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ICP深硅刻蚀工艺研究
1
作者
赵洋
高渊
宋洁晶
《电子工业专用设备》
2024年第5期42-46,共5页
深硅刻蚀工艺是MEMS器件制造过程中的关键工艺之一。加速度计的梳齿结构、滤波器及压力传感器的硅腔结构都是决定器件性能的关键工艺,均需要通过深硅刻蚀制备。梳齿的垂直度以及硅腔的侧壁平整度均会对器件的性能产生直接影响。针对深...
深硅刻蚀工艺是MEMS器件制造过程中的关键工艺之一。加速度计的梳齿结构、滤波器及压力传感器的硅腔结构都是决定器件性能的关键工艺,均需要通过深硅刻蚀制备。梳齿的垂直度以及硅腔的侧壁平整度均会对器件的性能产生直接影响。针对深硅刻蚀工艺中出现的形貌问题进行分析,找到影响硅草、侧壁垂直度差、底部横向钻蚀、侧壁钻蚀等问题的工艺参数。最后通过工艺参数优化,对这些问题进行改善,从而获得理想形貌,满足器件性能要求。
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关键词
深硅刻蚀
微机电系统
刻蚀形貌
感应耦合等离子刻蚀
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职称材料
《2017美国成人高血压预防、检测、评估和管理指南》解读
被引量:
9
2
作者
高渊
牟建军
《中国医刊》
CAS
2017年第12期25-29,共5页
2017年11月13日,备受关注的《2017美国成人高血压预防、检测、评估和管理指南》在美国心脏协会(AHA)科学年会上正式发布。这是自2003年第7届美国预防、检测、评估和治疗高血压委员会(JNC7)高血压指南发布以来,全面更新的美国官方高...
2017年11月13日,备受关注的《2017美国成人高血压预防、检测、评估和管理指南》在美国心脏协会(AHA)科学年会上正式发布。这是自2003年第7届美国预防、检测、评估和治疗高血压委员会(JNC7)高血压指南发布以来,全面更新的美国官方高血压指南,与上一版指南比较,此次更新的变动非常大,包括新的高血压定义、降压阈值、
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关键词
美国心脏协会
高血压指南
管理指南
预防
检测
评估
成人
解读
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职称材料
K_(ATP)通道阻断剂对兔缺血心室肌跨壁离散度的影响
被引量:
6
3
作者
高渊
郑强荪
+4 位作者
雷靖祎
张中
张超
张宪伟
刘文秀
《心脏杂志》
CAS
2007年第2期139-142,共4页
目的探讨免冠脉结扎前后缺血区心室肌单相动作电位时程(MAPD100)和跨壁离散度(TDR)的动态变化,观察阻断KATP通道后缺血区心室肌的单相动作电位(MAP)参数变化。方法30只家兔随机分为单纯缺血组(n=15)和GLB(glibenclamide)组(n=15)。单纯...
目的探讨免冠脉结扎前后缺血区心室肌单相动作电位时程(MAPD100)和跨壁离散度(TDR)的动态变化,观察阻断KATP通道后缺血区心室肌的单相动作电位(MAP)参数变化。方法30只家兔随机分为单纯缺血组(n=15)和GLB(glibenclamide)组(n=15)。单纯缺血组开胸,制作缺血模型,利用整合的3层心肌同步记录MAP电极,并结合程控刺激技术,测量结扎前、结扎后5 min、30 min、1 h、1 d、2 d的缺血区3层心肌MAPD100并计算TDR。GLB作为KATP通道阻断剂预处理实验组,制作缺血模型,相同时间点记录3层心肌MAPD100并计算TDR。结果与结扎前比较,单纯缺血组冠脉结扎后5 min^1 h 3层心肌MAPD100均缩短有统计学意义,以MAPDmid100缩短最为显著,TDR与结扎前比较增大有统计学意义。在1 d、2 d的时间点上与结扎前比较TDR变化无统计意义。GLB组结扎后5 min^1 h Mid、Epi层MAPD与单纯缺血组比较增大有统计学意义,TDR减小有统计学意义。结论使用KATP通道阻断剂GLB可减小冠脉结扎后初期心室肌TDR增大程度。
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关键词
单相动作电位
心肌梗塞
KATP通道
跨壁离散度
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职称材料
自主神经干预在心力衰竭治疗中的进展
被引量:
5
4
作者
高渊
韩林
《第二军医大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第1期69-74,共6页
心力衰竭是一种复杂的病理生理综合征,平衡自主神经活性及抑制心肌重构是提高心力衰竭患者远期疗效的重要方法。尽管近些年在药物治疗方面取得了一些进展,如使用β-受体阻滞剂抑制交感神经激活对心脏的毒性作用已成为心力衰竭药物治疗...
心力衰竭是一种复杂的病理生理综合征,平衡自主神经活性及抑制心肌重构是提高心力衰竭患者远期疗效的重要方法。尽管近些年在药物治疗方面取得了一些进展,如使用β-受体阻滞剂抑制交感神经激活对心脏的毒性作用已成为心力衰竭药物治疗的经典方案,但心力衰竭的发病率仍呈上升趋势,并且患者生存能力持续降低。近年来,针对抑制交感神经系统过度激活的外科治疗手段逐渐出现,包括迷走神经电刺激术、压力感受器刺激治疗等,部分治疗方法在动物实验和初步临床研究中观察到明显的获益结果,但在心力衰竭患者中的作用还需进一步的临床试验加以验证。
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关键词
心力衰竭
迷走神经刺激
肾交感神经去除术
心交感神经去除术
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职称材料
苏州口岸截获的储藏物甲虫分析
被引量:
3
5
作者
高渊
林亚静
+2 位作者
花长红
王建斌
周艳波
《安徽农业科学》
CAS
2013年第7期2965-2966,3021,共3页
对2007~2011年苏州口岸进境检疫截获的储藏物甲虫种类进行分析,共截获1 616批次储藏物甲虫,隶属鞘翅目的 29科、83属、129种。
关键词
截获
储藏物甲虫
种类
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职称材料
应用于LOCOS隔离工艺的平坦化技术研究
被引量:
1
6
作者
高渊
刘英坤
+2 位作者
邓建国
梁东升
董军平
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期460-463,共4页
介绍了LOCOS隔离技术的原理,研究了应用于LOCOS工艺的反刻平坦化技术,通过调整刻蚀中反应气体流量等工艺参数,在CHF3流量50 mL/min、O2流量2 mL/min条件下,获得了较好的平坦化表面。研究了应用于LOCOS工艺的CMP平坦化技术,通过调整CMP...
介绍了LOCOS隔离技术的原理,研究了应用于LOCOS工艺的反刻平坦化技术,通过调整刻蚀中反应气体流量等工艺参数,在CHF3流量50 mL/min、O2流量2 mL/min条件下,获得了较好的平坦化表面。研究了应用于LOCOS工艺的CMP平坦化技术,通过调整CMP压力、转速、流量等工艺参数,控制了抛光速率和精度,提高平坦化的均匀性,在工艺条件为压力1psi(1 psi=6.89×103 Pa),转速25 r/min,流量120 mL/min时,获得了良好的平坦化形貌。通过实验对比发现,CMP平坦化效果优于反刻平坦化,适合于实际生产应用。
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关键词
局部氧化隔离
化学机械抛光
反刻
抛光速率
选择比
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职称材料
进境木质包装上截获的黑腹尼虎天牛
被引量:
2
7
作者
高渊
陈云芳
+2 位作者
詹国辉
樊新华
徐梅
《植物检疫》
2008年第6期379-380,共2页
从进境木质包装中截获黑腹尼虎天牛。对黑腹尼虎天牛的分布、寄主、生物学特性、主要形态特征等进行了介绍。
关键词
黑腹尼虎天牛
截获
分布
寄主
形态特征
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职称材料
江苏口岸截获入境皮蠹疫情分析
被引量:
1
8
作者
高渊
朱君
+2 位作者
吕飞
梁小松
周明华
《江苏农业科学》
北大核心
2014年第1期261-262,共2页
对2003—2012年江苏口岸入境检疫截获的皮蠹科昆虫根据截获地口岸类型、检疫类别进行统计分析,截获且鉴定到种或属的共1 326批次,分属皮蠹科的10个属。
关键词
江苏口岸
截获
皮蠹
疫情
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职称材料
兔心率对心室肌跨壁离散度影响的研究
被引量:
1
9
作者
高渊
郑强荪
+3 位作者
雷靖袆
冯枫
张中
张超
《西南国防医药》
CAS
2007年第2期153-156,共4页
目的:探讨兔心率变化对心室肌跨壁离散度(TDR)的影响,观察兔正常心肌及缺血心肌在CL(Cycle lengh)增大时单相动作电位时程(MAPD)参数及图形变化规律。方法:20只家兔随机分为对照组(n=0)和缺血组(n=10)。对照组开胸,利用整合的三层心肌...
目的:探讨兔心率变化对心室肌跨壁离散度(TDR)的影响,观察兔正常心肌及缺血心肌在CL(Cycle lengh)增大时单相动作电位时程(MAPD)参数及图形变化规律。方法:20只家兔随机分为对照组(n=0)和缺血组(n=10)。对照组开胸,利用整合的三层心肌同步记录单相动作电位(monophasic action potential,MAP)电极,40g/L甲醛可逆抑制兔窦房结,测量CL在300ms、500ms、700ms和900ms时三层心肌100%动作电位时程(MAPD100)并计算TDR。缺血组制作缺血模型,相同时间点记录三层心肌MAPD100并计算TDR。结果:随着心动周期从300ms逐步增至900ms时,三层心肌MAPD100均相应延长(P<0.01),其中以Mid的MAPD100延长最为明显。TDR从(11±5)ms增加到(49±20)ms(P<0.01)。与对照组300ms相比,缺血组在300ms时中层心肌MAPD100减至(136±12)ms(P<0.01)。缺血组TDR随CL变化从(32±6)ms(300ms时)到(4±2)ms(700ms时,P<0.01)到(60±8)ms(900ms时,P<0.01)。结论:兔心率减慢时,心室肌TR增大,折返激动易于发生;兔心肌缺血时TDR增大,当缺血伴心率减慢时,TDR先减小后增大。
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关键词
兔心率
心室肌
跨壁离散度
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职称材料
植物检疫实验室采用标准的现状
被引量:
5
10
作者
高渊
陈云芳
《实验科学与技术》
2009年第3期54-54,144,共2页
对国内植物检疫标准特别是有害生物检疫鉴定方法类标准制订的现状,从标准数量和覆盖范围、标准内容等方面进行阐述,分析存在问题,对植物检疫标准体系建设提出建议。并指出植物检疫实验室在引用相关标准时应注意适用范围的一致性、标准...
对国内植物检疫标准特别是有害生物检疫鉴定方法类标准制订的现状,从标准数量和覆盖范围、标准内容等方面进行阐述,分析存在问题,对植物检疫标准体系建设提出建议。并指出植物检疫实验室在引用相关标准时应注意适用范围的一致性、标准有效性、识别强制性内容、规范使用标准代号等方面问题。
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关键词
植物检疫
标准
现状
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职称材料
甲磺隆对防除加拿大一枝黄花的作用研究
被引量:
5
11
作者
高渊
姚克兵
+1 位作者
何东兵
邱晓红
《安徽农业科学》
CAS
北大核心
2008年第32期14188-14189,共2页
[目的]探索在秋季对加拿大一枝黄花地上部分防除后,可用于对非耕地的土壤进行处理的药剂。[方法]秋季(2007年10月13日),将加拿大一枝黄花地上部分人工割除后,使用甲磺隆有效成分分别为15、30、60、120、240 g/hm2对水喷雾,以及清水对照...
[目的]探索在秋季对加拿大一枝黄花地上部分防除后,可用于对非耕地的土壤进行处理的药剂。[方法]秋季(2007年10月13日),将加拿大一枝黄花地上部分人工割除后,使用甲磺隆有效成分分别为15、30、60、120、240 g/hm2对水喷雾,以及清水对照6个处理进行土壤表面喷雾,翌年春季加拿大一枝黄花萌发后,分别于4月1日(药后171 d)、4月24日(药后194 d)、5月25日(药后225 d)调查各处理出苗密度,计算防效。[结果]试验表明,使用甲磺隆对土壤表面喷雾,有效成分为30 g/hm2即可比较理想地抑制加拿大一枝黄花地下根茎的繁殖能力,且持效期较长。[结论]在不进行农业生产的非耕地中,应用甲磺隆进行秋季土壤处理,可作为制订加拿大一枝黄花防除策略的重要部分。
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关键词
加拿大一枝黄花
甲磺隆
非耕地
防效
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职称材料
议大数据时代下的个人信息安全
被引量:
13
12
作者
高渊
《今传媒》
2014年第8期33-34,共2页
近年来随着互联网技术的发展,大数据成为社会热点。大数据为整个社会发展提供了巨大利益和价值,但同时大数据也给个人信息安全提出了挑战。本文主要从大数据时代下个人信息受到侵犯的四个表现(数据采集、存储、使用、销毁)入手,分析大...
近年来随着互联网技术的发展,大数据成为社会热点。大数据为整个社会发展提供了巨大利益和价值,但同时大数据也给个人信息安全提出了挑战。本文主要从大数据时代下个人信息受到侵犯的四个表现(数据采集、存储、使用、销毁)入手,分析大数据时代下个人信息安全保护的措施。
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关键词
大数据
个人信息安全
表现
措施
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职称材料
镰形扇头蜱的生物学特性及检疫
被引量:
1
13
作者
高渊
庄明娟
陈云芳
《现代农业科技》
2011年第2期213-214,共2页
介绍镰形扇头蜱的分布、危害、生物学特性等,以指导口岸检疫,防止该蜱及蜱传疾病的入侵和扩散。
关键词
镰形扇头蜱
危害
生物学特性
检疫
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职称材料
提高NaY分子筛合成过程中硅利用率的试验研究
被引量:
2
14
作者
高渊
高杜娟
+2 位作者
唐玉龙
高冬梅
赵家琳
《甘肃科技》
2012年第6期18-20,共3页
为了提高原材料的利用率,同时减少污水中悬浮物的含量,减轻NaY分子筛装置外排污水造成的环境污染,在NaY分子筛合成技术上采用了母液硅全循环技术。采用此技术后NaY分子筛合成时投料硅利用率可大幅度提高,装置标定结果表明,可以提高30%...
为了提高原材料的利用率,同时减少污水中悬浮物的含量,减轻NaY分子筛装置外排污水造成的环境污染,在NaY分子筛合成技术上采用了母液硅全循环技术。采用此技术后NaY分子筛合成时投料硅利用率可大幅度提高,装置标定结果表明,可以提高30%左右。因此,为进一步提高催化剂厂的环保水平,还需进一步提高NaY分子筛合成过程中硅的利用率。
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关键词
NAY分子筛
母液
硅利用率
提高
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职称材料
从进境木包装中截获的栉角窃蠹
15
作者
高渊
陈云芳
+1 位作者
陈美华
徐梅
《安徽农业科学》
CAS
北大核心
2009年第31期15099-15099,15107,共2页
介绍了从进境木包装中截获的栉角窃蠹的分布、危害、形态特征等,以便今后在检疫过程中引起重视,防止该虫的入侵和扩散。
关键词
栉角窃蠹
生物学特性
形态特征
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职称材料
智能广告时代行业从业者的职能转向
被引量:
1
16
作者
高渊
《记者摇篮》
2018年第11期13-15,共3页
智能广告时代行业面临着企业营销精准化、广告生产智能化、媒体组织平台化等生态系统变革,因此广告从业者职能需求也正在发生一系列的变化。未来广告从业者中,"泛广告人"将成为行业中新的岗位。
关键词
智能广告
变化
职能转向
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职称材料
GaAs通孔刻蚀微掩模形成机理研究
被引量:
2
17
作者
高渊
《电子与封装》
2019年第7期37-39,44,共4页
通孔刻蚀是GaAs制造工艺的重要环节,通过通孔刻蚀工艺实现GaAs背面和正面金属导通互连。在通孔刻蚀工艺中,微掩模的形成对器件性能及可靠性产生不利影响。微掩模将阻碍GaAs刻蚀,形成柱状堵孔以及侧壁聚合物等,造成后续背面金属接触不良...
通孔刻蚀是GaAs制造工艺的重要环节,通过通孔刻蚀工艺实现GaAs背面和正面金属导通互连。在通孔刻蚀工艺中,微掩模的形成对器件性能及可靠性产生不利影响。微掩模将阻碍GaAs刻蚀,形成柱状堵孔以及侧壁聚合物等,造成后续背面金属接触不良、粘附不牢,进而影响通孔接触电阻、电感等关键参数,最终影响器件性能及可靠性。分析了GaAs微掩模形成的主要原因和形成机理,通过工艺优化解决了通孔刻蚀堵孔及侧壁聚合物等问题,从而提高了器件性能及可靠性。
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关键词
GaAs通孔刻蚀
微掩模
聚合物
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职称材料
机器视觉在口岸植物检疫实验室的应用前景
18
作者
高渊
胡斌华
+1 位作者
葛华林
庄鸣娟
《西南林学院学报》
2010年第B06期36-37,共2页
对机器视觉的应用领域进行阐述,并进一步分析机器视觉技术在口岸植物检疫实验室中的应用前景和存在的困难。
关键词
机器视觉
植物检疫
实验室
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职称材料
布儒斯特角的非电量电测
被引量:
1
19
作者
高渊
《物理通报》
2007年第6期38-40,共3页
利用无触点式角度电位器测量玻璃的布儒斯特角,实现角度量的电测,并准确得到玻璃的折射率.
关键词
无触点式角度电位器
磁阻效应
布儒斯特角
折射率
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职称材料
具有协同表面配体的水溶性稀土上转换发光纳米材料用于活体淋巴结显像
被引量:
7
20
作者
高渊
曹天野
李富友
《无机化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2012年第10期2043-2048,共6页
通过水热法,以油酸和两亲性聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为协同表面配体,一步水热合成水溶性稀土上转换发光纳米材料(NaYF4:20%Yb 1%Tm)。稀土纳米粒径尺寸平均为16 nm,在水溶液中稳定单分散,具有较强上转换发光。具有较低的细胞毒性,可用于上...
通过水热法,以油酸和两亲性聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为协同表面配体,一步水热合成水溶性稀土上转换发光纳米材料(NaYF4:20%Yb 1%Tm)。稀土纳米粒径尺寸平均为16 nm,在水溶液中稳定单分散,具有较强上转换发光。具有较低的细胞毒性,可用于上转换发光细胞成像。并进一步用于活体淋巴结显像,表现出高的信噪比。
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关键词
稀土纳米材料
上转换发光
水热合成
水溶性
淋巴显像
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职称材料
题名
ICP深硅刻蚀工艺研究
1
作者
赵洋
高渊
宋洁晶
机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
出处
《电子工业专用设备》
2024年第5期42-46,共5页
文摘
深硅刻蚀工艺是MEMS器件制造过程中的关键工艺之一。加速度计的梳齿结构、滤波器及压力传感器的硅腔结构都是决定器件性能的关键工艺,均需要通过深硅刻蚀制备。梳齿的垂直度以及硅腔的侧壁平整度均会对器件的性能产生直接影响。针对深硅刻蚀工艺中出现的形貌问题进行分析,找到影响硅草、侧壁垂直度差、底部横向钻蚀、侧壁钻蚀等问题的工艺参数。最后通过工艺参数优化,对这些问题进行改善,从而获得理想形貌,满足器件性能要求。
关键词
深硅刻蚀
微机电系统
刻蚀形貌
感应耦合等离子刻蚀
Keywords
Deep silicon etching
Micro-electro-mechanical system
Profile
Inductively coupled plasma
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
《2017美国成人高血压预防、检测、评估和管理指南》解读
被引量:
9
2
作者
高渊
牟建军
机构
西安交通大学第一附属医院心血管内科
出处
《中国医刊》
CAS
2017年第12期25-29,共5页
文摘
2017年11月13日,备受关注的《2017美国成人高血压预防、检测、评估和管理指南》在美国心脏协会(AHA)科学年会上正式发布。这是自2003年第7届美国预防、检测、评估和治疗高血压委员会(JNC7)高血压指南发布以来,全面更新的美国官方高血压指南,与上一版指南比较,此次更新的变动非常大,包括新的高血压定义、降压阈值、
关键词
美国心脏协会
高血压指南
管理指南
预防
检测
评估
成人
解读
分类号
R544.1 [医药卫生—心血管疾病]
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职称材料
题名
K_(ATP)通道阻断剂对兔缺血心室肌跨壁离散度的影响
被引量:
6
3
作者
高渊
郑强荪
雷靖祎
张中
张超
张宪伟
刘文秀
机构
第四军医大学唐都医院心内科
出处
《心脏杂志》
CAS
2007年第2期139-142,共4页
文摘
目的探讨免冠脉结扎前后缺血区心室肌单相动作电位时程(MAPD100)和跨壁离散度(TDR)的动态变化,观察阻断KATP通道后缺血区心室肌的单相动作电位(MAP)参数变化。方法30只家兔随机分为单纯缺血组(n=15)和GLB(glibenclamide)组(n=15)。单纯缺血组开胸,制作缺血模型,利用整合的3层心肌同步记录MAP电极,并结合程控刺激技术,测量结扎前、结扎后5 min、30 min、1 h、1 d、2 d的缺血区3层心肌MAPD100并计算TDR。GLB作为KATP通道阻断剂预处理实验组,制作缺血模型,相同时间点记录3层心肌MAPD100并计算TDR。结果与结扎前比较,单纯缺血组冠脉结扎后5 min^1 h 3层心肌MAPD100均缩短有统计学意义,以MAPDmid100缩短最为显著,TDR与结扎前比较增大有统计学意义。在1 d、2 d的时间点上与结扎前比较TDR变化无统计意义。GLB组结扎后5 min^1 h Mid、Epi层MAPD与单纯缺血组比较增大有统计学意义,TDR减小有统计学意义。结论使用KATP通道阻断剂GLB可减小冠脉结扎后初期心室肌TDR增大程度。
关键词
单相动作电位
心肌梗塞
KATP通道
跨壁离散度
Keywords
monophasic action potential
KAyp channel
myocardial ischemic
transmural dispersion of reporlarization
分类号
R542.2 [医药卫生—心血管疾病]
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职称材料
题名
自主神经干预在心力衰竭治疗中的进展
被引量:
5
4
作者
高渊
韩林
机构
海军军医大学(第二军医大学)长海医院心血管外科
出处
《第二军医大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第1期69-74,共6页
文摘
心力衰竭是一种复杂的病理生理综合征,平衡自主神经活性及抑制心肌重构是提高心力衰竭患者远期疗效的重要方法。尽管近些年在药物治疗方面取得了一些进展,如使用β-受体阻滞剂抑制交感神经激活对心脏的毒性作用已成为心力衰竭药物治疗的经典方案,但心力衰竭的发病率仍呈上升趋势,并且患者生存能力持续降低。近年来,针对抑制交感神经系统过度激活的外科治疗手段逐渐出现,包括迷走神经电刺激术、压力感受器刺激治疗等,部分治疗方法在动物实验和初步临床研究中观察到明显的获益结果,但在心力衰竭患者中的作用还需进一步的临床试验加以验证。
关键词
心力衰竭
迷走神经刺激
肾交感神经去除术
心交感神经去除术
Keywords
heart failure
vagus nerve stimulation
renal sympathetic denervation
cardiac sympathetic denervation
分类号
R541.61 [医药卫生—心血管疾病]
下载PDF
职称材料
题名
苏州口岸截获的储藏物甲虫分析
被引量:
3
5
作者
高渊
林亚静
花长红
王建斌
周艳波
机构
苏州出入境检验检疫局
出处
《安徽农业科学》
CAS
2013年第7期2965-2966,3021,共3页
基金
江苏出入境检验检疫局科研项目(2012KJ55
2013KJ55)
文摘
对2007~2011年苏州口岸进境检疫截获的储藏物甲虫种类进行分析,共截获1 616批次储藏物甲虫,隶属鞘翅目的 29科、83属、129种。
关键词
截获
储藏物甲虫
种类
分类号
Q969 [生物学—昆虫学]
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职称材料
题名
应用于LOCOS隔离工艺的平坦化技术研究
被引量:
1
6
作者
高渊
刘英坤
邓建国
梁东升
董军平
机构
河北工业大学信息工程学院
中国电子科技集团公司第十三研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期460-463,共4页
文摘
介绍了LOCOS隔离技术的原理,研究了应用于LOCOS工艺的反刻平坦化技术,通过调整刻蚀中反应气体流量等工艺参数,在CHF3流量50 mL/min、O2流量2 mL/min条件下,获得了较好的平坦化表面。研究了应用于LOCOS工艺的CMP平坦化技术,通过调整CMP压力、转速、流量等工艺参数,控制了抛光速率和精度,提高平坦化的均匀性,在工艺条件为压力1psi(1 psi=6.89×103 Pa),转速25 r/min,流量120 mL/min时,获得了良好的平坦化形貌。通过实验对比发现,CMP平坦化效果优于反刻平坦化,适合于实际生产应用。
关键词
局部氧化隔离
化学机械抛光
反刻
抛光速率
选择比
Keywords
local oxidation on silicon (LOCOS)
chemical mechanical polishing (CMP)
etchback
polishing rate
selectivity ratio
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
进境木质包装上截获的黑腹尼虎天牛
被引量:
2
7
作者
高渊
陈云芳
詹国辉
樊新华
徐梅
机构
苏州出入境检验检疫局
江苏出入境检验检疫局
出处
《植物检疫》
2008年第6期379-380,共2页
文摘
从进境木质包装中截获黑腹尼虎天牛。对黑腹尼虎天牛的分布、寄主、生物学特性、主要形态特征等进行了介绍。
关键词
黑腹尼虎天牛
截获
分布
寄主
形态特征
分类号
S41 [农业科学—植物保护]
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职称材料
题名
江苏口岸截获入境皮蠹疫情分析
被引量:
1
8
作者
高渊
朱君
吕飞
梁小松
周明华
机构
苏州出入境检验检疫局
张家港出入境检验检疫局
太仓出入境检验检疫局
常州出入境检验检疫局
江苏出入境检验检疫局
出处
《江苏农业科学》
北大核心
2014年第1期261-262,共2页
基金
江苏出入境检验检疫局科研计划项目(编号:2012KJ55
2013KJ55)
文摘
对2003—2012年江苏口岸入境检疫截获的皮蠹科昆虫根据截获地口岸类型、检疫类别进行统计分析,截获且鉴定到种或属的共1 326批次,分属皮蠹科的10个属。
关键词
江苏口岸
截获
皮蠹
疫情
分类号
S41 [农业科学—植物保护]
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职称材料
题名
兔心率对心室肌跨壁离散度影响的研究
被引量:
1
9
作者
高渊
郑强荪
雷靖袆
冯枫
张中
张超
机构
第四军医大学唐都医院心内科
出处
《西南国防医药》
CAS
2007年第2期153-156,共4页
文摘
目的:探讨兔心率变化对心室肌跨壁离散度(TDR)的影响,观察兔正常心肌及缺血心肌在CL(Cycle lengh)增大时单相动作电位时程(MAPD)参数及图形变化规律。方法:20只家兔随机分为对照组(n=0)和缺血组(n=10)。对照组开胸,利用整合的三层心肌同步记录单相动作电位(monophasic action potential,MAP)电极,40g/L甲醛可逆抑制兔窦房结,测量CL在300ms、500ms、700ms和900ms时三层心肌100%动作电位时程(MAPD100)并计算TDR。缺血组制作缺血模型,相同时间点记录三层心肌MAPD100并计算TDR。结果:随着心动周期从300ms逐步增至900ms时,三层心肌MAPD100均相应延长(P<0.01),其中以Mid的MAPD100延长最为明显。TDR从(11±5)ms增加到(49±20)ms(P<0.01)。与对照组300ms相比,缺血组在300ms时中层心肌MAPD100减至(136±12)ms(P<0.01)。缺血组TDR随CL变化从(32±6)ms(300ms时)到(4±2)ms(700ms时,P<0.01)到(60±8)ms(900ms时,P<0.01)。结论:兔心率减慢时,心室肌TR增大,折返激动易于发生;兔心肌缺血时TDR增大,当缺血伴心率减慢时,TDR先减小后增大。
关键词
兔心率
心室肌
跨壁离散度
Keywords
monophasic action potential
heart rate
transmural dispersion
cardiac cycle
repolarization
分类号
R54 [医药卫生—心血管疾病]
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职称材料
题名
植物检疫实验室采用标准的现状
被引量:
5
10
作者
高渊
陈云芳
机构
苏州出入境检验检疫局
出处
《实验科学与技术》
2009年第3期54-54,144,共2页
文摘
对国内植物检疫标准特别是有害生物检疫鉴定方法类标准制订的现状,从标准数量和覆盖范围、标准内容等方面进行阐述,分析存在问题,对植物检疫标准体系建设提出建议。并指出植物检疫实验室在引用相关标准时应注意适用范围的一致性、标准有效性、识别强制性内容、规范使用标准代号等方面问题。
关键词
植物检疫
标准
现状
Keywords
phytesanitary
standard
status
分类号
S41-3 [农业科学—植物保护]
N36 [自然科学总论]
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职称材料
题名
甲磺隆对防除加拿大一枝黄花的作用研究
被引量:
5
11
作者
高渊
姚克兵
何东兵
邱晓红
机构
苏州出入境检验检疫局
江苏省镇江市植保站
出处
《安徽农业科学》
CAS
北大核心
2008年第32期14188-14189,共2页
基金
江苏省科技攻关项目(BB2005350)
文摘
[目的]探索在秋季对加拿大一枝黄花地上部分防除后,可用于对非耕地的土壤进行处理的药剂。[方法]秋季(2007年10月13日),将加拿大一枝黄花地上部分人工割除后,使用甲磺隆有效成分分别为15、30、60、120、240 g/hm2对水喷雾,以及清水对照6个处理进行土壤表面喷雾,翌年春季加拿大一枝黄花萌发后,分别于4月1日(药后171 d)、4月24日(药后194 d)、5月25日(药后225 d)调查各处理出苗密度,计算防效。[结果]试验表明,使用甲磺隆对土壤表面喷雾,有效成分为30 g/hm2即可比较理想地抑制加拿大一枝黄花地下根茎的繁殖能力,且持效期较长。[结论]在不进行农业生产的非耕地中,应用甲磺隆进行秋季土壤处理,可作为制订加拿大一枝黄花防除策略的重要部分。
关键词
加拿大一枝黄花
甲磺隆
非耕地
防效
Keywords
Solidago canadensis
Metsulfuron-methyl
Non-arable land
Control effect
分类号
S482.49 [农业科学—农药学]
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职称材料
题名
议大数据时代下的个人信息安全
被引量:
13
12
作者
高渊
机构
甘肃政法学院人文学院
出处
《今传媒》
2014年第8期33-34,共2页
文摘
近年来随着互联网技术的发展,大数据成为社会热点。大数据为整个社会发展提供了巨大利益和价值,但同时大数据也给个人信息安全提出了挑战。本文主要从大数据时代下个人信息受到侵犯的四个表现(数据采集、存储、使用、销毁)入手,分析大数据时代下个人信息安全保护的措施。
关键词
大数据
个人信息安全
表现
措施
分类号
D922.29 [政治法律—经济法学]
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职称材料
题名
镰形扇头蜱的生物学特性及检疫
被引量:
1
13
作者
高渊
庄明娟
陈云芳
机构
苏州出入境检验检疫局
出处
《现代农业科技》
2011年第2期213-214,共2页
文摘
介绍镰形扇头蜱的分布、危害、生物学特性等,以指导口岸检疫,防止该蜱及蜱传疾病的入侵和扩散。
关键词
镰形扇头蜱
危害
生物学特性
检疫
分类号
R185.35 [医药卫生—流行病学]
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职称材料
题名
提高NaY分子筛合成过程中硅利用率的试验研究
被引量:
2
14
作者
高渊
高杜娟
唐玉龙
高冬梅
赵家琳
机构
中国石油兰州石化公司催化剂厂
中国石油兰州化工研究中心
出处
《甘肃科技》
2012年第6期18-20,共3页
文摘
为了提高原材料的利用率,同时减少污水中悬浮物的含量,减轻NaY分子筛装置外排污水造成的环境污染,在NaY分子筛合成技术上采用了母液硅全循环技术。采用此技术后NaY分子筛合成时投料硅利用率可大幅度提高,装置标定结果表明,可以提高30%左右。因此,为进一步提高催化剂厂的环保水平,还需进一步提高NaY分子筛合成过程中硅的利用率。
关键词
NAY分子筛
母液
硅利用率
提高
分类号
TQ426.6 [化学工程]
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职称材料
题名
从进境木包装中截获的栉角窃蠹
15
作者
高渊
陈云芳
陈美华
徐梅
机构
苏州出入境检验检疫局
江苏出入境检验检疫局
出处
《安徽农业科学》
CAS
北大核心
2009年第31期15099-15099,15107,共2页
文摘
介绍了从进境木包装中截获的栉角窃蠹的分布、危害、形态特征等,以便今后在检疫过程中引起重视,防止该虫的入侵和扩散。
关键词
栉角窃蠹
生物学特性
形态特征
分类号
S763 [农业科学—森林保护学]
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职称材料
题名
智能广告时代行业从业者的职能转向
被引量:
1
16
作者
高渊
机构
甘肃政法学院人文学院
出处
《记者摇篮》
2018年第11期13-15,共3页
基金
2018年甘肃省高等学校科研项目"新媒体语境下甘肃少数民族非物质文化遗产保护与开发的数字化传承研究"(2018A-67)阶段性研究成果
文摘
智能广告时代行业面临着企业营销精准化、广告生产智能化、媒体组织平台化等生态系统变革,因此广告从业者职能需求也正在发生一系列的变化。未来广告从业者中,"泛广告人"将成为行业中新的岗位。
关键词
智能广告
变化
职能转向
分类号
F713.8 [经济管理—广告]
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职称材料
题名
GaAs通孔刻蚀微掩模形成机理研究
被引量:
2
17
作者
高渊
机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
出处
《电子与封装》
2019年第7期37-39,44,共4页
文摘
通孔刻蚀是GaAs制造工艺的重要环节,通过通孔刻蚀工艺实现GaAs背面和正面金属导通互连。在通孔刻蚀工艺中,微掩模的形成对器件性能及可靠性产生不利影响。微掩模将阻碍GaAs刻蚀,形成柱状堵孔以及侧壁聚合物等,造成后续背面金属接触不良、粘附不牢,进而影响通孔接触电阻、电感等关键参数,最终影响器件性能及可靠性。分析了GaAs微掩模形成的主要原因和形成机理,通过工艺优化解决了通孔刻蚀堵孔及侧壁聚合物等问题,从而提高了器件性能及可靠性。
关键词
GaAs通孔刻蚀
微掩模
聚合物
Keywords
GaAs via etching
micro mask
polymer
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
机器视觉在口岸植物检疫实验室的应用前景
18
作者
高渊
胡斌华
葛华林
庄鸣娟
机构
苏州出入境检验检疫局
出处
《西南林学院学报》
2010年第B06期36-37,共2页
基金
国家质检总局项目(2009IK243)资助
文摘
对机器视觉的应用领域进行阐述,并进一步分析机器视觉技术在口岸植物检疫实验室中的应用前景和存在的困难。
关键词
机器视觉
植物检疫
实验室
Keywords
machine vision
phytosanitary quarantine
laboratory
分类号
S412 [农业科学—植物保护]
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职称材料
题名
布儒斯特角的非电量电测
被引量:
1
19
作者
高渊
机构
复旦大学物理系
出处
《物理通报》
2007年第6期38-40,共3页
文摘
利用无触点式角度电位器测量玻璃的布儒斯特角,实现角度量的电测,并准确得到玻璃的折射率.
关键词
无触点式角度电位器
磁阻效应
布儒斯特角
折射率
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
具有协同表面配体的水溶性稀土上转换发光纳米材料用于活体淋巴结显像
被引量:
7
20
作者
高渊
曹天野
李富友
机构
复旦大学化学系先进材料实验室
出处
《无机化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2012年第10期2043-2048,共6页
基金
国家自然科学基金(No.SSTC11XD1400200)
the State Key Basic Research Program of China(2011AA03A407)
+1 种基金
IRT0911
SLADP(B108)资助项目
文摘
通过水热法,以油酸和两亲性聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为协同表面配体,一步水热合成水溶性稀土上转换发光纳米材料(NaYF4:20%Yb 1%Tm)。稀土纳米粒径尺寸平均为16 nm,在水溶液中稳定单分散,具有较强上转换发光。具有较低的细胞毒性,可用于上转换发光细胞成像。并进一步用于活体淋巴结显像,表现出高的信噪比。
关键词
稀土纳米材料
上转换发光
水热合成
水溶性
淋巴显像
Keywords
rare-earth nanophosphors
upconversion luminescence
hydrothermal synthesis
water-soluble
lymph node imaging
分类号
O614.33 [理学—无机化学]
O614.32 [理学—无机化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
ICP深硅刻蚀工艺研究
赵洋
高渊
宋洁晶
《电子工业专用设备》
2024
0
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职称材料
2
《2017美国成人高血压预防、检测、评估和管理指南》解读
高渊
牟建军
《中国医刊》
CAS
2017
9
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职称材料
3
K_(ATP)通道阻断剂对兔缺血心室肌跨壁离散度的影响
高渊
郑强荪
雷靖祎
张中
张超
张宪伟
刘文秀
《心脏杂志》
CAS
2007
6
下载PDF
职称材料
4
自主神经干预在心力衰竭治疗中的进展
高渊
韩林
《第二军医大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2020
5
下载PDF
职称材料
5
苏州口岸截获的储藏物甲虫分析
高渊
林亚静
花长红
王建斌
周艳波
《安徽农业科学》
CAS
2013
3
下载PDF
职称材料
6
应用于LOCOS隔离工艺的平坦化技术研究
高渊
刘英坤
邓建国
梁东升
董军平
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012
1
下载PDF
职称材料
7
进境木质包装上截获的黑腹尼虎天牛
高渊
陈云芳
詹国辉
樊新华
徐梅
《植物检疫》
2008
2
下载PDF
职称材料
8
江苏口岸截获入境皮蠹疫情分析
高渊
朱君
吕飞
梁小松
周明华
《江苏农业科学》
北大核心
2014
1
下载PDF
职称材料
9
兔心率对心室肌跨壁离散度影响的研究
高渊
郑强荪
雷靖袆
冯枫
张中
张超
《西南国防医药》
CAS
2007
1
下载PDF
职称材料
10
植物检疫实验室采用标准的现状
高渊
陈云芳
《实验科学与技术》
2009
5
下载PDF
职称材料
11
甲磺隆对防除加拿大一枝黄花的作用研究
高渊
姚克兵
何东兵
邱晓红
《安徽农业科学》
CAS
北大核心
2008
5
下载PDF
职称材料
12
议大数据时代下的个人信息安全
高渊
《今传媒》
2014
13
下载PDF
职称材料
13
镰形扇头蜱的生物学特性及检疫
高渊
庄明娟
陈云芳
《现代农业科技》
2011
1
下载PDF
职称材料
14
提高NaY分子筛合成过程中硅利用率的试验研究
高渊
高杜娟
唐玉龙
高冬梅
赵家琳
《甘肃科技》
2012
2
下载PDF
职称材料
15
从进境木包装中截获的栉角窃蠹
高渊
陈云芳
陈美华
徐梅
《安徽农业科学》
CAS
北大核心
2009
0
下载PDF
职称材料
16
智能广告时代行业从业者的职能转向
高渊
《记者摇篮》
2018
1
下载PDF
职称材料
17
GaAs通孔刻蚀微掩模形成机理研究
高渊
《电子与封装》
2019
2
下载PDF
职称材料
18
机器视觉在口岸植物检疫实验室的应用前景
高渊
胡斌华
葛华林
庄鸣娟
《西南林学院学报》
2010
0
下载PDF
职称材料
19
布儒斯特角的非电量电测
高渊
《物理通报》
2007
1
下载PDF
职称材料
20
具有协同表面配体的水溶性稀土上转换发光纳米材料用于活体淋巴结显像
高渊
曹天野
李富友
《无机化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2012
7
下载PDF
职称材料
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