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基于光腔衰荡光谱技术NO_(3)和N_(2)O_(5)在线测量系统的表征与应用
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作者 张田甜 左澎 +3 位作者 马璟钰 叶春翔 林伟立 朱彤 《北京大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期563-574,共12页
报道自主研发的基于光腔衰荡光谱技术的大气NO_(3)/N_(2)O_(5)在线测量系统及其参数表征结果。在时间分辨率为1min的情况下,NO_(3)和N_(2)O_(5)最低检测限分别为1.7×10^(-12)和2.9×10^(-12)。在采样流量6L/min和使用1天滤膜... 报道自主研发的基于光腔衰荡光谱技术的大气NO_(3)/N_(2)O_(5)在线测量系统及其参数表征结果。在时间分辨率为1min的情况下,NO_(3)和N_(2)O_(5)最低检测限分别为1.7×10^(-12)和2.9×10^(-12)。在采样流量6L/min和使用1天滤膜的情况下,利用标准源实验确定NO_(3)和N_(2)O_(5)的采样损耗分别为17.0%和18.0%。Allan方差分析结果表明,在60~100s积分条件下可获得较好的系统稳定性。在北京城区开展大气NO_(3)和N_(2)O_(5)观测,结果表明测量系统可以满足大气环境中NO_(3)及N_(2)O_(5)的高灵敏度测量。 展开更多
关键词 NO_(3) N_(2)O_(5) 光腔衰荡光谱技术 参数表征
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光腔衰荡光谱法测定质子交换膜燃料电池用氢气中的痕量氨 被引量:1
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作者 杨孟智 王亚敏 +1 位作者 万伟 刘雅琼 《石油学报(石油加工)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期554-559,共6页
氨是质子交换膜燃料电池用氢气杂质控制中的一项重要指标,但现行检测方法存在检测限高或前处理繁琐等问题。为提升检测灵敏度和效率,应用光腔衰荡光谱技术对质子交换膜燃料电池用氢气中痕量氨进行测定。实验结果表明:光腔衰荡光谱法的... 氨是质子交换膜燃料电池用氢气杂质控制中的一项重要指标,但现行检测方法存在检测限高或前处理繁琐等问题。为提升检测灵敏度和效率,应用光腔衰荡光谱技术对质子交换膜燃料电池用氢气中痕量氨进行测定。实验结果表明:光腔衰荡光谱法的测定结果受管路死体积及测试压力影响较小;光腔衰荡光谱法的平衡时间受管路死体积及测试流量影响较大。在氨摩尔分数0.01~10.20μmol/mol范围内该方法具有良好的准确性,不受质子交换膜燃料电池用氢气中水、硫化氢、一氧化碳等杂质的干扰,是一种操作简便、灵敏度高、准确性好的测试方法,对完善燃料电池车用氢气质量管理体系具有一定意义。 展开更多
关键词 光腔衰荡光谱 质子交换膜燃料电池 氢气 痕量
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高重复频率实时采集的光腔衰荡光谱 被引量:13
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作者 戴东旭 孙福革 +3 位作者 康路 顾玉昆 沙国河 解金春 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 1997年第6期481-486,共6页
建立了一套脉冲激光衰荡光谱实验信号采集与处理系统。它以GPIB为控制和数据传输的界面。采用比国际上同类实验更合理严格的方式采集处理数据。实现了高重复频率。实时的波形信号传输。显示和处理。利用此装置测量了H2O从620... 建立了一套脉冲激光衰荡光谱实验信号采集与处理系统。它以GPIB为控制和数据传输的界面。采用比国际上同类实验更合理严格的方式采集处理数据。实现了高重复频率。实时的波形信号传输。显示和处理。利用此装置测量了H2O从620~665nm的振动泛频光谱。实验结果表明。该装置检测灵敏度达到5×10-8cm-1。 展开更多
关键词 光腔衰荡光谱 吸收光谱 泛频光谱 数据采集
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光腔衰荡光谱方法探测痕量一氧化碳气体 被引量:13
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作者 陈兵 周泽义 +2 位作者 康鹏 刘安雯 胡水明 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期971-974,共4页
基于通讯波段的分布式反馈半导体激光器(DFB),搭建了一套光腔衰荡光谱仪(CRDS)。衰荡光腔由一对反射率高于99.997%的高反镜组成,衰荡腔长约为130cm,空腔衰荡时间约为150μs。当光谱平均次数达到1 000次时,光谱仪灵敏度(最小可探测吸收系... 基于通讯波段的分布式反馈半导体激光器(DFB),搭建了一套光腔衰荡光谱仪(CRDS)。衰荡光腔由一对反射率高于99.997%的高反镜组成,衰荡腔长约为130cm,空腔衰荡时间约为150μs。当光谱平均次数达到1 000次时,光谱仪灵敏度(最小可探测吸收系数)达到5×10-12 cm-1。利用热隔绝的方式稳定衰荡腔长,并使用衰荡光腔自身作为光学标准具,来标定光谱的频率:利用反馈式光谱扫描程序步进改变激光器频率,使之与衰荡腔的纵模频率逐一匹配,从而实现所测得光谱的自动标定。通过测量一氧化碳分子在1.565μm附近的吸收光谱,测定气体中一氧化碳的含量。将光谱测量结果和标准样品中的一氧化碳含量进行对比,对装置的定量精度进行了检验,表明其对一氧化碳的探测极限达4ppbv。利用该装置对实际大气中一氧化碳的含量进行了实时监测。 展开更多
关键词 光腔衰荡光谱 DFB半导体激 一氧化碳 大气监测
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光腔衰荡光谱仪测量甲烷2ν_3带R1支光谱线型参数 被引量:4
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作者 杨雷 林鸿 +1 位作者 冯晓娟 张金涛 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第S1期299-300,共2页
甲烷是重要的温室气体,其在近红外具有丰富的强吸收谱带。本论文专注于甲烷的2ν_3带R1支,利用自行搭建的光腔衰荡光谱仪,测量了293.15K下甲烷(缓冲气:O_2)在30~760Torr范围内的7个线性吸收光谱,采用多光谱拟合技术对不同压力的光谱同... 甲烷是重要的温室气体,其在近红外具有丰富的强吸收谱带。本论文专注于甲烷的2ν_3带R1支,利用自行搭建的光腔衰荡光谱仪,测量了293.15K下甲烷(缓冲气:O_2)在30~760Torr范围内的7个线性吸收光谱,采用多光谱拟合技术对不同压力的光谱同时进行分析,比较讨论了Voigt Profile(VP),Rautian Profile(RP),Speed-dependent Voigt Profile(SDVP),Speed-dependent Rautian Profile(SDRP),HartmannTran Profile(HTP)线型对该吸收谱线的轮廓描述效果,获得了R1F1谱线的位置及展宽参数。实验表明,在该实验条件下,SDRP和HTP线型对R1光谱的拟合残差最小,最大拟合残差小于0.4%。 展开更多
关键词 光腔衰荡光谱 甲烷 线型 光谱拟合 Hartmann-Tran PROFILE
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基于量子级联激光器光腔衰荡光谱技术的痕量氨气检测 被引量:7
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作者 曲哲超 李斌成 韩艳玲 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期431-436,共6页
采用基于红外脉冲量子级联激光器的高灵敏光腔衰荡光谱(Cavity ring-down spectroscopy)技术建立了氨气在1027 cm-1(9.7μm)附近的吸收光谱痕量检测实验装置.使用该装置对人体口腔呼出气体以及超净实验室环境中氨气成份进行了测量和分析... 采用基于红外脉冲量子级联激光器的高灵敏光腔衰荡光谱(Cavity ring-down spectroscopy)技术建立了氨气在1027 cm-1(9.7μm)附近的吸收光谱痕量检测实验装置.使用该装置对人体口腔呼出气体以及超净实验室环境中氨气成份进行了测量和分析,氨气的检测灵敏度达到10 ppb.模拟分析了激光器光谱线宽对测量结果和系统检测灵敏度的影响,随着激光器光谱线宽的增加,测量结果偏低,系统检测灵敏度下降.为了减小光源线宽对测量结果的影响,通过修正曲线对测量数据进行修正,得到了较好的结果. 展开更多
关键词 光腔衰荡光谱 量子级联激 氨气 线宽
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光腔衰荡光谱技术用于OH浓度测量的误差分析 被引量:4
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作者 涂晓波 陈爽 +2 位作者 苏铁 母金河 杨富荣 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第2期20-25,共6页
光腔衰荡光谱技术(Cavity Ring Down Spectroscopy,CRDS)是一种高灵敏度的吸收光谱测量技术,在燃烧场激光光谱诊断领域里是一种十分重要的燃烧产物定量测量手段。文中研究了光腔衰荡光谱技术用于燃烧产物定量测量的原理,搭建了脉冲型光... 光腔衰荡光谱技术(Cavity Ring Down Spectroscopy,CRDS)是一种高灵敏度的吸收光谱测量技术,在燃烧场激光光谱诊断领域里是一种十分重要的燃烧产物定量测量手段。文中研究了光腔衰荡光谱技术用于燃烧产物定量测量的原理,搭建了脉冲型光腔衰荡光谱技术实验系统,选取OHA2Σ+-X2Π(0,0)电子跃迁带的P1(2)吸收线谱,在常压条件下对平面火焰的OH浓度进行了定量测量,并对激光器线宽及线型、激光器的频率稳定性、火焰温度、光腔参数等因素对测量误差的影响进行了分析讨论。误差分析给出了光腔衰荡光谱技术的几个关键注意事项,可为光腔衰荡光谱技术的应用提供指南。 展开更多
关键词 光腔衰荡光谱技术 误差分析 OH 浓度测量 平面火焰
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水汽对光腔衰荡光谱系统(CRDS)法测定CH_4的影响 被引量:4
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作者 臧昆鹏 方双喜 +3 位作者 周凌晞 姚波 张芳 刘立新 《环境化学》 CAS CSCD 北大核心 2012年第11期1816-1820,共5页
分析了CRDS法测定CH4浓度与水汽含量间的关系,并建立了水汽含量在0.50%—2.45%(体积比,以V/V表示,下同)范围内的有效校正方法.采用CRDS法对水汽含量为0.93%的CH4标气进行多次测量,测量值经校正后与理论值的偏差均小于2.0×10-9(体积... 分析了CRDS法测定CH4浓度与水汽含量间的关系,并建立了水汽含量在0.50%—2.45%(体积比,以V/V表示,下同)范围内的有效校正方法.采用CRDS法对水汽含量为0.93%的CH4标气进行多次测量,测量值经校正后与理论值的偏差均小于2.0×10-9(体积比,以V/V表示,下同),最大偏差1.8×10-9,优于大气本底CH4观测质控标准.校正瓦里关站CRDS系统试运行期间的CH4实测数据(水汽含量为0.50%—2.45%),与该站气相色谱-氢火焰离子化检测器系统(GC-FID系统,下同)同期测量结果相比,38.48%的数据偏差小于2.0×10-9,说明在系统未配备超低温冷阱除水单元之前,本文研究的校正方法适用于观测数据的校正. 展开更多
关键词 光腔衰荡光谱 甲烷 水汽校正
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介质阻挡放电等离子体中HO_2自由基的红外光腔衰荡光谱原位诊断 被引量:3
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作者 刘忠伟 徐勇 +3 位作者 杨学锋 赵国利 王卫国 朱爱民 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期535-539,共5页
建立了一套以可调谐半导体激光器做光源的连续波光腔衰荡光谱装置,简单介绍了连续波光腔衰荡光谱技术与脉冲光腔衰荡光谱技术的区别。将连续波光腔衰荡光谱技术与介质阻挡放电等离子体技术相结合,对等离子体中的HO2自由基进行了原位定... 建立了一套以可调谐半导体激光器做光源的连续波光腔衰荡光谱装置,简单介绍了连续波光腔衰荡光谱技术与脉冲光腔衰荡光谱技术的区别。将连续波光腔衰荡光谱技术与介质阻挡放电等离子体技术相结合,对等离子体中的HO2自由基进行了原位定量测量,同时考察了HO2自由基数密度随放电电压和体系中氧气含量变化情况。实验结果表明:随着放电电压和体系中氧气含量的增加而增加的HO2自由基数密度分别出现极大值。 展开更多
关键词 光腔衰荡光谱(CRDS) 红外光谱 HO2
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光腔衰荡光谱法中衰荡时间的优化提取 被引量:5
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作者 姜亚军 赵建林 杨德兴 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第7期1740-1745,共6页
采用列文伯格-马夸尔特算法(L-M)和最小二乘法(LS)对带有高斯白噪音的两种模拟衰荡信号进行了拟合分析.结果表明:L-M相对于LS所得结果更准确,相对误差更小,抗噪音能力更强,且重复性更好.搭建了两种光腔衰荡光谱法系统,分别得到连续和脉... 采用列文伯格-马夸尔特算法(L-M)和最小二乘法(LS)对带有高斯白噪音的两种模拟衰荡信号进行了拟合分析.结果表明:L-M相对于LS所得结果更准确,相对误差更小,抗噪音能力更强,且重复性更好.搭建了两种光腔衰荡光谱法系统,分别得到连续和脉冲衰荡信号,依据理论分析结果对实验数据进行了处理,所得结论与模拟结果一致. 展开更多
关键词 时间 光腔衰荡光谱 最小二乘算法 列文伯格-马夸尔特算法
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介质阻挡放电等离子体中OH自由基的光腔衰荡光谱原位诊断 被引量:2
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作者 刘忠伟 赵国利 +3 位作者 王健 朱爱民 杨学锋 徐勇 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期167-171,共5页
研制了一套等效噪声吸收可达3×10^-9 cm^-1的连续波光腔衰荡光谱装置。用该装置对介质阻挡放电等离子体中的OH自由基和水进行了原位定量测量,考察了OH自由基数密度随气压和放电电压以及放电频率的变化情浣。实验结果表明,在(2... 研制了一套等效噪声吸收可达3×10^-9 cm^-1的连续波光腔衰荡光谱装置。用该装置对介质阻挡放电等离子体中的OH自由基和水进行了原位定量测量,考察了OH自由基数密度随气压和放电电压以及放电频率的变化情浣。实验结果表明,在(2.13~22.0)×10^3Pa范围内,随着气压增加,OH自由基数密度在气压较低时增加;而在较高气压时由于H2O的解离吸附作用使得体系中电子密度减小,OH自由基数密度随之减小。随放电电压和放电频率增加介质阻挡放电等离子体中电子密度和电子能量增加而导致OH数密度增加。 展开更多
关键词 光腔衰荡光谱 红外光谱 OH 介质阻挡放电
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强流离子源光腔衰荡光谱应用研究 被引量:2
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作者 胡纯栋 焉镜洋 +1 位作者 王艳 梁立振 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第2期346-351,共6页
强流离子源是托卡马克中性束注入器的核心部件,为了满足未来对高能量离子束中性化效率的要求,负离子源成为中性束注入系统的首选。光腔衰荡光谱(cavity ring-down spectroscopy,CRDS)是一种超高灵敏探测吸收光谱技术。在强流负离子源中... 强流离子源是托卡马克中性束注入器的核心部件,为了满足未来对高能量离子束中性化效率的要求,负离子源成为中性束注入系统的首选。光腔衰荡光谱(cavity ring-down spectroscopy,CRDS)是一种超高灵敏探测吸收光谱技术。在强流负离子源中,利用氢负离子的光致剥离过程,CRDS可以用来测量氢负离子的绝对积分密度。与激光光致剥离法与光学发射光谱法相比,CRDS具有不受电磁干扰、不依赖等离子体参数、测量精度高等优点。强流离子源负离子密度测量所用CRDS系统由激光器、光学谐振腔、光电探测器和数据采集系统四部分组成。本文根据CRDS测量氢负离子密度的原理,详细推导了氢负离子密度的计算方法,给出了氢负离子密度测算表达式;然后,结合强流离子源实验室应用的具体情况,分析了各部分装置的选择原则与注意事项;最后,介绍了CRDS技术在德国马克斯-普朗克等离子体物理研究所、日本国立聚变科学研究所、意大利Consorzio RFX研究所强流负离子源研究中的应用情况。实验结果表明,源腔气压、源功率等源参数会影响氢负离子密度;铯的注入可以将氢负离子密度从1016 m-3量级提高到1017 m-3量级;同时,日本NIFS的实验结果证明氢负离子密度与引出电流呈线性关系。 展开更多
关键词 光腔衰荡光谱 氢负离子 强流离子源
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Ba原子吸收系数的光腔衰荡光谱测量 被引量:2
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作者 赵宏太 柳晓军 詹明生 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期284-286,共3页
建立了一套脉冲激光腔衰荡光谱实验装置 ,并将光腔衰荡光谱技术用于原子束吸收光谱的测量 ,得到了Ba原子的 6s6 p1P1← 6s6s1S0 吸收线 ,进一步得出Ba原子在 5 5 3 5 48nm附近的吸收系数 ,同时对吸收系数与原子炉温度的关系进行了分析 。
关键词 光腔衰荡光谱技术 吸收系数 原子吸收光谱 测量 钡原子 原子吸收系数
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光腔衰荡光谱法测定气体中微痕量水不确定度评估 被引量:8
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作者 周鑫 周泽义 《计量学报》 CSCD 北大核心 2012年第2期178-180,共3页
介绍了基于光腔衰荡光谱法测定气体中的微量水的方法原理,该方法适用于含量为0.2×10^-9~20×10^-6mol/mol的所有气体中水分的测定。建立了光谱分析法的原始数学模型,对测定方法的不确定度进行了评估,结果表明该方法的扩... 介绍了基于光腔衰荡光谱法测定气体中的微量水的方法原理,该方法适用于含量为0.2×10^-9~20×10^-6mol/mol的所有气体中水分的测定。建立了光谱分析法的原始数学模型,对测定方法的不确定度进行了评估,结果表明该方法的扩展不确定度为(8~20)×10^-9mol/mol(k=2,P=95%)。 展开更多
关键词 计量学 光腔衰荡光谱 气体湿度 不确定度
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光腔衰荡光谱技术及其应用综述 被引量:25
15
作者 宓云軿 王晓萍 詹舒越 《光学仪器》 2007年第5期85-89,共5页
光腔衰荡光谱(CRDS)技术是近几年迅速发展起来的一种吸收光谱检测技术。在介绍光腔衰荡光谱检测原理的基础上,详细推导了CRDS技术用于反射率测量和痕量气体浓度检测的理论公式。分析了CRDS技术由于实际吸收光程长,检测精度不受光源强度... 光腔衰荡光谱(CRDS)技术是近几年迅速发展起来的一种吸收光谱检测技术。在介绍光腔衰荡光谱检测原理的基础上,详细推导了CRDS技术用于反射率测量和痕量气体浓度检测的理论公式。分析了CRDS技术由于实际吸收光程长,检测精度不受光源强度及其变化的影响,因此具有检出限低,测量精度高,可靠性好等特性。综述了CRDS技术在微量污染气体监测中的应用及其发展趋势。最后提出了应用光腔衰荡光谱检测污染气体中不同有害成分浓度的一种新思路。 展开更多
关键词 光腔衰荡光谱 吸收光谱 时间 反射率测量 微量气体检测
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用光腔衰荡光谱法判断钕玻璃体损伤的产生 被引量:1
16
作者 黄祖鑫 蒋晓东 +3 位作者 任寰 何钱军 易亨渝 彭勇 《光学与光电技术》 2005年第6期54-56,60,共4页
运用光腔衰荡光谱技术测量钕玻璃在激光辐照下其透过率的变化,判断出钕玻璃体损伤的产生。实验采用直腔型衰荡光腔,通过检测钕玻璃在强激光辐照下产生应力时其透过率的变化,测试出了钕玻璃在强激光辐照下产生体损伤的激光能量密度。该... 运用光腔衰荡光谱技术测量钕玻璃在激光辐照下其透过率的变化,判断出钕玻璃体损伤的产生。实验采用直腔型衰荡光腔,通过检测钕玻璃在强激光辐照下产生应力时其透过率的变化,测试出了钕玻璃在强激光辐照下产生体损伤的激光能量密度。该测试方法灵敏度高,且对测试元件无破坏作用。 展开更多
关键词 光腔衰荡光谱 钕玻璃 透过率 体损伤 能量密度
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基于光腔衰荡光谱的气溶胶吸收系数测量方法不确定度分析
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作者 李保生 韩永 +2 位作者 纪峰 卢荣胜 费业泰 《大气与环境光学学报》 CAS 2011年第5期364-367,共4页
差分法(extinction minus scattering)是气溶胶吸收系数的常用测量方法之一。针对气候变化对气溶胶吸收系数的敏感性要求,理论分析了基于光腔衰荡光谱测量消光系数、散射系数的不确定度,推导了气溶胶吸收系数的不确定公式,并讨论了不同... 差分法(extinction minus scattering)是气溶胶吸收系数的常用测量方法之一。针对气候变化对气溶胶吸收系数的敏感性要求,理论分析了基于光腔衰荡光谱测量消光系数、散射系数的不确定度,推导了气溶胶吸收系数的不确定公式,并讨论了不同气溶胶单次散射联合反照率下气溶胶吸收系数的不确定度值,为研究大气气溶胶吸收对气溶胶辐射强迫以及气候强迫的影响提供参考。 展开更多
关键词 光腔衰荡光谱 气溶胶吸收系数 不确定度
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温室气体浓度监测的光腔衰荡光谱研究进展 被引量:13
18
作者 马路遥 林俊 +5 位作者 张亮 林鸿 冯晓娟 徐鸿 任歌 张金涛 《计量学报》 CSCD 北大核心 2022年第2期274-280,共7页
全球气候变化给人类生活带来的影响受到世界各国的普遍关注,温室气体是影响和改变全球气候的关键因素之一,限制和降低温室气体排放量成为人类发展的重要议题。温室气体大多都在10^(-6)(每百万个气体分子中所含该种气体分子的个数)级别,... 全球气候变化给人类生活带来的影响受到世界各国的普遍关注,温室气体是影响和改变全球气候的关键因素之一,限制和降低温室气体排放量成为人类发展的重要议题。温室气体大多都在10^(-6)(每百万个气体分子中所含该种气体分子的个数)级别,且气体分子结构差异大,因此传统方法很难获得较高的精度,而光腔衰荡光谱法是能解决该难题的关键技术之一。对光腔衰荡光谱法测量温室气体痕量成分的研究进展进行了综述,分析了目前信噪比和灵敏度最高的方法——基于稳频的光腔衰荡光谱法的测量原理以及研究进展,并对其未来发展进行了展望。 展开更多
关键词 计量学 温室气体 光腔衰荡光谱 浓度
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高灵敏的连续激光光腔衰荡光谱仪及其应用 被引量:4
19
作者 宋科峰 高波 +2 位作者 刘安雯 王娜 胡水明 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期835-838,共4页
基于连续可调谐的钛宝石激光光源,建立了光腔衰荡光谱(CRDS)装置,实验表明,其不但具有10-4cm-1的光谱分辨率,测量灵敏度也好于10-10.cm-1。通过对C2H2气体在12 696.4cm-1附近的吸收光谱测量,验证了该装置的定量测量能力,并通过对混有痕... 基于连续可调谐的钛宝石激光光源,建立了光腔衰荡光谱(CRDS)装置,实验表明,其不但具有10-4cm-1的光谱分辨率,测量灵敏度也好于10-10.cm-1。通过对C2H2气体在12 696.4cm-1附近的吸收光谱测量,验证了该装置的定量测量能力,并通过对混有痕量C2H2气体的氮气样品的光谱测量,表明该装置对C2H2气体的检测限为0.2ppmv。 展开更多
关键词 光腔衰荡光谱 振转光谱 痕量检测 乙炔
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5.2μm量子级联激光器光腔衰荡光谱技术的痕量水汽检测 被引量:7
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作者 周胜 韩艳玲 李斌成 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期3848-3852,共5页
高纯气体中水汽含量是半导体工业生产中的一个重要参数,气体中残余水汽含量即使是ppbv量级也会对产品质量产生影响。气体在中红外区域具有更丰富的特征谱线,在该区域对水汽含量进行检测十分必要。宽调谐范围、高输出功率和窄线宽量子级... 高纯气体中水汽含量是半导体工业生产中的一个重要参数,气体中残余水汽含量即使是ppbv量级也会对产品质量产生影响。气体在中红外区域具有更丰富的特征谱线,在该区域对水汽含量进行检测十分必要。宽调谐范围、高输出功率和窄线宽量子级联激光器的快速发展,推动了该区域红外光谱检测技术的发展。首次在中红外波段,采用5.2μm可调谐量子级联激光器,基于连续光腔衰荡光谱技术建立了痕量水汽的检测装置,并开展了痕量水汽检测实验。通过阿伦方差分析系统噪声水平,确定了光腔衰荡信号最优平均次数为602次。根据HITRAN数据库,模拟实验条件下1 905~1 925cm^(-1)范围内水汽的吸收截面,选取最佳的检测谱线位置。在常压和室温下,对1 918cm^(-1)附近的水汽吸收光谱进行测量,测定高纯氮气中的痕量水汽浓度,检测结果与标称值一致。在腔镜反射率为99.93%时水汽的检测灵敏度达到24.8ppbv。分析结果表明,中红外高灵敏痕量气体检测技术在工业监测、环境检测以及医学诊断等领域具有很好的应用前景。 展开更多
关键词 光腔衰荡光谱 量子级联激 痕量水汽
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