康的关系研究综述
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作者 王雨然 赛宇丹 +3 位作者 马春雨 陈妍廷 何胜利 杨犀子 《社会科学前沿》 2024年第4期439-445,共7页
家庭作为包括婚姻,亲子及兄弟姐妹几个子系统在内的复杂生态系统,在幼儿心理健康发展中有着至关重要的作用。婚姻质量不仅影响着身心健康,而且还间接地影响着父母教养行为,进而影响着幼儿身心发展与社会适应。文章探讨了父母婚姻关系、... 家庭作为包括婚姻,亲子及兄弟姐妹几个子系统在内的复杂生态系统,在幼儿心理健康发展中有着至关重要的作用。婚姻质量不仅影响着身心健康,而且还间接地影响着父母教养行为,进而影响着幼儿身心发展与社会适应。文章探讨了父母婚姻关系、亲子关系及幼儿心理健康之间的相互关系,并提出建议父母在注重亲子关系及营造和谐家庭环境的同时,也应该更加用心经营婚姻生活提升婚姻质量,促进幼儿心理健康积极发展。 展开更多
关键词 父母婚姻质量 亲子关系 幼儿心理健康 依恋 心理韧性
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母羊同期发情技术与人工授精技术结合应用研究
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作者 徐云 蒋红波 +4 位作者 王云凤 朱春琪 袁亚光 朴聪雁 马春雨 《中国动物保健》 2024年第10期93-94,共2页
随着我国畜牧业集约化、规模化的不断发展,提高繁殖效率和遗传改良成为肉羊养殖业发展的重要目标。由于母羊发情周期不规律,导致其繁殖效率低下,而人工授精技术受限于母羊发情不同步,难以大规模应用。因此将母羊同期发情技术与人工授精... 随着我国畜牧业集约化、规模化的不断发展,提高繁殖效率和遗传改良成为肉羊养殖业发展的重要目标。由于母羊发情周期不规律,导致其繁殖效率低下,而人工授精技术受限于母羊发情不同步,难以大规模应用。因此将母羊同期发情技术与人工授精技术相结合应用,成了提高肉羊繁殖性能和遗传改良效率的重要研究方向。本文通过分析母羊同期发情机理、人工授精技术原理及其相结合应用,旨在提高母羊受胎率,以缩短繁殖周期,为肉羊养殖业的可持续发展提供技术支撑。 展开更多
关键词 母羊 同期发情 人工授精技术 应用
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人工时效对2A70耐热铝合金组织与性能的影响 被引量:13
17
作者 马春雨 李智 刘常升 《轻合金加工技术》 CAS 2004年第1期40-43,共4页
采用组织观察(扫描电子显微镜和透射电子显微镜)、力学性能检测、耐蚀性测定相结合的方法,研究了人工时效对2A70铝合金厚板组织、性能的影响规律。结果表明,在180~210℃温度范围进行人工时效时,同一时效温度下,随时效时间的延长,铝合... 采用组织观察(扫描电子显微镜和透射电子显微镜)、力学性能检测、耐蚀性测定相结合的方法,研究了人工时效对2A70铝合金厚板组织、性能的影响规律。结果表明,在180~210℃温度范围进行人工时效时,同一时效温度下,随时效时间的延长,铝合金抗拉强度曲线出现峰值,在190℃时具有最大峰值,随时效温度的升高峰值左移,即达到峰值的时效时间缩短。190℃人工时效时间超过14h时,铝合金由峰值时效向过时效阶段过渡,存在晶间无析出带及不连续晶界析出平衡相S(CuMgAl2),有利于减小应力腐蚀倾向,提高铝合金的耐蚀性能。2A70铝合金适宜的时效制度为:人工时效温度190℃,时效时间16h。 展开更多
关键词 耐热铝合金 组织 性能 人工时效 扫描电子显微镜 透射电子显微镜 固溶处理 应力腐蚀
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反应溅射法制备铝掺杂氧化锆薄膜及其热稳定性的研究 被引量:3
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作者 马春雨 李智 张庆瑜 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期1206-1210,共5页
采用反应射频磁控溅射在Si(100)基片上制备了不同微结构的铝掺杂氧化锆薄膜.利用高分辨透射电子显微镜、X射线衍射仪和原子力显微镜研究了退火温度对铝掺杂氧化锫薄膜热学稳定性、界面稳定性和表面粗糙度的影响,探讨了铝掺杂氧化锆薄膜... 采用反应射频磁控溅射在Si(100)基片上制备了不同微结构的铝掺杂氧化锆薄膜.利用高分辨透射电子显微镜、X射线衍射仪和原子力显微镜研究了退火温度对铝掺杂氧化锫薄膜热学稳定性、界面稳定性和表面粗糙度的影响,探讨了铝掺杂氧化锆薄膜的I-V特性与薄膜的微观状态之间的关系.研究结果显示:在铝掺杂氧化锆薄膜中掺入不同量的Al对薄膜的微结构有较大影响,随着薄膜中Al/Zr原子含量比的增大,薄膜微结构经历从α-ZrO_2(未掺杂)到t-(Zr,Al)O_2相和c-(Zr,Al)O_2相(Al/Zr=1/4)再到α-(Zr,Al)O_2(Al/Zr=4/5)的变化;与纯ZrO_2薄膜相比,Al掺杂氧化锫(Al/Zr=4/5)薄膜的结晶化温度明显提高,薄膜热学稳定性得到改善. 展开更多
关键词 薄膜物理学 铝掺杂氧化锆薄膜 磁控溅射 热稳定性
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反应射频磁控溅射制备高k氧化锆薄膜及介电性能的研究 被引量:3
19
作者 马春雨 李智 张庆瑜 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期453-456,共4页
 在氧气和氩气的混合气体中,在O2/Ar混和气总流量固定的条件下,通过调节O2/Ar流量比,采用反应RF磁控溅射法制备了具有高介电常数的氧化锆薄膜。通过透射电子显微镜(TEM)和原子力显微镜(AFM)研究了O2/Ar流量比与薄膜微观组织和结构、表...  在氧气和氩气的混合气体中,在O2/Ar混和气总流量固定的条件下,通过调节O2/Ar流量比,采用反应RF磁控溅射法制备了具有高介电常数的氧化锆薄膜。通过透射电子显微镜(TEM)和原子力显微镜(AFM)研究了O2/Ar流量比与薄膜微观组织和结构、表面平整度之间的关系,并测试分析了在不同O2/Ar流量比下溅射沉积的Al/ZrO2/SiO2/n型Si叠层结构的C V特性曲线。实验结果表明O2/Ar流量比与薄膜微观组织和结构有一定的关系。纯氧气氛下沉积的ZrO2薄膜基本上为纳米级的微晶,晶体结构为单斜结构(a=5.17、b=5.26、c=5.3、α=γ=90°,β=80.17°),在O2/Ar流量比为1∶4混合气氛下制备出了具有非晶结构的均质ZrO2薄膜;低的O2/Ar流量比下溅射得到的ZrO2薄膜样片,均方根粗糙度较低,表面平整度较好;在O2/Ar流量比为1∶4左右时,ZrO2薄膜的相对介电常数达到25。 展开更多
关键词 反应RF磁控溅射法 氧化锆薄膜 表面粗糙度 高介电常数
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高k栅介质薄膜材料研究进展 被引量:2
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作者 马春雨 李智 +1 位作者 陈充林 张庆瑜 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期28-32,共5页
金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET),要求其器件特征尺寸越来越小,当光刻线宽小于100nm尺度范围后,栅介质氧化物层厚度开始逐渐接近(1~1.5)nm,这时电子的直接隧穿而导致栅极漏电流随栅氧化层厚度的下降而指数上升,此外,当栅氧化... 金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET),要求其器件特征尺寸越来越小,当光刻线宽小于100nm尺度范围后,栅介质氧化物层厚度开始逐渐接近(1~1.5)nm,这时电子的直接隧穿而导致栅极漏电流随栅氧化层厚度的下降而指数上升,此外,当栅氧化层薄到一定程度后,其可靠性问题,尤其是与时间相关的击穿及栅电极中的杂质向衬底的扩散等问题,将严重影响器件的稳定性和可靠性.因此需要寻找一种具有高介电常数的新型栅介质材料来替代SiO2,在对沟道具有相同控制能力的条件下(栅极电容相等),利用具有高介电常数的介质材料(一般称为高k材料)作为栅介质层可以增加介质层的物理厚度,这将有效减少穿过栅介质层的直接隧穿电流,并提高栅介质的可靠性.本文介绍了高k栅介质薄膜材料的制备方法,综述了高k栅介质薄膜材料研究的应用要求及其研究发展动态. 展开更多
关键词 高k栅介 质MOSFET CVD PVD
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