湿法刻蚀条件对TFT中Cu电极坡度角和均一性的影响及工艺参数优化

目的 在高世代薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)产线的栅极刻蚀制程,明确大气压等离子体(Atmosphere Pressure Plasma,APP)清洗功率、清洗时间及刻蚀时间对刻蚀性能(关键尺寸偏差、均一性、坡度角)的影响规律,并获得最佳工艺条件,进而提升良率。方法 以APP清洗功率、清洗时间和刻蚀时间为影响因素,以关键尺寸偏差(CD Bias)、均一性、坡度角作为因变量,开展正交试验,明确因素影响重要性顺序;然后,对Cu电极坡度角的形成和刻蚀均一性变化进行分析;最后,采用回归分析获得刻蚀性能与刻蚀时间的函数关系式。结果 结果表明:刻蚀时间对刻蚀性能的影响最大,对APP清洁时间和功率的影响较小。刻蚀时间延长,关键尺寸偏差(CD Bias)增加、均一性变差、坡度角变大。为改善均一性和平缓坡度角,应缩短刻蚀时间。最佳工艺组合为:刻蚀时间85 s,APP电压9 kV,APP传输速度5 400 r/min。结论 刻蚀时间延长,未被光刻胶覆盖的Cu膜层被完全刻蚀,形成台阶,该台阶使刻蚀液形成回流路径。沿着回流路径,刻蚀液浓度、温度逐渐下降,刻蚀均一性由此恶化,坡度角因此增加。采用回归分析得到的刻蚀性能与刻蚀时间的函数关系式,为预测刻蚀效果和优选刻蚀时间提供了依据。

资料非均一性对分析淮河流域平均气温变化趋势的影响

均一性长序列气象资料是研究气候变化的重要基础,评估资料非均一性对分析淮河流域平均气温变化的影响,对于准确理解农业、生态和水资源等领域对气候变暖的响应具有一定指导意义。本研究基于国家气象信息中心提供的淮河流域172个台站1961-2018年逐日平均气温均一化数据和观测数据,采用一元线性回归计算气温变化速率,并通过定义非均一性影响及其贡献率两个术语,定量评估气候资料非均一性对分析淮河流域平均气温变化趋势的影响。结果表明:淮河流域96个气象站点的平均气温序列表现出不均一性,占总站点数的55.8%。均一化前、后,区域年平均气温均显著上升,但非均一性导致增温速率被低估,非均一性影响为-0.015℃·10a^(-1),贡献率达到-6.6%;空间上,20.3%站点受到正影响,升温速率被高估,非均一性贡献率平均为21.3%;35.5%站点为负影响,升温速率被低估,贡献率平均为-43.6%。四季区域平均气温的非均一性影响差异较小,春、夏、秋、冬四季分别为-0.016℃·10a^(-1)、-0.014℃·10a^(-1)、-0.016℃·10a^(-1)和-0.015℃·10a^(-1);但由于夏季增温速度最慢,非均一性贡献率绝对值最大,贡献率为-40.0%,春、秋和冬季的贡献率分别为-4.7%、-8.0%和-4.3%;在春、秋和冬季,非均一性主要影响各站点的气温变化速率,但夏季有11.6%的站点在均一化前后出现了气温升降趋势的转变。

吸入气雾剂递送剂量均一性考察抽样方案对比分析

目的比较吸入气雾剂递送剂量均一性考察中不同抽样方案的差异。方法汇总2020年版《中国药典(四部)》(简称ChP)、《European Pharmacopoeia 11.0(VolumeⅠ)》(简称EP)/《British Pharmacopoeia 2023(VolumeⅢ)》(简称BP)、《USP-NF online 2024》(简称USP)及我国进口药品注册标准(简称JX)中吸入气雾剂递送剂量均一性考察的抽样方案和判定标准。以硫酸沙丁胺醇吸入气雾剂为例,按ChP及USP抽样方案分别测定4家企业(企业A,B,C,D)6批样品的递送剂量均一性。采用蒙特卡洛模拟法进行数据模拟,并绘制工作特性曲线。结果按ChP抽样方案,样品的递送剂量均一性均符合规定;按USP抽样方案,仅企业C有1批样品的平均递送剂量不符合规定(低于70μg),且与企业D样品比较差异显著(P<0.05)。ChP的工作特性曲线较其他3种判定标准更宽,接受区域更广;EP/BP与JX抽样方案第一阶段接受概率和总接受概率均较接近;USP与JX抽样方案在标准差较小(≤6)时几乎相同,随着标准差的增大,前者的第一阶段接受概率和总接受概率下降程度更显著,在标准差≥10的情况下,其总接受概率<90%。结论不同抽样方案对吸入气雾剂递送剂量均一性的接受概率存在一定差异,USP较ChP,EP/BP,JX对变异较大的产品容忍度更低。

哮喘定量吸入器罐体旋转时长对药物递送剂量均一性的影响

目的定量吸入器是哮喘吸入给药最常用的装置,但患者在使用过程中往往存在未摇晃或摇晃不充分等问题,从而导致单揿药物递送剂量存在较大的差异性,长期将影响哮喘的治疗效果。因此,本研究拟搭建药物递送剂量均一性实验平台,采用紫外-可见分光光度法,分析万托林定量吸入器罐体旋转时长对药物递送剂量均一性的影响。方法研究首先选取130型直流电机作为旋转设备;然后,选取0.1 mmol/L氢氧化钠溶液作为空白溶剂,通过紫外-可见分光光度法测量不同浓度硫酸沙丁胺醇溶液的吸光度,从而得出其标准曲线及回归方程;接着,通过实验定量化分析电机转速在11600 rpm下罐体旋转时长对药物递送剂量均一性的影响;最后,探究罐体全生命周期在特定旋转时长下药物递送剂量的均一性。结果和结论定量吸入器罐体旋转时长对药物递送剂量均一性有显著影响。保持电机转速11600 rpm不变,当罐体旋转时长在10 s及以上时,单揿药物递送剂量均在80~90μg之间;而当罐体旋转时长低于10 s时,大部分药物递送剂量在80~90μg外;当罐体旋转时长为10 s并在电机停转9 s内完成致动时,罐体全生命周期内药物递送剂量在81.3~89.4μg之间,均一性较好。本研究定量化分析了罐体旋转时长对药物递送剂量均一性的影响,可为智能化定量吸入器的研发提供重要依据。

氨基磺酸镍镀层均一性与耐腐蚀性

为满足电子产业对电镀镍层更高的要求,以可伐合金盖板与陶瓷外壳为载体进行电镀氨基磺酸镍研究。在电镀过程中改变温度、pH值、电流密度等工艺参数后对氨基磺酸镍的镀层厚度、孔隙率与抗盐雾性能进行测试,得出了不同工艺参数对氨基磺酸镍镀层均一性以及耐腐蚀性能的影响规律。结果显示,在镀液温度与电流密度一定的情况下,当pH=4时,镀层均一性最好;在镀液温度与pH值一定的情况下,镀层均一性随着电流密度的增加而变差;在电流密度与pH值一定的情况下,镀液温度对镀层均一性无显著影响。在0.5~2 A/dm^(2)电流密度内,电流密度越高,耐腐蚀性越好。

益生菌产品工艺验证均一性指标的论证选择

益生菌产品功效成分主要为益生菌,其检测的重复性差异较大。益生菌产品辅料主要为益生元,其检测存在成本高,操作复杂等问题,所以益生菌产品在执行工艺验证时,均一性考察检测指标难于选择。通过对益生菌产品中辅料蛋白质的测定、不同益生菌粉配比产品中蛋白质含量测定、蛋白质测定方法定量限考察等试验,证实益生菌产品选择蛋白质作为工艺验证中均一性指标的合理性。同时根据不同人群对不同益生菌产品的需求,考察了多种益生菌蛋白含量以及多种益生菌产品的蛋白含量,证实选择蛋白质做均一性指标在不同产品中的合理性。

一次性搅拌系统均一性研究

探究一次性搅拌系统在生物制药工艺中的应用,旨在通过优化搅拌系统参数提高佐剂重悬的均一性,从而提升疫苗等生物制品的质量控制和生产效率。在一次性搅拌系统中选定6个取样位点,包括表面、底部等部位,设计实验将佐剂原液在一次性搅拌系统中稀释至不同浓度,在不同搅拌重量、不同搅拌转速、不同搅拌时间下取样检测铝含量,分析各参数对铝含量均一性的影响,确定最优参数组合。研究表明,200 L一次性搅拌系统在搅拌重量为200 kg、转速为150 rpm、搅拌时间为15 min的条件下,铝佐剂的重悬达到了较高的均一性水平;500 L一次性搅拌系统在搅拌重量为500 kg、转速为150 rpm、搅拌时间10 min的条件下,铝佐剂的重悬也可以达到较高的均一性水平。相较于其他测试条件,该参数组合显著降低了样品间的变异系数。建议在生物制药生产中采用这一参数配置,以实现更高效、更一致的生产流程。未来工作可进一步探索不同规模生产条件下该参数的普适性及长期稳定性测试。

长江三角洲地区降水资料的均一性检验与订正试验

该文对1961—2002年我国长江三角洲地区36个地面观测站的年、月降水资料序列作均一性检验和订正试验,以探讨我国年、月降水气候观测序列的均一化方法和思路。该文首先从与待检台站序列相关性较好、台站距离较近的台站中选取了若干站点作为待检台站的参考台站建立参考序列,采用传统的标准正态检验(SNHT)方法,对所研究的地区年降水的均一性进行了检验。检验结果显示,该地区降水序列中存在非均一性现象。考虑到所选地区站点密度仍然不够,文中还采用了一种不依赖于参考台站的思路,对上述检验结果进行了进一步确认后,最后对不连续序列进行了逐月订正调整。对比分析表明,对序列的订正较为合理。在已有的研究基础上,结合我国台站网络实际特点,提出结合不同思路来研究我国降水量数据均一性是必要的和可行的,应用该思路对于我国降水序列进行均一性研究具有一定的合理性和应用前景。

库车坳陷油气相态分布的不均一性及其控制因素

通过对库车坳陷不同地区油气地球化学特征的详细研究,发现库车坳陷油、气相态分布及地球化学特征具有不均一性。造成这种非均一性的原因有:烃源岩成熟程度的差异引起气/油比以及天然气地球化学特征的差异;成烃母质不同,造成液态烃与气态烃产率变化的多样性;在盖层封闭性稍差地区、有断裂破坏地区,天然气大量散失可形成残余油藏。库车坳陷存在多期成藏、多期构造运动,可捕获不同期的油气。

无皂乳液聚合法合成均一性聚苯乙烯微球

研究了聚苯乙烯微球的合成过程中 ,离子强度、聚合时间对粒径的影响及其稳定性。实验结果表明 :适当改变离子强度、聚合时间可以得到不同粒径的聚苯乙烯微球 。

青藏高原气温序列的均一性研究

气象观测资料是气候变化研究的基础,对气象资料进行均一性检验与订正能够提高气候变化研究的精度和准确性.利用青藏高原及周边地区1961-2010年65个气象站的逐月平均气温资料,运用PMFT方法对资料进行均一性检验与订正.结果表明:高原平均气温资料均一性状况较差,有32个站被检测出存在间断点,占总数的49%.用订正后均一的气温数据分析得出,高原1961-2010年年平均气温的升温率为0.32℃·(10a)-1,春、夏、秋、冬季的升温率依次为0.24℃·(10a)-1、0.26℃·(10a)-1、0.32℃·(10a)-1及0.48℃·(10a)-1,略小于用原始数据分析得到的结果.研究还发现,数据均一与否对高原整体气候变化分析结果影响不大,但对局地尺度的气候变化分析结果影响较大.鉴于高原的气候变化具有显著的区域差异性特征,因此,未来在对高原进行气候变化的差异性进行研究时,气象数据均一性的检验与订正工作就显得尤为重要.为提高数据均一性检验的精度,未来应加强气候资料均一性检验技术的研究并尽可能详尽地收集台站的元数据信息.

新疆太阳总辐射资料的均一性检验与气候学估算式的再探讨

参照新疆105个气象台站"元数据",在对12个辐射站逐月日照百分率与月总辐射资料序列进行质量控制检验的基础上,对无效值与缺测值进行了插补订正,继而以Potter非均一性客观检验方法对资料序列进行了非均一性检测,同时以SNTH方法对产生间断的序列进行了相应的非均一化订正。在均一化的月总辐射与月日照百分率资料序列基础上,探讨了利用辐射气候学估算总辐射的最佳方案及其系数的空间差异与年变化特征。结果表明:(1)月日照百分率序列仅乌鲁木齐与伊宁站有间断现象,而月辐射资料序列间断的有乌鲁木齐、伊宁、阿勒泰、哈密、和田站,且并非都与日照百分率序列同步间断。其中,和田、阿勒泰站月辐射资料序列非均一化现象最严重;(2)月辐射序列的间断大多出现在冬半年,这可能与冬季空中气溶胶含量的突然增加有关;(3)在利用辐射气候学估算式Q=Q0(a+bS)对新疆总辐射进行估算时,采用"单站单月式"效果最佳,单站平均绝对误差为3%～8%,系数a、b具有明显的空间分布特征与季节变化特征。除伊宁站外,两者还具有显著且稳定的互补关系;(4)新疆的年总辐射分布特征为自东向西、自南向北依次递减,天山山区为低值中心。秋季纬向特征最明显,冬季次之,春季转为经向,夏季多呈"涡状",且南北疆两大盆地辐射差异小。

多种均一性检验方法比较研究

气候资料的均一性检验对气候观测及变化研究有着重要作用。本文从四川省160个台站近50年气温资料中,选取具有连续观测记录的站点105个,综合SNHT(标准正态均一性检验)、Buishand检验、Pettitt检验、MASH(均一性序列多元分析)、TPR(二位相回归检验)和von Neumann比率法,对该省年平均气温进行均一性检验。结果表明有42个台站存在序列间断点,占40%;而不均一台站中,因迁站导致的有29个,更换仪器引起的有19个。对气温序列分年代统计发现不均一台站数目有增加的趋势,其中20世纪60—70和80—90年代不均一性均由台站迁移所致。评估不同检验方法的敏感度和适用性,发现SNHT法与Buishand法、Pettitt法检验结果相符率为48.6%,TPR法与其他方法相符率偏低,但该法不涉及邻近站是否均一,在分析中可做补充判断。参考四川省地形特征分析,SNHT法在盆地及山地台站的断点显露率最高,分别为67.6%和57.1%,漏检和误判较少;高原地区SNHT法和Buishand法显露率较高,其中Buishand法漏检和误判率最低。鉴于减小对元数据依赖度的均一化检验思路,应采用多种检验方法综合,有助于气候资料在区域气候变化研究中的有效利用。

台站迁移对陕西省气温资料均一性的影响及其偏差订正

利用陕西省74个台站1961-2008年气温资料和台站沿革资料,采用二相回归法进行均一性检测和订正。结果发现台站迁移对气温资料的均一性有明显的影响,陕北台站迁移较少,关中和陕南迁站较多,全省74个台站中有24个台站资料的非均一性是因为台站迁移而引起的,对其中的12个台站进行了调整,使得全省气温序列从南至北分布具有较好的‘均一性'。

渤海西部海平面资料均一性订正及变化特征

海平面资料的质量直接影响到海洋与气候分析的准确性,同时也影响了海洋与气候变化监测、检测和预测工作的业务质量和研究水平的提高。以渤海西部资料序列变动明显的塘沽站(纳入全球海平面观测系统)、建站较短的京唐港和曹妃甸站为例,从长期趋势、年际和年代际周期波动、季节海平面变化以及与邻近站比较等方面详细介绍了资料序列发生突变的时间段诊断、变化原因、变动幅度以及订正方式。使用订正完的海平面月均及年均长期资料序列分析了海平面变化的长期趋势、周期性波动、季节变化特征等,结果能很好地反映出局地区域的海平面变化特征,同时对于研究中国沿海以及西太的海平面变化及气候变化有着重要的意义。

气温序列非均一性检验方法的研究

采用距平累加法、连续ｔ－检验及回归检验法对分布於２５个省（区）３１个站的气温序列进行了非均一性检验。结果表明这３种方法在显著性水平α＝０．０１时，能有效地检验气温序列的非均一性，其结论适用於全国。

PMFT方法对我国年平均风速的均一性检验

利用惩罚最大F检验(PMFT)方法并结合详尽的台站历史沿革信息对我国701个气象观测台站年平均风速资料进行了均一性检验,结果表明该检验方法能够应用于对年平均风速资料进行均一性检验,我国年平均风速资料的不连续点主要集中在1～2个,已检验的701个台站中有61.3%的台站年平均风速序列是均一的,表明我国大部分台站风速资料均一性情况良好。仪器变化和台站迁移是引起年平均风速序列非均一性的主要原因,而仪器变化中的仪器换型是造成年平均风速序列非均一性的最重要原因。

中国沿海海表温度均一性检验和订正

利用惩罚最大T检验(Penalized Maximal T test,PMT)方法,选取均一的邻近气象站为参考站,基于月平均地面气温(SAT)资料,利用相关系数权重平均方法构建参考序列,同时结合元数据信息,对1960-2011年中国沿海27个海洋观测站月平均海表温度(SST)进行了均一性检验与订正,并分析了造成海表温度序列非均一的主要原因。结果表明,中国沿海海洋台站海表温度资料存在较为严重的非均一性问题,几乎所有的台站都存在断点,仪器变更(包括人工观测转自动观测)(占总断点数的52.4%)和迁站(占总断点数的33.3%)是造成序列非均一的主要原因。整套资料负订正量所占比例较高,这种负订正量与人工转自动观测后海表温度观测值偏低有密切关系。这也使得订正后中国沿海平均海表温度趋势与订正前存在明显差异,订正后中国沿海海表温度呈明显的加速上升趋势。

天津地区深部蓟县系雾迷山组热储岩溶非均一性特征研究

天津地区蓟县系雾迷山组热储层岩性以碳酸盐岩为主,是天津地区目前开采层最深、开采强度最大、流体温度最高的主力开采层。钻遇该层的所有地热井均能开采出地热流体,反映了该热储层在区域上具有相对均一的发育特征。但通过钻探、井下物探及流体特征分析发现,因岩性不同、结构差异以及外部条件的变化,如溶蚀、构造、风化等多种因素对岩石裂隙改造的程度不同,导致不同构造部位、不同埋深的岩溶发育特征有较大差异,从而将岩溶分为裂隙型和裂隙孔隙型两大类。了解和掌握雾迷山组热储层深部岩溶发育特征,对天津地区地热资源勘查、开发和评价都具有十分重要的意义。

中国气象台站迁移对年平均气温均一性的影响

在确定中国1951—2010年753站观测数据的迁移状况的基础上,采用t检验方法和标准正态检验(standard normal homogeneity test,SNHT)差值法,分析了迁移对中国年平均温度序列均一性的影响,并对非均一温度序列进行订正。结果表明:将有业务代替的台站序列合并起来后得到了714站数据,714站中完全没有迁移的台站只有148站,其他566站共计有950次迁移;t检验表明950次迁移中235次迁移前后年平均温度差异显著;而SNHT检验表明950次迁移中有237次年平均温度的均一性受到迁移的影响,其中79次需要调整0.5℃以上;84%的非均一性序列经订正后相对符合均一性条件。