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Optoelectronic properties of SnO2 thin films sprayed at different deposition times 被引量:1
1
作者 Allag Abdelkrim Saad Rahmane +2 位作者 Ouahab Abdelouahab Attouche Hafida Kouidri Nabila 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第4期296-302,共7页
This article presents the elaboration of tin oxide (SnO2) thin films on glass substrates by using a home-made spray pyrolysis system. Effects of film thickness on the structural, optical, and electrical film propert... This article presents the elaboration of tin oxide (SnO2) thin films on glass substrates by using a home-made spray pyrolysis system. Effects of film thickness on the structural, optical, and electrical film properties are investigated. The films are characterized by several techniques such as x-ray diffraction (XRD), atomic force microscopy (AFM), ultraviolet- visible (UV-Vis) transmission, and four-probe point measurements, and the results suggest that the prepared films are uniform and well adherent to the substrates. X-ray diffraction (XRD) patterns show that SnO2 film is of polycrystal with cassiterite tetragonal crystal structure and a preferential orientation along the (110) plane. The calculated grain sizes are in a range from 32.93 nm to 56.88 nm. Optical transmittance spectra of the films show that their high transparency average transmittances are greater than 65% in the visible region. The optical gaps of SnO2 thin films are found to be in a range of 3.64 eV-3.94 eV. Figures of merit for SnO2 thin films reveal that their maximum value is about 1.15 x 10-4 Ω-1 at λ = 550 nm. Moreover, the measured electrical resistivity at room temperature is on the order of 10^-2 Ω.cm. 展开更多
关键词 thin film sno2 spray pyrolysis thickness PROPERTIES
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Electrodeposition of SnO_2 nanocrystalline thin film using butyl-rhodamine B as a structure-directing agent 被引量:1
2
作者 Jing Yang Shou Li Bai +3 位作者 Rui Xian Luo Ai Fan Chen Yuan Lin Jing Bo Zhang 《Chinese Chemical Letters》 SCIE CAS CSCD 2010年第12期1505-1508,共4页
Porous SnO2 nanocrystalline thin films were successfully electrodeposited from an oxygen-saturated acid aqueous solution of SnCl2 containing different concentrations of butyl-rhodamine B(BRhB) at 70℃.BRhB with subs... Porous SnO2 nanocrystalline thin films were successfully electrodeposited from an oxygen-saturated acid aqueous solution of SnCl2 containing different concentrations of butyl-rhodamine B(BRhB) at 70℃.BRhB with substitute of amidocyanogen can be dissolved in the acid deposition solution,where HCl was added to suppress hydrolysis of SnCl2.So it was used as a structure-directing agent to promote the crystal growth of SnO_2.The formed porous morphology and tetragonal rutile crystalline structure of the electrodeposited thin films were controlled by the addition of BRhB with different amounts. 展开更多
关键词 Nanocrystalline sno2 thin film ELECTRODEPOSITION Butyl-rhodamine B Structure-directing agent
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Sheet Resistance and Gas-Sensing Properties of Tin Oxide Thin Films by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 被引量:1
3
作者 刘彭义 陈俊芳 孙汪典 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2004年第2期2259-2264,共6页
Tin oxide (SnO2) thin films are prepared at different temperatures by plasmaenhanced chemical vapor deposition (PECVD). The structural characterizations of the films are investigated by various analysis techniques. X-... Tin oxide (SnO2) thin films are prepared at different temperatures by plasmaenhanced chemical vapor deposition (PECVD). The structural characterizations of the films are investigated by various analysis techniques. X-ray diffraction patterns (XRD) show that the phase of SnO2 films are different at different deposition temperatures. The sheet resistance of the films decreases with increase of deposition temperature. X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) shows that the SnO2 thin film is non-stoichiometric. The sheet resistance increases with increase in oxygen flow. Sb-doped SnO2 thin films are more sensitive to alcohol than carbon monoxide, and its maximum sensitivity is about 220%. 展开更多
关键词 sno2 thin film PECVD sheet resistance gas sensibility
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Sb掺杂对SnO2薄膜光电性能的影响研究 被引量:4
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作者 周传仓 张飞鹏 +2 位作者 张忻 张静文 杨新宇 《电子元件与材料》 CAS CSCD 2016年第8期23-26,共4页
以乙醇为溶剂采用溶胶-凝胶法制备出了Sb掺杂的SnO_2复合透明导电薄膜,并利用XRD,SEM,紫外-可见分光光度计,四探针电阻仪等测试方法对Sb掺杂的SnO_2复合薄膜的结构和物性进行了研究。结果表明,当Sb掺杂量小于摩尔分数7%时,SnO_2复合薄... 以乙醇为溶剂采用溶胶-凝胶法制备出了Sb掺杂的SnO_2复合透明导电薄膜,并利用XRD,SEM,紫外-可见分光光度计,四探针电阻仪等测试方法对Sb掺杂的SnO_2复合薄膜的结构和物性进行了研究。结果表明,当Sb掺杂量小于摩尔分数7%时,SnO_2复合薄膜均呈四方金红石型晶体结构;随着Sb掺杂量的增加,薄膜电阻率先降低后增大,当Sb掺杂量为摩尔分数5%时,薄膜电阻率达到最小值1.4×10^(–3)?·cm。在350~700 nm波长范围内,当Sb掺杂量小于摩尔分数7%时,SnO_2复合薄膜的透过率均在80%以上。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 sno2薄膜 掺杂 表征 结构 光电性能
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添加剂对SnO2纳米薄膜微结构与光致发光性质影响的研究 被引量:1
5
作者 秦苏梅 邓红梅 +1 位作者 童梓洋 杨平雄 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第11期1194-1197,共4页
以SnCl2.2H2O及无水乙醇为原料,利用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备了SnO2纳米薄膜。在溶胶中添加了多种添加剂,用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)和光致发光谱仪(PL)研究了添加剂对薄膜结构、形貌和光学性质的影响,结果表明氨水的加入能抑... 以SnCl2.2H2O及无水乙醇为原料,利用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备了SnO2纳米薄膜。在溶胶中添加了多种添加剂,用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)和光致发光谱仪(PL)研究了添加剂对薄膜结构、形貌和光学性质的影响,结果表明氨水的加入能抑制晶粒快速长大,未加入氨水的SnO2薄膜在750℃和900℃热处理后平均晶粒尺寸分别为23.1 nm和50.5 nm,而加入氨水后的平均晶粒尺寸分别为19.6 nm和42.8 nm;丙三醇(GCR)的添加能抑制团聚和防止深裂痕,使薄膜光滑、平整;表面活性剂聚乙二醇2000、聚乙二醇4000能使薄膜产生空隙和大量孔洞,从而大大增加薄膜比表面积,使之气敏性能显著提高,同时还发现,相同量的聚乙二醇2000和聚乙二醇4000,后者产生的孔洞比前者密;对光致发光性质进行了研究,结果表明聚乙二醇2000的加入使发光强度增大。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 sno2薄膜 添加剂 微结构 光致发光
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不锈钢表面纳米SnO2/TiO2复合薄膜制备及防腐蚀性能 被引量:3
6
作者 王爱萍 周爱华 《中国海洋大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2020年第3期81-87,共7页
采用溶胶凝胶法在不锈钢基体(304ss)上制备叠层式纳米SnO2/TiO2复合薄膜。使用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)表征纳米复合薄膜材料的晶体结构和微观形貌,通过交流阻抗技术(EIS)和极化曲线(Polarization Curves)电化学方法研究不... 采用溶胶凝胶法在不锈钢基体(304ss)上制备叠层式纳米SnO2/TiO2复合薄膜。使用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)表征纳米复合薄膜材料的晶体结构和微观形貌,通过交流阻抗技术(EIS)和极化曲线(Polarization Curves)电化学方法研究不锈钢表面纳米复合薄膜在模拟海水体系中的腐蚀行为。结果表明:制备叠层式纳米复合薄膜TiO2为锐钛矿型,SnO2为金红石型;不锈钢表面构筑叠层式纳米SnO2/TiO2复合薄膜颗粒粒径小,分布均匀且表面致密。电化学测试表明,叠层式纳米SnO2/TiO2复合薄膜阻抗值高于TiO2薄膜,且对不锈钢基体阳极反应有明显钝化过程,具有良好防腐蚀性能;同时叠层式纳米SnO2/TiO2复合薄膜存在最优叠加SnO2层数,叠加3层SnO2的纳米SnO2/TiO2复合薄膜电极防腐蚀性能最佳。 展开更多
关键词 二氧化钛 二氧化锡 叠层式纳米复合薄膜 电化学 耐腐蚀性
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二甲基二氯化锡前驱体CVD制备SnO2∶F薄膜及其性能研究 被引量:1
7
作者 陈峰 张振华 +2 位作者 赵会峰 鲍思权 姜宏 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第24期6-10,15,共6页
采用二甲基二氯化锡(DMTC)为新前驱体,通过常压CVD法在硼硅玻璃基板上制备SnO_2∶F透明导电薄膜,研究了DMTC、TFA和H_2O的含量对薄膜结构及光电性能的影响,研究表明当F/Sn物质的量比为1∶1、H2O/Sn物质的量比为3∶2时,制备出可见光透过... 采用二甲基二氯化锡(DMTC)为新前驱体,通过常压CVD法在硼硅玻璃基板上制备SnO_2∶F透明导电薄膜,研究了DMTC、TFA和H_2O的含量对薄膜结构及光电性能的影响,研究表明当F/Sn物质的量比为1∶1、H2O/Sn物质的量比为3∶2时,制备出可见光透过率84.17%、方块电阻9.2Ω/□且结晶性能良好的多晶SnO_2薄膜。通过与单丁基三氯化锡(MBTC)为前驱体所制备薄膜的性能进行比较,结果表明,两种前驱体所制备薄膜均具有四方金红石结构,利用DMTC不仅可以制备出与MBTC性能相近的薄膜,同时薄膜表面更加均匀。 展开更多
关键词 二甲基二氯化锡 化学气相沉积法 sno2∶F薄膜
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立式雾化辅助CVD系统的设计与实现
8
作者 赵丹 向星承 +4 位作者 詹宇 陈茵豪 秦源涛 肖黎 龚恒翔 《微纳电子技术》 2025年第1期152-157,共6页
雾化辅助化学气相沉积(CVD)技术是一种高质量氧化物薄膜的低成本制备方法。设计并搭建了一套立式雾化辅助CVD系统,该系统包含了雾化源、立式反应腔体、加热、水冷和尾气处理模块。采用该系统制备了SnO_(2)薄膜,采用X射线衍射仪(XRD)对... 雾化辅助化学气相沉积(CVD)技术是一种高质量氧化物薄膜的低成本制备方法。设计并搭建了一套立式雾化辅助CVD系统,该系统包含了雾化源、立式反应腔体、加热、水冷和尾气处理模块。采用该系统制备了SnO_(2)薄膜,采用X射线衍射仪(XRD)对薄膜样品进行分析,并用扫描电子显微镜(SEM)观察样品表面形貌。实验结果表明:采用所设计的立式雾化辅助CVD系统制备出了沿(200)晶面生长的SnO_(2)薄膜,其(200)衍射峰半高宽为0.22°。SnO_(2)薄膜表面较大的晶粒呈现类金字塔状,薄膜表面颗粒尺寸较为均匀。通过计算得出薄膜表面最大颗粒平均粒径为145 nm。所设计的系统结构合理、操作简单,制备的薄膜具有较高的质量。 展开更多
关键词 雾化辅助化学气相沉积(CVD) 薄膜沉积系统设计 立式腔体 SnO_(2)薄膜 结构与形貌
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喷雾热解法制备SnO2:Sb+F透明导电薄膜
9
作者 赵高扬 魏征 +1 位作者 郅晓 张卫华 《中国材料科技与设备》 2006年第5期83-85,共3页
采用溶胶-凝胶与喷雾热解相结合的方法,在大面积浮法玻璃基板上制备出了SnO2:Sb+F透明导电薄膜,研究了F/Sn比例、基板温度与SnO2薄膜的结构、形貌、光电性能的关系。实验结果表明:在溶胶的Sn:Sb:F比例为1:0.04:0.5和基板温度... 采用溶胶-凝胶与喷雾热解相结合的方法,在大面积浮法玻璃基板上制备出了SnO2:Sb+F透明导电薄膜,研究了F/Sn比例、基板温度与SnO2薄膜的结构、形貌、光电性能的关系。实验结果表明:在溶胶的Sn:Sb:F比例为1:0.04:0.5和基板温度550℃的条件下,制备的SnO2:Sb+F薄膜具有最佳的导电性能及较高的透光率,薄膜方阻达25Ω/□,电阻率为7.5×10^-4Ω·cm,平均可见光透过率为77.4%,辐射率e=0.208,表现出了较好的低辐射性。 展开更多
关键词 透明导电薄膜 sno2:Sb+F 喷雾热解 光电性能 大面积
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退火处理对SnO2:F薄膜光电性能的影响 被引量:4
10
作者 李铭 高倩 +2 位作者 刘涌 宋晨路 韩高荣 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期132-135,共4页
SnO2∶F薄膜作为low-e玻璃的表面功能层材料,广泛应用于节能镀膜玻璃。Low-e玻璃在后期退火(深加工)后,其性能的变化已经引起了学术研究和实际应用方面的的关注。我们对于用化学气相沉积法在玻璃表面沉积的约250nm厚的SnO2∶F薄膜进行... SnO2∶F薄膜作为low-e玻璃的表面功能层材料,广泛应用于节能镀膜玻璃。Low-e玻璃在后期退火(深加工)后,其性能的变化已经引起了学术研究和实际应用方面的的关注。我们对于用化学气相沉积法在玻璃表面沉积的约250nm厚的SnO2∶F薄膜进行不同的退火处理。并通过一系列的研究,结果发现,薄膜的结构、组成、电学、光学性能在氮气和空气两种不同的退火气氛下会有显著的变化。SnO2∶F薄膜的Low-e性能经过空气中高温退火后下降明显。通过计算对比退火后SnO2∶F薄膜的晶格常数和晶胞尺寸,提出了一种对于薄膜Low-e性能下降的合理解释。 展开更多
关键词 LOW-E sno2∶F薄膜 退火 常压化学气相沉积
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反应磁控溅射制备SnO2薄膜及其微观形貌与光致发光性能研究 被引量:1
11
作者 姚宏燚 袁志钟 +2 位作者 熊志高 翟艺璇 李东升 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第18期1-5,共5页
利用反应磁控溅射法(RMS)制备了SnO_2薄膜,并研究了溅射参数对薄膜微观结构和光学性能的影响。结果表明,随着溅射气压、氧分压的增大和衬底温度的升高,薄膜沉积速率相应减小;在不同衬底温度下(室温至600℃)溅射薄膜时,较高的衬底温度可... 利用反应磁控溅射法(RMS)制备了SnO_2薄膜,并研究了溅射参数对薄膜微观结构和光学性能的影响。结果表明,随着溅射气压、氧分压的增大和衬底温度的升高,薄膜沉积速率相应减小;在不同衬底温度下(室温至600℃)溅射薄膜时,较高的衬底温度可得到较大的SnO_2晶粒,表面更为粗糙;此外,将原生SnO_2薄膜在O_2气氛下退火可以改善其结晶度,原本的柱状结构转变成致密的薄膜结构,其光学禁带宽度变宽至3.85eV;经过退火的SnO_2薄膜的光致发光(PL)强度显著增强,位于约610nm的PL发光峰主要是源于SnO_2纳米晶体表面悬挂键的未饱和电子态。 展开更多
关键词 sno2 薄膜 反应磁控溅射 光致发光 光学禁带
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Preparation and Characterization of CeO_2-TiO_2/SnO_2:Sb Films Deposited on Glass Substrates by R.F.Sputtering 被引量:6
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作者 ZHAO Qingnan DONG Yuhong NI Jiamiao WANG Peng ZHAO Xiujian 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2008年第4期443-447,共5页
CeO2-TiO2 films and CeO2-TiO/SnO2:Sb (6 mol%) double films were deposited on glass substrates by radio-frequency magnetron sputtering (R.F. Sputtering), using SnO2:Sb(6 mol%) target, and CeO2- TiO2 targets wit... CeO2-TiO2 films and CeO2-TiO/SnO2:Sb (6 mol%) double films were deposited on glass substrates by radio-frequency magnetron sputtering (R.F. Sputtering), using SnO2:Sb(6 mol%) target, and CeO2- TiO2 targets with different molar ratio of CeO2 to TiO2 (CeO2:TiO2-0:1.0; 0.1:0.9; 0.2:0.8; 0.3:0.7; 0.4:0.6; 0.5:0.5; 0.6:0.4; 0.7:0.3; 0.8:0.2; 0.9:0.1; 1.0:0). The films are characterized by UV-visible transmission and infrared reflection spectra, scanning electron microscopy (SEM), Raman spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and X-ray diffraction (XRD), respectively. The obtained results show that the amorphous phases composed of CeO2-TiO2 play an important role in absorbing UV, there are Ce^3-, Ce^4- and Ti^4- on the surface of the films; the glass substrates coated with CeO2-TiO2 (Ce/Ti=0.5:0.5; 0.6:0.4)/SnO2:Sb(6 mol%) double films show high absorbing UV(〉99), high visible light transmission (75%) and good infrared reflection (〉70%). The sheet resistance of the films is 30-50 Ω/□. The glass substrates coated with the double functional films can be used as window glass of buildings, automobile and so on. 展开更多
关键词 coating glass CeO2-TiO/sno2:Sb double thin films absorbing UV IR reflection R.F. sputterin
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SnO2/TAPP复合薄膜光波导传感器的气敏性研究
13
作者 阿斯亚·买买提 姑力米热·吐尔地 +2 位作者 热娜古丽·阿不都热合曼 努尔古丽·喀日 阿布力孜·伊米提 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期167-174,共8页
硫化氢(H2S)是工业废气的主要成分之一,在空气中痕量H2S气体都会对人体健康造成严重危害,因此,有效地检测H2S气体至关重要。利用旋转甩涂法分别将SnO2粉末和5、10、15、20-(四-4-氨基苯基)卟啉(TAPP)固定在K+离子交换光波导元件表面,制... 硫化氢(H2S)是工业废气的主要成分之一,在空气中痕量H2S气体都会对人体健康造成严重危害,因此,有效地检测H2S气体至关重要。利用旋转甩涂法分别将SnO2粉末和5、10、15、20-(四-4-氨基苯基)卟啉(TAPP)固定在K+离子交换光波导元件表面,制备了SnO2/TAPP复合薄膜光波导(OWG)气体传感器(SnO2/TAPP-OWG),在室温下对H2S气体进行了检测,并考察了旋转速度和TAPP溶液浓度对SnO2/TAPP-OWG传感器气敏性的影响。实验结果表明,当旋转速度为1 100 r/min并TAPP溶液百分质量浓度为0.42%时,SnO2/TAPP-OWG传感器对H2S的响应最佳,并能够检测1×10-11(V/V0)的H2S气体。当SnO2/TAPP-OWG暴露于1×10-9(V/V0)的H2S气体时,响应时间和恢复时间分别为2.7和50 s,具有良好的重复性,并且相对标准偏差(RSD)值为3.00%。 展开更多
关键词 光波导传感器 sno2/TAPP复合薄膜 旋转甩涂法 有机-无机复合材料 硫化氢气体
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SnO2基薄膜气体传感器制作与敏感性测试 被引量:2
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作者 竺志大 王昌龙 《传感器世界》 2008年第11期18-21,共4页
在现有的粉末烧结型SnO2基气敏传感器基础上研制了薄膜型SnO2基气体传感器,以抛光的丽热石英玻璃为基片,真空磁控溅射50~70nm厚度的SnO2薄膜,在SnO2薄膜上分别溅射不连续的ZnO、Al2O3、CeO2、InO2等薄膜,传感器背面溅射30μm的Ni80... 在现有的粉末烧结型SnO2基气敏传感器基础上研制了薄膜型SnO2基气体传感器,以抛光的丽热石英玻璃为基片,真空磁控溅射50~70nm厚度的SnO2薄膜,在SnO2薄膜上分别溅射不连续的ZnO、Al2O3、CeO2、InO2等薄膜,传感器背面溅射30μm的Ni80Cr20电阳合金作为传感器加热电阻,用薄膜热电偶测量传感器工作温度。测试了不同的复合瞑对传感器灵敏度和选择性的影响,并对传感器的吸附与解吸速度进行了测试,薄嗅传感器达到相同灵敏度所需的工作温度比粉末烧结型传感器下降100~150℃,吸附解吸速度比粉末烧结型快。 展开更多
关键词 薄膜气体传感器 sno2烧结型气敏传感器 真空磁控溅射
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Al/SnO2/FTO结构双极型电阻开关的制备及其性质研究
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作者 赵飞 周磊 王鑫 《塑料助剂》 2019年第3期33-37,共5页
通过溶胶凝胶的方法,在FTO衬底上制备得到SnO2薄膜,并对SnO2薄膜的晶体结构以及荧光光谱(PL)进行了研究。XRD结果显示SnO2薄膜为多晶结构,荧光光谱结果表明SnO2薄膜存在氧空位以及氧填隙等缺陷。通过直流磁控溅射在SnO2薄膜上面溅射Al... 通过溶胶凝胶的方法,在FTO衬底上制备得到SnO2薄膜,并对SnO2薄膜的晶体结构以及荧光光谱(PL)进行了研究。XRD结果显示SnO2薄膜为多晶结构,荧光光谱结果表明SnO2薄膜存在氧空位以及氧填隙等缺陷。通过直流磁控溅射在SnO2薄膜上面溅射Al作为顶电极,并对Al/SnO2/FTO结构进行了电阻开关性质研究,测试结果表明器件具有双极型电阻开关性质和良好的阻态保持特性。对器件的电流-电压曲线特征进行了研究,认为SnO2薄膜内氧离子(氧空位)在电场作用下发生迁移,在Al/SnO2界面发生氧化还原反应是引起Al/SnO2/FTO电阻状态改变的原因。 展开更多
关键词 sno2薄膜 电阻开关 双极型 溶胶凝胶
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The effect of the film thickness and doping content of SnO2:F thin films prepared by the ultrasonic spray method
16
作者 Achour Rahal Said Benramache Boubaker Benhaoua 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2013年第9期21-25,共5页
This paper reports on the effects of film thickness and doping content on the optical and electrical properties of fluorine-doped tin oxide. Tin (Ⅱ) chloride dehydrate, ammonium fluoride dehydrate, ethanol and HC1 ... This paper reports on the effects of film thickness and doping content on the optical and electrical properties of fluorine-doped tin oxide. Tin (Ⅱ) chloride dehydrate, ammonium fluoride dehydrate, ethanol and HC1 were used as the starting materials, dopant source, solvent and stabilizer, respectively. The doped films were deposited on a glass substrate at different concentrations varying between 0 and 5 wt% using an ultrasonic spray technique. The SnO2:F thin films were deposited at a 350 ℃ pending time (5, 15, 60 and 90 s). The average transmission was about 80%, and the films were thus transparent in the visible region. The optical energy gap of the doped films with 2.5 wt% F was found to increase from 3.47 to 3.89 eV with increasing film thickness, and increased after doping at 5 wt%. The decrease in the Urbach energy of the SnO2:F thin films indicated a decrease in the defects. The increase in the electrical conductivity of the films reached maximum values of 278.9 and 281.9 (Ω.cm)-1 for 2.5 and 5 wt% F, respectively, indicating that the films exhibited an n-type semiconducting nature. A systematic study on the influence of film thickness and doping content on the properties of SnO2:F thin films deposited by ultrasonic spray was reported. 展开更多
关键词 sno2 FLUORIDE thin film film thickness TCO ultrasonic spray technique
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掺杂SnO_2透明导电薄膜电学及光学性能研究 被引量:42
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作者 郭玉忠 王剑华 +1 位作者 黄瑞安 王贵青 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期131-138,共8页
通过实验测量 sol-gel工艺制备的 Sb掺杂 SnO2薄膜载流子浓度、迁移率、电阻率、膜厚,紫外-可见光区透射率、反射率等性质,详细研究了Sb掺杂SnO2薄膜电学与光学性能.实验发现,薄膜具有良好的透光性和较高导电... 通过实验测量 sol-gel工艺制备的 Sb掺杂 SnO2薄膜载流子浓度、迁移率、电阻率、膜厚,紫外-可见光区透射率、反射率等性质,详细研究了Sb掺杂SnO2薄膜电学与光学性能.实验发现,薄膜具有良好的透光性和较高导电性,膜内载流子浓度高达1020cm-3,电阻率~10-2Ω·cm,透光率高达 90%,SnO2膜禁带宽度 Eg=37~3.80eV. 展开更多
关键词 Sb 掺杂 sno2薄膜 导电性 测量 透光度 反射率 电学性能 二氧化锡 半导体材料 光学性能
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二氧化锡薄膜的制备和应用研究进展 被引量:16
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作者 张谢群 余家国 +2 位作者 赵修建 赵丽 刘升卫 《化学试剂》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期203-206,共4页
介绍了近年来二氧化锡薄膜的制备方法和在功能材料中的应用。探讨了各种方法的特点,提出了今后二氧化锡薄 膜的发展趋势和应用前景。
关键词 二氧化锡薄膜 制备 应用 薄膜技术 功能材料 半导体材料 气敏材料 导电膜
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TiO_2/PtO-Pt复合膜和SnO_2/PtO-Pt复合膜氢敏性能的研究 被引量:10
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作者 牟勇燕 杜雪岩 +2 位作者 王远 郭洪猷 桂琳琳 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2003年第1期8-12,共5页
将PtO Pt纳米粒子膜与TiO2 ,SnO2 纳米粒子膜复合 ,利用PtO Pt纳米粒子膜作为插入电极和催化剂 ,设计并研制出一类新型双层结构复合膜气体传感器 .采用TEM和SEM对薄膜的显微结构进行了表征 .对空气中 4 0 %H2 的氢敏性能研究表明 :2 0 ... 将PtO Pt纳米粒子膜与TiO2 ,SnO2 纳米粒子膜复合 ,利用PtO Pt纳米粒子膜作为插入电极和催化剂 ,设计并研制出一类新型双层结构复合膜气体传感器 .采用TEM和SEM对薄膜的显微结构进行了表征 .对空气中 4 0 %H2 的氢敏性能研究表明 :2 0 0℃时 ,TiO2 /PtO Pt复合膜对氢气的灵敏度为 70 % ,而TiO2 纳米粒子膜无响应 .10 0℃时 ,SnO2 /PtO Pt复合膜的灵敏度为 92 % ,同样条件下 ,SnO2 纳米粒子膜的灵敏度仅为 4% .说明PtO Pt纳米粒子膜的催化作用能够显著提高TiO2 和SnO2 膜的氢敏性能 .另外 ,TiO2 /PtO Pt复合膜和SnO2 /PtO Pt复合膜均对空气中H2 展开更多
关键词 TiO2/PtO-Pt复合膜 sno2/PtO-Pt复合膜 氢敏性能 PtO-Pt纳米粒子膜 TIO2薄膜 sno2薄膜 氢气传感器 空气 氢气浓度 检测
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喷雾热分解法制备SnO_2透明导电薄膜 被引量:10
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作者 张锦文 武光明 +2 位作者 宋世庚 龚健 陶明德 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第3期313-313,316,共2页
利用压缩空气雾化器,通过喷雾热分解法,以SnCl2·2H2O为原料,在载玻片上成功制备了SnO2薄膜。在110℃到365℃间的不同沉积温度下进行镀膜,考察了沉积温度、沉积时间对SnO2薄膜制备的影响。结果表明:在... 利用压缩空气雾化器,通过喷雾热分解法,以SnCl2·2H2O为原料,在载玻片上成功制备了SnO2薄膜。在110℃到365℃间的不同沉积温度下进行镀膜,考察了沉积温度、沉积时间对SnO2薄膜制备的影响。结果表明:在325℃的沉积温度下,薄膜已晶化。随温度升高,喷雾时间增加,方块电阻降低。325℃下的样品在可见光区透射率达80%以上,近红外区透射率达90%以上。 展开更多
关键词 喷雾热分解 薄膜 透明导电性 二氧化锡
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