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α-Fe_(2)O_(3)纳米棒的水热合成与阻变开关特性研究
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作者 徐佳敏 余志强 +3 位作者 韩旭 陈诚 曲信儒 黄庆南 《广西科技大学学报》 CAS 2024年第2期128-135,共8页
采用水热法合成了沿[110]方向具有优先生长取向的α-Fe_(2)O_(3)纳米棒,设计了具有非易失性阻变开关性能的W/α-Fe2O_(3)/FTO阻变存储器。对W/α-Fe_(2)O_(3/)FTO器件的阻变开关特性进行分析发现,W/α-Fe_(2)O_(3)/FTO阻变存储器的电阻... 采用水热法合成了沿[110]方向具有优先生长取向的α-Fe_(2)O_(3)纳米棒,设计了具有非易失性阻变开关性能的W/α-Fe2O_(3)/FTO阻变存储器。对W/α-Fe_(2)O_(3/)FTO器件的阻变开关特性进行分析发现,W/α-Fe_(2)O_(3)/FTO阻变存储器的电阻比(RHRS/RLRS)在一个数量级以上,可保持100 s以上而无明显下降。此外,器件的载流子运输特性分别由LRS下的欧姆传导机制和HRS下的陷阱控制的空间电荷限制电流传导机制决定。由氧空位的迁移引起的纳米导电细丝的部分形成与断裂可以解释W/α-Fe_(2)O_(3)/FTO阻变存储器的非易失性阻变开关行为。因此,基于α-Fe_(2)O_(3)纳米棒的阻变存储器件可能是下一代非易失性存储应用的潜在候选器件。 展开更多
关键词 α-Fe_(2)O_(3)纳米棒 非易失性 氧空位 导电细丝
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用电子束热蒸发技术制备ZnO薄膜 被引量:15
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作者 张彬 林碧霞 +1 位作者 傅竹西 施朝淑 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期309-311,共3页
本文报道了用电子束热蒸发技术制备ZnO薄膜 ,薄膜具有 (0 0 2 )取向 ,通过电子扫描显微镜确认晶粒大小在 15 0nm左右 ,现有的薄膜在 5 2
关键词 氧化锌薄膜 电子束热蒸发 光致发光光谱 ZNO 薄膜制备 电子扫描显微镜
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微波ECR等离子体辅助反应蒸发沉积ITO膜 被引量:9
3
作者 程珊华 宁兆元 +3 位作者 薛青 金宗明 高伟建 李育峰 《功能材料》 EI CAS CSCD 1995年第5期405-408,共4页
发展了一种新型的微波电子回旋共振等离子体(ECR)辅助反应蒸发沉积薄膜的方法,并且使用它成功地在低气压(10 ̄(-2)Pa)、低温基片(30~100℃)上,不作后处理,直接制备出了附着力强,透光率高于85%,方阻低于... 发展了一种新型的微波电子回旋共振等离子体(ECR)辅助反应蒸发沉积薄膜的方法,并且使用它成功地在低气压(10 ̄(-2)Pa)、低温基片(30~100℃)上,不作后处理,直接制备出了附着力强,透光率高于85%,方阻低于100Ω/□的ITO膜。 展开更多
关键词 ITO膜 微波 ECR等离子体 真空蒸发
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相变型VO_2薄膜的制备及其特性的研究 被引量:7
4
作者 周少波 王双保 +1 位作者 陈四海 易新建 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2005年第1期27-30,共4页
利用反应离子束溅射和后退火工艺制备一种新的相变型VO2薄膜,对该薄膜进行电学测试、XRD和光学透过率的测试。这种工艺制备出的相变型VO2薄膜相变温度更接近室温,XRD显示这种薄膜中有VO2、V2O5成分的存在。对这种薄膜的光学透过率测试表... 利用反应离子束溅射和后退火工艺制备一种新的相变型VO2薄膜,对该薄膜进行电学测试、XRD和光学透过率的测试。这种工艺制备出的相变型VO2薄膜相变温度更接近室温,XRD显示这种薄膜中有VO2、V2O5成分的存在。对这种薄膜的光学透过率测试表明,低温下薄膜的透过率是高温下薄膜透过率的近5倍。通过实验可以看出,氧气分压、退火温度、退火时间是影响制备新型相变型VO2薄膜的重要因素。 展开更多
关键词 VO2 薄膜 反应离子束溅射 相变特性 薄膜制备
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光化学气相淀积SiGe/Si材料的机制分析 被引量:5
5
作者 李培咸 孙建诚 胡辉勇 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期293-296,共4页
本文对光化学气相淀积 Si Ge/Si过程中气相反应机制和表面反应历程进行了分析和讨论 .利用表面反应动力学的有关理论 ,结合光化学气相淀积的特点 ,推导出光化学气相淀积Si Ge/Si过程中的生长速率和生长压力的关系 .并给出该理论结果和... 本文对光化学气相淀积 Si Ge/Si过程中气相反应机制和表面反应历程进行了分析和讨论 .利用表面反应动力学的有关理论 ,结合光化学气相淀积的特点 ,推导出光化学气相淀积Si Ge/Si过程中的生长速率和生长压力的关系 .并给出该理论结果和实际实验结果的比较 . 展开更多
关键词 SIGE/SI 气相反应 表面反应 光化学气相淀积 生长速率 生长压力 应变层异质结材料
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离子束增强沉积氮化硅薄膜生长及其性能研究 被引量:3
6
作者 柳襄怀 薛滨 +2 位作者 郑志宏 周祖尧 邹世昌 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第6期457-462,共6页
用离子束增强沉积技术合成了氮化硅薄膜并研究了薄膜的组分、性能和结构.结果表明,离子束增强沉积生长的氮化硅薄膜的组分比,可借助于调节氮离子和硅原子到达率之比加以控制.在合适条件下生长的氮化硅薄膜,其红外吸收特征峰在波数为840c... 用离子束增强沉积技术合成了氮化硅薄膜并研究了薄膜的组分、性能和结构.结果表明,离子束增强沉积生长的氮化硅薄膜的组分比,可借助于调节氮离子和硅原子到达率之比加以控制.在合适条件下生长的氮化硅薄膜,其红外吸收特征峰在波数为840cm^(-1)附近,光折射率在2.2到2.6之间,其组分为Si_3N_4用RBS、AES、TEM、SEM、ED及扩展电阻,测量和观察生成的氮化硅薄膜的组分深度分布及结构.发现,离子束增强沉积制备的氮化硅薄膜,存在着表面富硅层、氮化硅沉积层及混合过渡层这样的多层结构.薄膜呈球状或方块状堆积.基本上是无定形相,但局部可观察到单晶相的存在.离子束增强沉积制备的氮化硅薄膜中的含氧量比不用离子束辅助沉积的显著减少. 展开更多
关键词 离子束 增强沉积 氮化硅 薄膜生长
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光折变KNSBN掺Cu晶体的生长 被引量:4
7
作者 孙大亮 宋永远 +1 位作者 姜全忠 陈焕矗 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 1992年第2期110-113,共4页
用 Czochralski 技术生长了 A 位置非充满型 KNSBN 掺 Cu 晶体,提拉速度为4—8mm/h,转速为15—20r/min;沿提拉方向测量了温场分布,用氩离子激光器测量了晶体的高光折变性能。
关键词 晶体生长 KNSBN掺 光折变 材料
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CoSi_2薄膜形成过程中的反应机制 被引量:4
8
作者 何杰 顾诠 +1 位作者 陈维德 许振嘉 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第8期544-550,共7页
利用超高真空电子束蒸发,在Si衬底上淀积Co-Si多层膜.经热处理后,发现在600—700℃内CoSi2形成的过程中,成核控制、界面反应及扩散等几种因素都能起较大的作用,并因此而造成了CoSi2薄膜生长动力学的极其复... 利用超高真空电子束蒸发,在Si衬底上淀积Co-Si多层膜.经热处理后,发现在600—700℃内CoSi2形成的过程中,成核控制、界面反应及扩散等几种因素都能起较大的作用,并因此而造成了CoSi2薄膜生长动力学的极其复杂性.本文还对样品进行了电阻率和扩展电阻测量.并讨论了利用常规手段来消除薄膜横、纵向非均匀性的几种途径. 展开更多
关键词 CoSi 薄膜 薄膜生长 反应机理
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一步法电沉积CuInSe_2半导体膜 被引量:3
9
作者 苏永庆 马子鹤 刘频 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 1998年第7期8-9,共2页
在以InCl3、CuCl、SeO2为主盐,酒石酸为络合剂,聚乙二醇和硫脲为添加剂的电镀液中,在Mo片或Ti片上进行阴极电沉积,可获得CuInSe2半导体膜,它与CdS组成的n-CdS/p-CuInSe2光电池光电效率... 在以InCl3、CuCl、SeO2为主盐,酒石酸为络合剂,聚乙二醇和硫脲为添加剂的电镀液中,在Mo片或Ti片上进行阴极电沉积,可获得CuInSe2半导体膜,它与CdS组成的n-CdS/p-CuInSe2光电池光电效率可达7%~8%,部分达11%。 展开更多
关键词 电沉积 CuInSe膜 一步法 半导体膜 镀膜
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Co-Si界面低温(≤450℃)相变的电子显微术研究 被引量:2
10
作者 张灶利 肖治纲 杜国维 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第3期195-200,共6页
本文用透射电镜的衍射方法,研究Co薄膜和衬底之间的界面的低温相变.用小角解理方法制备的室温原始样品经分析发现:室温下薄膜没有相变.在250℃,Co2Si为最先形成的硅化物;250℃30分钟处理后,产生大量的CoSi相... 本文用透射电镜的衍射方法,研究Co薄膜和衬底之间的界面的低温相变.用小角解理方法制备的室温原始样品经分析发现:室温下薄膜没有相变.在250℃,Co2Si为最先形成的硅化物;250℃30分钟处理后,产生大量的CoSi相.450℃1小时处理形成单相的CoSi.从本实验结果与前人研究结果对比发现:观察手段、样品制备方法、镀膜方法等因素会影响低温相变结果. 展开更多
关键词 硅化物薄膜 相变 电子显微术 Co-Si界面 低温
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m-NBA-DEA 和3,5-DNBA-DEA 晶体生长与结构 被引量:3
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作者 郑吉民 夏爱兵 +2 位作者 车云霞 杨盟 申泮文 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 1992年第2期146-150,共5页
在乙醇溶液中合成出 m-NBA-DEA 和3,5-DNBA-DEA 两种新化合物。测出了它们在乙醇溶液中的溶解度曲线,采用降温法在乙醇溶液中于45~40%范围内,从 pH 值为7的饱和溶液中分别生长出 m-NBA-DEA 和3,5-DNBA-DEA 大尺寸单晶体。用红外光谱和... 在乙醇溶液中合成出 m-NBA-DEA 和3,5-DNBA-DEA 两种新化合物。测出了它们在乙醇溶液中的溶解度曲线,采用降温法在乙醇溶液中于45~40%范围内,从 pH 值为7的饱和溶液中分别生长出 m-NBA-DEA 和3,5-DNBA-DEA 大尺寸单晶体。用红外光谱和 X 射线衍射测定出了晶体的结构。使用 1064nm 激光入射上述两种晶体均产生532nm 的倍频光,这两晶体的(SHG)倍频光强度约是 KDP 晶体的5—10倍。 展开更多
关键词 晶体生长 晶体结构 化合物
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碘化汞单晶体的生长与品质研究 被引量:2
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作者 朱世富 李正辉 +1 位作者 冉玉俊 陈观雄 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1991年第3期309-313,共5页
报道了用温度振荡法(TOM)进行碘化汞(HgI_2)大单晶体的生长过程。并对晶体的形态、结构、化学配比和位错密度等进行了研究,结果表明,TOM是生长大尺寸优质HgI_2单晶体的有效方法。
关键词 碘化汞 单晶 晶体生长 温度振荡法
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Bi_(4)Ti_(3)O_12铁电薄膜的MOCVD制备及其物理性质研究 被引量:2
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作者 王弘 王民 +2 位作者 付丽伟 苏学军 尚淑霞 《高技术通讯》 CAS CSCD 1995年第2期35-37,共3页
采用常压MOCVD技术在(100)硅衬底上生长了具有(100)及(001)取向的钛酸铋(Bi_(4)Ti_(3)O_12)薄膜。在适当的生长条件下可获得(100)取向膜,在750~800℃下退火可获得(001)择优取... 采用常压MOCVD技术在(100)硅衬底上生长了具有(100)及(001)取向的钛酸铋(Bi_(4)Ti_(3)O_12)薄膜。在适当的生长条件下可获得(100)取向膜,在750~800℃下退火可获得(001)择优取向膜。通过观察P-E电滞回线可确认膜的铁电性质,测得(100)取向膜的剩余极化强度为38μc/cm ̄2,矫顽场为45KV/cm。同时测量了钛酸铋薄膜的介电常数及损耗角正切。 展开更多
关键词 铁电薄膜 MOCVD技术 钛酸铋 制备 物理性质
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溶胶凝胶法制备的Mn系氧化物热敏薄膜的尺寸效应 被引量:1
14
作者 宋世庚 康健 +3 位作者 李芳孝 王学燕 谭辉 陶明德 《功能材料》 EI CAS CSCD 1995年第4期309-312,共4页
本文阐述了用溶胶凝胶法制备CoMnCuO等热敏薄膜的方法,研究了它们的电学性质。结果表明,薄膜的R-T特性基本符合R=R_oexp(B/T)关系。在本文样品厚度的范围内,厚度对电阻率(ρ_f)和材料常数(B)有较大的... 本文阐述了用溶胶凝胶法制备CoMnCuO等热敏薄膜的方法,研究了它们的电学性质。结果表明,薄膜的R-T特性基本符合R=R_oexp(B/T)关系。在本文样品厚度的范围内,厚度对电阻率(ρ_f)和材料常数(B)有较大的影响。利用扩展电阻仪分析了电阻率随深度的变化,用俄歇电子能谱分析了组分随深度的变化,在此基础上对尺寸效应作出了相应的解释。 展开更多
关键词 热敏薄膜 尺寸效应 溶胶凝胶法 氧化物半导体
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Cdln_2O_4膜红外性质分析 被引量:2
15
作者 姬荣斌 张小兰 王万录 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第1期73-76,共4页
CdIn_2O_4膜在可见光区域透射率高,在红外区域反射率高。利用射频反应溅射Cd-In靶制备该膜时,溅射气体中氧含量及退火温度对其红外反射率有明显影响。
关键词 Cdin2O4膜 红外性质 半导体薄膜
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BBO 晶体中包裹物的研究 被引量:1
16
作者 洪慧聪 路治平 +2 位作者 赵天德 华素坤 仲维卓 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 1992年第4期388-394,共7页
本文研究了采用熔盐提拉法生长的低温相偏硼酸锁(BBO)晶体中的包裹物及其负晶结构。采用光学显微和电子探针微区分析等手段观测和分析了晶体中包裹物的种类、化学成分以及包裹物的分布规律。分析比较了各类包裹物在晶体中的结晶方位,提... 本文研究了采用熔盐提拉法生长的低温相偏硼酸锁(BBO)晶体中的包裹物及其负晶结构。采用光学显微和电子探针微区分析等手段观测和分析了晶体中包裹物的种类、化学成分以及包裹物的分布规律。分析比较了各类包裹物在晶体中的结晶方位,提出并证实了晶体中的有规则状包裹物具有明显的负晶结构特征。讨论了消除或控制 BBO 晶体中包裹物产生的方法。 展开更多
关键词 晶体 熔盐提取法 偏硼酸
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用离子束辅助淀积多层薄膜技术合成Co-Si化合物薄膜的研究 被引量:1
17
作者 杨杰 阎忻水 +1 位作者 陶琨 范玉殿 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第8期533-539,共7页
本文通过离子束辅助淀积(IBAD)与真空淀积多层膜技术相结合,淀积合成Co-Si薄膜,RBS和XRD分析表明:在无离子束轰击条件下利用电子束蒸镀Co/Si多层膜,得到的是由α-Co与非晶Si组成的薄膜.薄膜与Si(1... 本文通过离子束辅助淀积(IBAD)与真空淀积多层膜技术相结合,淀积合成Co-Si薄膜,RBS和XRD分析表明:在无离子束轰击条件下利用电子束蒸镀Co/Si多层膜,得到的是由α-Co与非晶Si组成的薄膜.薄膜与Si(111)基底及多层膜各层之间没有明显的相互扩散,而用复合方法镀制的薄膜与Si基底以及各层之间都产生了混合和扩散,并已有CO2Si、CoSi相生成.750℃退火30分钟后,无轰击样品只在硅基底与薄膜界面处产生明显的反应和扩散,而复合方法该制的样品则形成均匀的CoSi2薄膜。 展开更多
关键词 硅化物 化合物薄膜 离子束 沉积
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通气加热法降低铝酸钇(YAlO_3)晶体用料—Al_2O_3中的碳杂质 被引量:2
18
作者 吕坚 郭喜彬 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 1992年第2期166-170,共5页
本文用纯化空气流加热除碳法,使 Al_2O_3中的碳含量从130×10^(-6)减少到50×10^(-6)60×10^(-6)。用这种 Al_2O_3和含碳量为100×10^(-6)—150×10^(-6)的 Y_2O_3的熔料生长出无气泡和无光弥散区的长度在150mm 以... 本文用纯化空气流加热除碳法,使 Al_2O_3中的碳含量从130×10^(-6)减少到50×10^(-6)60×10^(-6)。用这种 Al_2O_3和含碳量为100×10^(-6)—150×10^(-6)的 Y_2O_3的熔料生长出无气泡和无光弥散区的长度在150mm 以上的 Nd∶YAlO_3单晶。 展开更多
关键词 晶体 铝酸钇 加热法 杂质
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Nd∶Mg∶LiNbO_3晶体的生长及其物理性能 被引量:1
19
作者 赵业权 李铭华 +3 位作者 徐玉恒 张宏涛 孙光跃 金光海 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 1992年第2期137-141,共5页
本文报道了 Nd∶Mg∶LN 晶体的生长。测试了晶体的吸收光谱、荧光光谱、双折射梯度和光折变阈值。探讨了 Nd∶Mg∶LN 晶体抗光折变的机理。
关键词 铌酸 晶体 光学性质
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金属有机化合物在制备半导体材料中的应用 被引量:1
20
作者 阎圣刚 周科衍 《材料导报》 EI CAS CSCD 1994年第6期46-48,54,共4页
简单介绍了金属有机化合物的制备及其在光电薄膜、陶瓷薄膜及纳米级半导体材料中的应用。
关键词 金属有机化合物 制备 光电薄膜 陶瓷陶膜
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