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小像元碲镉汞红外焦平面探测器的研究进展 被引量:6
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作者 杨超伟 李东升 +7 位作者 李立华 李京辉 封远庆 杨毕春 唐遥 张志文 李雄军 李妍君 《红外技术》 CSCD 北大核心 2019年第11期1003-1011,共9页
随着红外技术的发展,探测器的尺寸、重量和功耗(SWaP)的减小已成为研究热点。像元尺寸的减小,一方面可以提高器件的分辨率,另一方面可以减小整个探测器系统的体积、重量和功耗,进而大大节约成本。因此,像元尺寸的减小成了研究的重点。... 随着红外技术的发展,探测器的尺寸、重量和功耗(SWaP)的减小已成为研究热点。像元尺寸的减小,一方面可以提高器件的分辨率,另一方面可以减小整个探测器系统的体积、重量和功耗,进而大大节约成本。因此,像元尺寸的减小成了研究的重点。本文介绍了小像元红外焦平面器件的技术难点,分别从系统的调制传递函数(Modulation Transfer Function,MTF)、噪声等效温差(Noise Equivalent Temperature Difference,NETD)、像元结构和像元集成互连方面进行了讨论。此外,介绍了国外像元中心距为12μm、10μm、8μm和5μm的HgCdTe红外焦平面探测器的研究进展。 展开更多
关键词 小像元 碲镉汞 红外探测器
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小像元InSb红外焦平面器件光电性能仿真 被引量:1
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作者 朱旭波 李墨 +1 位作者 何英杰 吕衍秋 《航空兵器》 CSCD 北大核心 2022年第3期61-65,共5页
小像元是InSb红外焦平面器件制备的发展方向之一,但其会对器件的光电流响应和串音产生很大影响。因此使用Sentaurus TCAD软件建立了小像元InSb红外焦平面阵列器件的台面结器件模型、平面结器件模型和外延结构器件模型,采用背照射的3个... 小像元是InSb红外焦平面器件制备的发展方向之一,但其会对器件的光电流响应和串音产生很大影响。因此使用Sentaurus TCAD软件建立了小像元InSb红外焦平面阵列器件的台面结器件模型、平面结器件模型和外延结构器件模型,采用背照射的3个像素单元的InSb阵列器件仿真了3种器件结构的光电流响应和串音。结果表明,台面结器件和平面结器件可以通过减小器件厚度和增加结深的方法来增加光电流响应和减少串音;外延结构器件可以通过增加吸收层厚度和选择合适的掺杂浓度来改善光电流响应和串音。综合考虑工艺难度影响,对小像元InSb红外焦平面阵列器件,建议采用深离子注入的平面结结构和采用分子束外延制备的厚度和掺杂浓度可控的外延结构。 展开更多
关键词 INSB 小像元 红外探测器 电流响应率 串音 Sentaurus TCAD
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小像元HgCdTe红外焦平面电串音数值模拟研究 被引量:2
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作者 陈卫业 李东升 +2 位作者 姬玉龙 李雄军 李立华 《红外技术》 CSCD 北大核心 2018年第4期309-315,354,共8页
基于Silvaco TCAD三维数值模拟方法研究了小像元HgCdTe红外焦平探测器的电串音。通过分析中心像元光生载流子纵向输运和横向输运与电串音的相关性,揭示了光生载流子横向扩散是造成小像元HgCdTe红外焦平面探测器中电串音迅速增加的主要... 基于Silvaco TCAD三维数值模拟方法研究了小像元HgCdTe红外焦平探测器的电串音。通过分析中心像元光生载流子纵向输运和横向输运与电串音的相关性,揭示了光生载流子横向扩散是造成小像元HgCdTe红外焦平面探测器中电串音迅速增加的主要原因。对小像元HgCdTe红外焦平电串音的抑制方法进行探讨,计算结果表明适当调整吸收层厚度和引入组分梯度能够有效抑制小像元HgCdTe红外焦平面探测器中的电串音。本文的研究对小像元碲镉汞红外焦平面探测器的设计具有一定的指导意义。 展开更多
关键词 小像元碲镉汞 焦平面 电串音
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小像元10μm中心距红外焦平面读出电路设计
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作者 吴圣娟 姚立斌 +6 位作者 李东升 姬玉龙 杨春丽 李红福 罗敏 李敏 许睿涵 《红外技术》 CSCD 北大核心 2021年第9期902-909,共8页
研制出一款小像元10μm中心距红外焦平面探测器CMOS(complementary metal oxide semiconductor)读出电路ROIC(read out integrated circuit)。读出电路设计包括积分后读出(integration then reading,ITR)和积分同时读出(integration whi... 研制出一款小像元10μm中心距红外焦平面探测器CMOS(complementary metal oxide semiconductor)读出电路ROIC(read out integrated circuit)。读出电路设计包括积分后读出(integration then reading,ITR)和积分同时读出(integration while reading,IWR)模式,ITR模式下有2档增益,电荷满阱容量分别为4.3 Me^(−)和1.6 Me^(−),其他功能包括抗晕、串口功能控制以及全芯片电注入测试功能。读出电路采用0.18μm工艺,电源电压3.3 V,测试结果表现出良好的性能:在77 K条件下,全帧频100 Hz,读出电路噪声小于0.2 mV。本文介绍了该款读出电路设计的基本架构,分析了在小的积分电容下电路抗干扰能力的设计。在测试过程中,发现了盲元拖尾现象,分析了拖尾现象产生的原因,为解决拖尾现象设计了抗晕管栅压产生电路,最后给出了整个电路的测试结果。 展开更多
关键词 小像元间距 读出电路 红外焦平面探测器
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10μm像元间距1024×1024中波红外探测器研制进展 被引量:10
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作者 周立庆 宁提 +3 位作者 张敏 陈彦冠 谢珩 付志凯 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2019年第8期915-920,共6页
小像元红外探测器已成为红外探测器技术发展的重要方向,像元尺寸减小可提高红外成像系统的探测和识别距离,降低红外探测器成本,减小系统尺寸、质量和功耗等。本文介绍了国内外小像元红外探测器研制进展,重点介绍了中国电科十一所研制的1... 小像元红外探测器已成为红外探测器技术发展的重要方向,像元尺寸减小可提高红外成像系统的探测和识别距离,降低红外探测器成本,减小系统尺寸、质量和功耗等。本文介绍了国内外小像元红外探测器研制进展,重点介绍了中国电科十一所研制的10μm像元间距1024×1024规模小像元碲镉汞红外焦平面探测器组件。组件为n-on-p平面结构后截止波长5μm、有效像元率达到99%、量子效率达到60%。 展开更多
关键词 小像元 10μm像元间距 碲镉汞
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12μm像元间距1280×1024碲镉汞中波红外焦平面探测器的制备及性能研究 被引量:5
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作者 刘伟华 刘帆 +5 位作者 吴正虎 姚柏文 汪良衡 张冰洁 刘道进 周文洪 《红外》 CAS 2020年第3期9-15,共7页
武汉高德红外股份有限公司成功研制了像元尺寸为12 m×12 m的1280×1024大面阵碲镉汞中波红外焦平面探测器。在优化提升材料性能的基础上,突破了小像元钝化开孔、高密度小尺寸铟柱制备以及高精度大面阵倒焊等关键技术,成功制备... 武汉高德红外股份有限公司成功研制了像元尺寸为12 m×12 m的1280×1024大面阵碲镉汞中波红外焦平面探测器。在优化提升材料性能的基础上,突破了小像元钝化开孔、高密度小尺寸铟柱制备以及高精度大面阵倒焊等关键技术,成功制备出了1280×1024@12 m碲镉汞中波红外焦平面芯片及组件。其盲元率小于0.5%,响应率非均匀性小于5%。F2探测器的平均噪声等效温差(Noise Equivalent Temperature Difference,NETD)为15 mK,平均峰值探测率为6×1011 cm·Hz1/2·W-1。F4探测器的平均NETD为18.5 mK,平均峰值探测率为1.2×1012 cm·Hz1/2·W-1。另外还提出了一种不稳定像元测试方法,即通过分析两点校正后的成像数据,并利用模块中值和空域噪声的比较,完成对红外图像中不稳定像元的检测和校正。结果表明,校正后的红外成像画质良好,在120 K时器件性能无明显降低。 展开更多
关键词 碲镉汞 小像元 百万像素 红外探测器
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基于有限元法的12μm微测辐射热计单元设计
7
作者 史佳欣 陈超 王军 《半导体光电》 CAS 北大核心 2020年第1期15-19,共5页
基于多物理场有限元分析与理论计算相结合的方法,采用Intellisuite软件完成了12μm×12μm微测辐射热计结构的设计与仿真,具体工作包括:单元结构二维版图及工艺流程设计和单元结构三维精确建模,结合实际MEMS结构的材料参数,进行了... 基于多物理场有限元分析与理论计算相结合的方法,采用Intellisuite软件完成了12μm×12μm微测辐射热计结构的设计与仿真,具体工作包括:单元结构二维版图及工艺流程设计和单元结构三维精确建模,结合实际MEMS结构的材料参数,进行了电学与热电耦合多物理场有限元仿真模拟分析。通过仿真优化获得探测单元的主要热电参数、响应时间和响应率,分别为:热导4.31×10-8 W/K、热容2.69×10-10 J/K、电压响应率(未经后端读出电路放大)7 200V/W、热响应时间6.24ms。采用所提出的微桥设计仿真方法,可显著提高器件设计效率和设计精度,缩短研发周期,可满足超大规模小像元非致冷红外焦平面探测器的设计要求。 展开更多
关键词 微测辐射热计 小像元 非致冷红外焦平面探测器 有限仿真 热电耦合分析
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中心距10 μm截止波长2.6 μm的延伸波长InGaAs焦平面探测器(英文) 被引量:1
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作者 何玮 李平 +8 位作者 邵秀梅 曹高奇 于一榛 张亚光 邓双燕 杨波 李雪 李淘 龚海梅 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期649-652,共4页
采用ICP(inductively coupled plasma etching)刻蚀与湿法腐蚀相结合的方式,研制了像元中心距为10μm、截止波长2. 6μm的p-i-n型10×10元延伸波长In Ga As探测器.不同温度下的电流—电压特性研究和激活能分析,显示了器件优异的暗... 采用ICP(inductively coupled plasma etching)刻蚀与湿法腐蚀相结合的方式,研制了像元中心距为10μm、截止波长2. 6μm的p-i-n型10×10元延伸波长In Ga As探测器.不同温度下的电流—电压特性研究和激活能分析,显示了器件优异的暗电流特性.在室温下,-10 mV偏压时器件的暗电流和优质因子R0A分别为0. 45 nA和14. 7Ω·cm^2,量子效率可达到63%.为了证实像元中心距减小并未影响器件性能,与同种材料中心距30μm的InGaAs焦平面阵列进行了对比分析.相似的实验结果进一步证明了工艺的可行性,对今后实现高密度、大面阵延伸波长InGaAs探测器具有重要的指导意义. 展开更多
关键词 延伸波长 INGAAS探测器 小像元 暗电流密度 量子效率
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1280×1024,10μm数字红外焦平面读出电路设计(特邀) 被引量:2
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作者 钟昇佑 姚立斌 +1 位作者 范明国 李正芬 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第4期1-8,共8页
焦平面红外探测器的数字读出是其发展的一个重要方向,相比传统的模拟红外焦平面探测器,数字红外焦平面探测器具有诸多优势。数字红外焦平面探测器的核心在于数字读出电路。文中详细介绍了1280×1024,10μm数字焦平面读出电路的设计... 焦平面红外探测器的数字读出是其发展的一个重要方向,相比传统的模拟红外焦平面探测器,数字红外焦平面探测器具有诸多优势。数字红外焦平面探测器的核心在于数字读出电路。文中详细介绍了1280×1024,10μm数字焦平面读出电路的设计和实现。通过对读出电路的测试得到其噪声为157μV,在50 Hz帧频下功耗为165 mW,列级固定图案噪声为0.1%。所设计的数字读出电路与短波红外探测器成功实现了倒装焊互连并完成了成像,所成图像清晰、细节丰富。测试结果和探测器成像效果表明,所设计的数字读出电路具有低噪声、高传输带宽、高抗干扰性等特点,有助于提升红外焦平面探测器的各项性能。 展开更多
关键词 红外焦平面探测器 数字读出电路 大面阵 小像元 列级ADC
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640×512-5μm InGaAs短波红外焦平面读出电路设计
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作者 陆逸凡 汪鸿祎 +5 位作者 陶文刚 曹嘉晟 田宇 景松 黄松垒 李雪 《半导体光电》 CAS 北大核心 2023年第3期350-355,共6页
为了适应第三代红外焦平面高密度、微型化发展方向,设计了一款大面阵小像元低功耗640×512-5μm InGaAs短波红外焦平面读出电路。重点研究了3T像素单元简易结构的性能,分析其对芯片暗电流、焦平面噪声的影响,实现了卷帘曝光工作方... 为了适应第三代红外焦平面高密度、微型化发展方向,设计了一款大面阵小像元低功耗640×512-5μm InGaAs短波红外焦平面读出电路。重点研究了3T像素单元简易结构的性能,分析其对芯片暗电流、焦平面噪声的影响,实现了卷帘曝光工作方式、列级缓冲器动态工作以及四通道输出功能。利用可编程增益放大器,实现增益可调以及噪声抑制功能。基于0.18μm 3.3 V标准CMOS工艺,在输入时钟频率为5 MHz条件下,对小像素单元进行性能分析,阵列窗口进行四通道输出以及线性度仿真。结果表明,电容反馈跨阻放大器(CTIA)输入级偏压变化约30 mV,工作帧频为54 Hz,输出摆幅为1.7 V,最大功耗小于150 mW,线性度为99.987%。 展开更多
关键词 小像元 红外焦平面阵列 读出电路 CTIA结构 暗电流
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双层伞状开孔的微测辐射热计红外吸收分析
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作者 蒋君贤 王涛 +2 位作者 陈超 吴志明 王军 《半导体光电》 CAS 北大核心 2023年第1期44-48,共5页
建立了具有伞状吸收层结构的微测辐射热计探测单元的红外吸收模型。基于光学导纳矩阵法和阻抗匹配理论,采用三维电磁仿真软件CST,对伞状结构不同开孔尺寸和形状下模型的红外吸收特性进行了分析。结果表明,双层伞状开孔微测辐射热计光学... 建立了具有伞状吸收层结构的微测辐射热计探测单元的红外吸收模型。基于光学导纳矩阵法和阻抗匹配理论,采用三维电磁仿真软件CST,对伞状结构不同开孔尺寸和形状下模型的红外吸收特性进行了分析。结果表明,双层伞状开孔微测辐射热计光学性能与伞状结构开孔大小有密切的关系。该伞状微测辐射热计中引入开孔后,在保持较高的红外吸收特性的基础上,减少了探测单元热容,从而提升了器件响应速度。最终所得探测单元在8~14μm红外波段内的平均吸收率为85%,满足超大规模小像元非致冷红外焦平面探测器的设计要求。 展开更多
关键词 微测辐射热计 光学仿真 小像元 吸收率 微桥结构
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Relationship between Abundance and Area of Pinus tabulaeformis and Quercus liaotungensis Koidz in Lingkong Mountain Nature Reserve
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作者 卢辰宇 郭东罡 +5 位作者 张婕 上官铁梁 刘卫华 侯博 王治明 李润强 《Agricultural Science & Technology》 CAS 2012年第10期2231-2235,共5页
The spatial distribution and species abundance of Pinus tabulaeformis and Quercus liaotungensis Koidz were analyzed with random distribution abundance model and aggregated distribution abundance model,and evaluation g... The spatial distribution and species abundance of Pinus tabulaeformis and Quercus liaotungensis Koidz were analyzed with random distribution abundance model and aggregated distribution abundance model,and evaluation goodness was evaluated based on related information of sample area at 4 hm2 in Shanxi Lingkong Mountain with altitude at 1500-1 800 m.The results showed that of the 30 xylophyta plants,abundance of 20 plants was increasing in sequence and the covered spaces extended accordingly,except of 10 plant species.As pixel area extended,curve of abundance-area tended to be volatile if area in abundance sequence was smaller than that of the front one;the curve tended to be stable if the fluctuating point was removed.For the same species,the higher pixel area is,the larger the covered area of the species in corresponding pixel would be.The results of evaluation goodness indicated that aggregated distribution model is better for prediction on relationship between abundance and area,compared with random distribution abundance model.Both of the two models rely on value of m,namely,number of covered pixel given the pixel is fixed.For the species distribute dispersedly,the prediction results would be more accurate if both of the two models are made use of,or the prediction errors would be larger.Given that the total area of sample plot is fixed,the smaller the pixel area is,the more accurate the prediction would be. 展开更多
关键词 PIXEL Random distribution abundance model Aggregated distribution abundance model
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Edge detection method for remote sensing image based on morphological variable structuring element 被引量:4
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作者 YAO Li juan WANG Xiao peng +1 位作者 WANG Wei MA Wen gang 《Journal of Measurement Science and Instrumentation》 CAS CSCD 2018年第3期233-240,共8页
There are problems such as incomplete edges and poor noise suppression when a single fixed morphological structuring element is used to detect the edges in remote sensing images. For this reason, a morphological edge ... There are problems such as incomplete edges and poor noise suppression when a single fixed morphological structuring element is used to detect the edges in remote sensing images. For this reason, a morphological edge detection method for remote sensing image based on variable structuring element is proposed. Firstly, the structuring elements with different scales and multiple directions are constructed according to the diversity of remote sensing imagery targets. In order to suppress the noise of the target background and highlight the edge of the image target in the remote sensing image by adaptive Top hat and Bottom hat transform, the corresponding adaptive morphological operations are constructed based on variable structuring elements; Secondly, adaptive morphological edge detection is used to obtain multiple images with different scales and directional edge features; Finally, the image edges are obtained by weighted summation of each direction edge, and then the least square is used to fit the edges for accurate location of the edge contour of the target. The experimental results show that the proposed method not only can detect the complete edge of remote sensing image, but also has high edge detection accuracy and superior anti-noise performance. Compared with classical edge detection and the morphological edge detection with a fixed single structuring element, the proposed method performs better in edge detection effect, and the accuracy of detection can reach 95 % 展开更多
关键词 edge detection remote sensing image variable structuring element least squares method
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