微机械谐振器动力学模态耦合的多尺度诠释

微纳谐振器与众多物理场的相互作用是被广泛研究的课题。当前,微纳谐振器本身模态之间的相互作用逐渐成为研究热点,通过参数泵浦实现的动力学模态耦合尤其引人关注。以一种嵌套环式微机械谐振器为研究平台,开展了基于静电参数泵浦的动力学耦合操控研究,并采用多尺度摄动法对动力学耦合过程进行解析和模拟,计算得到了比以往研究更加精细的耦合强度公式,加深了对动力学耦合物理过程的理解。为动力学耦合的下一步应用打下了坚实基础。

一种新型微波叶尖间隙传感器

针对恶劣环境下航天发动机、涡轮机等旋转机械对叶尖间隙实时测量的需求,设计了一种用于涡轮发动机叶尖间隙测量的新型微波传感器。该传感器基于多嵌套式分裂环谐振器(NSRR)结构,将铂(Pt)金属浆料组成的闭环电路集成于高温共烧陶瓷(HTCC)中,以此来适应发动机及涡轮机内部的极端测试条件。经过仿真设计,可知传感器的工作频率为2.44 GHz,且在2.5~5 mm仿真间隙范围内最低灵敏度为8.33 dB/mm。通过传统的HTCC工艺及厚膜技术,对设计的传感器进行制备和测试,测试结果验证了仿真结果的正确性,表明该传感器能为所需应用环境提供准确可靠的数据。