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面向集成电路先进制程的二维信息材料与器件
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作者 高鸿钧 张跃 +6 位作者 施毅 王欣然 于志浩 施阁 唐华 何杰 刘克 《中国科学基金》 CSSCI CSCD 北大核心 2024年第4期612-621,共10页
随着集成电路技术的发展至3 nm节点,摩尔定律接近其物理极限,传统芯片制程面临材料到器件的理论和技术瓶颈。二维信息材料凭借原子层厚度、低功耗等特性被产业界认为是1 nm及以下节点的核心材料,将助力芯片制程延续摩尔定律以及平面到... 随着集成电路技术的发展至3 nm节点,摩尔定律接近其物理极限,传统芯片制程面临材料到器件的理论和技术瓶颈。二维信息材料凭借原子层厚度、低功耗等特性被产业界认为是1 nm及以下节点的核心材料,将助力芯片制程延续摩尔定律以及平面到三维的发展,与我国集成电路先进制程长期规划紧密相关。基于国家自然科学基金委员会第343期双清论坛,本文从材料—器件—异质集成多层次回顾了二维信息材料与器件的发展历史,总结了领域内所面临挑战,凝炼了未来5~10年的重大关键科学以及亟需布局的研究方向,进一步提出顶层设计的前沿研究方向和科学基金资助战略。 展开更多
关键词 二维信息材料 器件 集成电路 基础研究 科学问题
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铁基超导体中的马约拉纳零能模及其阵列构筑
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作者 李更 丁洪 +1 位作者 汪自强 高鸿钧 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期1-15,共15页
马约拉纳零能模服从非阿贝尔统计,其编织操作可用于构筑拓扑量子比特,是拓扑量子计算的基本单元,可从原理上解决量子计算中环境噪声带来的退相干问题.现有的马约拉纳零能模平台包括复合异质结构,如拓扑绝缘体/超导体、半导体纳米线/超... 马约拉纳零能模服从非阿贝尔统计,其编织操作可用于构筑拓扑量子比特,是拓扑量子计算的基本单元,可从原理上解决量子计算中环境噪声带来的退相干问题.现有的马约拉纳零能模平台包括复合异质结构,如拓扑绝缘体/超导体、半导体纳米线/超导体或一维磁性原子链/超导体等,以及单一材料,如2M-WS_(2),4Hb-TaS_(2)和铁基超导体等.铁基超导体中的马约拉纳零能模具有材料平台简单、零能模纯净以及存活温度较高等一系列优势,引起了广泛关注.最近,大面积、有序和可调控的马约拉纳零能模晶格阵列在铁基超导体LiFeAs中被观测到,为未来的拓扑量子计算提供了一个理想平台.本综述首先回顾铁基超导体中马约拉纳零能模的实验观测,其中将重点介绍FeTe_(0.55)Se_(0.45),(Li_(0.84)Fe_(0.16))OHFeSe,CaKFe_(4)As_(4)和LiFeAs等材料体系.接着介绍给出铁基超导体中马约拉纳零能模关键性实验证据的一系列工作.然后进一步详细介绍近期LiFeAs中观测到有序和可调马约拉纳零能模晶格阵列的工作.最后给出总结和对未来马约拉纳领域研究的展望. 展开更多
关键词 铁基超导体 拓扑能带结构 马约拉纳零模
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《物理学报》创刊90周年专栏编者按
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作者 高鸿钧 范桁 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第23期1-1,共1页
《物理学报》创刊于1933年10月,是中国物理学会成立之后第二年即主持编辑出版的我国第一本物理学期刊,至今已走过90年历程.期间历经抗日战争等历史时期,也曾数度停刊(1937年6月-1938年,1940年7月-1944年6月,1952年,1966年6月-1973年),... 《物理学报》创刊于1933年10月,是中国物理学会成立之后第二年即主持编辑出版的我国第一本物理学期刊,至今已走过90年历程.期间历经抗日战争等历史时期,也曾数度停刊(1937年6月-1938年,1940年7月-1944年6月,1952年,1966年6月-1973年),最近一次复刊是1974年,此后一直发展至今. 展开更多
关键词 中国物理学会 《物理学报》 物理学期刊 第二年
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在2021年中国法学会比较法学研究会年会闭幕式上的致辞(节选)
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作者 高鸿钧 《法学教育研究》 2023年第1期321-334,共14页
我们需要使专业进一步细化。学术研究领域和议题的选择,应倡导“与人不同”,敢于尝试新领域,甘居边缘领域。成果的质量不在于研究领域或论域,而在于研究者的理论素养、学术洞察力和方法。深化专业研究时,每个年轻学者都应根据自己的兴... 我们需要使专业进一步细化。学术研究领域和议题的选择,应倡导“与人不同”,敢于尝试新领域,甘居边缘领域。成果的质量不在于研究领域或论域,而在于研究者的理论素养、学术洞察力和方法。深化专业研究时,每个年轻学者都应根据自己的兴趣进行选择。兴趣是最好的老师,而兴趣的内在驱动力是好奇心。我们应热爱自己的专业,要在从事专业研究中养成痴迷的兴趣、超越的情怀和忘我的精神。学者的成果主要有三类:第一类是论文;第二类是专著,专著勿求多,应求精,倡导传世之作和拳头产品;第三类是译著,翻译涉及两种语言的转化,翻译法律作品实际上是在进行法律移植。 展开更多
关键词 比较法学 专业分工 学术兴趣 传世之作 拳头产品
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凝心聚力齐奋进 谱写未来新篇章——全国“两会”代表委员热议科技创新 被引量:1
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作者 本刊编辑部 李蓬 +13 位作者 高松 伊彤 司徒国海 闫傲霜 张振涛 陈增敬 刘尚希 曲永义 刘中民 张国强 章建华 高鸿钧 拜文汇 谭国鹤 《科技智囊》 2023年第3期1-4,共4页
2023年3月4日-13日,中国人民政治协商会议第十四届全国委员会第一次会议、第十四届全国人民代表大会第一次会议相继在北京召开。全国“两会”代表委员以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导,围绕政府工作报告,积极建言献策,为全面... 2023年3月4日-13日,中国人民政治协商会议第十四届全国委员会第一次会议、第十四届全国人民代表大会第一次会议相继在北京召开。全国“两会”代表委员以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导,围绕政府工作报告,积极建言献策,为全面建设社会主义现代化国家贡献智慧和力量。《科技智囊》编辑部根据权威媒体报道,编辑整理了全国“两会”代表委员关于科技创新的观点、建议,以飨读者。 展开更多
关键词 习近平新时代中国特色社会主义思想 政府工作报告 编辑整理 中国人民政治协商会议 凝心聚力 全国人民代表大会 两会 建言献策
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Observation of parabolic electron bands on superconductor LaRu_(2)As_(2)
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作者 周兴泰 李更 +5 位作者 潘禄禄 陈子超 李萌 时延昊 杨海涛 高鸿钧 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第7期60-64,共5页
Ru-based superconductor LaRu_(2)As_(2) has been discovered exhibiting the highest critical temperature of ~ 7.8 K among iron-free transition metal pnictides with the ThCr_(2)Si_(2)-type crystal structure. However, mic... Ru-based superconductor LaRu_(2)As_(2) has been discovered exhibiting the highest critical temperature of ~ 7.8 K among iron-free transition metal pnictides with the ThCr_(2)Si_(2)-type crystal structure. However, microscopic research on this novel superconducting material is still lacking. Here, we utilize scanning tunneling microscopy/spectroscopy to uncover the superconductivity and surface structure of LaRu_(2)As_(2). Two distinct terminating surfaces are identified on the cleaved crystals, namely, the As surface and the La surface. Atomic missing line defects are observed on the La surface. Both surfaces exhibit a superconducting gap of ~ 1.0 me V. By employing quasiparticle interference techniques, we observe standing wave patterns near the line defects on the La atomic plane. These patterns are attributed to quasiparticle scattering from two electron type parabolic bands. 展开更多
关键词 SUPERCONDUCTIVITY line defect quasi-particle scattering electron band
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Magnetic proximity effect in the two-dimensional ε-Fe_(2)O_(3)/NbSe_(2)heterojunction
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作者 车冰玉 胡国静 +17 位作者 朱超 郭辉 吕森浩 刘轩冶 吴康 赵振 潘禄禄 祝轲 齐琦 韩烨超 林晓 李子安 申承民 鲍丽宏 刘政 周家东 杨海涛 高鸿钧 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第2期492-497,共6页
Two-dimensional(2D)magnet/superconductor heterostructures can promote the design of artificial materials for exploring 2D physics and device applications by exotic proximity effects.However,plagued by the low Curie te... Two-dimensional(2D)magnet/superconductor heterostructures can promote the design of artificial materials for exploring 2D physics and device applications by exotic proximity effects.However,plagued by the low Curie temperature and instability in air,it is hard to realize practical applications for the reported layered magnetic materials at present.In this paper,we developed a space-confined chemical vapor deposition method to synthesize ultrathin air-stable ε-Fe_(2)O_(3) nanosheets with Curie temperature above 350 K.The ε-Fe_(2)O_(3)/NbSe_(2) heterojunction was constructed to study the magnetic proximity effect on the superconductivity of the NbSe_(2) multilayer.The electrical transport results show that the subtle proximity effect can modulate the interfacial spin–orbit interaction while undegrading the superconducting critical parameters.Our work paves the way to construct 2D heterojunctions with ultrathin nonlayered materials and layered van der Waals(vdW)materials for exploring new physical phenomena. 展开更多
关键词 two-dimensional heterojunctions magnetic proximity effect non-layered magnetic nanosheet spin-orbit interaction
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准一维层状半导体Nb_(4)P_(2)S_(21)单晶的面内光学各向异性
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作者 程秋振 黄引 +15 位作者 李玉辉 张凯 冼国裕 刘鹤元 车冰玉 潘禄禄 韩烨超 祝轲 齐琦 谢耀锋 潘金波 陈海龙 李永峰 郭辉 杨海涛 高鸿钧 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第21期351-359,共9页
过渡金属磷硫化合物MPS(M为过渡金属)是一类新型二维范德瓦耳斯材料,因其独特的磁学、光学和光电性能而得到广泛关注.其中,Nb_(4)P_(2)S_(21)是具有准一维链状结构的层状材料,其各向异性的光学性质等物性仍缺乏深入研究.本文主要通过偏... 过渡金属磷硫化合物MPS(M为过渡金属)是一类新型二维范德瓦耳斯材料,因其独特的磁学、光学和光电性能而得到广泛关注.其中,Nb_(4)P_(2)S_(21)是具有准一维链状结构的层状材料,其各向异性的光学性质等物性仍缺乏深入研究.本文主要通过偏振Raman光谱和角度依赖的飞秒瞬态吸收光谱对Nb_(4)P_(2)S_(21)单晶的光学各向异性进行研究,Nb_(4)P_(2)S_(21)单晶的偏振Raman光谱表明在平行和垂直极化构型下,202 cm^(-1)处的Raman振动峰强度均表现出二重对称性,而489 cm^(-1)处的Raman振动峰强度均表现出四重对称性.而超快载流子动力学研究表明在平行极化构型下,Nb_(4)P_(2)S_(21)单晶在光激发后的热载流子数目和弛豫速率均表现出各向异性.这些结果有助于理解Nb_(4)P_(2)S_(21)单晶的面内各向异性光学性质,并将进一步促进其在角度关联的低维光电子器件中的应用. 展开更多
关键词 Nb_(4)P_(2)S_(21) 偏振Raman 超快载流子动力学 光学各向异性
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Two-fold symmetry of the in-plane resistance in kagome superconductor Cs(V_(1-x)Ta_(x))_(3)Sb_(5) with enhanced superconductivity
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作者 赵振 王汝文 +11 位作者 张宇航 祝轲 余维琪 韩烨超 刘家利 胡国静 郭辉 林晓 董晓莉 陈辉 杨海涛 高鸿钧 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第7期9-14,共6页
The kagome superconductor CsV_(3)Sb_(5) has attracted widespread attention due to its rich correlated electron states including superconductivity, charge density wave(CDW), nematicity, and pair density wave. Notably, ... The kagome superconductor CsV_(3)Sb_(5) has attracted widespread attention due to its rich correlated electron states including superconductivity, charge density wave(CDW), nematicity, and pair density wave. Notably, the modulation of the intertwined electronic orders by the chemical doping is significant to illuminate the cooperation/competition between multiple phases in kagome superconductors. In this study, we have synthesized a series of tantalum-substituted Cs(V_(1-x)Ta_(x))_(3)Sb_(5) by a modified self-flux method. Electrical transport measurements reveal that CDW is suppressed gradually and becomes undetectable as the doping content of x is over 0.07. Concurrently, the superconductivity is enhanced monotonically from T_(c) ~ 2.8 K at x = 0 to 5.2 K at x = 0.12. Intriguingly, in the absence of CDW, Cs(V_(1-x)Ta_(x))_(3)Sb_(5)(x = 0.12) crystals exhibit a pronounced two-fold symmetry of the in-plane angular-dependent magnetoresistance(AMR) in the superconducting state, indicating the anisotropic superconducting properties in the Cs(V_(1-x)Ta_(x))_(3)Sb_(5). Our findings demonstrate that Cs(V_(1-x)Ta_(x))_(3)Sb_(5) with the non-trivial band topology is an excellent platform to explore the superconductivity mechanism and intertwined electronic orders in quantum materials. 展开更多
关键词 kagome superconductor charge density wave rotation symmetry breaking
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Visualizing the Local Twist Angle Variation within and between Domains of Twisted Bilayer Graphene
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作者 户佳玮 朱诗雨 +7 位作者 胡倩颖 王云昊 申承民 杨海涛 竺晓山 郇庆 许杨 高鸿钧 《Chinese Physics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第3期146-151,共6页
Moirésuperlattices in twisted two-dimensional materials have emerged as ideal platforms for engineering quantum phenomena,which are highly sensitive to twist angles,including both the global value and the spatial... Moirésuperlattices in twisted two-dimensional materials have emerged as ideal platforms for engineering quantum phenomena,which are highly sensitive to twist angles,including both the global value and the spatial inhomogeneity.However,only a few methods provide spatial-resolved information for characterizing local twist angle distribution. 展开更多
关键词 ANGLE TWIST TWIST
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将LB薄膜应用于集成器件中 被引量:1
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作者 高鸿钧 赵兴钰 +1 位作者 刘惟敏 薛增泉 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1990年第4期212-218,共7页
本文介绍了LB膜的发展历史和现状,简介了LB膜在光、电器件以及在集成器件中的应用。对LB膜的制备方法和与LB膜特性有关的结构做了阐述。
关键词 集成器件 LB 薄膜结构 电器件 加成聚合物 有机薄膜 高分子链 有机材料 金刚石薄膜 生物分子
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法律全球化的理论与实践:挑战与机会 被引量:13
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作者 高鸿钧 《求是学刊》 CSSCI 北大核心 2014年第3期84-93,173,共10页
法律全球化表现在不同维度,既有自上而下的法律全球化,也有自下而上的法律全球化,还有新商人法那样特定领域"横行"的法律全球化。法律全球化对民族国家政治秩序和法律体制提出了挑战。当代关于法律全球化的主要理论范式对于... 法律全球化表现在不同维度,既有自上而下的法律全球化,也有自下而上的法律全球化,还有新商人法那样特定领域"横行"的法律全球化。法律全球化对民族国家政治秩序和法律体制提出了挑战。当代关于法律全球化的主要理论范式对于思考如何应对这种挑战,具有重要启示,但它们也存在某些缺陷。在法律全球化中,中国既面临挑战,也面临机会,只要深化改革,推动开放,就能变被动为主动,并对构建合理的国际、跨国和全球政治与经济秩序,做出较大贡献。 展开更多
关键词 法律 全球化 挑战 中国 应对
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有机聚合物CPU的结构形态 被引量:1
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作者 高鸿钧 马立平 +3 位作者 杨清传 陈慧英 薛增泉 庞世谨 《电子显微学报》 CAS CSCD 1997年第6期726-728,共3页
本文用扫描隧道显微镜(STM)研究了有机氰基-苯基-脲(CPU)的表面结构。在不同的CPU薄膜制备条件下,得到了不同的CPU薄膜的STM像,表明制备条件与成膜结构的密切关系。观察到了CPU薄膜中晶区和非晶区的存在,证... 本文用扫描隧道显微镜(STM)研究了有机氰基-苯基-脲(CPU)的表面结构。在不同的CPU薄膜制备条件下,得到了不同的CPU薄膜的STM像,表明制备条件与成膜结构的密切关系。观察到了CPU薄膜中晶区和非晶区的存在,证实了聚合物晶体中晶区和非晶区的模型。 展开更多
关键词 STM CPU薄膜 表面结构 有机聚合物
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“原子制造:基础研究与前沿探索”专题编者按 被引量:4
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作者 高鸿钧 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第2期31-31,共1页
制造技术的不断迭代发展带来了器件性能的飞跃,也推动着人类技术的进步.伴随着器件特征尺寸的不断缩小,制造技术先后经历了宏观制造、介观制造、微观制造和纳米制造等多个阶段,当前最具代表性的半导体工艺,已经从微米尺度走到最前沿的3... 制造技术的不断迭代发展带来了器件性能的飞跃,也推动着人类技术的进步.伴随着器件特征尺寸的不断缩小,制造技术先后经历了宏观制造、介观制造、微观制造和纳米制造等多个阶段,当前最具代表性的半导体工艺,已经从微米尺度走到最前沿的3 nm左右,并进一步向更小的尺度迈进.因此,制造技术进入到原子尺度已不再是遥不可及的梦想,而成为现在科技界研究前沿的现实对象. 展开更多
关键词 半导体工艺 纳米制造 原子尺度 特征尺寸 微米尺度 器件性能 前沿探索 迭代发展
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与硅技术融合的石墨烯类材料及其器件的研究立项报告 被引量:1
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作者 高鸿钧 黄立 申承民 《科技创新导报》 2016年第11期167-168,共2页
石墨烯是2004年英国科学家在实验上首次得到的一种新的碳元素结构形态,表现出许多非常奇异的性质。石墨烯的研究正在成为一个令世人密切关注的前沿课题,将对整个凝聚态物质科学的发展和未来信息器件的研制产生巨大而深远的影响。要充分... 石墨烯是2004年英国科学家在实验上首次得到的一种新的碳元素结构形态,表现出许多非常奇异的性质。石墨烯的研究正在成为一个令世人密切关注的前沿课题,将对整个凝聚态物质科学的发展和未来信息器件的研制产生巨大而深远的影响。要充分发挥石墨烯的优异性质、实现工业生产与应用、并与现有的硅基技术完美结合,必须找到合适的材料制备方法,使得到的石墨烯可以同时满足3个必要条件:高质量、大面积和与硅工艺兼容。目前常用的方法都无法制备出同时满足这3个条件的石墨烯样品。该研究为解决这一问题,提出了利用无损硅插层的方法制备高质量、大面积、与硅技术兼容的石墨烯。主要研究内容包括4个方面:(1)高质量硅插层石墨烯及新型石墨烯类材料的可控制备;(2)硅插层石墨烯的掺杂、修饰与物性调控;(3)硅插层石墨烯及新型石墨烯类材料的基本物性;(4)研发基于硅插层石墨烯电子与光电子器件,包括基于该材料的新的器件结构和与硅集成相兼容的技术。该研究的核心目标是:(1)掌握石墨烯材料在金属单晶表面上的生长机制,发展出高质量、大面积石墨烯的可控制备方法,掌握硅插层的生长与控制技术,实现厚硅可控插层与插层的绝缘化,掌握其他新型石墨烯类材料在金属表面的生长机制;(2)掌握硅插层石墨烯的基本物性和调控方法,理解新型石墨烯类材料的结构对物性的影响;(3)构建基于硅插层石墨烯的特殊功能的新型器件。该研究的实施有望在与硅技术兼容的硅插层石墨烯材料及新型石墨烯类材料的制备、物性调控和新型器件探索上取得若干原创性成果,这必将使我国摆脱在石墨烯这一前沿研究领域的落后局面,进一步增强我国在纳米碳材料研究方面的国际影响力,为我国石墨烯材料和相关器件的应用研究奠定坚实的基础。 展开更多
关键词 与硅技术融合的石墨烯 硅插层石墨烯 石墨烯类材料 器件
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以科技创新为中华民族伟大复兴作贡献 被引量:1
16
作者 高鸿钧 《人民论坛》 CSSCI 北大核心 2017年第31期103-103,共1页
党的十九大是中国共产党和中华人民共和国发展史上的重大里程碑,习近平同志的报告高屋建瓴、气势磅礴,在总结过去五年发生的历史性变革的基础上,深入解答了事关党和国家长远发展的一系列重大问题,指明了实现“两个一百年”奋斗目标和中... 党的十九大是中国共产党和中华人民共和国发展史上的重大里程碑,习近平同志的报告高屋建瓴、气势磅礴,在总结过去五年发生的历史性变革的基础上,深入解答了事关党和国家长远发展的一系列重大问题,指明了实现“两个一百年”奋斗目标和中华民族伟大复兴中国梦的前进方向。 展开更多
关键词 伟大复兴 中华民族 科技创新 中华人民共和国 中国共产党 历史性变革 发展史 习近平
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有机功能复合薄膜在纳米电子学中应用的研究
17
作者 高鸿钧 赵文斌 +1 位作者 边志喜 薛增泉 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期247-247,共1页
有机功能复合薄膜在纳米电子学中应用的研究高鸿钧,赵文斌,边志喜,薛增泉(中科院北京真空物理开放实验室和北京大学无线电电子学系)纳米科学与技术(NanometerScaleScienceandTechnology)作为... 有机功能复合薄膜在纳米电子学中应用的研究高鸿钧,赵文斌,边志喜,薛增泉(中科院北京真空物理开放实验室和北京大学无线电电子学系)纳米科学与技术(NanometerScaleScienceandTechnology)作为二十一世纪的科学与技术,它将会对未... 展开更多
关键词 纳米电子学 复合薄膜 纳米科学 表面科学 科学技术 技术会议 电学双稳态 信息存储 无线电电子学 纳米科技
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晶态有机聚合物薄膜的制备和结构特性的研究
18
作者 高鸿钧 刘惟敏 薛增泉 《北京大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1993年第1期57-64,共8页
本文研究了用离子团束(ICB)方法制备聚乙烯薄膜;用透射电子显微镜(TEM)和扫描隧道显微镜(STM)分析了聚乙烯样品,结果表明:用ICB技术制备的薄膜厚度较均匀,表面较平整,表面和界面的杂质、缺陷较少,在一定条件下可得到结晶极为完善的聚乙... 本文研究了用离子团束(ICB)方法制备聚乙烯薄膜;用透射电子显微镜(TEM)和扫描隧道显微镜(STM)分析了聚乙烯样品,结果表明:用ICB技术制备的薄膜厚度较均匀,表面较平整,表面和界面的杂质、缺陷较少,在一定条件下可得到结晶极为完善的聚乙烯薄膜,晶片的最大尺寸为几十微米;发现了在聚合物中存在长周期结构;用STM发现了晶态聚乙烯薄膜表面的分子链折叠结构;用TEM得到了聚乙烯薄膜的晶格条纹像;发现了聚乙烯薄膜结构受单晶云母结构的极大调制,得到了大面积的相干Moire条纹像。对以上结果,均给出了分析和讨论。 展开更多
关键词 聚乙烯 薄膜 离子团束 晶态
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用于制备金属超微粒子-有机薄膜的离子团束(ICB)镀-飞行时间质谱(TOFMS)系统
19
作者 高鸿钧 刘惟敏 +3 位作者 赵兴珏 于洪滨 薛增泉 肖桂里 《真空科学与技术》 CSCD 1993年第3期204-210,共7页
本文描述了离子团束(ICB)镀薄膜装置与飞行时间质谱计(TOFMS)联合系统的研制,此系统不仅可以制备无机材料和有机聚合物薄膜而且还能制备金属超微粒子-有机聚合物薄膜。用TOFMS可对ICB镀的成膜过程进行原位分析和监控。对该系统中TOFMS... 本文描述了离子团束(ICB)镀薄膜装置与飞行时间质谱计(TOFMS)联合系统的研制,此系统不仅可以制备无机材料和有机聚合物薄膜而且还能制备金属超微粒子-有机聚合物薄膜。用TOFMS可对ICB镀的成膜过程进行原位分析和监控。对该系统中TOFMS部分的分辨本领和灵敏度进行了测试:选定质荷比为149的谱峰,得到该质谱计的分辨本领为165;该质谱计对Ar^(40)的最小可检分压强为4.0×10^(-6)Pa。本文也给出了ICB沉积聚乙烯薄膜的飞行时间质谱及其初步分析。 展开更多
关键词 ICB TOFMS 金属超微粒子 薄膜
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扫描隧道显微镜纳米云纹法的实验研究 被引量:6
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作者 谢惠民 刘战伟 +4 位作者 尚海霞 郭海明 方岱宁 戴福隆 高鸿钧 《光学技术》 EI CAS CSCD 2003年第2期179-182,共4页
提出了应用扫描隧道显微镜(STM)纳米云纹法测量面内位移的原理。测量中,把扫描隧道显微镜的探针扫描线作为参考栅,把物质原子晶格栅结构作为试件栅,对这两组栅线干涉形成的云纹进行了纳米级变形测量。对扫描隧道显微镜纳米云纹的形成原... 提出了应用扫描隧道显微镜(STM)纳米云纹法测量面内位移的原理。测量中,把扫描隧道显微镜的探针扫描线作为参考栅,把物质原子晶格栅结构作为试件栅,对这两组栅线干涉形成的云纹进行了纳米级变形测量。对扫描隧道显微镜纳米云纹的形成原理及测量方法进行了详尽的讨论,并运用该方法对高定向裂解石墨(HOPG)的纳米级变形虚应变进行了测量研究,得到了随扫描范围变化的虚应变场,并与理论值进行了比较。 展开更多
关键词 实验研究 扫描隧道显微镜 纳米云纹 纳米测量 晶体光栅
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