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对称薄膜双栅MOSFET温度特性的研究 被引量:1
1
作者 谌婧娇 陈军宁 高珊 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期776-779,共4页
文章对薄膜双栅MOSFET器件的温度特性进行了研究。首先对其进行理论分析,得到亚阈值电流、阈值电压和饱和电流等随温度的变化关系,并计算出理论结果,再用Medici模拟仿真加以验证,比较了不同温度下的输出特性、饱和漏电流、阈值电压与温... 文章对薄膜双栅MOSFET器件的温度特性进行了研究。首先对其进行理论分析,得到亚阈值电流、阈值电压和饱和电流等随温度的变化关系,并计算出理论结果,再用Medici模拟仿真加以验证,比较了不同温度下的输出特性、饱和漏电流、阈值电压与温度变化的关系,验证结果表明两者是一致的。 展开更多
关键词 薄膜双栅mosfet 温度 阈值电压 亚阈值电流
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自对准双栅MOSFET的结构与工艺实现 被引量:1
2
作者 钱莉 李伟华 《电子器件》 CAS 2002年第3期287-291,共5页
双栅MOSFET是一种非常有发展前途的新型器件 ,它具有跨导高、亚阈值特性优异、短沟道特性好等优点。自对准的双栅MOSFET结构中 ,栅与源漏之间无覆盖 ,对于实现最终的高性能十分重要。
关键词 自对准 结构 双栅mosfet 沟道
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纳米双栅MOSFET栅极漏电流的二维量子模拟(英文)
3
作者 唐睿 王豪 +2 位作者 常胜 胡月 王高峰 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2011年第5期286-290,共5页
基于非平衡格林函数(NEGF)的量子输运理论框架,对双栅MOSFET进行了二维实空间数值模拟。在对表征载流子电势的泊松方程自洽求解后,感兴趣的物理量(如亚阈值摆幅、漏致势垒下降、载流子密度、电流密度等)可以被求得,观察了由栅极注入效... 基于非平衡格林函数(NEGF)的量子输运理论框架,对双栅MOSFET进行了二维实空间数值模拟。在对表征载流子电势的泊松方程自洽求解后,感兴趣的物理量(如亚阈值摆幅、漏致势垒下降、载流子密度、电流密度等)可以被求得,观察了由栅极注入效应导致的二维电荷分布,并对不同电介质材料对栅极漏电流的影响进行了研究。此外,还通过调整电介质参数并进行比较的方法,研究了电介质的有效质量、介电常数、导带偏移对栅极漏电流的影响。该模拟方法为双栅MOSFET中载流子自栅极的注入提供了良好的物理图景,对器件特性的分析和比较有助于栅氧层高k电介质材料的选取。 展开更多
关键词 非平衡格林函数(NEGF) 量子效应 数值模拟 双栅mosfet 极漏电流
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超深亚微米自对准平面双栅MOSFET假栅的制作
4
作者 王志玮 徐秋霞 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期93-96,99,共5页
进入超深亚微米领域以后,传统CMOS器件遇到了器件物理、工艺技术等方面难以逾越 的障碍。普遍认为,必须引入新结构和新材料来延长摩尔定律的寿命。其中,双栅CMOS被认为是 新结构中的首选。在制作平面型双栅MOS器件中,采用自对准假栅结构... 进入超深亚微米领域以后,传统CMOS器件遇到了器件物理、工艺技术等方面难以逾越 的障碍。普遍认为,必须引入新结构和新材料来延长摩尔定律的寿命。其中,双栅CMOS被认为是 新结构中的首选。在制作平面型双栅MOS器件中,采用自对准假栅结构,利用UHV外延得到有源 区(S、D、G),是一种制作自对准双栅MOSFET的有效手段。文章详细研究了一种假栅制作技术。 采用电子束曝光,结合胶的灰化技术,得到了线宽为50 nm的胶图形,并用RIE刻蚀五层介质的方 法,得到了栅长仅为50 nm的自对准假栅结构。 展开更多
关键词 双栅mosfet 自对准 亚微米工艺
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纳米双栅MOSFET噪声输运特性的分析
5
作者 丁兵 《科技创新与应用》 2018年第20期20-21,25,共3页
在双栅纳米MOSFET中,输运参数对器件输运机制描述至关重要。文章主要对纳米双栅MOSFET输运的背散射系数进行研究,分别得到了器件在线性区和饱和区的背散射系数公式,并用Matlab编程体现背散射系数随沟道长度、温度和偏置电压的变化关系,... 在双栅纳米MOSFET中,输运参数对器件输运机制描述至关重要。文章主要对纳米双栅MOSFET输运的背散射系数进行研究,分别得到了器件在线性区和饱和区的背散射系数公式,并用Matlab编程体现背散射系数随沟道长度、温度和偏置电压的变化关系,文章得到的结果与已有文献给出的结果一致。 展开更多
关键词 双栅mosfet 噪声 输运机制 MATLAB
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双栅和环栅MOSFET中短沟效应引起的阈值电压下降 被引量:5
6
作者 甘学温 王旭社 张兴 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第12期1581-1585,共5页
基于电荷分享原理 ,推导了双栅和环栅 MOSFET短沟效应引起的阈值电压下降 ,分析了衬底掺杂浓度、栅氧化层厚度及硅膜厚度等因素对阈值电压下降的影响 ,并用数值模拟验证了理论结果 .这些研究结果对进一步开展纳米
关键词 双栅mosfet mosfet 阈值电压下降 短沟效应 场效应晶体管
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高k栅介质对短沟道双栅极MOSFET性能的影响
7
作者 亚森江.吾甫尔 买买提明.艾尼 +1 位作者 买买提热夏提.买买提 阿布都艾则孜.阿布来提 《新疆大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2015年第3期373-378,共6页
不断缩小半导体器件尺寸将引起二氧化硅绝缘层厚度逐渐地减薄,从而导致从栅极泄漏到衬底的栅极漏电流的明显增加,这制约了MOSFET性能的提升.为了进一步了解采用高k电介质材料增强MOSFET性能的物理机制,本文通过采用基于非平衡格林函数... 不断缩小半导体器件尺寸将引起二氧化硅绝缘层厚度逐渐地减薄,从而导致从栅极泄漏到衬底的栅极漏电流的明显增加,这制约了MOSFET性能的提升.为了进一步了解采用高k电介质材料增强MOSFET性能的物理机制,本文通过采用基于非平衡格林函数的数值模拟方法,探讨了高k电介质材料及其等效厚度对于短沟道双栅极MOSFET性能的影响.模拟结果表明,高k材料介电常数的增加或等效氧化层厚度(EOT)的减小均将引起沟道区域能量势垒高度的减小,从而导致沟道电子数密度的增加而使漏极电流增加.因此,采用高k电介质材料为绝缘膜可有效地束缚栅极漏电流,从而提高短沟道双栅极MOSFET的性能. 展开更多
关键词 器件性能 高k 漏电流 双栅mosfet
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亚100nm多栅MOSFET的三维模拟 被引量:2
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作者 夏志良 刘晓彦 +1 位作者 刘恩峰 韩汝琦 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第B05期140-143,共4页
使用三维模拟软件对具有FINFET的多栅结构(主要是双栅和三栅)进行了模拟,对比了双栅和三栅的I-V特性,发现三栅的特性要优于双栅;减小FIN宽度(即两个侧栅之间的距离),双栅和三栅结构特性之间的差距变小。
关键词 双栅mosfet 阈值电压 FINFET 三维模拟 短沟效应
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亚50nm双栅MOS场效应晶体管的流体动力学模拟
9
作者 刘弋波 刘恩峰 +1 位作者 刘晓彦 韩汝琦 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第B05期144-147,共4页
利用自主开发的流体动力学模拟软件对亚50nm沟长双栅MOS场效应晶体管的特性进行了模拟,比较了不同沟道长度时电子温度和漂移速度沿沟道方向的分布,并讨论了器件的短沟效应。
关键词 流体动力学 双栅mosfet 阈值电压 短沟效应 电子温度 漂移速度
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新结构MOSFET 被引量:1
10
作者 林钢 徐秋霞 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期527-530,533,共5页
 和传统平面结构MOSFET相比,新结构MOSFET具有更好的性能(如改善的沟道效应(SCE),理想的漏诱生势垒降低效应(DIBL)和亚阈值特性)和更大的驱动电流等。文章主要介绍了五种典型的新结构MOSFET,包括平面双栅MOSFET、FinFET、三栅MOSFET、...  和传统平面结构MOSFET相比,新结构MOSFET具有更好的性能(如改善的沟道效应(SCE),理想的漏诱生势垒降低效应(DIBL)和亚阈值特性)和更大的驱动电流等。文章主要介绍了五种典型的新结构MOSFET,包括平面双栅MOSFET、FinFET、三栅MOSFET、环形栅MOSFET和竖直结构MOSFET。随着MOSFET向亚50nm等比例缩小,这些新结构器件将大有前途。 展开更多
关键词 平面双栅mosfet FINFET mosfet 环形mosfet 竖直结构mosfet 集成电路
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Structure Design Considerations of a Sub-50nm Self-Aligned Double-Gate MOSFET
11
作者 殷华湘 徐秋霞 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第12期1267-1274,共8页
A comprehensive way to design a sub 50nm SADG MOSFET with the ability of being fabricated by improved CMOS technique is described.Under this way,the gate length and thickness of Si island of DG device show many diffe... A comprehensive way to design a sub 50nm SADG MOSFET with the ability of being fabricated by improved CMOS technique is described.Under this way,the gate length and thickness of Si island of DG device show many different scaling limits for various elements.Meanwhile,the spacer insulator shows a kind of width thickness on device drain current and circuit speed.A model about that effect is developed and offers design consideration for future.A new design of channel doping profile,called SCD,is also discussed here in detail.The DG device with SCD can achieve a good balance between the volume inversion operation mode and the control of V th .Finally,a guideline to make a SADG MOSFET is presented. 展开更多
关键词 double gate mosfet structure design sidewall effect SCD
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Analytical Modeling of Threshold Voltage for Double-Gate MOSFET Fully Comprising Quantum Mechanical Effects
12
作者 张大伟 田立林 余志平 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期429-435,共7页
The analytical solutions to 1D Schrdinger equation (in depth direction) in double gate (DG) MOSFETs are derived to calculate electron density and threshold voltage.The non uniform potential in the channel is concern... The analytical solutions to 1D Schrdinger equation (in depth direction) in double gate (DG) MOSFETs are derived to calculate electron density and threshold voltage.The non uniform potential in the channel is concerned with an arbitrary depth so that the analytical solutions agree well with numerical ones.Then,an implicit expression for electron density and a closed form of threshold voltage are presented fully comprising quantum mechanical (QM) effects.This model predicts an increased electron density with an increasing channel depth in subthreshold region or mild inversion region.However,it becomes independent on channel depth in strong inversion region,which is in accordance with numerical analysis.It is also concluded that the QM model,which barely considers a box like potential in the channel,slightly over predicts threshold voltage and underestimates electron density,and the error increases with an increasing channel depth or a decreasing gate oxide thickness. 展开更多
关键词 DG mosfet 1D analytical QM solution non uniform potential in channel depth direction electron density threshold voltage channel depth
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安捷伦科技推出用于ADS软件的NXP Semiconductors的射频小信号产品设计套件 被引量:1
13
《电子测试》 2010年第3期96-96,共1页
安捷伦科技公司(NYSE:A)日前宣布推出支持安捷伦先进设计系统(ADS)的恩智浦半导体公司(NXP Semiconductors)的射频小信号产品设计套件。该设计套件可使恩智浦的客户在ADS软件中轻松使用恩智浦射频宽带器件、二极管、功能FET、双... 安捷伦科技公司(NYSE:A)日前宣布推出支持安捷伦先进设计系统(ADS)的恩智浦半导体公司(NXP Semiconductors)的射频小信号产品设计套件。该设计套件可使恩智浦的客户在ADS软件中轻松使用恩智浦射频宽带器件、二极管、功能FET、双栅MOSFET和MMIC的全面的模型库。借助最新的设计套件,客户可以在建立原型之前使用ADS中进行仿真,从而大幅加快使用恩智浦元器件进行产品开发的速度,并缩短产品上市时间。 展开更多
关键词 安捷伦科技公司 ADS软件 产品设计 小信号 套件 射频 双栅mosfet 半导体公司
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安捷伦科技公司宣布推出用于ADS软件的NXP Semiconductors的射频小信号产品设计套件
14
《国外电子测量技术》 2010年第2期92-92,共1页
安捷伦科技公司推出支持安捷伦先进设计系统(ADS)的恩智浦半导体公司(NXP Semiconductors)的射频小信号产品设计套件。该设计套件可使恩智浦的客户在ADS软件中轻松使用恩智浦射频宽带器件、二极管、功能FET、双栅MOSFET和MMIC的全... 安捷伦科技公司推出支持安捷伦先进设计系统(ADS)的恩智浦半导体公司(NXP Semiconductors)的射频小信号产品设计套件。该设计套件可使恩智浦的客户在ADS软件中轻松使用恩智浦射频宽带器件、二极管、功能FET、双栅MOSFET和MMIC的全面的模型库。 展开更多
关键词 安捷伦科技公司 ADS软件 产品设计 小信号 套件 射频 双栅mosfet 半导体公司
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纳米MOSFET/SOI器件新结构 被引量:1
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作者 张正选 林成鲁 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2003年第2期222-226,共5页
重点介绍器件进入纳米尺度后出现的MOSFET/SOI器件的新结构,如超薄SOI器件、双栅MOSFET、FinFET和应变沟道等SOI器件,并对它们的性能进行了分析。
关键词 纳米mosfet/SOI器件 双栅mosfet FINFET 应变沟道 结构 CMOS器件
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A Complete Surface Potential-Based Core Model for Undoped Symmetric Double-Gate MOSFETs
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作者 何进 张立宁 +3 位作者 张健 傅越 郑睿 张兴 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期2092-2097,共6页
A surface potential-based model for undoped symmetric double-gate MOSFETs is derived by solving Poisson's equation to obtain the relationship between the surface potential and voltage in the channel region in a self-... A surface potential-based model for undoped symmetric double-gate MOSFETs is derived by solving Poisson's equation to obtain the relationship between the surface potential and voltage in the channel region in a self-consistent way. The drain current expression is then obtained from Pao-Sah's double integral. The model consists of one set of surface potential equations,and the analytic drain current can be evaluated from the surface potential at the source and drain ends. It is demonstrated that the model is valid for all operation regions of the double-gate MOSFETs and without any need for simplification (e. g., by using the charge sheet assumption) or auxiliary fitting functions. The model has been verified by extensive comparisons with 2D numerical simulation under different operation conditions with different geometries. The consistency between the model calculation and numerical simulation demonstrates the accuracy of the model. 展开更多
关键词 bulk mosfet limit non-classical CMOS double-gate mosfet device physics surface potential-based model
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Effects of Unintended Dopants on I-V Characteristics of the Double-Gate MOSFETs,a Simulation Study
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作者 李佩成 梅光辉 +3 位作者 胡光喜 王伶俐 刘冉 汤庭鳌 《Communications in Theoretical Physics》 SCIE CAS CSCD 2012年第7期171-174,共4页
In this paper, we study the effects of an unintended dopant in the channel on the current-voltage char-acteristics of a Double-Gate (DG) Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor (MOSFET). Non-Equilibrium Gree... In this paper, we study the effects of an unintended dopant in the channel on the current-voltage char-acteristics of a Double-Gate (DG) Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor (MOSFET). Non-Equilibrium Green's Function (NEGF) approach is used. A quantum transport model to calculate the drain current is presented and subthreshold swing and drain induced barrier lowering (DIBL) effect are studied. 展开更多
关键词 current-voltage characteristics double gate mosfet unintended dopant
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