CFD技术在洁净室气流组织设计中的应用

本文运用CFD技术作为辅助工具对一ISO5级洁净室内的气流组织进行设计。我们采用CFD技术对光刻胶研发实验室内的气流组织和微尘污染进行了研究。研究中采用了k-ε模型,并用FLUENT软件进行求解。对多种洁净室的气流组织方案进行了数值模拟,并选择优化方案建造了实验室,对此实验室测试了多组数据并与数值模拟的结果进行比较,表明数值模拟的结果是准确的。说明了CFD技术是洁净室设计的可靠辅助工具。

CFD技术在实验室气流组织设计中的应用

采用CFD技术对纳米釉材料研发实验室内的气流组织和微尘污染进行了研究.研究中采用k-ε模型,并用AIRPAK软件进行求解.对多种实验室的气流组织方案进行了数值模拟,并选择优化方案建造了实验室.对改造后实验室内的硫化氢质量浓度进行了数值模拟和现场实测,结果表明:实验室内的硫化氢质量浓度由改造前的16.5 mg/m3降为1.66 mg/m3,实验柜附近硫化氢气体质量浓度的实测值与数值模拟的计算值4.2 mg/m3相近,表明数值模拟的结果是准确的,证明了CFD技术是实验室设计的可靠辅助工具.