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介质隔离高精度MEMS谐振式压力传感器
被引量:
5
1
作者
李传昊
王军波
+2 位作者
商艳龙
谢波
张玉萍
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第4期219-227,共9页
为满足液体、气体多种介质中高精度压力测量要求,本文设计了一种介质隔离的高精度微机械电子系统(MEMS)谐振式压力传感器。为降低充油封装过程中压力传递损耗以及非线性问题,本文对波纹膜片的结构参数进行了仿真优化并确定了适合传感器...
为满足液体、气体多种介质中高精度压力测量要求,本文设计了一种介质隔离的高精度微机械电子系统(MEMS)谐振式压力传感器。为降低充油封装过程中压力传递损耗以及非线性问题,本文对波纹膜片的结构参数进行了仿真优化并确定了适合传感器芯体的膜片参数。采用MEMS加工工艺和真空微量充灌方法,完成了MEMS谐振式压力传感器芯体制作与充油封装。利用双谐振器压力、温度多参数协同敏感方法,在不外加温度传感器的条件下实现了温度自补偿。测试表明,封装后的传感器在-55℃~85℃工作温度范围内,准确度优于±0.01%FS、迟滞性误差优于0.006%FS、非线性误差优于0.003%FS、重复性误差优于0.008%FS。
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关键词
谐振式压力传感器
充油封装
温度自补偿
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职称材料
一种航空温度压力组合传感器的设计与制备
被引量:
1
2
作者
涂孝军
李闯
+2 位作者
温学林
林俞帆
何家强
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023年第10期1646-1654,共9页
设计了一种基于PT100感温元件和压力充油芯体的温度压力组合传感器。感温元件采用铠装铂电阻总体设计结构,通过快速响应封装和精度调节技术,优化了温度部分的响应时间和精度。压力传感器芯片采用绝缘体上硅(SOI)材料,解决了高温漏电流...
设计了一种基于PT100感温元件和压力充油芯体的温度压力组合传感器。感温元件采用铠装铂电阻总体设计结构,通过快速响应封装和精度调节技术,优化了温度部分的响应时间和精度。压力传感器芯片采用绝缘体上硅(SOI)材料,解决了高温漏电流问题。基于耐高温充油封装,搭配二极管/电阻网络补偿方法,传感器实现了-55~150℃温区内的高精度输出。通过振动特性仿真分析,验证了传感器总体结构的稳定性和可靠性。测试结果表明,传感器温度精度达到A级,25℃下压力精度为-0.19%FS,线性度为-0.13%FS,温度漂移为-0.0045%FS/℃。传感器最大外廓尺寸为Φ26 mm×85 mm,质量为130 g。
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关键词
温度压力组合传感器
铠装铂电阻
充油封装
网络补偿
高精度
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职称材料
题名
介质隔离高精度MEMS谐振式压力传感器
被引量:
5
1
作者
李传昊
王军波
商艳龙
谢波
张玉萍
机构
山东科技大学电子信息工程学院
山东中科思尔科技有限公司
中国科学院空天信息创新研究院传感技术国家重点实验室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第4期219-227,共9页
基金
国家重点研发计划(2021YFB2012003)
国家自然科学基金NSAF联合基金(U1930206,62121003,61825107)
+2 种基金
中科院关键技术团队(GJJSTD20210004)
中科院青年创新促进会会员(2022121)
山西省揭榜招标项目(20201101018)资助。
文摘
为满足液体、气体多种介质中高精度压力测量要求,本文设计了一种介质隔离的高精度微机械电子系统(MEMS)谐振式压力传感器。为降低充油封装过程中压力传递损耗以及非线性问题,本文对波纹膜片的结构参数进行了仿真优化并确定了适合传感器芯体的膜片参数。采用MEMS加工工艺和真空微量充灌方法,完成了MEMS谐振式压力传感器芯体制作与充油封装。利用双谐振器压力、温度多参数协同敏感方法,在不外加温度传感器的条件下实现了温度自补偿。测试表明,封装后的传感器在-55℃~85℃工作温度范围内,准确度优于±0.01%FS、迟滞性误差优于0.006%FS、非线性误差优于0.003%FS、重复性误差优于0.008%FS。
关键词
谐振式压力传感器
充油封装
温度自补偿
Keywords
resonant pressure sensor
oil-filled package
temperature self-compensated
分类号
TH823.2 [机械工程—精密仪器及机械]
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
一种航空温度压力组合传感器的设计与制备
被引量:
1
2
作者
涂孝军
李闯
温学林
林俞帆
何家强
机构
苏州大学工程训练中心
苏州长风航空电子有限公司
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023年第10期1646-1654,共9页
基金
中航航空电子“十四五”核心竞争力创新项目(YC2228)。
文摘
设计了一种基于PT100感温元件和压力充油芯体的温度压力组合传感器。感温元件采用铠装铂电阻总体设计结构,通过快速响应封装和精度调节技术,优化了温度部分的响应时间和精度。压力传感器芯片采用绝缘体上硅(SOI)材料,解决了高温漏电流问题。基于耐高温充油封装,搭配二极管/电阻网络补偿方法,传感器实现了-55~150℃温区内的高精度输出。通过振动特性仿真分析,验证了传感器总体结构的稳定性和可靠性。测试结果表明,传感器温度精度达到A级,25℃下压力精度为-0.19%FS,线性度为-0.13%FS,温度漂移为-0.0045%FS/℃。传感器最大外廓尺寸为Φ26 mm×85 mm,质量为130 g。
关键词
温度压力组合传感器
铠装铂电阻
充油封装
网络补偿
高精度
Keywords
temperature and pressure combination sensor
shield platinum resistor
oil filled package
network compensation
high precision
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
介质隔离高精度MEMS谐振式压力传感器
李传昊
王军波
商艳龙
谢波
张玉萍
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
5
下载PDF
职称材料
2
一种航空温度压力组合传感器的设计与制备
涂孝军
李闯
温学林
林俞帆
何家强
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023
1
下载PDF
职称材料
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