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含氟聚酰亚胺及其在微电子工业中的研究进展 Ⅰ 含氟单体及聚酰亚胺的合成 被引量:24
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作者 刘金刚 何民辉 +4 位作者 王丽芳 杨海霞 李彦峰 范琳 杨士勇 《高分子通报》 CAS CSCD 2003年第3期1-14,共14页
综述了近年来国内外在含氟聚酰亚胺 (PI)研究及应用领域中的最新进展情况。主要从含氟二胺单体、二酐单体及含氟聚酰亚胺在合成方面的研究进展情况进行了详细的综述。重点阐述了中国科学院化学研究所 30 5组近几年在这方面的研究进展情... 综述了近年来国内外在含氟聚酰亚胺 (PI)研究及应用领域中的最新进展情况。主要从含氟二胺单体、二酐单体及含氟聚酰亚胺在合成方面的研究进展情况进行了详细的综述。重点阐述了中国科学院化学研究所 30 5组近几年在这方面的研究进展情况 ,并指出为了推动含氟聚酰亚胺这类具有优良综合性能的功能材料在工业上的广泛应用 。 展开更多
关键词 含氟聚酰亚胺 微电子工业 含氟单体 合成 含氟二胺 含氟二酐 塑料
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含氟聚酰亚胺及其在微电子工业中的研究进展Ⅱ含氟聚酰亚胺在微电子工业中的应用 被引量:21
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作者 刘金刚 何民辉 +4 位作者 王丽芳 杨海霞 李彦峰 范琳 杨士勇 《高分子通报》 CAS CSCD 2003年第4期10-24,共15页
综述了近年来国内外在含氟聚酰亚胺 (PI)研究及应用领域中的最新进展情况。主要从现代微电子工业对相关材料的性能要求、标准型聚酰亚胺材料所面临的挑战以及新型含氟聚酰亚胺在微电子工业中的应用等几个方面进行了详细的综述。重点阐... 综述了近年来国内外在含氟聚酰亚胺 (PI)研究及应用领域中的最新进展情况。主要从现代微电子工业对相关材料的性能要求、标准型聚酰亚胺材料所面临的挑战以及新型含氟聚酰亚胺在微电子工业中的应用等几个方面进行了详细的综述。重点阐述了中国科学院化学研究所 30 5组近几年在这方面的研究进展情况。并指出为了推动我国微电子工业的发展 ,研制开发低成本、高技术含量的含氟聚酰亚胺材料具有十分重要的现实意义。 展开更多
关键词 含氟聚酰亚胺 微电子工业 研究进展 应用 低介电常数材料 取向膜 集成电路 光波导材料 非线性光学材料
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微电子工业空气洁净技术的若干进展 被引量:13
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作者 范存养 徐文华 林忠平 《暖通空调》 北大核心 2001年第5期20-38,共19页
微电子工业的飞速发展对生产环境的空气洁净度提出了更高的要求。从分子态化学污染控制、高洁净度微环境控制、新型洁净产品。
关键词 微电子工业 空气洁净 分子态污染物质 微环境控制
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含氟芳杂环高分子及其在微电子工业中的研究进展 被引量:4
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作者 刘金刚 杨海霞 +3 位作者 王丽芳 李彦峰 范琳 杨士勇 《高分子通报》 CAS CSCD 2003年第5期17-27,共11页
综述了近年来国内外在含氟芳杂环高分子方面的研究及应用进展情况。主要介绍了含氟聚苯并咪唑 (PBI)、聚苯并唑 (PBO)、聚芳醚 (PAE)及其衍生物等材料。从含氟单体的合成。
关键词 含氟芳杂环高分子 微电子工业 研究进展 三氟甲基 单体 微电子
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氰酸酯树脂的研究进展及其在微电子工业的应用 被引量:5
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作者 李齐方 杨庆泉 金日光 《工程塑料应用》 CAS CSCD 北大核心 2002年第12期34-36,共3页
介绍了氰酸酯树脂(CE)的发展史、合成方法、性能、改性体系及其在微电子工业的应用,展望了CE的发展方向。CE是近年来发展起来的一种新型工程塑料,具有极低的介质损耗角正切值、优异的耐湿热性能和力学强度,是一种有广泛应用前景和强劲... 介绍了氰酸酯树脂(CE)的发展史、合成方法、性能、改性体系及其在微电子工业的应用,展望了CE的发展方向。CE是近年来发展起来的一种新型工程塑料,具有极低的介质损耗角正切值、优异的耐湿热性能和力学强度,是一种有广泛应用前景和强劲市场竞争力的材料。 展开更多
关键词 氰酸酯树脂 研究进展 微电子工业 应用
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微电子工业中脉冲激光焊接技术及其应用 被引量:10
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作者 韩学斌 姜幼卿 《焊接技术》 2002年第4期3-5,共3页
针对当前微电子工业中应用的脉冲激光焊,首先介绍了其机理和特点,并从激光束质量、脉冲宽度、脉冲能量、被焊材料性能等方面分析了它们对焊接质量的影响。重点阐述了脉冲激光焊接技术在微电子工业集成电路制造中的应用和特点。
关键词 微电子工业 脉冲激光焊接 激光束质量 集成电路
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微电子工业生产废水处理及回收利用 被引量:6
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作者 胡伟林 《工业水处理》 CAS CSCD 2001年第12期40-41,共2页
阐述了微电子工业芯片制造而产生的含氟废水、硅片研磨废水以及纯水处理混床再生所产生的高浓度酸碱废水的处理方法 ,特别对含氟废水的处理进行了大胆的尝试 ,取得了明显的成效。对处理后的合格废水回收用作工艺设备及动力设备的冷却水 。
关键词 含氟废水 研磨废水 酸碱废水 回收利用 微电子工业 废水处理
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话说微电子工业洁净室的节能(1)——合理确定洁净室设计参数 被引量:4
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作者 涂光备 涂有 《暖通空调》 2022年第11期42-49,共8页
经历了50多年的创业,中国的微电子工业获得巨大发展,相关从业人员得到培训和锻炼,为继续提高质量、补全短板创建了基础。降低能耗、提高能效是发展微电子工业的重要方面。本文从合理确定洁净室设计参数方面漫谈了些许经验;就合理降低洁... 经历了50多年的创业,中国的微电子工业获得巨大发展,相关从业人员得到培训和锻炼,为继续提高质量、补全短板创建了基础。降低能耗、提高能效是发展微电子工业的重要方面。本文从合理确定洁净室设计参数方面漫谈了些许经验;就合理降低洁净室的送风量,创建局部净化等洁净微环境以缩减高洁净要求的面积,改善局部排风效果、减少空气渗漏,以及合理确定洁净室内的温湿度参数等问题提出了一些建议。 展开更多
关键词 微电子工业 洁净室 节能 微环境 局部排风 正压控制 室内参数
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微电子工业用超高纯丙烷的工业化生产
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作者 吴江红 来庆福 +1 位作者 陈丽 孙福楠 《低温与特气》 CAS 2005年第1期32-33,共2页
根据丙烷原料特点,采用吸附、催化加氢和精馏相结合的方法,研制出纯度≥99 995%的高纯丙烷,满足了微电子工业对高纯丙烷的质量要求。
关键词 高纯丙烷 吸附 催化 精馏 微电子工业
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市场竞争中的战略工业──对微电子工业的一点认识 被引量:1
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作者 许居衍 《电子展望与决策》 2000年第3期3-10,共8页
关键词 微电子工业 战略工业 半导体产业
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充分发挥大学在建设微电子工业中的作用
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作者 王阳元 《科技进步与对策》 1985年第1期50-51,共2页
在如何建立我国微电子工业的讨论中,大家都在谈论美国的“硅谷”。什么是美国“硅谷”的成功之谜?其发展中有何经验和教训?研究清楚这些问题,对于我国微电子工业的建设不无益处。我现在就发挥大学在建设微电子工业中的作用问题,谈点看... 在如何建立我国微电子工业的讨论中,大家都在谈论美国的“硅谷”。什么是美国“硅谷”的成功之谜?其发展中有何经验和教训?研究清楚这些问题,对于我国微电子工业的建设不无益处。我现在就发挥大学在建设微电子工业中的作用问题,谈点看法。一、美国“硅谷”的成功之谜在美国,当人们谈起“硅谷”的巨大成就时,总是提到原斯坦福大学工学院院长托曼的功劳.他鼓励学生毕业后不要光到大公司去工作,而要利用学校科技力量的支援,在学校附近创业。例如H·P公司的创办人休利特和帕卡德,原来就是斯坦福大学的学生,该公司现已发展到拥有七万五千人, 展开更多
关键词 硅谷 大公司 新技术 微电子工业 微电子 作用问题 科技人员 贝尔实验室 经济效益 益处
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美日欧微电子工业DE角逐
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作者 宋德生 《科技进步与对策》 1986年第3期45-47,共3页
上面分析了美国如何以先锋探索者的精神开拓起微电子工业领域,以及西欧在发展这个工业的前期失利的原因.下面继续介绍日本怎样打入国际微电子市场,西欧的对策,以及美国如何对付新的挑战.日本的挑战一般说来,微电子工业最怕的是"技... 上面分析了美国如何以先锋探索者的精神开拓起微电子工业领域,以及西欧在发展这个工业的前期失利的原因.下面继续介绍日本怎样打入国际微电子市场,西欧的对策,以及美国如何对付新的挑战.日本的挑战一般说来,微电子工业最怕的是"技术迟滞",如果某一项技术发明不能迅速商品化,那么,恐怕它以后就再也别想打进电子市场.奇怪的是,日本不怕"技术迟滞"而是巧妙地运用这种"迟滞"进行钻营.例如,美国在1960年已普遍地用硅半导体管取代锗管,而日本才刚刚开始研制硅管.就在这一年,它大力生产锗管,一下子就生产了13亿只,大大超过了美国生产的逐年累计数,六十年代,它就用这批锗管装配收音机,电视机、将它们投放美国市场,颇受美国人欢迎.日本人善于利用在西方人看来已经过时的技术. 展开更多
关键词 微电子工业 电子市场 微电子技术 超大规模集成电路 六十年代 西欧 日本人 半导体 七十年 美国市场
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美日欧微电子工业的角逐
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作者 宋德生 《科技进步与对策》 1986年第4期36-37,共2页
适应潮流、联合冒险现在微电子工业发展的趋势是什么?是多国化和发展世界中的国际化.多国化与跨国化不同,跨国公司是指某一公司由分布在许多国家的子公司构成,主权仍为一国所有.而多国公司是指许多国家的政府或企业共同投资或合股经营... 适应潮流、联合冒险现在微电子工业发展的趋势是什么?是多国化和发展世界中的国际化.多国化与跨国化不同,跨国公司是指某一公司由分布在许多国家的子公司构成,主权仍为一国所有.而多国公司是指许多国家的政府或企业共同投资或合股经营一个公司,主权由所投股份的大小来定.在发达工业国之间,多国化已经逐步出现了国际化的苗头.在微电子工业中,多国化的历史条件是由美国创造的.从七十年代末到八十年代初,微电子技术正处于由微米级向亚微米级的过渡阶段.当时用于生产超大规模集成电路的设备已十分昂贵,中。 展开更多
关键词 微电子工业 超大规模集成电路 七十年 微电子技术 超高速集成电路 半导体存贮器 计算机辅助设计 跨国公司 国际化 美国人
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第十二届华南国际电子生产设备暨微电子工业展在深圳举行
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作者 章文萍 《经济前沿》 2006年第9期I0027-I0027,共1页
华南地区电子制造行业规模最大,展品内容最全的专业盛会——华南国际电子生产设备暨微电子工业展,已于2006年8月29日-9月1日在深圳会展中心拉开序幕。本届展会由英国励展博览集团与中国贸易促进委员会电子信息行业分会主办.为期四天... 华南地区电子制造行业规模最大,展品内容最全的专业盛会——华南国际电子生产设备暨微电子工业展,已于2006年8月29日-9月1日在深圳会展中心拉开序幕。本届展会由英国励展博览集团与中国贸易促进委员会电子信息行业分会主办.为期四天.包括电子产品生产行业的综合性展览与同朝技术研讨会。 展开更多
关键词 电子生产设备 微电子工业 华南地区 深圳 中国贸易促进委员会 电子信息行业 技术研讨会
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加速发展纳米科学技术,促进在微电子工业中新的技术革命和产业革命
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作者 何宇亮 《学会》 1995年第2期45-45,共1页
加速发展纳米科学技术,促进在微电子工业中新的技术革命和产业革命南京大学物理系何宇亮自50年代以来,微电子技术的发展,特别是集成电路的问世,促进了计算机技术、软件技术等的发展,使信息产业成了新技术革命中最为活跃的一个领... 加速发展纳米科学技术,促进在微电子工业中新的技术革命和产业革命南京大学物理系何宇亮自50年代以来,微电子技术的发展,特别是集成电路的问世,促进了计算机技术、软件技术等的发展,使信息产业成了新技术革命中最为活跃的一个领域。近十多年来.集成电路发展神速,... 展开更多
关键词 微电子工业 科学技术 加速发展 纳米器件 纳米电子 超大规模集成电路 半导体器件 电子晶体管 微电子技术 甚大规模集成电路
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话说微电子工业洁净室的节能(2)——空调方案、设备选择和余热利用 被引量:3
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作者 涂有 涂光备 《暖通空调》 2023年第1期25-33,共9页
节能是促进微电子工业发展的重要推手。本文从“空调方案、设备选择和余热利用”方面介绍了一些实例,漫谈了些许经验。就空调方案、通风系统和设备的合理选择,微电子工业洁净厂房的冷热源综合利用等问题,以工程实践成效为线索给出了一... 节能是促进微电子工业发展的重要推手。本文从“空调方案、设备选择和余热利用”方面介绍了一些实例,漫谈了些许经验。就空调方案、通风系统和设备的合理选择,微电子工业洁净厂房的冷热源综合利用等问题,以工程实践成效为线索给出了一些节能建议。 展开更多
关键词 微电子工业 洁净室 节能 风机过滤单元 免费取冷
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微电子工业用湿化学品的生产和发展 被引量:2
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作者 李葰 《上海化工》 CAS 2004年第8期32-35,共4页
叙述了集成电路芯片加工用的湿化学品的分类,主要是超净高纯试剂和溶剂,以及如何达到国际半导体设备和材料协会所要求的C7、C8或C12规格的纯化方法。
关键词 微电子工业 湿化学品 生产 发展 集成电路芯片 试剂 溶剂
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微电子工业用光刻胶 被引量:2
18
作者 李葰 《上海化工》 CAS 2004年第7期33-37,共5页
叙述了光刻胶(Photoresists)的工作原理,分类和g线胶、i线胶到DUV胶等的发展。近年来,芯片集成度从1G向4G和64G的需求,促使光刻胶和加工技术有了更新的发展。
关键词 微电子工业 光刻胶 工作原理 分类 光致抗蚀刊
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微电子工业与洁净技术的发展 被引量:1
19
作者 姜伟康 章汝熙 《洁净与空调技术》 2005年第4期21-28,共8页
苏净集团苏州净化空调系统设备安装有限公司姜伟康☆章汝熙摘要介绍微电子技术的特点与应用领域,以及对微环境系统与洁净技术的要求。
关键词 微电子工业 微环境系统 集成电路 洁净技术 微电子技术
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微电子工业园区谐波分析方法研究
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作者 李洁 党晓圆 赖伟 《化工自动化及仪表》 CAS 2018年第5期368-371,共4页
对微电子工业园区主要谐波产生设备和谐波影响进行了分析,针对谐波分析方法,提出了采用复序列快速傅里叶变换算法并进行锁相控制,以克服传统FFT算法的缺点,并以微电子工业区某企业实测数据为例进行了谐波分析。
关键词 电能质量 谐波分析 FFT改进算法 锁相控制 微电子工业
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