硅片精密切割多线锯研究进展

随着半导体行业的发展,尤其是太阳能电池对大直径硅片的需求不断增加,对硅片的切割精度要求越来越高。传统的外圆和内圆切割已经不能满足现有硅片大尺寸、小切缝、高质量和生产效率的要求。本文对大直径硅片精密切割中最常使用的多线锯切割进行介绍,对游离磨料多线锯的切割机理、浆料特性、切割工艺和固着磨料多线锯锯丝制造方法、切割工艺等方面的研究现状进行了综述。

固着磨料多线锯研究进展

随着半导体工业的高速发展以及太阳能光电池产业的突起,对单晶以及多晶硅材料的需求不断增加。精密切割工具不仅要满足切割的质量,还要保证现代化生产的高效率。采用传统内圆锯片切割以及游离磨料多线锯切割逐渐显示出各种不足。而采用固着磨料多线锯切割是快速发展起来的一种精密切割技术。该文综述了固着磨料多线锯的锯丝制造方法,总结了固着磨料多线锯加工硬脆材料的锯切工艺,介绍了目前使用较多的多线锯切割机床,并展望了提高固着磨料多线锯锯丝寿命的可能途径。

金刚线石材多线锯的设备振动分析与结构设计实践

为解决传统多线金刚线设备难以应用于大型石材荒料切割的问题,该文分析了横切和竖切的切割方式并设计了相应主体结构进行切割验证,采集不同结构不同位置的振动数据进行对比。实践表明,不同切割方式采用的主体结构差异较大,对设备运行振动的影响也不同。线网从上往下的竖切方式,结合四导轮的结构方式,整体框架刚性强,抑制了高度运转时机架的振动,有利于提高切割效率和切割表面平整度,降低了金刚线的断线风险。

太阳电池用Si片切割过程中浆料作用研究

Si片生产技术及工艺的进步使得太阳电池用Si片的切片厚度不断降低,而超薄的太阳电池用Si片必须通过多线切割机进行切割。基于Si片切割过程中砂浆性能对Si片表面质量、Si片成片率和切割线寿命的影响,分析了多线切割机中切削液的性能,并采用不同工艺参数多次进行试验,总结出了砂浆对太阳电池用Si片切割状态的影响因素。通过分析,得出了改善砂浆性能来提高多线切割机切片性能并获得更高的Si晶片表面质量的方法。