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用平面全息衍射理论计算体全息光栅的衍射效率
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作者 何兴道 《南昌航空工业学院学报》 CAS 1992年第1期10-14,共5页
将体全息光栅视为许多平面全息光栅的集合,利用平面全息衍射理论导出体全息光栅衍射的耦合波方程。
关键词 全息光栅 全息光栅 光栅
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移频式全息光栅曝光干涉条纹锁定系统的设计 被引量:13
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作者 宋莹 巴音贺希格 +2 位作者 齐向东 张宁 唐玉国 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第2期318-324,共7页
建立了移频式全息光栅曝光干涉条纹锁定系统以提高全息光栅槽型对比度并降低由外部环境造成的曝光干涉条纹相位移动。根据系统的组成原理,分析了相位测量系统中莫尔条纹的产生条件及其与干涉条纹相位变化的关系,给出了探测器的选择方法... 建立了移频式全息光栅曝光干涉条纹锁定系统以提高全息光栅槽型对比度并降低由外部环境造成的曝光干涉条纹相位移动。根据系统的组成原理,分析了相位测量系统中莫尔条纹的产生条件及其与干涉条纹相位变化的关系,给出了探测器的选择方法。根据系统精度要求计算了A/D转换位数,自行设计了数字控制系统。提出采用光束移频方法来调整条纹相位,应用声光调制器对干涉条纹移动进行实时校正。实验结果表明,该系统采样频率可以达到5kHz,对干涉条纹漂移和10Hz以下的低频振动都有较好的抑制作用,相位变化3σ值小于0.12rad,即相位变化小于±0.02个干涉条纹周期。该系统可以实时有效地锁定曝光干涉条纹,较好地满足全息曝光的要求。 展开更多
关键词 全息光栅 曝光 莫尔条纹 相位锁定 声光调制器
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制作平面全息光栅的离轴抛物镜/洛埃镜干涉系统 被引量:12
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作者 巴音贺希格 邵先秀 +2 位作者 崔继承 李文昊 齐向东 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期56-63,共8页
设计和制作具有较高波前平面度和结构稳定的干涉曝光系统是研制高质量平面全息光栅的首要条件。对离轴抛物镜/洛埃镜系统、单透镜/洛埃镜系统、球面反射镜/洛埃镜系统和双分离透镜/洛埃镜系统等4种单反射镜干涉曝光系统产生的干涉条纹... 设计和制作具有较高波前平面度和结构稳定的干涉曝光系统是研制高质量平面全息光栅的首要条件。对离轴抛物镜/洛埃镜系统、单透镜/洛埃镜系统、球面反射镜/洛埃镜系统和双分离透镜/洛埃镜系统等4种单反射镜干涉曝光系统产生的干涉条纹直线度进行了光线追迹。在干涉场中放置标准光栅,使用于曝光的两束平行光入射到光栅上,从而衍射光相干叠加产生莫尔条纹;并对上述4个系统产生的莫尔条纹做了模拟。利用Zernike多项式对莫尔条纹进行拟合得到干涉曝光系统的波前像差,比较了4个系统的差异。结果表明,采用离轴抛物镜/洛埃镜系统制作中、小口径平面全息光栅是最为合适的。在此基础上,研制了用于制作最大尺寸为110 mm×110 mm,刻线密度〉1 200 l/mm的平面全息光栅的离轴抛物镜/洛埃镜干涉曝光系统,在洛埃镜和离轴抛物镜面形精度为λ/8(λ=632.8 nm)的前提下,平面全息光栅的衍射波前像差为0.239 6λ(λ=550 nm)。此系统经过消除外界扰动和精细装调后,可用于制作衍射波前像差达λ/6~λ/7(λ=550 nm)以上的平面全息光栅。 展开更多
关键词 平面全息光栅 离轴抛物镜 洛埃镜 干涉系统
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莫尔条纹法精确控制全息光栅光栅常数的研究 被引量:8
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作者 李文昊 张成山 +2 位作者 巴音贺希格 齐向东 王丽娟 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期2867-2873,共7页
为精确控制全息光栅的光栅常数,提高全息光栅的制作精度,提出了莫尔条纹法控制光栅常数的方法,建立光栅常数随莫尔条纹宽度变化的数学模型,分别讨论了不同莫尔条纹宽度对光栅常数的影响。通过检验莫尔条纹宽度,实现对干涉场条纹间距的检... 为精确控制全息光栅的光栅常数,提高全息光栅的制作精度,提出了莫尔条纹法控制光栅常数的方法,建立光栅常数随莫尔条纹宽度变化的数学模型,分别讨论了不同莫尔条纹宽度对光栅常数的影响。通过检验莫尔条纹宽度,实现对干涉场条纹间距的检验,可以提高全息光栅光栅常数的控制精度。实验结果表明,对于制作3 600 lines/mm全息光栅,其刻线密度控制精度可以达到±0.05 lines/mm。该模型正确反映了光栅常数随莫尔条纹宽度的演化规律,采用基准光栅结合莫尔条纹精确控制全息光栅光栅常数的方法能够满足全息光栅的制作要求,为全息光栅曝光系统的设计提供理论指导和设计方法。 展开更多
关键词 全息光栅 莫尔条纹 光栅常数 光学调整
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闪耀全息光栅离子束刻蚀工艺模拟及实验验证 被引量:10
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作者 吴娜 谭鑫 +1 位作者 巴音贺希格 唐玉国 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第9期1904-1912,共9页
依据特征曲线法推导了非晶体表面的离子束刻蚀模拟方程,结合全息光栅的刻蚀特点开发出离子束刻蚀模拟程序,并通过实验数据分析并优化了非晶体材料刻蚀速率与离子束入射角的关系方程,最后利用离子束刻蚀实验对所开发的离子束刻蚀模拟程... 依据特征曲线法推导了非晶体表面的离子束刻蚀模拟方程,结合全息光栅的刻蚀特点开发出离子束刻蚀模拟程序,并通过实验数据分析并优化了非晶体材料刻蚀速率与离子束入射角的关系方程,最后利用离子束刻蚀实验对所开发的离子束刻蚀模拟程序进行了实验验证。调节掩模与基底材料的刻蚀速率比为2∶1至1∶2,制作了线密度为1 200l/mm,闪耀角为~8.6°,非闪耀角为34°~98°的4种闪耀光栅,与刻蚀模拟程序的结果进行对比,模拟误差<5%;控制离子束刻蚀时间为6~14min,制作了线密度为1 200l/mm,闪耀角为~8.6°,顶角平台横向尺寸为0~211nm的6种光栅,与刻蚀模拟程序的模拟结果进行对比,模拟误差<1%。比较实验及离子束刻蚀模拟结果表明,离子束刻蚀模拟程序获得的模拟刻蚀轮廓曲线与实际刻蚀轮廓曲线的误差<5%;模拟刻蚀截止点与实际刻蚀截止点误差<1%。实验表明,提出的模拟方程可以准确地描述不同工艺过程和工艺参数对最终刻蚀结果的影响,进而可预知和控制离子束刻蚀过程。 展开更多
关键词 闪耀光栅 全息光栅 衍射效率 刻蚀模拟 离子束刻蚀
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高质量全息光栅的制作 被引量:12
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作者 黄德康 曹望和 +2 位作者 朱茂华 臧春雨 牛春辉 《光学技术》 CAS CSCD 2002年第3期255-256,共2页
全息光栅由感光版记录高斯光束干涉条纹制得 ,干涉条纹的不等宽性降低了光栅品质。制取高质量全息光栅的关键是要用均匀平面波作光源。在分析干涉区内光强分布的基础上 ,给出了制作等周期正弦全息光栅的两种方法 :限制曝光区大小的方法... 全息光栅由感光版记录高斯光束干涉条纹制得 ,干涉条纹的不等宽性降低了光栅品质。制取高质量全息光栅的关键是要用均匀平面波作光源。在分析干涉区内光强分布的基础上 ,给出了制作等周期正弦全息光栅的两种方法 :限制曝光区大小的方法和高斯光束强度均匀化的方法。 展开更多
关键词 全息光栅 高斯光束 干涉 均匀平面波
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超短脉冲激光光束在一维反射型体全息光栅中的衍射 被引量:7
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作者 王春花 闫爱民 +3 位作者 刘立人 刘德安 王欣 曲伟娟 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期1803-1807,共5页
基于Kogelnik的耦合波理论,研究了在色散效应的影响下,超短脉冲激光光束在反射型体全息光栅中衍射的性质·研究给出了衍射光及透射光在频谱域及时间域的振幅及强度分布、光栅的光谱宽度及衍射效率随光栅参量及入射条件的变化·... 基于Kogelnik的耦合波理论,研究了在色散效应的影响下,超短脉冲激光光束在反射型体全息光栅中衍射的性质·研究给出了衍射光及透射光在频谱域及时间域的振幅及强度分布、光栅的光谱宽度及衍射效率随光栅参量及入射条件的变化·数值研究的结果表明,在光栅记录介质色散效应的影响下,衍射光束的光谱宽度减小,脉冲展宽,衍射效率降低·通过适当的选取光栅参量及入射条件,可以控制衍射和透射光束的频谱和时间强度分布,得到满意的衍射和透射光束的带宽和波形,从而可以将其应用于脉冲整形等技术中· 展开更多
关键词 衍射 耦合波理论 全息光栅 超短脉冲光束
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基于聚合物分散液晶全息光栅的可调增益均衡器 被引量:10
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作者 丁维银 蔡继光 +4 位作者 沈国土 杨宝成 郑继红 顾玲娟 庄松林 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期511-515,共5页
从理论和实验两方面分析研究了聚合物分散液晶全息光栅在632.8nm光波的入射下的衍射谱特性和电压可调特性,实验结果与耦合波理论的计算结果具有很好的一致性,从实验上验证了用耦合波理论来描述聚合物分散液晶全息光栅的衍射特性是恰当的... 从理论和实验两方面分析研究了聚合物分散液晶全息光栅在632.8nm光波的入射下的衍射谱特性和电压可调特性,实验结果与耦合波理论的计算结果具有很好的一致性,从实验上验证了用耦合波理论来描述聚合物分散液晶全息光栅的衍射特性是恰当的.并且提出了利用聚合物分散液晶全息光栅对掺饵光纤放大器增益谱进行平坦化的方法,利用聚合物分散液晶全息光栅的电压可调特性可实现动态增益均衡.运用该方法,可使掺饵光纤放大器在C波段1530~1560 nm内,温度在0℃~65℃范围内变化,掺饵光纤放大器自发辐射谱的不平坦度从3.3dB降到0.2dBp-p(峰-峰值). 展开更多
关键词 光通信 掺铒光纤放大器 可调增益均衡器 聚合物分散液晶全息光栅
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用一种矩阵计算方法分析体积全息光栅(英文) 被引量:5
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作者 冯德军 开桂云 +3 位作者 刘志国 董孝义 路烁 刘大禾 《光子学报》 EI CAS CSCD 1999年第12期1102-1106,共5页
本文在用于分析体积全息光栅衍射特性的法布里珀罗腔理论模型的基础上,利用矩阵法计算并分析了体积全息光栅的衍射特性- 基于该理论模型的数值模拟结果与耦合波理论和以前的实验结果能较好地符合-
关键词 体积全息光栅 矩阵方法 折射率调制 衍射
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VCD和DVD用全息光栅衍射效率的分析 被引量:3
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作者 梁万国 郑婉华 +4 位作者 谢敬辉 梁恩主 陈良惠 李卉 刘浩 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期784-787,共4页
在 VCD和 DVD中由于使用了全息光学元件 ,全息光学读出头的元件数量比传统光头的元件数量少 .分析了光盘信号探测、聚焦、循迹原理 .推出了光栅衍射效率的一般计算公式 ,并给出了光栅沟槽形状为“方波”时光栅衍射效率的计算公式 ,由此... 在 VCD和 DVD中由于使用了全息光学元件 ,全息光学读出头的元件数量比传统光头的元件数量少 .分析了光盘信号探测、聚焦、循迹原理 .推出了光栅衍射效率的一般计算公式 ,并给出了光栅沟槽形状为“方波”时光栅衍射效率的计算公式 ,由此计算出了 VCD和 展开更多
关键词 全息光栅衍射效率 全息光学元件 VCD DVD 影碟机
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基于线阵CCD的全息光栅位移自动测量系统的研制与开发 被引量:4
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作者 赵育良 李开端 +1 位作者 许兆林 张忠民 《光学技术》 EI CAS CSCD 2002年第3期204-206,共3页
提出了一种新型的基于线阵CCD的全息光栅位移传感器 ,该系统利用线阵CCD分辨率高、像素均匀等特点 ,对干涉条纹的移动进行精确定位 ,全息光栅在测量过程中具有不受光源波长的影响、适用光谱范围宽等特点 ,实现了位移的自动精确测量。给... 提出了一种新型的基于线阵CCD的全息光栅位移传感器 ,该系统利用线阵CCD分辨率高、像素均匀等特点 ,对干涉条纹的移动进行精确定位 ,全息光栅在测量过程中具有不受光源波长的影响、适用光谱范围宽等特点 ,实现了位移的自动精确测量。给出了系统误差分析及结果数据 ,经实验 ,系统稳定可靠 ,精度高。 展开更多
关键词 线阵CCD 全息光栅 位移传感器 位移测量 自动测量系统
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全息光栅光刻胶掩模槽形演化及其规律研究 被引量:6
12
作者 陈刚 吴建宏 刘全 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期133-135,140,共4页
为了控制全息光栅光刻胶掩模槽形,运用曝光模型和显影模型模拟了掩模的槽形形成过程和变化规律。实验对比了不同曝光量,不同显影浓度,不同空频条件下的掩模槽形,特别是占宽比(光栅齿宽度与光栅周期的比)的情况。实验结果表明,实际槽形... 为了控制全息光栅光刻胶掩模槽形,运用曝光模型和显影模型模拟了掩模的槽形形成过程和变化规律。实验对比了不同曝光量,不同显影浓度,不同空频条件下的掩模槽形,特别是占宽比(光栅齿宽度与光栅周期的比)的情况。实验结果表明,实际槽形与模拟槽形很接近。模拟和实验均发现,在大曝光量、高浓度显影、高空频的光栅条件下所得槽形占宽比较小,槽深主要由原始胶厚决定。 展开更多
关键词 衍射光栅 全息光栅掩模 槽形模拟 占宽比控制
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一步法设计单色仪凹面全息光栅 被引量:3
13
作者 曾瑾 巴音贺希格 +1 位作者 李文昊 张金平 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第9期2586-2589,共4页
凹面全息光栅是光谱分析仪器的核心器件之一,其成像质量直接决定了光谱分析仪器的分辨本领。利用光程函数理论设计凹面全息光栅是一个繁琐的求解非线性方程组的过程,该过程分两步进行,每步需要求解四个非线性方程。分两步求解不但过程麻... 凹面全息光栅是光谱分析仪器的核心器件之一,其成像质量直接决定了光谱分析仪器的分辨本领。利用光程函数理论设计凹面全息光栅是一个繁琐的求解非线性方程组的过程,该过程分两步进行,每步需要求解四个非线性方程。分两步求解不但过程麻烦,还不可避免地引入了取舍误差,降低了最优参数的精度。为了解决该问题,本文提出了一种设计单色仪凹面全息光栅的新方法——一步法,该方法不但可以简化求解过程、降低最优参数的误差,还可以方便地控制整体像差的变化趋势。采用有较强全局搜索能力的遗传算法求解该方法中非线性方程的极值问题,并与传统的方法对比验证了该方法的可行性和正确性,结果表明,一步法不但在方法上比两步法简便,其设计结果还优于两步法。 展开更多
关键词 衍射光栅 凹面全息光栅 单色仪 消像差 遗传算法
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利用迈克耳孙干涉仪制作全息光栅——非物理专业本科教学拓展实验 被引量:15
14
作者 柯红卫 杨嘉 +4 位作者 贺秀良 张宝颖 刘洋 刘文辉 丁娜 《物理实验》 北大核心 2004年第7期30-32,共3页
使用迈克耳孙干涉仪制作了一维光栅和二维正交光栅 ,拓展了非物理专业本科教学实验内容 .
关键词 迈克耳孙干涉仪 全息光栅 干涉条纹
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密集型多重体全息光栅波长解复用技术 被引量:3
15
作者 忽满利 周景会 +3 位作者 李艳辉 刘继芳 李育林 谭玉山 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2004年第3期327-330,共4页
阐述了光折变多重体全息光栅作为滤波器实现波长解复用的原理,分析了滤波器的波长和角度选择特性,对器件设计中要考虑的问题进行了讨论。提出了实现多重体全息光栅波长解复用的实验方案和实用化要解决的问题。
关键词 波长解复用 多重体全息光栅 光折变效应
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高衍射效率的体积相位全息光栅优化设计 被引量:3
16
作者 李建龙 傅克祥 +2 位作者 张丽娟 朱建华 唐雄贵 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2005年第5期57-59,共3页
本文用严格的光栅理论研究了体积相位全息光栅的相位调制度中各参数的偏差对体积相位全息光栅衍射效率的影响,并依据物理意义提出了体积相位全息光栅的误差模型———GDAUA模型。为此,本文提出了在实验中用优化算法来处理GDAUA模型中的... 本文用严格的光栅理论研究了体积相位全息光栅的相位调制度中各参数的偏差对体积相位全息光栅衍射效率的影响,并依据物理意义提出了体积相位全息光栅的误差模型———GDAUA模型。为此,本文提出了在实验中用优化算法来处理GDAUA模型中的各种偏差对光栅衍射效率的影响,指导制作高衍射效率体积相位全息光栅,从而实现体积相位全息光栅的优化设计。 展开更多
关键词 体积相位全息光栅 傅立叶模方法 GDAUA 优化算法
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全息光栅干涉法测量曲面形貌的理论研究 被引量:11
17
作者 蒋向前 李柱 谢铁邦 《华中理工大学学报》 CSCD 北大核心 1994年第2期60-64,共5页
基于光栅原理,提出一种可用于任意曲面形貌测量的全息光栅干涉的新方法,给出了光学原理实验系统,系统中采用氦氖激光为光源,反射型柱面全息衍射光栅为标准器,并用计算机软、硬件对光栅信号进行细分处理.实验表明,系统可获得较宽... 基于光栅原理,提出一种可用于任意曲面形貌测量的全息光栅干涉的新方法,给出了光学原理实验系统,系统中采用氦氖激光为光源,反射型柱面全息衍射光栅为标准器,并用计算机软、硬件对光栅信号进行细分处理.实验表明,系统可获得较宽的动态范围和较高的分辨率,可用于测量曲面形貌. 展开更多
关键词 曲面形貌测量 光栅干涉 全息光栅
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利用阿贝成像原理制作全息光栅的理论分析 被引量:6
18
作者 王翚 刘香茹 石发旺 《河南科技大学学报(自然科学版)》 CAS 2006年第2期94-95,共2页
用相干光源照射黑白光栅,并通过透镜得到黑白光栅的像。在黑白光栅的频谱面上设置光阑,仅让±1 级衍射光通过,这样在像平面就得到全息光栅。通过改变物距和像距,可以连续改变横向放大率,从而改变像平面上光强分布的空间频率,于是在... 用相干光源照射黑白光栅,并通过透镜得到黑白光栅的像。在黑白光栅的频谱面上设置光阑,仅让±1 级衍射光通过,这样在像平面就得到全息光栅。通过改变物距和像距,可以连续改变横向放大率,从而改变像平面上光强分布的空间频率,于是在像平面上就得到强度按余弦规律变化的全息光栅。 展开更多
关键词 全息光栅 阿贝成像原理 傅立叶变换
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多级衍射全息光栅 被引量:3
19
作者 王应宗 吕且妮 +1 位作者 马琳 张以谟 《应用光学》 CAS CSCD 2000年第5期23-25,共3页
提出用 Mach- Zehnder干涉仪两步记录制作具有多级衍射的全息光栅方法。详细描述这种方法的原理 ,并提供了光栅样品的傅里叶谱及用这种多级衍射光栅实现图像多重的实验结果。
关键词 全息光栅 多级衍射 图像多重
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用多级衍射全息光栅实现2-D自由空间光学互连网络(英文) 被引量:2
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作者 吕且妮 张以谟 +2 位作者 王应宗 刘铁根 陈希明 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第9期1088-1091,共4页
用MachZehnder干涉仪分两步记录制作了具有多级衍射的全息光栅。利用其多级衍射效应,实现了一点到光栅正交密接实现2-D自由空间光学互连网络。结果表明该方法是可行的,且结构简单、操多点的光学互连。再将两个1-D作容易.
关键词 多级衍射全息光栅 光学互连 互连网络 ED自由空间 Mach-Zehnder-干涉仪
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