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小型磁选态铯原子钟性能测试数据的统计与分析
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作者 陈江 刘志栋 +5 位作者 王骥 马沛 郭磊 黄良育 杨军 宋冰冰 《真空与低温》 2024年第6期658-663,共6页
LIP Cs-3000是一种国产的小型磁选态铯原子钟,在时频计量、卫星导航等领域获得应用。对近期交付的LIP Cs-3000性能测试数据进行统计与分析,得到了准确度的分布与范围,同时得到了峰谷比、信噪比、Ramsey线宽等指标的分布。从理论上估计... LIP Cs-3000是一种国产的小型磁选态铯原子钟,在时频计量、卫星导航等领域获得应用。对近期交付的LIP Cs-3000性能测试数据进行统计与分析,得到了准确度的分布与范围,同时得到了峰谷比、信噪比、Ramsey线宽等指标的分布。从理论上估计了铯原子钟输出信号的稳定度指标范围,验证了该范围与实际测量相符。同时对电子倍增器电压每日增幅进行了统计,结合装铯量给出了LIP Cs-3000铯钟倍增器寿命的分布。统计与分析结果不仅有助于磁选态铯钟的性能提高,也有助于其他小型铯原子钟的性能提升。 展开更多
关键词 磁选态铯原子钟 峰谷比 信噪比 Ramsey线宽 电子倍增器
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LHT-200霍尔推力器热特性模拟分析
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作者 孙明明 耿海 +5 位作者 郭宁 高俊 李沛 王尚民 刘明正 刘超 《真空与低温》 2024年第6期651-657,共7页
为获得LHT-200霍尔推力器在12.5 kW额定功率工况下的热耗及温度分布,采用有限元分析结合热平衡试验验证对推力器在额定工况下的热耗进行了迭代校准和热特性模拟分析。结果显示,当推力器总热耗为2700 W,即占总功率比例为21.6%时,温度模... 为获得LHT-200霍尔推力器在12.5 kW额定功率工况下的热耗及温度分布,采用有限元分析结合热平衡试验验证对推力器在额定工况下的热耗进行了迭代校准和热特性模拟分析。结果显示,当推力器总热耗为2700 W,即占总功率比例为21.6%时,温度模拟结果与实测值最为接近,最大误差出现在推力器外壳且达到了6.3%。实测结果显示推力器温度最高处为内绕线柱和内部支撑,分别为318℃和304℃,而靠近外部的导磁底座、散热板和外壳等部件的温度相对较低,基本在150~210℃范围内,后续可对外部部件进行表面处理以提高发射系数来进一步降低推力器整体温度。研究结果可为LHT-200霍尔推力器的热设计改进提供工程指引,并为国内同类型霍尔推力器的热分析提供仿真边界条件初值和参考。 展开更多
关键词 霍尔推力器 温度分布 热特性 有限元分析
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离子推力器工作全过程数值仿真方案研究
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作者 陈娟娟 王江伟 +3 位作者 郭宁 耿海 贾艳辉 徐金灵 《真空与低温》 2024年第6期634-643,共10页
离子推力器具有比冲高、寿命长、推力连续可调等优点,已成为未来空间探测任务推进系统的首选。离子推力器产品的优化设计通常采用实验测量的手段来实现,现有的仿真软件均是针对离子推力器的各个组成组件来开发,忽略了组件之间的相互耦合... 离子推力器具有比冲高、寿命长、推力连续可调等优点,已成为未来空间探测任务推进系统的首选。离子推力器产品的优化设计通常采用实验测量的手段来实现,现有的仿真软件均是针对离子推力器的各个组成组件来开发,忽略了组件之间的相互耦合,为此,亟待开发一款综合考虑各组成部件相互作用的离子推力器工作全过程数值仿真软件。离子推力器结构复杂,且涉及等离子体场、流场、电场、粒子间碰撞以及粒子与壁面相互作用等过程,现有的仿真手段很难实现在同一时空下的数值模拟。提出了一种近似耦合的数值仿真方法,即仍将离子推力器的各组成部件作为一个独立的个体来仿真,但在数值建模时,考虑相关联部组件的影响。分别构建了两两耦合的数值仿真模型,开展了数值仿真计算,仿真结果显示部组件单独工作和耦合工作时组件内部的等离子体微观参数将发生较大变化。 展开更多
关键词 离子推力器 工作全过程 数值仿真
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基于MTBF的电推进羽流诊断系统可靠性预计与试验
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作者 田恺 赵勇 +3 位作者 陈新伟 陈焘 张宏 田东鹏 《真空与低温》 2024年第6期644-650,共7页
电推进羽流诊断系统(Electric Propulsion Plume Diagnostic System,EPPDS)是由探针组件、移动平台和电控单元组成的用于空间电推进羽流特征参数诊断的自研设备,产品规定的可靠性指标要求平均故障间隔时间(Mean Time Between Failures,M... 电推进羽流诊断系统(Electric Propulsion Plume Diagnostic System,EPPDS)是由探针组件、移动平台和电控单元组成的用于空间电推进羽流特征参数诊断的自研设备,产品规定的可靠性指标要求平均故障间隔时间(Mean Time Between Failures,MTBF)检验上限θ0≥5000 h。按照系统串并联模型及寿命指数分布模型的MTBF可靠性预计理论,给出了EPPDS的MTBF预计流程,进行了EPPDS各模块MTBF预计,系统MTBF预计值为1.059×10^(4) h。按照GJB 889短时高风险定时方案完成3台EPPDS 1833 h的可靠性验证试验,试验结果表明电控单元输出的法拉第探针、朗缪尔探针和阻滞势分析仪的偏置电压和扫描电压参数均满足合格判据。该方法可用于电子机械产品的MTBF预计和验证。 展开更多
关键词 电推进 羽流诊断系统 可靠性预计 平均故障间隔时间 可靠试验
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基于全球导航卫星系统应用的光频原子钟发展现状与可用性分析
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作者 宋冰冰 陈江 +1 位作者 廉吉庆 刘志栋 《真空与低温》 2024年第6期664-679,共16页
随着光频原子钟技术迅速发展,光频原子钟不确定度已超越微波原子钟性能4~5个数量级,达到了10^(−19)数量级,在可靠性和小型化方面也不断提升,使得未来全球导航卫星系统(Global Navigation Satellite System,GNSS)搭载光频原子钟成为可能... 随着光频原子钟技术迅速发展,光频原子钟不确定度已超越微波原子钟性能4~5个数量级,达到了10^(−19)数量级,在可靠性和小型化方面也不断提升,使得未来全球导航卫星系统(Global Navigation Satellite System,GNSS)搭载光频原子钟成为可能。介绍了几种GNSS光频原子钟的工作原理及国内外的研究进展,从稳定度、集成度及影响稳定度的因素等方面总结了几种光频原子钟的性能,并将四种光学时钟(离子光钟、光晶格钟、双光子跃迁光频原子钟、基于碘调制转移谱光频原子钟)与目前GNSS上搭载的四大导航系统进行比较,讨论了光频原子钟的应用潜力,并提出了各光频原子钟的发展建议。针对提升离子光钟和光晶格钟可靠性的需求,提出了通过提高激光器和超稳腔的稳定性、降低核心器件环境敏感性的建议。针对提升原子束光频原子钟稳定性的需求,提出了提高原子束利用率、进一步迭代实验等方案。针对提升双光子跃迁光频原子钟和调制转移谱光频原子钟的长期稳定性的需求,提出了结合真空技术及人工智能降低频率漂移率的解决方案。 展开更多
关键词 全球导航卫星系统 光频原子钟 原子束 双光子跃迁 调制转移谱
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基于碳纳米管-金属肖特基接触的气体低压传感技术
6
作者 黄春田 叶妮妮 +2 位作者 邵和助 方朝龙 董长昆 《真空与低温》 2024年第6期623-628,共6页
碳纳米管(CNT)具有独特的结构和优异的物理性能,在气体吸附的条件下,CNT-金属接触结构的电学性能会发生变化,这种变化可用于气体传感领域。采用Lift-off工艺和介电电泳沉积法(DEP)制备了基于CNT-金属肖特基结的CNT场效应管(CNT-FET)和CN... 碳纳米管(CNT)具有独特的结构和优异的物理性能,在气体吸附的条件下,CNT-金属接触结构的电学性能会发生变化,这种变化可用于气体传感领域。采用Lift-off工艺和介电电泳沉积法(DEP)制备了基于CNT-金属肖特基结的CNT场效应管(CNT-FET)和CNT/Au电阻传感器,并在10−7~10−5 Pa的低压力环境下进行了氢气和氮气传感测试。CNT-FET和CNT/Au电阻传感器对氢气具有相似的传感效应,在测试压力区间内电流分别增长0.05μA和0.14μA。研制成果探索了低压气体传感的新途径。 展开更多
关键词 碳纳米管 肖特基势垒 气体传感 功函数
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北斗与GPS系统在轨原子钟钟差数据分析与评估
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作者 张照瑞 廉吉庆 《真空与低温》 2024年第6期691-696,共6页
在卫星导航系统中,原子钟是时间测量的基准和核心组成部件,其性能直接决定导航、定位和授时的质量。在轨原子钟性能评估是保证卫星导航系统正常运行的前提和基础,对于原子钟产品性能改进具有重要的参考价值。介绍了原子钟性能评估的主... 在卫星导航系统中,原子钟是时间测量的基准和核心组成部件,其性能直接决定导航、定位和授时的质量。在轨原子钟性能评估是保证卫星导航系统正常运行的前提和基础,对于原子钟产品性能改进具有重要的参考价值。介绍了原子钟性能评估的主要参数和评估方法。分析和对比了北斗与GPS原子钟钟差数据,结果表明:北斗二号与GPS相比,铷原子钟的准确度、稳定度和漂移率有一定的差距;北斗三号搭载了铷原子钟和氢原子钟,性能指标均有较大的提升,氢原子钟10天稳定度和天稳定度普遍达到了10^(−15)量级,其性能指标与GPS相当;最新的GPS Block IIF型卫星搭载的铷原子钟长期频率稳定度有了显著的提升,国产铷原子钟的性能指标还有进一步提升的空间。 展开更多
关键词 星载原子钟 在轨性能评估 准确度 漂移率 稳定度
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一种AUV模块化载体结构设计与实现 被引量:1
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作者 胡中惠 张家锐 +2 位作者 李文跃 王磊 姜磊 《舰船科学技术》 北大核心 2024年第4期74-77,共4页
随着科技的不断发展,水下作业任务呈多样化、复杂化的趋势,针对自主式水下无人航行器功能多样性的问题,采用模块化的设计思想,提出一种载体结构设计方法。以某300 m级探测型AUV为例,对本文提出的载体结构进行验证。水池试验结果表明,本... 随着科技的不断发展,水下作业任务呈多样化、复杂化的趋势,针对自主式水下无人航行器功能多样性的问题,采用模块化的设计思想,提出一种载体结构设计方法。以某300 m级探测型AUV为例,对本文提出的载体结构进行验证。水池试验结果表明,本文提出的模块化载体结构运行情况良好,保证了AUV各项功能的实现,可为水下无人航行器的工程设计提供参考。 展开更多
关键词 水下无人航行器 载体结构 模块化
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真空喷射射流流场的Fluent模拟分析 被引量:12
9
作者 李建昌 李宏宇 +1 位作者 韩宇 巴德纯 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期422-425,共4页
为了对真空射流流场进行研究,应用Fluent软件并基于VOF(volume of fluid)方法、k-ε标准湍模型及PISO算法,对不同喷口直径及入射压力的直射式锥型流道喷嘴的射流流场速度和湍流运动分布进行了数值模拟分析.结果表明:1)入口压力相同... 为了对真空射流流场进行研究,应用Fluent软件并基于VOF(volume of fluid)方法、k-ε标准湍模型及PISO算法,对不同喷口直径及入射压力的直射式锥型流道喷嘴的射流流场速度和湍流运动分布进行了数值模拟分析.结果表明:1)入口压力相同,喷嘴直径越大,射流与周围介质间的速度梯度越大,可促进射流的扩散和液滴破碎后的尺寸均匀分布;2)喷嘴直径一定,入口压力在10~15 MPa内,射流湍流强度分布达到最佳状态,射流流场较好;3)如果不考虑材料的溶解性,相对于三氯甲烷和四氯化碳,丙酮作为溶剂时的液体喷射雾化效果较好,适于制备质量较好的高分子薄膜. 展开更多
关键词 真空喷射 喷嘴 高分子薄膜 喷射射流流场 Fluent模拟
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真空管道中阻塞比对列车空气阻力影响的数值研究 被引量:38
10
作者 周晓 张殿业 张耀平 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期535-538,共4页
本文基于粘性流体的Navier-Stokes方程和k-ε双方程湍流模型,运用流体动力学数值仿真软件FLUENT对不同的真空管道阻塞比条件下,高速列车在不同运行速度下车体所受到的空气阻力进行数值仿真,得出真空管道内阻塞比对列车空气阻力的影响规... 本文基于粘性流体的Navier-Stokes方程和k-ε双方程湍流模型,运用流体动力学数值仿真软件FLUENT对不同的真空管道阻塞比条件下,高速列车在不同运行速度下车体所受到的空气阻力进行数值仿真,得出真空管道内阻塞比对列车空气阻力的影响规律。研究结果表明:在真空管道内,阻塞比越大,列车所受到的空气阻力也越大;阻塞比较小时,阻塞比的变化对列车所受到的阻力的影响较小,但是当阻塞比较大时,列车所受阻力急剧上升;真空管道运输具有快速、高效的优越性。 展开更多
关键词 阻塞比 空气阻力 数值仿真 真空管道运输
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蒙特卡罗法计算分子流状态下真空管道的传输几率 被引量:11
11
作者 张波 王洁 +4 位作者 尉伟 范乐 裴香涛 洪远志 王勇 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期571-574,共4页
采用蒙特卡罗法对分子流状态下真空管道的传输几率进行了计算。计算精度随着模拟分子数的增加而显著提高,对于圆柱管道,模拟分子数为1.0×109时误差在2.7×10-5以下。气体分子与管壁的平均碰撞次数与管道纵横比基本相等。分析... 采用蒙特卡罗法对分子流状态下真空管道的传输几率进行了计算。计算精度随着模拟分子数的增加而显著提高,对于圆柱管道,模拟分子数为1.0×109时误差在2.7×10-5以下。气体分子与管壁的平均碰撞次数与管道纵横比基本相等。分析了传输几率与管道内壁吸附性的关系,通过测量管道两端气压便可计算出管道的抽速。另外,对椭圆和矩形截面管道的流导也进行了计算。 展开更多
关键词 分子流 流导 传输几率 蒙特卡罗法
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真空管道HTS磁浮列车实验系统环形加速器设计 被引量:7
12
作者 周大进 马家庆 +3 位作者 赵立峰 张勇 郭建强 赵勇 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期391-398,共8页
在真空管道高温超导磁浮实验系统中,采用圆环形单边长初级直线感应电机驱动磁浮列车做高速环形运动,为了提高驱动系统的效率和功率因素,降低系统能耗及电源容量,直线电机采用分段供电技术。本文针对真空管道高温超导磁浮实验系统的高速... 在真空管道高温超导磁浮实验系统中,采用圆环形单边长初级直线感应电机驱动磁浮列车做高速环形运动,为了提高驱动系统的效率和功率因素,降低系统能耗及电源容量,直线电机采用分段供电技术。本文针对真空管道高温超导磁浮实验系统的高速运行,分析研究了直线电机分段供电原理及列车的安全运行状况,设计完成了用于真空管道高温超导磁浮实验系统的环形分段供电加速器,并对加速器的响应速度和安全监控功能进行了测试,结果表明该加速器具有较高的响应速度,控制系统能对小车的运行状态做出准确的判断和保护,为真空管道高温超导磁浮交通系统的应用提供设计参考。 展开更多
关键词 真空管道 高温超导 磁悬浮列车 分段供电直线电机
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PECVD腔室热流场数值仿真研究 被引量:12
13
作者 夏焕雄 向东 +3 位作者 牟鹏 姜崴 葛研 王丽丹 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期1030-1036,共7页
等离子辅助化学气相沉积(PECVD)腔室的气流分布、温度分布是影响薄膜沉积工艺均匀性以及沉积速率的重要原因之一。本文对PECVD腔室气流建立连续流体和传热模型,研究了腔室内流场和温度分布特性;讨论了四种不同稳流室结构的PECVD腔室,在... 等离子辅助化学气相沉积(PECVD)腔室的气流分布、温度分布是影响薄膜沉积工艺均匀性以及沉积速率的重要原因之一。本文对PECVD腔室气流建立连续流体和传热模型,研究了腔室内流场和温度分布特性;讨论了四种不同稳流室结构的PECVD腔室,在加热盘恒温400℃、质量流量5000 sccm、抽气口压力133 Pa的工艺条件下12英寸晶圆片附近上方流速、压力、温度分布情况;选择了其中一种稳流室结构作了多种质量流量(20~5000 sccm)入口条件下的流场分析。仿真研究发现:在抽气口位置偏置的情况下,四种不同稳流室结构的腔室内热流场并未出现明显偏置,这表明抽气口偏置对工艺均匀性没有明显影响。加热盘附近上方2 mm处温度场大面均匀、稳定,且随入口质量流量变化波动很小,表现出良好的稳定性;气压分布呈现中心高边缘低的抛物线特征,流速呈现中心低边缘高的线性特征,且晶圆片附近以及喷淋头(Showerhead)入口压力和流速均随着入口质量流量的增加而升高。研究结果对PECVD腔室结构设计及工艺控制具有重要意义。 展开更多
关键词 等离子辅助化学气相沉积 多孔介质 气流仿真 稳流室
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真空管道中高温超导磁悬浮车运行时的振动能耗特性 被引量:5
14
作者 马家庆 周大进 +2 位作者 赵立峰 张勇 赵勇 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第2期119-125,共7页
当真空管道中的气压降到一定值时,其中运行的高温超导磁浮车所受到的空气阻力近似省略。那么磁浮车的运动方向上的动能会因为磁轨道上有接头或其它原因导致轨道上表面磁场的分布不平衡而转移到与运行垂直方向上的振动而损耗掉。对一个... 当真空管道中的气压降到一定值时,其中运行的高温超导磁浮车所受到的空气阻力近似省略。那么磁浮车的运动方向上的动能会因为磁轨道上有接头或其它原因导致轨道上表面磁场的分布不平衡而转移到与运行垂直方向上的振动而损耗掉。对一个已设计好的轨道,其缺陷是不可避免的,文中讨论磁浮车在这种轨道上的动能损耗与磁浮车运行速度的关系。将一定真空环境中运行着的高温超导磁浮车的这种振动近似为弹簧的阻尼振动,然后根据高温超导体的特性及相应测量值来确定其刚度系数与阻尼系数,从而考虑其阻尼振动的动能损耗情况。模拟了三种振动产生方式的耗能情况,与实验结果相符合,表明了能耗规律及其在真空管道运输设计与应用中的参考价值。 展开更多
关键词 受迫振动 磁悬浮列车 能耗 高温超导体 真空管道运输
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引力波探测中惯性传感器的残余气体动力学特性机理研究
15
作者 徐峰 王玉青 +1 位作者 张俊 王旭迪 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期35-41,共7页
作为空间引力波探测的核心系统,惯性传感器在轨运行时的噪声干扰诱发机制解析是迫切需要解决的关键科学问题。惯性传感器中检验质量(TM)的残余加速度噪声是限制探测器灵敏度的最大噪声源。作为残余气体噪声的直接表征手段,惯性传感器复... 作为空间引力波探测的核心系统,惯性传感器在轨运行时的噪声干扰诱发机制解析是迫切需要解决的关键科学问题。惯性传感器中检验质量(TM)的残余加速度噪声是限制探测器灵敏度的最大噪声源。作为残余气体噪声的直接表征手段,惯性传感器复杂拓扑构型下气体分子逃逸时间动态特性解析亟待解决。文章首先考虑了狭小空间下检验质量块与周围壁面间的材料属性、放气特性等差异性,建立了异质空间复杂拓扑结构下的惯性传感器数理模型;其次解析出残余气体噪声与气体分子逃逸时间之间的定量约束关系,提取了逃逸时间核心影响因素;随后以蒙特卡洛模拟技术为切入点,得到约束条件下气体分子从板间扩散出去所需的逃逸时间及碰撞次数的模拟解。文章研究发现:不同气体成分、壁面性质对残余气体噪声有较大影响;考虑气体分子在壁面的滞留时间会大幅增加逃逸时间、降低碰撞频率。 展开更多
关键词 空间引力波探测 惯性传感器板间异质性 残余气体噪声 逃逸时间 表面碰撞次数
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PECVD变结构腔室压力分布规律研究 被引量:5
16
作者 黄尊地 杨铁牛 +1 位作者 常宁 周玉林 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期1149-1156,共8页
在真空半导体产业发展过程中,决定产品质量的关键因素是生产工艺过程的参数控制,等离子体增强化学气相沉积(PECVD)中比较重要的一个参数为腔室内压力值。通过变结构腔室压力测量试验验证,得到正确可行的针对变结构腔室三维模型的网格剖... 在真空半导体产业发展过程中,决定产品质量的关键因素是生产工艺过程的参数控制,等离子体增强化学气相沉积(PECVD)中比较重要的一个参数为腔室内压力值。通过变结构腔室压力测量试验验证,得到正确可行的针对变结构腔室三维模型的网格剖分方法和仿真算法。影响腔室内压力分布的四个变量中,依次改变粘滞阻力系数、入口初始压力、入口流量和排气口压力的大小,分析计算腔室内压力分布特性。变结构腔室中压力分布规律,为PECVD腔室结构设计及腔室压力控制提供理论依据。 展开更多
关键词 真空半导体 离子体增强化学气相沉积 变结构腔室 压力分布
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定容法测量小孔流导的方法研究 被引量:11
17
作者 郭美如 李得天 +1 位作者 成永军 赵光平 《真空》 CAS 北大核心 2006年第1期62-66,共5页
规则小孔的流导可以通过计算得到,但对于非规则小孔,若要准确得到小孔流导的大小,就必须通过实验测量得到。文章论述了定容法测量小孔流导的方法,进行了测量不确定度的评定,得到了整个校准范围内小孔流导随进气压力变化的拟合曲线和方程... 规则小孔的流导可以通过计算得到,但对于非规则小孔,若要准确得到小孔流导的大小,就必须通过实验测量得到。文章论述了定容法测量小孔流导的方法,进行了测量不确定度的评定,得到了整个校准范围内小孔流导随进气压力变化的拟合曲线和方程,小孔流导的测量不确定度为1.1%。 展开更多
关键词 定容法 小孔流导测量 不确定度分析
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基于Sigmund理论的溅射产额计算及分析 被引量:12
18
作者 陈明 王君 +1 位作者 陈长琦 刘珍 《真空》 CAS 北大核心 2007年第2期44-47,共4页
溅射产额是表征溅射效应的重要参数。Sigmund的线性级联碰撞理论在溅射产额计算中获得了广泛的应用和发展。本文对Sigmund理论进行简单介绍,并对基于Sigmund理论的各种经验公式进行分析。在此基础上,对不同条件下的溅射产额进行了计算,... 溅射产额是表征溅射效应的重要参数。Sigmund的线性级联碰撞理论在溅射产额计算中获得了广泛的应用和发展。本文对Sigmund理论进行简单介绍,并对基于Sigmund理论的各种经验公式进行分析。在此基础上,对不同条件下的溅射产额进行了计算,通过计算结果,对各种公式的使用范围进行了讨论。 展开更多
关键词 Sigmund理论 溅射产额 入射离子能量
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磁控溅射中电磁场分布及带电粒子运动的模拟与计算 被引量:4
19
作者 王君 刘珍 +2 位作者 陈长琦 朱武 陈明 《真空》 CAS 北大核心 2007年第4期20-23,共4页
电磁场分布及其对各种带电粒子的约束情况对磁控溅射过程有着决定性的影响。本文首先利用物理场耦合分析软件Comsol3.2a分析了直流磁控溅射电磁场的分布,并且计算分析了单个带电粒子的运动情况。在此基础上,计算分析了带电粒子束流在电... 电磁场分布及其对各种带电粒子的约束情况对磁控溅射过程有着决定性的影响。本文首先利用物理场耦合分析软件Comsol3.2a分析了直流磁控溅射电磁场的分布,并且计算分析了单个带电粒子的运动情况。在此基础上,计算分析了带电粒子束流在电磁场中的运动情况、空间分布,得到了磁控溅射电磁场区域分布、单个电子的运动轨迹及带电粒子在空间区域中位置分布。 展开更多
关键词 电磁场分布 磁控溅射 模拟 计算 粒子运动
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PECVD变结构腔室热流场耦合规律研究 被引量:3
20
作者 黄尊地 常宁 +1 位作者 杨铁牛 周玉林 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期1325-1333,共9页
在真空半导体产业中,等离子体增强化学气相沉积腔室内热流场耦合的参数控制是生产工艺过程决定产品质量的关键因素。通过变结构腔室内温度和压力耦合测量试验验证,得到正确可行的针对变结构腔室三维模型热流场耦合计算的仿真算法。对比... 在真空半导体产业中,等离子体增强化学气相沉积腔室内热流场耦合的参数控制是生产工艺过程决定产品质量的关键因素。通过变结构腔室内温度和压力耦合测量试验验证,得到正确可行的针对变结构腔室三维模型热流场耦合计算的仿真算法。对比试验结果,依次改变腔室入口流量、出口压力以及承载台温度的大小,分析计算腔室内温度和压力的耦合分布特性。变结构腔室中热流场耦合分布规律,为真空腔室结构设计及参数控制提供理论依据。 展开更多
关键词 真空半导体 热流场耦合 参数控制 变结构腔室
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