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激光技术在金刚石加工中的研究及应用进展 被引量:3
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作者 叶盛 赵上熳 +6 位作者 邢忠福 彭志勇 郑宇亭 陈良贤 刘金龙 李成明 魏俊俊 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第2期36-57,共22页
激光加工是目前金刚石的主流加工方法,相较于传统的机械加工形式,激光加工精度高、效率高、普适性强,因而在金刚石切割、微孔成型、微槽道加工及平整化等方面均得到广泛应用。文中阐述了金刚石激光加工原理,介绍了不同类型激光与金刚石... 激光加工是目前金刚石的主流加工方法,相较于传统的机械加工形式,激光加工精度高、效率高、普适性强,因而在金刚石切割、微孔成型、微槽道加工及平整化等方面均得到广泛应用。文中阐述了金刚石激光加工原理,介绍了不同类型激光与金刚石材料相互作用机制,重点总结了近几年多种激光加工金刚石模式的发展现状,分析了新型的激光加工方法的特点,探讨了现阶段激光技术在金刚石加工领域面临的问题、挑战及未来的发展趋势。 展开更多
关键词 金刚石 激光加工 激光切割 微孔成型 微槽道 激光平整化
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金刚石色心调控及光学谐振器的研究进展
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作者 杨良禾 刘金龙 +5 位作者 屠菊萍 郑宇亭 牟恋希 李灏 魏俊俊 李成明 《固体电子学研究与进展》 CAS 2024年第2期93-108,共16页
金刚石因其优异的光学特性和色心发射器而被应用于光子器件领域。光学谐振器是一种微纳米光学结构,基于有限模体积内的光-物质相互作用增强,能够将金刚石色心的发射与谐振器的增强效应相结合,有选择性地增强色心的发射,用于在光子电路... 金刚石因其优异的光学特性和色心发射器而被应用于光子器件领域。光学谐振器是一种微纳米光学结构,基于有限模体积内的光-物质相互作用增强,能够将金刚石色心的发射与谐振器的增强效应相结合,有选择性地增强色心的发射,用于在光子电路中提供稳定且强度充足的光学信号。近年来,金刚石微纳加工技术的发展推动了金刚石光学谐振器的研究和应用。本文总结了金刚石光学谐振器的研究现状,概述了金刚石的基本性质、合成与加工方法,介绍了金刚石色心的生成以及其与光学谐振器的耦合原理,梳理了三种不同类型的金刚石光学谐振器的研究进展,并对未来金刚石光学谐振器的发展进行了展望。 展开更多
关键词 金刚石 光学谐振器 色心 微纳加工 Purcell效应
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利用Ti/Ag中间层实现金刚石与GaN的室温键合
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作者 乔冠中 李淑同 +4 位作者 王越 刘金龙 陈良贤 魏俊俊 李成明 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第18期175-182,共8页
目的为了实现金刚石与GaN的良好键合,利用Ti/Ag中间层,在室温下开展了多晶金刚石与GaN的键合技术研究。方法首先,分别在抛光自支撑多晶金刚石晶圆以及GaN晶圆表面,通过磁控溅射依次沉积Ti黏附层、Ti/Ag梯度层以及纳米Ag层,形成Ti/Ag过... 目的为了实现金刚石与GaN的良好键合,利用Ti/Ag中间层,在室温下开展了多晶金刚石与GaN的键合技术研究。方法首先,分别在抛光自支撑多晶金刚石晶圆以及GaN晶圆表面,通过磁控溅射依次沉积Ti黏附层、Ti/Ag梯度层以及纳米Ag层,形成Ti/Ag过渡层复合结构。然后通过真空键合系统成功实现了金刚石与Ga N键合。通过扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)以及X射线光电子能谱(XPS)等表征手段,对键合前后样品表面进行形貌及结构分析;通过超声扫描显微镜(SAM),以及拉伸力学测试系统,对键合后的键合率以及键合强度进行评价。结果借助Ti/Ag中间层进行键合,对晶圆表面的粗糙度具有较高容忍度,且在常温下即能实现良好键合,室温键合率达到95.5%。通过拉伸强度测试可知,键合强度达到13.7MPa。结论Ag纳米颗粒高的表面活性是实现键合界面常温融合的关键,而Ti底层良好的附着特性,Ti/Ag梯度层的引入以及Ti与Ag之间通过扩散反应形成的金属间化合物,则是提高金刚石与GaN键合强度的关键因素。 展开更多
关键词 金刚石 氮化镓 Ti/Ag中间层 室温键合 金属间化合物
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PDCA循环管理法在肿瘤患者手臂静脉输液港维护中的应用价值
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作者 王萌 王佳琪 +1 位作者 魏俊俊 杨棕傲 《菏泽医学专科学校学报》 2024年第3期31-33,88,共4页
目的探究PDCA循环管理法在肿瘤患者手臂静脉输液港维护中的应用价值。方法选取我院收治的应用手臂静脉输液港化疗的肿瘤患者100例,按随机数表法分为对照组和观察组,每组50例。对照组接受常规护理,观察组在此基础上行PDCA循环管理法干预... 目的探究PDCA循环管理法在肿瘤患者手臂静脉输液港维护中的应用价值。方法选取我院收治的应用手臂静脉输液港化疗的肿瘤患者100例,按随机数表法分为对照组和观察组,每组50例。对照组接受常规护理,观察组在此基础上行PDCA循环管理法干预。观察两组并发症及满意度,并对比两组干预前后自我行为管理能力及生活质量。结果两组并发症及满意度比较,P均<0.05。两组干预后自我行为管理能力各维度评分、生活质量各维度评分均高于干预前,且观察组高于对照组(P<0.05)。结论在肿瘤患者手臂静脉输液港维护中应用PDCA循环管理法干预可减少患者并发症发生,提升其满意度、自我管理能力及生活质量。 展开更多
关键词 肿瘤 静脉输液港 PDCA循环 护理
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热管理用3英寸硅衬底金刚石薄膜的制备
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作者 杨志亮 杨鏊 +6 位作者 刘鹏 陈良贤 安康 魏俊俊 刘金龙 吴立枢 李成明 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期283-290,共8页
金刚石膜材料用作GaN电子器件散热器具有巨大潜力,低应力、大尺寸、高质量、原子级光滑表面的金刚石膜层是GaN器件的整体传热能力提升的关键。本研究提出了一种用于3英寸(1英寸=2.54 cm)硅衬底多晶金刚石薄膜的生长和晶圆级抛光技术,用... 金刚石膜材料用作GaN电子器件散热器具有巨大潜力,低应力、大尺寸、高质量、原子级光滑表面的金刚石膜层是GaN器件的整体传热能力提升的关键。本研究提出了一种用于3英寸(1英寸=2.54 cm)硅衬底多晶金刚石薄膜的生长和晶圆级抛光技术,用以实现大尺寸金刚石膜材料在散热器方向上的应用。首先对微波谐振腔内的等离子体进行多物理场自洽建模,通过仿真模拟技术分析2.45 GHz多模椭球谐振腔微波等离子体化学气相沉积(Microwave plasma chemical vapor deposition,MPCVD)装置沉积大尺寸金刚石薄膜的可行性,并优化生长工艺参数。然后对金刚石薄膜进行研磨抛光处理,以满足GaN器件的键合需求。模拟结果表明,输入相同的微波功率,腔室压强增大导致等离子核心电子和原子H数密度增加,但径向分布均匀性变差。在优化的工艺条件下沉积了金刚薄膜。实验结果表明,金刚石薄膜厚度不均匀性为17%。较高的甲烷浓度导致金刚石晶粒呈现以(111)晶面为主的金字塔形貌特征,并伴有孪晶的生成。Raman光谱中金刚石一阶特征峰半峰全宽(Full width at half maximum,FWHM)为7.4 cm^(−1)。抛光后表面粗糙度达到0.27 nm,硅衬底金刚石薄膜平均弯曲度为13.84μm,平均内应力为−40.7 MPa。采用上述方法,成功制备了大尺寸、较高晶体质量、低内应力、原子级光滑表面的硅衬底金刚石晶圆。 展开更多
关键词 金刚石薄膜 MPCVD 晶圆级抛光
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金刚石/碳纳米管异质界面热导及声子热输运特性
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作者 刘子怡 褚福强 +1 位作者 魏俊俊 冯妍卉 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第13期346-355,共10页
碳纳米管作为新一代热界面材料,在天然材料中具有最高的热导率,有望解决金刚石半导体超高热流密度的散热问题.因此,本文提出将金刚石和碳纳米管结合,可大幅度提高器件性能及稳定性,减小封装尺寸,实现器件小型化设计.采用非平衡分子动力... 碳纳米管作为新一代热界面材料,在天然材料中具有最高的热导率,有望解决金刚石半导体超高热流密度的散热问题.因此,本文提出将金刚石和碳纳米管结合,可大幅度提高器件性能及稳定性,减小封装尺寸,实现器件小型化设计.采用非平衡分子动力学方法从微观层面探究了金刚石/碳纳米管异质结构界面热特性及影响因素.研究发现碳纳米管层数增加使声子态密度峰值增大并向低频波段移动,低频声子增多更有利于界面传热,同时声子重叠能提高,声子耦合振动增强提升了界面传热效率;同时,一定范围内体系温度的升高及碳纳米管长径比的增大可以提高近界面处金刚石和碳纳米管的态密度截止频率,提升低频波段的峰值,进一步增强两侧声子的耦合振动,提高了界面热导.最后,采用正交试验模拟获得了金刚石/碳纳米管界面热导的最优值,结果远优于目前一般半导体/金属的界面热导.该工作为优化金刚石/碳纳米管异质界面的热输运提供了思路,并将有利于器件热管理和芯片材料设计. 展开更多
关键词 碳纳米管 金刚石 界面热导 分子动力学
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Effect of surface modification on the radiation stability of diamond ohmic contacts
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作者 牟恋希 赵上熳 +7 位作者 王鹏 原晓芦 刘金龙 朱志甫 陈良贤 魏俊俊 欧阳晓平 李成明 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第2期444-448,共5页
The ohmic contact interface between diamond and metal is essential for the application of diamond detectors.Surface modification can significantly affect the contact performance and eliminate the interface polarizatio... The ohmic contact interface between diamond and metal is essential for the application of diamond detectors.Surface modification can significantly affect the contact performance and eliminate the interface polarization effect.However,the radiation stability of a diamond detector is also sensitive to surface modification.In this work,the influence of surface modification technology on a diamond ohmic contact under high-energy radiation was investigated.Before radiation,the specific contact resistivities(ρc)between Ti/Pt/Au-hydrogen-terminated diamond(H-diamond)and Ti/Pt/Au-oxygenterminated diamond(O-diamond)were 2.0×10^(-4)W·cm^(2) and 4.3×10^(-3)Wcm^(2),respectively.After 10 MeV electron radiation,the ρc of Ti/Pt/Au H-diamond and Ti/Pt/Au O-diamond were 5.3×10^(-3)W·cm^(2)and 9.1×10^(-3)W·cm^(2),respectively.The rates of change of ρc of H-diamond and O-diamond after radiation were 2550%and 112%,respectively.The electron radiation promotes bond reconstruction of the diamond surface,resulting in an increase in ρc. 展开更多
关键词 single crystal diamond ohmic contact surface modification electron radiation
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基于复合过渡层的DLC涂层残余热应力仿真分析
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作者 黄珂 顾德华 +6 位作者 邵思武 乔自平 李君安 陈良贤 刘金龙 李成明 魏俊俊 《材料热处理学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第11期224-233,共10页
利用ANSYS软件热固耦合模块对类金刚石(DLC)涂层的残余热应力进行有限元分析,模拟等离子体增强化学气相沉积(PECVD)制备DLC涂层从沉积温度150℃降温至22℃的过程,研究不同DLC厚度、过渡层(Cr、WC)结构及过渡层厚度对DLC涂层残余热应力... 利用ANSYS软件热固耦合模块对类金刚石(DLC)涂层的残余热应力进行有限元分析,模拟等离子体增强化学气相沉积(PECVD)制备DLC涂层从沉积温度150℃降温至22℃的过程,研究不同DLC厚度、过渡层(Cr、WC)结构及过渡层厚度对DLC涂层残余热应力的大小及应力分布的影响。结果表明:无论是DLC涂层厚度还是复合过渡层厚度的增大都有利于降低DLC涂层的热应力,但两者都具有临界最优值。较无过渡层的DLC涂层而言,过渡层WC、Cr层的单独存在都可降低DLC涂层的热应力,且WC层厚度变化的影响更明显。采用Cr/WC复合梯度过渡层结构设计,可进一步降低基底与DLC涂层之间的热膨胀系数过渡梯度,从而更有效地降低DLC涂层的热应力。 展开更多
关键词 等离子体增强化学气相沉积(PECVD) 类金刚石(DLC) 复合过渡层 ANSYS 残余热应力
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2英寸MPCVD光学级均匀金刚石膜的制备研究
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作者 产思义 屠菊萍 +9 位作者 黄珂 邵思武 杨志亮 刘鹏 刘金龙 陈良贤 魏俊俊 安康 郑宇亭 李成明 《无机材料学报》 SCIE EI CSCD 北大核心 2023年第12期1413-1419,共7页
均匀生长大尺寸光学级金刚石膜一直是微波化学气相沉积(Microwave plasma chemical vapor deposition,MPCVD)金刚石研究领域的热点和难点,沉积台的结构与位置对于金刚石膜均匀性以及厚膜生长的长期稳定性至关重要。本研究通过COMSOL模... 均匀生长大尺寸光学级金刚石膜一直是微波化学气相沉积(Microwave plasma chemical vapor deposition,MPCVD)金刚石研究领域的热点和难点,沉积台的结构与位置对于金刚石膜均匀性以及厚膜生长的长期稳定性至关重要。本研究通过COMSOL模拟结合实验研究了沉积台高度对衬底表面电场均匀性、等离子体状态和温度均匀性的影响规律,优化了光学级金刚石膜均匀生长的工艺参数,在最佳沉积台高度(2 mm)下沉积得到的2英寸金刚石膜(最大厚度337μm),厚度不均匀性<11%,从膜中心到边缘的拉曼半峰全宽为3~4 cm^(-1),可见光波段内最高透过率为69%~70%,10.6μm处红外透过率为70%。结果表明:金刚石膜的厚度和品质较为均匀,实现了两英寸光学级金刚石膜的均匀沉积。沉积台高度对衬底表面的电场分布、等离子体形状和温度分布都有一定影响,随着沉积台高度增加,衬底表面电场分布均匀性和温度均匀性得到明显改善,且衬底表面的等离子体分布更均匀,H原子和含碳基团的浓度增加。 展开更多
关键词 光学级金刚石膜 温度均匀性 红外透过率 沉积台高度 COMSOL模拟
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硼掺杂金刚石薄膜研究 被引量:11
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作者 魏俊俊 贺琦 +5 位作者 高旭辉 郭会斌 石绍渊 吕反修 唐伟忠 陈广超 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期569-572,共4页
硼掺杂是改善金刚石薄膜电阻率的有效手段,被认为是将金刚石薄膜用于制备电化学电极的途径。本文通过CVD法在单晶硅片上制得掺硼金刚石薄膜(BDD),并采用四点探针、扫描电镜、激光拉曼和电化学工作站对之进行检测,发现随着硼掺入量的增加... 硼掺杂是改善金刚石薄膜电阻率的有效手段,被认为是将金刚石薄膜用于制备电化学电极的途径。本文通过CVD法在单晶硅片上制得掺硼金刚石薄膜(BDD),并采用四点探针、扫描电镜、激光拉曼和电化学工作站对之进行检测,发现随着硼掺入量的增加,薄膜电阻率逐渐降低,重掺杂时可达2.0×10-3Ω.cm。同时金刚石薄膜的固有质量出现恶化,表现为金刚石晶粒的碎化以及拉曼观察到的薄膜内应力的增加和非金刚石峰的出现。对薄膜电极进行电化学测量发现BDD电极在酸性溶液中具有非常宽的电位窗口和高的阳极极化电位,且背景电流极低。 展开更多
关键词 CVD 金刚石薄膜 掺硼 电位窗
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MPCVD掺硼金刚石薄膜的制备及Ti/BDD电极上对硝基酚的阳极氧化测试(英文) 被引量:6
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作者 魏俊俊 贺琦 +4 位作者 高旭辉 吕反修 陈广超 朱秀萍 倪晋仁 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期422-425,共4页
采用微波等离子体技术在CH4-H2-C2H6气体条件下制备了钛基掺硼金刚石薄膜。四点探针法测得薄膜电阻率在零掺杂时为1×1012Ω·cm,当反应气源中B/C上升为5×10-3时电阻率降至5×10-3Ω·cm。扫描电镜显示掺硼金刚石... 采用微波等离子体技术在CH4-H2-C2H6气体条件下制备了钛基掺硼金刚石薄膜。四点探针法测得薄膜电阻率在零掺杂时为1×1012Ω·cm,当反应气源中B/C上升为5×10-3时电阻率降至5×10-3Ω·cm。扫描电镜显示掺硼金刚石具有完整晶型和致密结构。拉曼光谱观察到金刚石结构在掺杂前后发生明显改变。采用循环伏安测试了Ti/BDD电极的电化学参量,并与PbO2,Sn-Sb and PbO2-Er三种电极进行阳极氧化对-硝基酚的对比实验。结果表明,在Ti/BDD电极上,对-硝基酚的总有机碳去除率接近100%,远高于其它三种电极。 展开更多
关键词 Ti/BDD电极 微波等离子体 化学气相沉积 对-硝基酚 阳极氧化
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硼掺杂对钛基金刚石薄膜附着力的影响 被引量:3
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作者 魏俊俊 贺琦 +1 位作者 高旭辉 吕反修 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期140-143,共4页
采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术在钛基片上沉积了掺硼金刚石薄膜,并对掺杂前后的薄膜形貌及结构进行了检测。结果表明掺杂元素对形貌和结构有很大的影响,同时掺杂后薄膜与基底附着力有所下降。掠角衍射(GIXD)检测表明,中间层... 采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术在钛基片上沉积了掺硼金刚石薄膜,并对掺杂前后的薄膜形貌及结构进行了检测。结果表明掺杂元素对形貌和结构有很大的影响,同时掺杂后薄膜与基底附着力有所下降。掠角衍射(GIXD)检测表明,中间层的主要成分是TiC和TiH2。随着硼的加入,两者的含量增加。薄膜与基底的附着力下降的原因主要是受中间过渡层成分和残余应力增加的共同影响。 展开更多
关键词 金刚石薄膜 掠角衍射(GIXD) 掺硼 附着力 CVD
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大尺寸金刚石晶圆复制技术研究进展
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作者 刘金龙 刘宇鹏 +7 位作者 赵子辰 王鹏 叶盛 王晟 魏俊俊 陈良贤 张建军 李成明 《真空电子技术》 2024年第5期9-17,共9页
半导体技术的发展离不开大尺寸晶圆的高效制备。在半导体领域,晶圆复制可以通过同质外延生长后进行切割或者基于异质衬底进行异质外延来实现,从而批量生产。金刚石作为新型超宽禁带半导体材料,在电真空器件、高频高功率固态电子器件方... 半导体技术的发展离不开大尺寸晶圆的高效制备。在半导体领域,晶圆复制可以通过同质外延生长后进行切割或者基于异质衬底进行异质外延来实现,从而批量生产。金刚石作为新型超宽禁带半导体材料,在电真空器件、高频高功率固态电子器件方面具有良好的应用前景。而由于金刚石材料具有极高硬度,晶圆复制也面临诸多问题。传统的激光切割方法虽然可以实现对超硬特性金刚石进行加工,但其较高的加工损耗已经无法满足大尺寸晶圆的制备需求,亟需开发损耗小、效率高的金刚石晶圆复制技术。文章介绍了目前常见的半导体晶圆复制技术,总结了金刚石复制技术的研究进展及现阶段发展水平,并对未来大尺寸金刚石晶圆复制技术的发展方向进行了分析与展望。 展开更多
关键词 晶圆复制 大尺寸金刚石 激光隐形切割 离子注入
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自支撑金刚石厚膜表面外延掺硼金刚石薄膜研究 被引量:2
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作者 魏俊俊 李成明 +4 位作者 文星凯 张建军 刘金龙 陈良贤 黑立富 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期3433-3438,共6页
采用微波等离子体化学气相沉积技术(MPCVD),在抛光厚度0.5 mm的高热导率自支撑金刚石厚膜表面沉积厚度10μm掺硼金刚石薄膜,通过热导率测试仪、扫描电子显微镜、激光拉曼光谱、X射线光电子能谱以及四探针仪等测试手段对材料的热导率、... 采用微波等离子体化学气相沉积技术(MPCVD),在抛光厚度0.5 mm的高热导率自支撑金刚石厚膜表面沉积厚度10μm掺硼金刚石薄膜,通过热导率测试仪、扫描电子显微镜、激光拉曼光谱、X射线光电子能谱以及四探针仪等测试手段对材料的热导率、形貌及微观质量、表面键合状态及导电性能等进行分析。结果表明,优化工艺后在自支撑金刚石厚膜表面外延形成了质量优异,结合力佳的掺硼金刚石薄膜,其电阻率最低为1.7×10^(-2)Ω·cm。同时,鉴于界面同质外延特性以及大尺寸晶粒特点,整体材料的热导率可高达1750 W/(m·K),显示这种层状复合材料良好的整体导热性能及表面导电性能。 展开更多
关键词 自支撑金刚石厚膜 掺硼金刚石薄膜 同质外延 热导率 电导率
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离子源预处理工艺对WC基底表面及Ta缓冲涂层的影响 被引量:1
15
作者 魏俊俊 朱小研 +4 位作者 陈良贤 刘金龙 黑立富 李成明 张勇 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期164-168,共5页
研究了阳极层离子源预处理工艺对WC硬质合金基底表面粗糙度Ra和表面最大峰谷值Pv的影响,以及对后续镀制Ta缓冲涂层表面特征及膜基附着力的影响。结果表明,硬质合金基片表面粗糙度和表面最大峰谷值的增加量随基片偏压升高呈指数增加;而... 研究了阳极层离子源预处理工艺对WC硬质合金基底表面粗糙度Ra和表面最大峰谷值Pv的影响,以及对后续镀制Ta缓冲涂层表面特征及膜基附着力的影响。结果表明,硬质合金基片表面粗糙度和表面最大峰谷值的增加量随基片偏压升高呈指数增加;而离子源电压对基片表面粗糙度和表面最大峰谷值影响较弱;采用离子源电压1350 V,基片偏压200 V轰击硬质合金基片15 min后镀制Ta膜,膜层表面晶粒细小均匀,表面致密性显著增加;此外,基片表面经离子源处理后,镀制的Ta缓冲层与基底的膜基结合力有较大改善,这将有利于提高后续贵金属保护涂层的附着力及抗元素扩散能力。 展开更多
关键词 离子源预处理 结合力 表面粗糙度 表面最大峰谷值
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金刚石膜表面氨等离子体处理研究 被引量:1
16
作者 魏俊俊 黑立富 +1 位作者 高旭辉 李成明 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期1526-1530,共5页
本文尝试采用微波等离子体CVD技术,实现金刚石膜的制备以及金刚石膜表面的氨等离子体处理,实现氨基功能化修饰金刚石膜的制备。通过扫描电子显微镜(SEM)、拉曼光谱(Raman)、X射线光电子能谱(XPS)以及水接触角等对氨等离子体处理前后的... 本文尝试采用微波等离子体CVD技术,实现金刚石膜的制备以及金刚石膜表面的氨等离子体处理,实现氨基功能化修饰金刚石膜的制备。通过扫描电子显微镜(SEM)、拉曼光谱(Raman)、X射线光电子能谱(XPS)以及水接触角等对氨等离子体处理前后的金刚石膜进行检测分析。结果表明,采用微波等离子体CVD技术,可以在金刚石膜表面植入氨基实现功能化修饰,从而提高金刚石膜表面活性。同时,金刚石膜的整体品质未出现显著变化。 展开更多
关键词 金刚石薄膜 微波等离子体 氨基 水接触角
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金刚石自支撑膜拉曼光谱1420cm^(-1)特征峰研究 被引量:15
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作者 朱瑞华 刘金龙 +3 位作者 陈良贤 魏俊俊 黑立富 李成明 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期867-871,884,共6页
采用带有半封闭式气体循环系统的100千瓦级直流电弧等离子体喷射CVD设备制备三组不同质量的金刚石膜,通过532 nm激光激发金刚石膜的拉曼光谱时,除1332 cm-1金刚石一阶拉曼峰外还出现了1420 cm-1宽峰,本文针对这一峰位的由来及分布进行... 采用带有半封闭式气体循环系统的100千瓦级直流电弧等离子体喷射CVD设备制备三组不同质量的金刚石膜,通过532 nm激光激发金刚石膜的拉曼光谱时,除1332 cm-1金刚石一阶拉曼峰外还出现了1420 cm-1宽峰,本文针对这一峰位的由来及分布进行研究。结果表明,增加或降低拉曼激发波长该峰为都不复存在,不符合材料的拉曼特征频移与激发波长无关这一原则,证明其并非本征拉曼峰;采用488 nm激发和514 nm激发时拉曼光谱分别出现了与1420 cm-1峰型一致的3125 cm-1和2060 cm-1峰,将拉曼频移转换为波长后发现,三个峰位都对应于波长575 nm(2.156e V);575 nm为金刚石膜荧光光谱中常见峰位,对应于氮杂质相关的[N-V]0中心,这表明含氮杂质金刚石膜采用532nm激发时产生的1420 cm-1峰是[N-V]0相关的氮杂质引起的荧光峰;采用532 nm对金刚石膜形核面和生长面的拉曼面扫描结果表明,[N-V]0相关的氮杂质存在于金刚石膜表面晶粒与晶界各处,并存在一定程度的偏聚。 展开更多
关键词 金刚石膜 拉曼光谱 激发波长
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金刚石自支撑膜的高温红外透过性能 被引量:9
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作者 黑立富 闫雄伯 +6 位作者 朱瑞华 陈良贤 刘金龙 魏俊俊 廉伟艳 张荣实 李成明 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期1-6,共6页
由于金刚石具有低吸收和优异的力学与导热性能使其成为长波(8~12μm)红外光学窗口材料的重要选择。对于许多极端条件的应用,化学气相沉积(CVD)金刚石自支撑膜的高温光学性质至关重要。应用直流电弧等离子喷射法制备光学级金刚石自支撑... 由于金刚石具有低吸收和优异的力学与导热性能使其成为长波(8~12μm)红外光学窗口材料的重要选择。对于许多极端条件的应用,化学气相沉积(CVD)金刚石自支撑膜的高温光学性质至关重要。应用直流电弧等离子喷射法制备光学级金刚石自支撑膜进行变化温度的红外光学透过性能研究,采用光学显微镜、X射线衍射、激光拉曼和傅里叶变换红外-拉曼光谱仪检测CVD金刚石膜的表面形貌、结构特征和红外光学性能。结果表明:在27℃时金刚石膜长波红外8~12μm之间的平均透过率达到65.95%,在500℃时8~12μm处的平均透过率为52.5%。透过率下降可分为3个阶段。对应于透过率随温度的下降,金刚石膜的吸收系数随温度的升高而增加。金刚石自支撑膜表面状态的变化,对金刚石膜光学性能的影响显著大于内部结构的影响。 展开更多
关键词 直流电弧等离子喷射 金刚石自支撑膜 高温红外透过
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运动血流动力学检测对预测肥厚型心肌病预后的价值 被引量:1
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作者 魏俊俊 王先涛 栾献亭 《中国循证心血管医学杂志》 2023年第2期218-220,共3页
目的探究肥厚型心肌病(HCM)合并异常血压反应(ABPR)患者的临床特征,明确ABPR是否与左心室流出道梗阻(LVOTO)及不良预后相关。方法回顾性纳入2014~2018年间于平顶山市第二人民医院心内科就诊并接受心肺运动试验的HCM患者103例,其中ABPR... 目的探究肥厚型心肌病(HCM)合并异常血压反应(ABPR)患者的临床特征,明确ABPR是否与左心室流出道梗阻(LVOTO)及不良预后相关。方法回顾性纳入2014~2018年间于平顶山市第二人民医院心内科就诊并接受心肺运动试验的HCM患者103例,其中ABPR组患者27例,对照组76例;分析ABPR组患者临床特征、恶性心律失常及心力衰竭(心衰)相关事件资料,并比较两组患者出院后生存情况。结果与对照组相比,ABPR组运动试验中包括预测最大摄氧量[(65.05±16.80)%vs.(81.47±12.48)%,P<0.05]和代谢当量[(5.39±1.44)vs.(8.20±3.34),P<0.05]等心肺功能指标显著降低,左心室流出道压差更高[(43.22±24.52)mmHg vs.(31.11±17.12)mmHg,P<0.05],但LVOTO例数方面无显著差异(62.96%vs.44.74%,P>0.05)。患者出院后平均随访4.37±1.31年,ABPR与恶性心律失常事件风险无显著相关(P=0.536),但与心衰相关事件风险的显著提升相关(P=0.028)。ABPR组中,是否存在LVOTO与不良事件风险无关。结论无论是否存在LVOTO,ABPR与心脏储备能力下降有关,且ABPR患者发生心衰相关事件风险更高。 展开更多
关键词 肥厚型心肌病 血压 临床特征 左心室流出道梗阻 预后
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CVD金刚石膜与常用红外光学材料抗砂蚀性能对比研究 被引量:5
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作者 段萌 张运强 +4 位作者 潘国庆 朱瑞华 魏俊俊 陈良贤 李成明 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第6期270-275,共6页
目的通过分析CVD金刚石膜与几种常用红外光学窗口材料在砂蚀过程中形貌特征以及红外透过率的变化规律,获得CVD金刚石膜在砂蚀过程中的材料去除机制及抗砂蚀性能的关键因素。方法采用喷射式冲蚀磨损系统,对CVD金刚石膜及其他几种常见红... 目的通过分析CVD金刚石膜与几种常用红外光学窗口材料在砂蚀过程中形貌特征以及红外透过率的变化规律,获得CVD金刚石膜在砂蚀过程中的材料去除机制及抗砂蚀性能的关键因素。方法采用喷射式冲蚀磨损系统,对CVD金刚石膜及其他几种常见红外光学材料进行砂蚀性能测试。通过扫描电子显微镜对材料冲蚀后表面形貌进行观察,电子天平测量红外材料砂蚀率。采用红外光谱仪对砂蚀前后红外光学材料进行测量,评价其冲蚀前后的红外性能变化。结果 CVD金刚石膜抗砂蚀能力远高于Ge、ZnS、MgF_2以及石英玻璃。在设定测试条件下,仅经过6 s冲蚀,除CVD金刚石膜外,其余光学材料的红外透过性能下降40%~60%。而CVD金刚石经受240 min的相同条件冲蚀,其红外透过率仅下降9.5%,显示出极佳的抗砂蚀能力。结论 CVD金刚石膜的冲蚀过程主要是微裂纹形成及扩张连接导致材料流失。其他材料的冲蚀过程既有裂纹扩展,也有反复的切削、犁削,而后者是这些材料被冲蚀的主要原因。 展开更多
关键词 CVD金刚石膜 红外窗口 砂蚀 冲蚀机制
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