用符合弹性前冲法测量硅中的氧含量及其分布

采用２７ＭｅＶ的１２Ｃ５＋作为入射粒子，采用符合弹性前冲方法测量了５．６μｍ的硅样品中氧的含量及其深度分布．实验结果表明，采用１２Ｃ与１６Ｏ符合弹性前冲方法分析硅样品中的氧，其最小探测限可达２０×１０－６（原子比），深度分辨率为～４５０ｎｍ．该方法对于厚样品，尤其比常规弹性前冲优越。