基于OBE的微电子工艺课程实验设计

阐述微电子工艺实验教学中的问题及原因,提出解决思路,并给出实验设计方案和具体的实验案例,从而达到实践环节加深理论教学的目的,使学生具备解决微电子工艺问题的实际能力。

专创融合背景下《微电子工艺设计实践》课程教学改革研究

在当前的教育背景下,特别是在专业与创新创业教育(专创)的融合趋势中,《微电子工艺设计实践》课程的教学改革显得尤为重要。针对微电子教学的高成本、安全性和污染问题,我们提出了“虚实结合、校企联动”的创新教学平台,基于校企合作真实平台、设计流程、真实项目,运用创新创业方法将《微电子工艺设计实践》课程从教学内容、教学资源、教学方法、考核评价、第二课堂竞赛孵化等方面进行专创融合的探索与建设,以沉浸式和阶梯化教学法提升学生的实践能力和创新思维。其中,改革的核心在于“虚实结合、校企联动”,即通过与企业的紧密合作,引入真实的工业案例和设计流程,运用创新实践平台将专业知识融入到创新实践中。在此过程中,课程还特别强调创新思维的培养,将前苏联科学家阿奇舒勒(G.S.Altshuller)在1946年创立的TRIZ(发明问题解决理论)的创新方法运用到实际教学中,通过案例教学和项目实践,培养学生的综合分析能力和创业精神。改革后的教学模式有效提升了学生的学习积极性和创新能力,也使得课程内容和教学方法更加贴近产业实际需求,通过实践的学习效果评价和企业反馈,证明了教学改革的有效性。此改革模式也为微电子及其他工程技术教育提供了有益的实践指导和理论支持。

微电子工艺和器件仿真实验课程体系的建设

为了解决传统微电子工艺和器件实验课程对硬件条件要求高、费用高、耗时长、效果差等问题,将仿真技术应用于微电子工艺和器件实验课程体系建设,设计并实践了包括演示性、验证性、设计性以及综合性等在内的多种类型的实验。相比于工艺和测试的实验方法,应用仿真技术的实验可以更灵活的形式和更丰富的内容覆盖更广的专业课程知识,并与专业课程知识紧密衔接,同时也易于提升实验的开放性。从而有助于提升学生的动手实践能力、增强学生对微电子工艺和器件课程理论知识的理解、提升学习兴趣。

运用混合式立体化教学模式培养应用型创新人才——《微电子工艺》课程教学的改革与实践

文章以培养应用型创新人才为目标,在探讨了当前《微电子工艺》课程教学中存在的问题与难点的基础上,以松绑教育与整合教学两种理论为指导,提出了"混合式立体化"教学模式,并进行了相应的教学实践及探索,最后对其实践效果进行了调查分析。该模式的运用对全面改革《工艺》课程教学有着重要的理论与实践意义。

微电子工艺多媒体教学系统的设计

为改进传统的教学方式,用信息化时代的新技术、新手段来提高教学水平和教学质量,介绍微电子工艺计算机辅助教学(CAI)系统设计及开发过程.系统主框架采用Borland公司的Delph i软件开发,同时也使用了F lash、Photoshop、F ireworks等辅助工具.

“微电子工艺与实践”课程群建设与教改实践

本文围绕电子信息类专业核心课“微电子工艺”、“微电子器件基础”以及实践课“微电子生产实习”和“微电子器件与工艺实验”等课程教学改革为核心,围绕学生教学主体进行课程群的内容及教学模式调整;运用现代教育MOOC平台和混合式“翻转课堂”教学方法及校企合作实践资源共享等几个环节进行了“微电子工艺与实践”课程群建设,完善教学环节设计,强化实践实习的实效性。

微电子工艺实验教学模式探索

采用微电子工艺实验教学模式,即工艺实验教学由实际操作的工艺实验、工艺录像学习、器件与工艺仿真实验和多媒体辅助实验教学组成,阐述了具体内容。这种微电子工艺实验教学模式的建立,可满足本专业对微电子工艺实验的教学要求,有助于提高专业教学质量、提高学生的实际工作能力和专业素质、培养有竞争力的高质量的微电子人才。

《微电子工艺》的理论教学与学生实践能力培养

就《微电子工艺》课程的理论与实验教学进行了探讨。结合笔者的教学实践,介绍了《微电子工艺》课程教学内容的选取、教学方式的改革与探索,强调了将教师的理论教学、实验教学与学生的自主学习相结合的教学方式,以激发学生的学习兴趣,培养动手能力,提高教学效果。

“微电子工艺基础”教学的应用能力培养

独立学院应用型人才培养模式在我国教育的研究还是空白。笔者根据电子科学与技术专业应用型人才培养模式要求,结合多年的教学实践,在"微电子工艺基础"课程教学内容、教学方式和考核方式等方面进行了探索,提出了将教师的任务驱动式教学与学生的自主式学习相结合、同时辅以必要的实验实践环节为特色的教学方法。实践证明,这种该方法对培养合格的微电子应用型人才是有效的。

基于CDIO工程教育理念的微电子工艺课程建设

课程建设与改革是提高本科教学质量与人才培养的的关键,CDIO是目前高等工程教育的一种新型教育模式,本文结合CDIO人才培养理念,针对微电子工艺课程的特点,从课程建设思想、教学内容与方法、创新能力培养,多方位构建教学与实践平台、多元化的过程考核方式等方面的具体改革措施,探索了微电子工艺课程建设和教学改革,且这些改革措施的应用已初见成效。

“微电子工艺”课堂教学方法的改革

笔者从几年的"微电子工艺"教学实践中提出了7点关于课堂教学改革方法:布置思考问题,引导学生预习;板书与多媒体教学相结合;现场小实验和实物展示;播放实地拍摄的录像;理论计算与工艺模拟相结合;专题讨论以及安排综合训练任务。通过一系列的改革措施,学生对这门课程从理论到实践都具有比较深刻的认识。

“微电子工艺技术”课程建设探索

课程建设主要包括课程模式和教学模式两方面的建设。结合“微电子工艺技术”课程的特点,论文从课程大纲制定、教学内容更新、师资队伍建设、线上资源制作、教学模式和教学方法优化、课程考核体系建立等多个方面提出了具体的建设方案。课程建设方案对工科专业课程具有一定的普适性,可以推广应用。

微电子工艺课/实验/生产实习的整合研究

从课堂教学与实践教学整合角度出发,针对"微电子工艺"课程的教学模式、内容、教材等提出了将课堂/实验/实习3种不同教学形式作为一个课程模块,穿插进行,理论与实践彼此相互促进的整合教学模式,编写了教材,进行了初步实施及评价,获得了学生和微电子课程群其他课程主讲教师的肯定,评教结果为"A+"。

微电子工艺中的清洗技术

本文指出了清洗工艺在集成电路制程中的重要性,详细介绍了目前广泛采用的几种清洗方法的清洗原理、特点、存在的问题以及发展的方向。

微电子工艺CAD系统SUPREM－Ⅱ的模拟精度

模拟精度是ＣＡＤ系统设计者首先考虑的问题。文中向读者提供了在ＳＵＰＲＥＭ－Ⅱ模拟系统中，提高模拟精度的较科学的实验方法。

微电子工艺与器件实验平台建设

本文结合我校实际情况,对微电子工艺与器件实验平台建设的意义、建设的方案及平台的功能与特点进行了描述。该实验平台已在教学实践中得到成功应用,其建设经验对普通院校电子科学与技术专业实验室建设具有一定的借鉴作用。

新形势下微电子工艺实验教学改革研究

文章探讨了在新工科建设的新形势下,如何突出黑龙江大学微电子专业微电子器件方向的特色,在现有的微电子工艺实验条件下,将过去的传统、分立实验进行改革,建立一个创新型实验教学体系,从而使学生更牢固地掌握微电子器件及简单集成电路的整个工艺制造技术和测试方法。激发学生主动参与,突出创新能力的培养,创造良好的实验平台。

教研资源共享的“微电子工艺实验”改革

为了加强学生对微电子制造过程的感性认识和对学科特点的认知,在原有的微电子平面工艺实验的基础上,对"微电子工艺实验"教学模式进行改革,引入氧化锌基薄膜场效应晶体管工艺制造技术及半导体测试分析实验,使教学与科研资源共享,建立了由教学内容的准备、多媒体教学、实际动手流片、完善有效的实验考核方案四部分组成的教学方式,激发了同学们学习的热情,取得了较好的教学效果。

“微电子工艺基础”教学及应用能力培养的探究

针对应用型本科院校的办学特色,以微电子学专业核心课程"微电子工艺基础"课程的教学,从教学内容选取、教学方式与教学手段和实践能力培养等方面,探究了应用型人才应用能力的培养,强调了将教师的理论教学、实验教学与学生的自主学习相结合的教学方式,激发学生的学习兴趣,培养动手能力,提高教学效果。实践证明,这种方法对培养合格的微电子应用型人才是有效的。

微电子工艺实践课程网络教学平台的开发

本文作者分析了传统的微电子工艺实践教学存在的不足,构建了微电子工艺实践教学网络平台。该网络教学平台包括课程信息、研究型教学、网络自主学习等功能模块。网络教学平台能帮助学生全面地掌握微电子工艺实践教学内容,有效地实现了教师的主导作用与学生主体作用的最佳组合,提高了课程的教学质量与效益。将网络教学平台用于开展研究型教学,有助于创新人才的培养。