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亚波长金属梯形槽阵列光陷效应研究 被引量:3
1
作者 曹英浩 张斯文 +1 位作者 孙晓东 吴峰 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2019年第20期192-198,共7页
采用严格耦合波分析方法系统研究了平面波照明的亚波长梯形金属槽阵列的光学异常吸收现象。模拟了结构参数的改变对亚波长金属梯形槽阵列吸收效率的影响,并引入Fabry-Perot半解析模型对计算结果进行分析。研究结果表明,亚波长金属梯形... 采用严格耦合波分析方法系统研究了平面波照明的亚波长梯形金属槽阵列的光学异常吸收现象。模拟了结构参数的改变对亚波长金属梯形槽阵列吸收效率的影响,并引入Fabry-Perot半解析模型对计算结果进行分析。研究结果表明,亚波长金属梯形槽阵列的吸收增强现象主要来自槽内模式的Fabry-Perot共振效应及阵列结构间表面等离激元的能量传导耦合作用。当槽深满足Fabry-Perot共振条件,且阵列周期满足表面等离激元激发条件时,金属梯形槽吸收率峰值接近1。与矩形槽相比,选择适当的梯形槽斜边倾角可以在保证吸收率的同时,放宽槽深的加工容忍度,有助于降低器件加工难度,提升器件设计可行性。 展开更多
关键词 表面 表面等离激元 光陷效应 学异常吸收 严格耦合波分析 亚波长金属梯形槽阵列 Fabry-Perot模型
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新型亚波长陷光结构HgCdTe红外探测器研究进展 被引量:25
2
作者 胡伟达 梁健 +2 位作者 越方禹 陈效双 陆卫 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期25-36,51,共13页
综述了近几年来亚波长陷光结构Hg Cd Te红外探测器研究进展.系统介绍了一种结合有限元方法与时域有限差分方法对红外探测器的"光""电"特性进行联合模拟和设计方法,以及基于这种新的数值模拟方法对亚波长人工微结构H... 综述了近几年来亚波长陷光结构Hg Cd Te红外探测器研究进展.系统介绍了一种结合有限元方法与时域有限差分方法对红外探测器的"光""电"特性进行联合模拟和设计方法,以及基于这种新的数值模拟方法对亚波长人工微结构Hg Cd Te红外探测器的模拟和分析结果.理论分析和实验研制数据均显示这种新型亚波长人工微结构结构具有很好的陷光特性,在提高长波红外探测器性能方面具有潜在应用前景. 展开更多
关键词 HGCDTE红外探测器 亚波长人工微结构 效应 长波红外探测器 金属表面等离子激元
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硅基微纳结构薄膜中全向光吸收效应 被引量:1
3
作者 张晓彤 路海 +4 位作者 张现周 沈克胜 张坤 李丽君 黄蒙 《河南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2016年第6期62-66,共5页
研究了一种由硅基光子晶体与金属复合微纳结构薄膜中的全向光吸收效应。与完整的硅/金属复合薄膜进行比较研究发现,在硅薄膜厚度相同的条件下硅基微纳结构薄膜能够使吸光度提高近70%。此外,结果显示这种光吸收增强效应对入射角度的变化... 研究了一种由硅基光子晶体与金属复合微纳结构薄膜中的全向光吸收效应。与完整的硅/金属复合薄膜进行比较研究发现,在硅薄膜厚度相同的条件下硅基微纳结构薄膜能够使吸光度提高近70%。此外,结果显示这种光吸收增强效应对入射角度的变化不敏感。在以0°~60°角度入射的情况下,硅微纳结构薄膜都能够具备接近100%的光吸收。通过对能带以及场构型分析可以发现,这种现象产生的原因归结于金属平板与截断光子晶体中特殊的边界陷光效应和六角晶格的全向带隙。 展开更多
关键词 硅薄膜 微纳结构 效应 子晶体
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多晶硅不同晶面陷阱坑形貌与陷光效应的关系 被引量:12
4
作者 王坤霞 冯仕猛 +4 位作者 徐华天 田嘉彤 杨树泉 黄建华 裴骏 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期280-286,共7页
提出了多晶硅表面陷阱坑内表面高次绒面的陷光模型。利用测不准原理,分析了光子散射方向与绒面上凸点大小的关系,利用光学傅里叶变换推导了光子逃逸陷阱坑概率与绒面陷阱坑形貌的关系。理论分析结果表明内表面布满凹凸点的U字形陷阱坑... 提出了多晶硅表面陷阱坑内表面高次绒面的陷光模型。利用测不准原理,分析了光子散射方向与绒面上凸点大小的关系,利用光学傅里叶变换推导了光子逃逸陷阱坑概率与绒面陷阱坑形貌的关系。理论分析结果表明内表面布满凹凸点的U字形陷阱坑反射率比V字形的低;而内表面光滑的U字形陷阱坑的反射率比V字形的高。利用扫描电子显微镜拍摄了碱液刻蚀的多晶硅样品表面图像,分析了碱液刻蚀的不同晶面陷阱坑的形貌。[100]晶面呈峡谷状的陷阱坑,[111]晶面呈扭曲的U字形凹坑,[110]晶面则显示混合结构。实验测量了样品不同晶面的反射率曲线,证实了U字形陷阱坑的绒面具有相对低的反射率,与理论分析结果基本吻合。 展开更多
关键词 表面 多晶硅 表面结构 效应 反射率
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表面钝化对多晶硅绒面形貌的影响 被引量:6
5
作者 王坤霞 冯仕猛 +6 位作者 徐华天 单以洪 田嘉彤 黄建华 杨树泉 黄璐 周利荣 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期236-239,共4页
多晶硅表面制绒技术是太阳能光伏产业亟待突破的一个关键技术.本文根据多晶硅强酸制绒的基本原理,提出了表面活性剂钝化多晶硅表面以降低硅原子与酸反应速度从而改善多晶硅绒面形貌的方法.实验研究了不同含量的添加剂对酸液刻蚀多晶硅... 多晶硅表面制绒技术是太阳能光伏产业亟待突破的一个关键技术.本文根据多晶硅强酸制绒的基本原理,提出了表面活性剂钝化多晶硅表面以降低硅原子与酸反应速度从而改善多晶硅绒面形貌的方法.实验研究了不同含量的添加剂对酸液刻蚀多晶硅绒面形貌的影响,用扫描电镜观察对应的绒面结构,用积分反射仪测量其绒面的表面反射率.实验结果表明:加入活性剂后酸液能使多晶硅表面陷阱坑分布更加均匀,并且能有效消除产生漏电流的缺陷性深沟槽,样品表面反射率比较低,其表面反射率降低到21.5%.与传统酸液腐蚀的多晶硅绒面结构相比,陷阱坑密度明显增加,这种方法在多晶硅太阳电池的生产中是有价值的. 展开更多
关键词 多晶硅 绒面技术 效应 反射率
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多晶硅表面暗纹的形成以及消除技术研究 被引量:3
6
作者 徐华天 冯仕猛 +5 位作者 单以洪 田嘉彤 周玲 杨树泉 雷刚 鞠雪梅 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2012年第5期690-693,714,共5页
通过改变氢氟酸和硝酸的比列,进行了多晶硅表面腐蚀实验,实验研究发现不同配比酸液能刻蚀形貌不同的陷阱坑,消除深沟槽,但陷阱坑开口大,反射率比较高;在优化氢氟酸和硝酸配比的基础上加入阴离子活性剂,然后腐蚀多晶硅表面。实验样品的SE... 通过改变氢氟酸和硝酸的比列,进行了多晶硅表面腐蚀实验,实验研究发现不同配比酸液能刻蚀形貌不同的陷阱坑,消除深沟槽,但陷阱坑开口大,反射率比较高;在优化氢氟酸和硝酸配比的基础上加入阴离子活性剂,然后腐蚀多晶硅表面。实验样品的SEM显示,多晶硅表面能形成比较均匀开口小的陷阱坑,其表面反射率也比较低,而且能有效消除长而深的腐蚀沟槽,这对多晶硅太阳电池的研究具有一定的意义。 展开更多
关键词 多晶硅 绒面技术 效应 反射率 暗纹
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外加磁场对磁控溅射制备氮化硅陷光薄膜的影响 被引量:3
7
作者 江强 毛秀娟 +3 位作者 周细应 苌文龙 邵佳佳 陈明 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期520-526,共7页
在基底与靶材之间放置磁性强弱不同的永久磁铁来研究外加磁场对磁控溅射制备氮化硅陷光薄膜的影响.通过X射线衍射、原子力显微镜(AFM)以及紫外分光光度计分别测试了外加磁场前后所制备薄膜的组织结构、表面形貌和光学性能.结果表明,外... 在基底与靶材之间放置磁性强弱不同的永久磁铁来研究外加磁场对磁控溅射制备氮化硅陷光薄膜的影响.通过X射线衍射、原子力显微镜(AFM)以及紫外分光光度计分别测试了外加磁场前后所制备薄膜的组织结构、表面形貌和光学性能.结果表明,外加磁场后,氮化硅薄膜依然呈现非晶结构;但是表面形貌发生明显改变,中心磁场1.50T下,薄膜表面为特殊锥状尖峰结构"类金字塔"的突起,而且这些突起颗粒垂直于基底表面;在可见光及近红外范围内,中心磁场1.50T下的薄膜样品平均透射率最大,平均透射率达到90%以上,比未加磁场的样品提高了近1倍,具有很好的陷光特性. 展开更多
关键词 外加磁场 磁控溅射 氮化硅薄膜 效应
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不锈钢表面陷光微结构的纳秒激光制备 被引量:3
8
作者 吴勃 周明 +1 位作者 李保家 蔡兰 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期66-71,共6页
利用纳秒激光微加工技术在316L不锈钢表面制备了微孔阵列结构,实现了金属表面200~900 nm波长范围内光波的吸收增强。获得的微孔结构的直径和深度取决于激光的单脉冲能量和累积脉冲数。单脉冲能量相同时,随累积脉冲数的增加,孔深/孔... 利用纳秒激光微加工技术在316L不锈钢表面制备了微孔阵列结构,实现了金属表面200~900 nm波长范围内光波的吸收增强。获得的微孔结构的直径和深度取决于激光的单脉冲能量和累积脉冲数。单脉冲能量相同时,随累积脉冲数的增加,孔深/孔径比增加,脉冲次数超过1200时,比值趋于稳定。相同累积脉冲数条件下,单脉冲能量越小,孔深/孔径比越大。通过表面光反射率测试对微结构的陷光性能进行了评价,在微孔投影面积占总面积的比例相等、脉冲次数相同的条件下,单脉冲能量越小,所得微孔阵列结构的陷光能力越强。初步探讨了微孔结构特征的形成原因,以及微结构在提高金属表面陷光性能中的作用。 展开更多
关键词 超快 微结构制备 纳秒激 效应 不锈钢
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两步酸修饰的多晶硅绒面结构 被引量:5
9
作者 林育琼 冯仕猛 +3 位作者 王坤霞 裴俊 刘绍军 刘峰 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期707-710,共4页
本文提出两步法制备多晶硅表面绒面技术,用两次化学腐蚀修饰多晶硅片的表面。实验中首先采用腐蚀液HF/NaNO2/H2O对多晶硅表面进行腐蚀,然后采用腐蚀液HF/HNO3/(NH4)2C2O4/H2O对其表面进一步修饰。通过多晶硅SEM表面形貌图分析,两步法修... 本文提出两步法制备多晶硅表面绒面技术,用两次化学腐蚀修饰多晶硅片的表面。实验中首先采用腐蚀液HF/NaNO2/H2O对多晶硅表面进行腐蚀,然后采用腐蚀液HF/HNO3/(NH4)2C2O4/H2O对其表面进一步修饰。通过多晶硅SEM表面形貌图分析,两步法修饰的多晶硅表面有形状如蚯蚓状的腐蚀坑,腐蚀坑的深度和分布密度相对较大。通过反射谱分析了多晶硅片表面陷光效果,并与用其它方法修饰的硅表面陷光效果进行了对比,与传统配方HF/HNO3/H2O获得的多晶硅表面相比,综合平均反射率下降了7%左右。这种方法获得的多晶硅表面能有效收集太阳光,有利于提高太阳能电池的转换效率。 展开更多
关键词 酸腐蚀法 表面结构 效应 反射率
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多晶硅表面陷阱坑形貌对表面光反射率的影响 被引量:8
10
作者 钱勇 冯仕猛 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期294-299,共6页
利用光学傅里叶变换研究多晶硅绒面微结构形貌与反射率之间的关系。理论分析表明:多晶硅绒面反射率与表面微结构形貌、单位面积上陷阱坑数量有关。如绒面由V字型槽或坑构成,则绒面反射率比较高;如多晶硅表面上密集布满U字形坑或槽、内... 利用光学傅里叶变换研究多晶硅绒面微结构形貌与反射率之间的关系。理论分析表明:多晶硅绒面反射率与表面微结构形貌、单位面积上陷阱坑数量有关。如绒面由V字型槽或坑构成,则绒面反射率比较高;如多晶硅表面上密集布满U字形坑或槽、内表面绒面化,这种结构构成的绒面反射率低。实验上用不同比例的酸液刻蚀多晶体表面,用扫描电镜(SEM)观察多晶硅表面SEM图,测量了其表面反射率,分析表面结构形貌与反射率的关系。实验结果与理论分析相吻合。 展开更多
关键词 太阳能电池 多晶硅 形貌 效应 反射率
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Improved uniformity of deposited metallic layer on hybrid micro/nano-structured Si substrates fabricated by two-step laser ablation for SERS application
11
作者 LI Long-fan ZHOU Rui +2 位作者 CUI Jing-qin YAN Huang-ping WANG Zhen-zhong 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第10期3312-3322,共11页
Surface-enhanced Raman scattering(SERS) has been widely used as an effective technique for lowconcentration molecules detections in the past decades. This work proposes a rapid and accessible process to fabricate SERS... Surface-enhanced Raman scattering(SERS) has been widely used as an effective technique for lowconcentration molecules detections in the past decades. This work proposes a rapid and accessible process to fabricate SERS-active substrates with high uniformity and controllability based on two-step laser ablation. Laser beams directly ablate the surface of Si, concurrently creating microstructures and ejecting molten materials caused by the thermal effect that nucleate in ambient air. The nuclei grow into nanoparticles and deposit over the surface. These nanoparticles,together with microstructures, improve the light collection efficiency of the SERS-active substrates. Especially after Au thin film deposition, these nanoparticles can provide nanogaps as hotspots for SERS. By orthogonal experiment design,laser processing parameters for better performances are determined. Compared with substrates fabricated by single 1064 nm master oscillator power amplifier(MOPA) laser ablation, substrates ablated by the primary 1064 nm MOPA laser and secondary UV pulsed laser show more uniform nanoparticles’ deposition over the surface. The optimized largearea substrate has a SERS detection limit of 10^(-8)mol/L for 4-aminothiophenol(4-ATP), indicating the potential realworld applications for trace detection. 展开更多
关键词 laser ablation surface-enhanced Raman scattering(SERS) light trapping effect orthogonal experiment design
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非晶硅薄膜太阳能电池的紫外激光制绒工艺 被引量:6
12
作者 张超 张庆茂 +2 位作者 郭亮 吴煜文 吕启涛 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期147-153,共7页
为了提高非晶硅薄膜电池的转换效率和稳定性,采用纳秒紫外激光进行透明导电薄膜制绒,改变激光工艺参数,研究激光功率密度、重复频率、刻蚀速度和填充间距对透明导电薄膜电学、光学和晶体结构特性的影响;并根据不同制绒方式制备电池,比... 为了提高非晶硅薄膜电池的转换效率和稳定性,采用纳秒紫外激光进行透明导电薄膜制绒,改变激光工艺参数,研究激光功率密度、重复频率、刻蚀速度和填充间距对透明导电薄膜电学、光学和晶体结构特性的影响;并根据不同制绒方式制备电池,比较其输出性能。实验结果证明:当激光功率密度P=0.85×105 W/cm2,刻蚀速度v=600mm/s,重复频率f=50kHz,填充间距Δd=0.012mm时,获得薄膜方块电阻较小,陷光效果良好的绒面结构,有效地增强了电池吸收率,提高了电池的转换效率。 展开更多
关键词 电子学 制绒 效应 方块电阻 总透射率 绒度
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碱液刻蚀的多晶硅不同晶面微结构实验研究 被引量:6
13
作者 王坤霞 冯仕猛 +4 位作者 徐华天 田嘉彤 杨树泉 黄建华 裴骏 《中国科学:技术科学》 EI CSCD 北大核心 2012年第6期643-648,共6页
多晶硅碱液刻蚀技术一直是多晶硅太阳能电池研究的关键性技术之一.在普通的碱刻蚀液中加入一种添加剂,在温度78~80°C之间刻蚀多晶硅表面20min,用SEM观察多晶体硅表面结构.在多晶硅表面上首次观察到了碱液刻蚀出的密集均匀分布的陷... 多晶硅碱液刻蚀技术一直是多晶硅太阳能电池研究的关键性技术之一.在普通的碱刻蚀液中加入一种添加剂,在温度78~80°C之间刻蚀多晶硅表面20min,用SEM观察多晶体硅表面结构.在多晶硅表面上首次观察到了碱液刻蚀出的密集均匀分布的陷阱坑,只是样品不同晶面上的陷阱坑形貌稍有不同.[100]晶面上主要由纵横交错的致密的小硅山脉构成,小硅山脉之间存在长长的峡谷式的陷阱坑(沟);[110]晶面上密布大量的畸变三角形陷阱坑或矩形坑(洞);[111]晶面则分布蚯蚓状的陷阱坑.用积分反射仪测量了样品表面光反射率,在400~900nm波段平均反射率下降到20.5%.实验研究表明:添加剂能调节碱的刻蚀特性,经过添加剂调剂的碱液能在多晶硅表面刻蚀出具有良好陷光效应的绒面,添加剂调节的碱液刻蚀技术是一种有前途的多晶硅制绒技术. 展开更多
关键词 多晶硅 化学刻蚀 表面结构 效应 反射率
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温度场的分布对多晶硅酸腐蚀绒面形貌的影响 被引量:2
14
作者 徐华天 冯仕猛 +2 位作者 单以洪 雷刚 鞠雪梅 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期233-238,共6页
通过热传导方程,根据不同的边界条件,分别计算了多晶硅酸腐蚀反应时腐蚀坑周围的温度场分布。模拟计算表明:如在酸腐蚀液中采用制冷措施,使酸腐蚀液本体温度维持在15℃,会使硅表面腐蚀坑底部与腐蚀坑开口温度差变大,有利于绒面获得开口... 通过热传导方程,根据不同的边界条件,分别计算了多晶硅酸腐蚀反应时腐蚀坑周围的温度场分布。模拟计算表明:如在酸腐蚀液中采用制冷措施,使酸腐蚀液本体温度维持在15℃,会使硅表面腐蚀坑底部与腐蚀坑开口温度差变大,有利于绒面获得开口小深度大的陷阱坑;如不控制酸液温度,则会导致腐蚀坑底部与坑开口温度差较小,从而使硅片表面产生深度浅、开口大的陷阱坑。在不同的温度下对多晶表面进行酸腐蚀制绒,样品表面的扫描电子显微镜(SEM)图显示,低温下绒面腐蚀坑密度大、深度大且开口小,与模拟分析结果基本相符。 展开更多
关键词 表面 多晶硅 表面结构 效应 温度场
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单晶硅表面微结构调节技术的改进 被引量:1
15
作者 单以洪 冯仕猛 +5 位作者 王坤霞 田嘉彤 徐华天 周玲 杨树泉 鞠雪梅 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期910-915,共6页
提出改变碱液腐蚀单晶硅表面特性的一个简单方法,即在碱液中加入活性剂改变碱液在硅表面的润湿性能从而改变其腐蚀特性。分别采用普通碱液、四甲基氢氧化铵(tetramethylammonium hydroxide,TMAH)溶液和加入阴离子有机氟表面活性剂的普... 提出改变碱液腐蚀单晶硅表面特性的一个简单方法,即在碱液中加入活性剂改变碱液在硅表面的润湿性能从而改变其腐蚀特性。分别采用普通碱液、四甲基氢氧化铵(tetramethylammonium hydroxide,TMAH)溶液和加入阴离子有机氟表面活性剂的普通碱液腐蚀硅表面。结果发现:普通碱液和TMAH腐蚀液腐蚀的硅表面的金字塔大小差异大、有许多蜂窝状的小金字塔,反射率较高;用加入阴离子有机氟表面活性剂的普通碱液腐蚀的单晶硅表面,能形成比较规则的金字塔,金字塔尺寸为4~6μm、均匀性好、覆盖率高、表面反射率下降到12.65%。有机氟表面活性剂能提高硅在碱中腐蚀速率,有效调控单晶硅金字塔形貌、大小与分布,为精确调控单晶硅表面微结构提供了可能。 展开更多
关键词 单晶硅 表面微结构 金字塔 效应
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Improving UV stability of perovskite solar cells without sacrificing efficiency through light trapping regulated spectral modification 被引量:1
16
作者 Kaimo Deng Qinghua Chen +1 位作者 Ying Shen Liang Li 《Science Bulletin》 SCIE EI CSCD 2021年第23期2362-2368,共7页
The stability of perovskite solar cells is an important issue to be addressed for future applications.Perovskite solar cells are vulnerable to exposure to UV light due to promoted chemical reactions.However, preventin... The stability of perovskite solar cells is an important issue to be addressed for future applications.Perovskite solar cells are vulnerable to exposure to UV light due to promoted chemical reactions.However, preventing UV light from entering solar cells lowers the power conversion efficiency by reducing the photocurrent. The challenge is to improve UV stability without sacrificing efficiency. Here, we demonstrate the reduction of UV light-related negative effects from the perspective of spectral modification. By simultaneously introducing UV–visible downshifting and light trapping, perovskite solar cells can achieve a comparable efficiency of over 21% to that of an unmodified device. The optimized device obtains increased UV stability due to UV–visible downshifting. Different from other strategies, spectral modification externally alters the composition of incident light and improves UV stability without changing the internal device architecture, which is broadly applicable to perovskite solar cells with different structures. The present work may also find applications in other types of solar cells to boost the stability of devices exposed to UV light. 展开更多
关键词 UV stability Perovskite solar cells Downshifting Light trapping
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ZnO∶W透明导电薄膜的调制生长与表面氢化处理 被引量:1
17
作者 胡克艳 陈义川 +3 位作者 张效华 朱文均 帅伟强 胡跃辉 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第5期353-358,共6页
采用射频磁控溅射法,在不同溅射功率下沉积ZnO∶W薄膜层55min,然后通入体积分数为5%的氢气,并保持溅射参数不变,表面氢化处理8min,获得了表面具有绒面结构的ZnO∶W透明导电薄膜。对样品的显微形貌、结构和表面绒度等性能进行了测试与分... 采用射频磁控溅射法,在不同溅射功率下沉积ZnO∶W薄膜层55min,然后通入体积分数为5%的氢气,并保持溅射参数不变,表面氢化处理8min,获得了表面具有绒面结构的ZnO∶W透明导电薄膜。对样品的显微形貌、结构和表面绒度等性能进行了测试与分析,结果表明:在200 W的溅射功率条件下,氢化处理8 min获得的ZnO∶W样品表面绒度达到92.82,同时具备优异的导电性能(电阻率均值3.93×10^(-4)Ω·cm)。这种表面绒面结构有望进一步提高ZnO透明导电电极电池的转换效率。 展开更多
关键词 薄膜 ZnO∶W透明导电薄膜 磁控溅射 氢化处理 绒度结构 效应
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