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星载迈克尔逊干涉仪直线动镜的柔性支撑结构研究
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作者 杨帅 孙剑 +7 位作者 严强强 冯玉涛 田飞飞 郝雄波 畅晨光 朱军 王灵杰 姚舜 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第10期203-212,共10页
针对传统迈克尔逊干涉仪动镜支撑结构存在成本高、寿命低、维护难度大、大行程大负载下导向精度差的问题,设计了一种高精度迈克尔逊干涉仪角镜柔性支撑结构,具有低成本、高精度、大负荷的优点。提出以柔性支撑结构的承载能力、行程和导... 针对传统迈克尔逊干涉仪动镜支撑结构存在成本高、寿命低、维护难度大、大行程大负载下导向精度差的问题,设计了一种高精度迈克尔逊干涉仪角镜柔性支撑结构,具有低成本、高精度、大负荷的优点。提出以柔性支撑结构的承载能力、行程和导向精度为优化目标的结构刚度模型,选择材料和尺寸参数,开展运动结构设计。有限元分析结果表明该支撑结构在1.5 kg的负载(角镜)下,当行程达到4.5 mm时,柔性结构的最大拉应力约为169 MPa,结构安全裕量为1.98,角镜竖直方向的寄生位移小于4.1μm。专项测试结果显示,支撑结构承载1.5 kg负载(角镜)在4.5 mm行程内,竖直方向的寄生位移小于4.7μm,直线度的均方根误差为1.5μm,与设计结果较吻合,可以满足星载迈克尔逊干涉仪对高精度直线动镜的支撑要求。 展开更多
关键词 迈克尔逊干涉仪 动镜 柔性支撑结构 刚度模型 寄生位移
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干涉光谱仪动镜倾斜误差容限分析 被引量:25
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作者 相里斌 杨建峰 +1 位作者 高瞻 刘改霞 《光子学报》 EI CAS CSCD 1997年第2期132-135,共4页
本文从调制度和相位误差角度,系统分析了双光束干涉光谱仪中,当光束孔径为圆形和矩形时,动镜运动过程中发生倾斜的影响,讨论了动镜倾斜容限以及减小动镜倾斜误差的方法.
关键词 干涉 光谱仪 动镜倾斜 调制度
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傅里叶变换红外光谱仪动镜倾斜误差分析 被引量:19
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作者 曾立波 尹邦胜 +1 位作者 何冰 龚丹 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期191-196,共6页
通过建立傅里叶变换光谱仪中动镜、定镜和干涉面的坐标对应关系,对动镜存在多个方向倾斜时的干涉光路进行了详细的分析。建立了非准直状态下干涉面光强分布的二维数学模型,确立了干涉图函数的数学表达式,从调制度、相位误差和频率噪声... 通过建立傅里叶变换光谱仪中动镜、定镜和干涉面的坐标对应关系,对动镜存在多个方向倾斜时的干涉光路进行了详细的分析。建立了非准直状态下干涉面光强分布的二维数学模型,确立了干涉图函数的数学表达式,从调制度、相位误差和频率噪声的角度,对动镜倾斜造成的影响进行了系统分析。在动镜的运动中,左右方向的倾斜和俯仰方向的倾斜对系统的影响彼此具有独立性,又具有叠加性;干涉图中初相位因子随光程差改变缓慢变化或快速变化,对相位误差的影响也不全相同。在倾斜误差分析的基础上,对动镜的最大倾斜角度和减少误差的方法进行讨论,并提出了两种动态准直校正的思路。 展开更多
关键词 傅里叶变换光谱仪 动镜倾斜 调制度 态准直 误差分析
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傅里叶变换红外光谱仪动镜倾斜和动态校准研究 被引量:12
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作者 冯明春 徐亮 +6 位作者 金岭 刘文清 高闽光 李胜 李相贤 童晶晶 刘建国 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期163-167,共5页
分析了迈克尔逊干涉仪中动镜和定镜在圆形通光孔径情况下动镜在扫描过程中倾斜对干涉调制度的影响.为满足干涉调制度要求,理论计算发现动镜倾斜角度需控制在1″以内,对应的相位误差为±6.6°以内.为了解决此问题,使动镜和定镜... 分析了迈克尔逊干涉仪中动镜和定镜在圆形通光孔径情况下动镜在扫描过程中倾斜对干涉调制度的影响.为满足干涉调制度要求,理论计算发现动镜倾斜角度需控制在1″以内,对应的相位误差为±6.6°以内.为了解决此问题,使动镜和定镜保持准直,采用定镜动态校准系统对动镜倾斜误差进行校准.实验结果表明,校准后的XR和YR相位误差的均方根分别为1.02°和1.25°,满足系统要求.动态校准系统能够有效地校准动镜长距离运动过程中发生的倾斜误差,对高分辨光谱仪的设计和研制具有一定的指导意义. 展开更多
关键词 迈克尔逊干涉仪 动镜倾斜 调制度 相位差 态校准
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基于DSP的傅里叶变换红外光谱仪动镜控制系统设计 被引量:15
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作者 王伟 陆亦怀 +2 位作者 陆钒 张天舒 付毅宾 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第1期8-16,共9页
在直线扫描式高精度傅里叶变换红外(FTIR)光谱仪系统的研制过程中,为了达到光谱图的质量和分辨率要求,提出了一种利用DSP芯片TMS320F28335作为控制器,直线电机运动平台带动动镜的系统设计方法。介绍了FTIR的优点以及TMS320F28335的性能... 在直线扫描式高精度傅里叶变换红外(FTIR)光谱仪系统的研制过程中,为了达到光谱图的质量和分辨率要求,提出了一种利用DSP芯片TMS320F28335作为控制器,直线电机运动平台带动动镜的系统设计方法。介绍了FTIR的优点以及TMS320F28335的性能特点,分析了FTIR系统的原理,详细阐述了电机控制系统的设计方案,给出了DSP、电机驱动器以及电机模块之间的硬件接口电路和软件实现方法。实验证明,该电机控制系统具有很好的稳定性和很高的运动精度,其位置运动精度能够达到0.1μm,保证动镜做稳定可靠的直线运动。 展开更多
关键词 光电子学 傅里叶变换红外光谱仪 TMS320F28335 动镜 电机
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新型全柔性动镜机构的设计与分析 被引量:8
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作者 柳华 刘伟奇 +2 位作者 冯睿 魏忠伦 张健 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第1期184-189,共6页
在傅里叶变换光谱仪研制中,基于迈克尔逊干涉仪的动镜机构研制是技术难点之一,而柔性铰链机构则是动镜机构的核心部分。利用简单的平行两杆机构为基体进行复杂化设计,得出一种新型柔性铰链机构并对其进行原理分析,利用有限元分析软件Pat... 在傅里叶变换光谱仪研制中,基于迈克尔逊干涉仪的动镜机构研制是技术难点之一,而柔性铰链机构则是动镜机构的核心部分。利用简单的平行两杆机构为基体进行复杂化设计,得出一种新型柔性铰链机构并对其进行原理分析,利用有限元分析软件Patran和Nastran对其进行模拟计算,并和传统的平行两杆机构理论计算结果进行分析比较。结果表明,新型柔性铰链机构不仅使动镜的垂直耦合位移量缩小到原来的1.4%,而且将动镜的运动自由度有效地降至一维,为后续研究者提供参考。 展开更多
关键词 红外傅里叶变换光谱仪 动镜支撑机构 耦合位移 柔性铰链 有限元分析
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FTIR光谱仪中基于定镜调整的动镜运动控制研究 被引量:5
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作者 李忠兵 许贤泽 +2 位作者 乐意 徐逢秋 李军维 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期2295-2298,共4页
动镜是FTIR光谱仪中唯一不断运动的部件,动镜的匀速运动性能以及动镜与定镜的准直性好坏影响干涉效果和光谱图质量,直接制约着仪器的精度和分辨率,对仪器整体指标起着重要作用。文章围绕FTIR光谱仪中干涉仪动镜运动的匀速性以及其与定... 动镜是FTIR光谱仪中唯一不断运动的部件,动镜的匀速运动性能以及动镜与定镜的准直性好坏影响干涉效果和光谱图质量,直接制约着仪器的精度和分辨率,对仪器整体指标起着重要作用。文章围绕FTIR光谱仪中干涉仪动镜运动的匀速性以及其与定镜的准直性展开研究,使用相位检测技术对定镜的姿态作出动态调整以补偿动镜与定镜间的倾斜夹角,并且设计了具有磁悬浮特点的动镜支撑系统。文章采用改进的模糊PID控制算法实现动镜运动速度的精确调节,对该控制方案从硬件设计和算法上实现。结果表明所研发的动镜运动控制系统具有足够的精度和实时性,能够保证FTIR光谱仪中干涉仪所需的准直性及动镜匀速性的要求。 展开更多
关键词 FTIR光谱仪 动镜 磁悬浮 相位检测 模糊PID
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迈克尔逊干涉光谱仪动镜倾斜误差容限分析 被引量:12
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作者 杨庆华 周仁魁 赵葆常 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期677-680,共4页
系统分析了迈克尔逊干涉光谱仪中平面动镜在运动过程中发生倾斜致使反射光束偏转时对干涉图的影响.结果表明,光束偏转带来的误差分为三部分:光束偏转导致整体增加的恒定光程差,垂直光轴方向因不同光线而引入的偏移光程差以及偏转光束中... 系统分析了迈克尔逊干涉光谱仪中平面动镜在运动过程中发生倾斜致使反射光束偏转时对干涉图的影响.结果表明,光束偏转带来的误差分为三部分:光束偏转导致整体增加的恒定光程差,垂直光轴方向因不同光线而引入的偏移光程差以及偏转光束中心相对于光轴的偏移量.从调制度和相位误差角度给出了平面动镜倾斜误差容限,并讨论了减小干涉图受光束偏转影响的方法. 展开更多
关键词 干涉仪 动镜倾斜 调制度 相位误差
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柔性双补偿杆式动镜支撑机构的设计 被引量:6
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作者 柳华 刘伟奇 +2 位作者 冯睿 魏忠伦 张健 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期1313-1319,共7页
对红外傅里叶变换光谱仪动镜支撑机构的核心部分—柔性铰链机构进行了研究。以柔性单补偿杆式机构为基体,设计出一种柔性双补偿杆式机构。利用有限元分析软件Patran和Nastran对其进行了模拟计算,并和目前国内最好的柔性单补偿杆式机构... 对红外傅里叶变换光谱仪动镜支撑机构的核心部分—柔性铰链机构进行了研究。以柔性单补偿杆式机构为基体,设计出一种柔性双补偿杆式机构。利用有限元分析软件Patran和Nastran对其进行了模拟计算,并和目前国内最好的柔性单补偿杆式机构进行比较。然后,根据模拟计算得出的结构参数加工出简易实物,并对实物进行了实验测试及误差分析。结果表明,在模拟计算中,柔性双补偿杆式机构使动镜的垂直耦合位移缩小为柔性单补偿杆式机构的6.8%;误差分析认为柔节的长度公差是引起动镜垂直耦合位移的一个重要因素。因此,若要提高动镜支撑机构的精度,加工时必须严格控制与柔节相关的尺寸公差。 展开更多
关键词 红外傅里叶变换光谱仪 迈克尔逊干涉仪 动镜机构 柔性铰链机构 有限元分析 垂直耦合位移
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基于柔性铰链支撑的动镜扫描系统 被引量:3
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作者 谢非 冯飞 +2 位作者 王府北 吴琼水 曾立波 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期2343-2347,共5页
为了改进傅里叶变换红外光谱仪的动镜驱动装置,设计了一种基于柔性铰链支撑的动镜扫描系统。采用柔性铰链的支撑方式和音圈电机的驱动方式,利用具有高精度高稳定性的直角型柔性铰链支撑机构支撑动镜,利用音圈电机驱动动镜前后往复运动,... 为了改进傅里叶变换红外光谱仪的动镜驱动装置,设计了一种基于柔性铰链支撑的动镜扫描系统。采用柔性铰链的支撑方式和音圈电机的驱动方式,利用具有高精度高稳定性的直角型柔性铰链支撑机构支撑动镜,利用音圈电机驱动动镜前后往复运动,采用DSP控制系统对动镜的匀速进行控制。实验结果表明所设计的动镜扫描系统具有方向稳定性、速度稳定性、抗震性能优越等优点。 展开更多
关键词 动镜 傅里叶变换红外光谱仪 柔性铰链 音圈电机
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一种傅里叶变换光谱仪动镜速度测量系统 被引量:2
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作者 孙方 代作晓 +2 位作者 华建文 窦秀明 王模昌 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2007年第2期283-286,共4页
介绍了一种基于FPGA的傅里叶变换光谱仪动镜速度测量系统。该系统利用迈克尔逊干涉仪,通过光电转换将干涉条纹转换为干涉脉冲电信号,用干涉脉冲计数的方法测量动镜的运动速度,采用FPGA实现了干涉脉冲的数字滤波、动镜运动方向判别、干... 介绍了一种基于FPGA的傅里叶变换光谱仪动镜速度测量系统。该系统利用迈克尔逊干涉仪,通过光电转换将干涉条纹转换为干涉脉冲电信号,用干涉脉冲计数的方法测量动镜的运动速度,采用FPGA实现了干涉脉冲的数字滤波、动镜运动方向判别、干涉脉冲计数并利用FPGA片内RAM实现了数据的实时存储,具有实时性好、集成度高的优点。给出了实测的动镜速度曲线。 展开更多
关键词 傅里叶变换光谱仪 FPGA 动镜 速度测量
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音圈电机驱动光谱仪动镜的数字控制 被引量:4
12
作者 窦秀明 代作晓 +2 位作者 华建文 孙方 龚惠兴 《科学技术与工程》 2007年第17期4292-4295,共4页
为改进傅立叶光谱仪的光谱图质量和光谱分辨率,从控制的实时性、灵活性及精度方面考虑,提出采用模糊PID算法控制音圈电机的方案。通过理论分析及实验,可知采用模糊PID数字控制方案,算法主要是简单地查表,满足实时性要求,且动态响应特性... 为改进傅立叶光谱仪的光谱图质量和光谱分辨率,从控制的实时性、灵活性及精度方面考虑,提出采用模糊PID算法控制音圈电机的方案。通过理论分析及实验,可知采用模糊PID数字控制方案,算法主要是简单地查表,满足实时性要求,且动态响应特性基本和期望值一致。首先建立了系统模型,分析了采用PID控制前后的系统特性。由分析可知采用PID校正,系统的动态和稳态性能都有很大提高。然后讨论了模糊-PID控制及其数字实现方法,将PID和模糊PID控制算法在DSP中实现。通过实验测试了控制效果,实验结果表明,采用模糊-PID控制,动镜的速度波动和有效行程明显改善。 展开更多
关键词 动镜 音圈电机 态响应 比例-微分-积分(PID) 模糊
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一种低耦合位移动镜支撑机构静动态性能分析 被引量:1
13
作者 肖前进 贾宏光 +1 位作者 韩雪峰 席睿 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2013年第4期975-981,共7页
为控制FTIR光谱仪中迈克尔逊干涉仪的动镜做一维的精密直线运动,研究了一种低耦合位移的动镜支撑机构。利用单平行和双平行四杆机构的优点,基于柔性铰链设计了一种动镜支撑机构。根据材料力学及机构动力学理论,对基于压电陶瓷(PZT)驱动... 为控制FTIR光谱仪中迈克尔逊干涉仪的动镜做一维的精密直线运动,研究了一种低耦合位移的动镜支撑机构。利用单平行和双平行四杆机构的优点,基于柔性铰链设计了一种动镜支撑机构。根据材料力学及机构动力学理论,对基于压电陶瓷(PZT)驱动器驱动的动镜支撑机构系统的静、动态性能进行了分析。仿真结果表明,低耦合位移动镜支撑机构在外力对称作用时无垂直耦合位移,在外力偏移1 mm非对称作用时其耦合转角的数量级(以度为单位)为10-6;在输出相同位移时,动镜机构的最大应力约为双平行四杆机构的0.5倍;动镜机构的基频f为211.3 Hz,PZT驱动器和动镜机构构成的机电系统的固有频率fn为823.7 Hz,fn约为f的4倍,满足动镜支撑机构系统的动态性能要求。该研究为后续的进一步研究打下了基础,具有一定的工程价值及理论指导意义。 展开更多
关键词 FTIR光谱仪 动镜支撑机构 柔性铰链 PZT驱
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对迈克尔逊干涉仪动镜面及机械空程的校准 被引量:1
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作者 戴玮 赵学民 《实验室研究与探索》 CAS 2001年第6期92-92,105,共2页
本文针对迈克尔逊干涉仪动镜面与其运动轴线不垂直 ,及空程大给实验带来的影响 。
关键词 机械空程 动镜 迈克尔逊干涉仪 校准
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光谱仪动镜倾斜误差分析及其动态校正技术研究 被引量:7
15
作者 尹邦胜 曾立波 +1 位作者 雷俊锋 杨琨 《光学仪器》 2006年第1期74-79,共6页
采用了双光束干涉的迈克尔逊干涉仪系统的傅里叶变换红外光谱仪,在动镜运动过程中,动镜可能在三个方向发生倾斜。通过建立干涉面光强分布的二维数学模型,确立了干涉图函数的数学表达式,从调制度、相位误差和频率噪声的角度,对动镜倾斜... 采用了双光束干涉的迈克尔逊干涉仪系统的傅里叶变换红外光谱仪,在动镜运动过程中,动镜可能在三个方向发生倾斜。通过建立干涉面光强分布的二维数学模型,确立了干涉图函数的数学表达式,从调制度、相位误差和频率噪声的角度,对动镜倾斜误差进行了系统分析。在误差分析的基础上,对动镜容许的最大倾斜角度进行了讨论,并对其动态校正技术的要点做了分析。 展开更多
关键词 傅里叶变换光谱仪 动镜倾斜 调制度 态校正
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傅里叶变换光谱仪动镜驱动控制技术 被引量:2
16
作者 刘日龙 殷德奎 《红外》 CAS 2009年第9期20-25,共6页
动镜驱动控制技术是傅里叶变换光谱仪的重要组成部分。本文从干涉成像光谱技术原理出发,介绍了迈克尔逊型傅里叶变换光谱仪动镜驱动技术的进展及其应用情况。提出了新型摆扫式干涉机构动镜驱动系统的方案。基于模糊PID控制策略,给出了... 动镜驱动控制技术是傅里叶变换光谱仪的重要组成部分。本文从干涉成像光谱技术原理出发,介绍了迈克尔逊型傅里叶变换光谱仪动镜驱动技术的进展及其应用情况。提出了新型摆扫式干涉机构动镜驱动系统的方案。基于模糊PID控制策略,给出了此驱动系统的闭环控制实现方法。 展开更多
关键词 傅里叶变换 干涉仪 直线电机 动镜 模糊控制
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迈克尔逊型傅里叶光谱仪动镜直线运动 被引量:3
17
作者 代作晓 《红外》 CAS 2002年第2期1-10,共10页
1 引言分光计是一类重要的空间遥感仪器,它可以从空间不断测量全球三维空间的温度场、气压场、水气分布、云和大气气溶胶以及微量气体的含量,显著提高天气预报的质量。
关键词 迈克尔逊型傅里叶光谱仪 动镜直线运 基本原理 特点 分光计 空间遥感仪器
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傅里叶变换红外光谱仪动镜故障的排除
18
作者 刘书钢 沈万力 +2 位作者 汪国强 张贵德 王双印 《分析仪器》 CAS 1995年第4期50-51,共2页
如果动镜不动,傅里时变换红外光谱仪就不能实现波长扫描。本文以美国MATTSON仪器公司Alipha Centauri傅里叶交换红外光谱仪为例,分析了导致动镜不动的各种原因,并提出了排除故障的方法。
关键词 傅里叶变换 红外光谱仪 动镜 故障排除
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空间大气环境干涉式监测仪动镜驱动技术 被引量:1
19
作者 窦秀明 《红外》 CAS 2004年第10期28-34,共7页
本文介绍了国内外干涉光谱仪的发展近况和迈克尔逊干涉仪的工作原理,研究了动镜的运动情况对干涉仪性能的影响以及国内外干涉光谱仪动镜驱动机构,然后介绍了DSP芯片的特点及控制电机运动的情况,最后对动镜驱动中存在的问题和难点进行了... 本文介绍了国内外干涉光谱仪的发展近况和迈克尔逊干涉仪的工作原理,研究了动镜的运动情况对干涉仪性能的影响以及国内外干涉光谱仪动镜驱动机构,然后介绍了DSP芯片的特点及控制电机运动的情况,最后对动镜驱动中存在的问题和难点进行了分析。 展开更多
关键词 大气环境干涉式探测仪 直流直线电机 动镜 DSP芯片
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重力对星载傅里叶光谱仪动镜系统的影响 被引量:1
20
作者 段娟 华建文 +1 位作者 王战虎 王海英 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期2613-2619,共7页
分析了太空失重对星载傅里叶光谱仪动镜系统的影响。针对动镜系统受重力影响的两个关键因素,提出了解决措施,并设计了实验室验证方法。考虑空间和地面重力环境的不同,分析了动镜未被驱动时重力对初始定位的影响和动镜被驱动后重力对运... 分析了太空失重对星载傅里叶光谱仪动镜系统的影响。针对动镜系统受重力影响的两个关键因素,提出了解决措施,并设计了实验室验证方法。考虑空间和地面重力环境的不同,分析了动镜未被驱动时重力对初始定位的影响和动镜被驱动后重力对运动机构回复力矩的影响。设计了精密初始机械限位使动镜从固定起始点开始运动控制,并且采用闭环PID控制与在轨可调整期望运动规律相结合的控制方法来校正动镜机构等效扭转刚度的变化。最后,提出了将整个动镜机构倒置的方式进行地面验证,并设计了动镜正、负位移不对称性偏差以及匀速区速度波动的性能测量方法。实验结果表明,正置和倒置时动镜正、负位移的不对称性偏差可以控制在6μm以内,其匀速区的速度波动均方根值分别为1.4%和1.1%。实验显示提出的解决方法简单可靠,性能指标满足傅里叶光谱仪的要求,为动镜系统的空间应用提供了技术途径。 展开更多
关键词 傅里叶光谱仪 动镜系统 失重 零光程差位置 机械限位 闭环控制
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