体心立方(body⁃centered cubic,BCC)金属W作为微型化器件中重要的互连材料,其电迁移行为对小尺寸集成电路的稳定性至关重要。本文利用原位透射电子显微(transmission electron microscopy,TEM)技术,在原子尺度下研究了电迁移诱导BCC金属...体心立方(body⁃centered cubic,BCC)金属W作为微型化器件中重要的互连材料,其电迁移行为对小尺寸集成电路的稳定性至关重要。本文利用原位透射电子显微(transmission electron microscopy,TEM)技术,在原子尺度下研究了电迁移诱导BCC金属W表面结构动态演变过程。结果表明,自由表面是主要电迁移路径;而{110}面和<111>方向分别是优选的迁移面迁移方向;电迁移过程中W表面形成特定的原子台阶或锯齿状结构。对于非低能晶面{002},在电流作用下仍能发生定向迁移,形成新的台阶结构。研究结果揭示了电迁移过程中表面结构的演化规律,为优化BCC金属材料的微观结构设计、提高其在高电流密度环境下的结构性能稳定性提供借鉴。展开更多
The quantitative analycal method of composition including 2MgCO 3·Mg(OH) 2·MgCl 2·6H 2O,5Mg(OH) 2·MgCl 2·8H 2O,3Mg(OH) 2·MgCl 2·8H 2O,4MgCO 3·Mg(OH) 2·4H 2O,MgCO 3,of Magne...The quantitative analycal method of composition including 2MgCO 3·Mg(OH) 2·MgCl 2·6H 2O,5Mg(OH) 2·MgCl 2·8H 2O,3Mg(OH) 2·MgCl 2·8H 2O,4MgCO 3·Mg(OH) 2·4H 2O,MgCO 3,of Magnesium Oxychloride Cement was established by X ray diffraction interior standard method.The interior standard substance is α ZnO.The absolute error is below 5%.The composition of different Magnesium Oxychloride Cement were analysed successfully by the method.展开更多
文摘体心立方(body⁃centered cubic,BCC)金属W作为微型化器件中重要的互连材料,其电迁移行为对小尺寸集成电路的稳定性至关重要。本文利用原位透射电子显微(transmission electron microscopy,TEM)技术,在原子尺度下研究了电迁移诱导BCC金属W表面结构动态演变过程。结果表明,自由表面是主要电迁移路径;而{110}面和<111>方向分别是优选的迁移面迁移方向;电迁移过程中W表面形成特定的原子台阶或锯齿状结构。对于非低能晶面{002},在电流作用下仍能发生定向迁移,形成新的台阶结构。研究结果揭示了电迁移过程中表面结构的演化规律,为优化BCC金属材料的微观结构设计、提高其在高电流密度环境下的结构性能稳定性提供借鉴。
文摘The quantitative analycal method of composition including 2MgCO 3·Mg(OH) 2·MgCl 2·6H 2O,5Mg(OH) 2·MgCl 2·8H 2O,3Mg(OH) 2·MgCl 2·8H 2O,4MgCO 3·Mg(OH) 2·4H 2O,MgCO 3,of Magnesium Oxychloride Cement was established by X ray diffraction interior standard method.The interior standard substance is α ZnO.The absolute error is below 5%.The composition of different Magnesium Oxychloride Cement were analysed successfully by the method.
