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用于注入层用途的湿法显影有机抗反射涂层(英文)
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作者 XieShao AliceGuerrero YimingGu 《电子工业专用设备》 2004年第11期29-36,共8页
底部抗反射涂层(BARCs)和光刻胶已被广泛地用于半导体制造中的光刻加工工艺中。BARCs在光刻中的主要好处就是聚焦?曝光宽容度的改善,提高了关键尺寸的控制,消除了反射凹口,防止远紫外抗蚀剂由基底毒化。过去,BARCs主要被用于关键图层,... 底部抗反射涂层(BARCs)和光刻胶已被广泛地用于半导体制造中的光刻加工工艺中。BARCs在光刻中的主要好处就是聚焦?曝光宽容度的改善,提高了关键尺寸的控制,消除了反射凹口,防止远紫外抗蚀剂由基底毒化。过去,BARCs主要被用于关键图层,例如栅和接触孔图层。但是随着集成电路特征尺寸的不断缩小,BARCs在注入层中的应用中由于基片表面形态引起的反射缺口和关键尺寸变化容差也变得更小,从而使BARCs的使用变得更为迫切。我们已成功开发了专门为注入层用途的湿法显影抗反射涂层。传统的干法刻蚀不适合用于注入层,因为它的工艺复杂而且在刻蚀过程中可能导致基片损坏。评述了产生注入光刻图层的工艺并讨论了湿法显影式抗反射涂层的设计标准和要求,同时还将讨论用于注入层光刻的湿法显影抗反射图层及其工艺的挑战。 展开更多
关键词 光学光刻 抗反射涂层 关键尺寸控制 衬底反射 注入 底部抗反射涂层 湿法显影
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光刻胶用底部抗反射涂层研究进展 被引量:5
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作者 王宽 刘敬成 +4 位作者 刘仁 穆启道 郑祥飞 纪昌炜 刘晓亚 《影像科学与光化学》 CAS CSCD 北大核心 2016年第2期123-135,共13页
随着微电子工业的蓬勃发展,光刻技术向着更高分辨率的方向迈进,运用底部抗反射涂层有效消除光刻技术中的驻波效应、凹缺效应,提高关键尺寸均一性和图案分辨率,引起了广大研究者的关注。本文简要介绍了光刻胶和光刻技术,底部抗反射涂层... 随着微电子工业的蓬勃发展,光刻技术向着更高分辨率的方向迈进,运用底部抗反射涂层有效消除光刻技术中的驻波效应、凹缺效应,提高关键尺寸均一性和图案分辨率,引起了广大研究者的关注。本文简要介绍了光刻胶和光刻技术,底部抗反射涂层的分类、基本原理、刻蚀工艺以及其发展状况。重点对底部抗反射涂层的最新研究进展进行了总结,尤其是碱溶型底部抗反射涂层在光刻胶中的应用研究,最后对底部抗反射涂层的发展前景和方向进行了展望。 展开更多
关键词 光刻胶 光刻技术 底部抗反射涂层
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美国Natcore科技公司建设抗反射涂层液相沉积处理站
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《浙江电力》 2011年第4期61-61,共1页
美国Natcore科技公司(Natcore Technology)于2011年3月15日开始建设太阳能电池硅晶圆抗反射(antireflective,AR)涂层液相沉积(liquid phase deposition,LPD)处理站。
关键词 抗反射涂层 液相沉积 沉积处理 科技 美国 太阳能电池 PHASE 制造方式
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用于空间光学的高效红外抗反射涂层
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作者 赵强 《红外与激光技术》 CSCD 1991年第1期56-58,共3页
已设计出用于空间光电系统中锗光学的简单抗反射涂层结构。发現这种非四分之一波结构,对光谱覆盖和剩余反射损失有好处。经试验已获成功,它的光谱特性和耐用性都很好。
关键词 空间光学 红外光电系统 抗反射涂层
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美开发可让太阳能板全方位吸收阳光的抗反射涂层
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作者 李峰 《功能材料信息》 2008年第Z1期109-110,共2页
据海外媒体报道,美国伦斯勒理工学院发现并证实了一种新办法可以克服目前太阳能所面临的二大主要障碍。通过开发一种新的抗反射涂层。
关键词 太阳能板 抗反射涂层 阳光 太阳能电池 涂层 吸收率 开发 纳米棒 全方位 反射作用
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多结太阳能电池抗反射涂层出现新设计
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《电力勘测设计》 2021年第4期11-11,共1页
过去一年中,大型硅片格式的迅速崛起已经证明,光伏系统某一领域的技术进步,往往会对另一领域提出新的要求。目前,抗反射涂层(ARCs)已在模块生产中被广泛应用于前侧玻璃面板,这一技术的使用,也对串联电池和多结电池的概念提出了新的挑战... 过去一年中,大型硅片格式的迅速崛起已经证明,光伏系统某一领域的技术进步,往往会对另一领域提出新的要求。目前,抗反射涂层(ARCs)已在模块生产中被广泛应用于前侧玻璃面板,这一技术的使用,也对串联电池和多结电池的概念提出了新的挑战。串联电池和多结电池可吸收的太阳光谱范围更大,其产生的反射范围也更大,这意味着抗反射涂层(ARCs)需要在更大范围内减少反射。马德里理工大学的科学家们通过研究抗反射涂层在III-V多结电池概念中的作用,特别是某些小众应用领域,例如卫星供电和空间探索等领域的应用,致力于寻求这一问题的解决方案。他们的全部研究成果发表在《太阳能》杂志上,题目是多结太阳能电池宽波长抗反射涂层的高低折射率叠层。 展开更多
关键词 抗反射涂层 多结太阳能电池 光伏系统 串联电池 太阳光谱 空间探索 玻璃面板 折射率
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英研发出新型自洁抗反射涂层
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《建筑玻璃与工业玻璃》 2014年第4期45-45,共1页
对于太阳能电池研究来说,能提高一个百分点的光转换效率都是十分重要的,而目前太阳能电池板的抗反射性能多会因其表面附着的一些脏污而降低,从而影响到电池效率。英国剑桥大学最新发布的新闻公报称,该校研究人员新近开发出一种具有... 对于太阳能电池研究来说,能提高一个百分点的光转换效率都是十分重要的,而目前太阳能电池板的抗反射性能多会因其表面附着的一些脏污而降低,从而影响到电池效率。英国剑桥大学最新发布的新闻公报称,该校研究人员新近开发出一种具有自清洁功能的新型抗反射涂层,可在阳光照射下快速分解附着其表面上的污物,这种涂层不仅可使得建筑物窗户自洁,更可增强太阳能电池效率。 展开更多
关键词 抗反射涂层 自洁 太阳能电池板 研发 表面附着 英国剑桥大学 电池效率 光转换效率
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英研发出具有抗反射涂层 可提高太阳能电池转化效率
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《中国科技信息》 2014年第6期4-4,共1页
对于太阳能电池研究来说.能提高一个百分点的光转换效率都是十分重要的.而目前太阳能电池板的抗反射性能多会因其表面附着的一些脏污而降低,从而影响到电池效率。英国剑桥大学最新发布的新闻公报称.该校研究人员新近开发出一种具有... 对于太阳能电池研究来说.能提高一个百分点的光转换效率都是十分重要的.而目前太阳能电池板的抗反射性能多会因其表面附着的一些脏污而降低,从而影响到电池效率。英国剑桥大学最新发布的新闻公报称.该校研究人员新近开发出一种具有自清洁功能的新型抗反射涂层,可在阳光照射下快速分解附着其表面上的脏物.这种涂层不仅可使得建筑物窗户自洁,更可增强太阳能电池效率。 展开更多
关键词 太阳能电池板 抗反射涂层 转化效率 研发 表面附着 英国剑桥大学 电池效率 光转换效率
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减少底部抗反射涂层(BARC)的缺陷:对优化与分离过滤过程和打胶过程的研究
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作者 朴勇男 张晨阳 +1 位作者 邢栗 李庆斌 《中小企业管理与科技》 2021年第12期194-196,共3页
半导体器件制造业是当今世界上最清洁的制造业之一。在当今最先进的晶圆厂当中,所有的物质都被过滤到最小的粒径。这种做法对气体来说是相当容易的,但是过滤液体时相对较难,特别是光化学物质,如底部抗反射涂层(BARC),过滤器可能会出现... 半导体器件制造业是当今世界上最清洁的制造业之一。在当今最先进的晶圆厂当中,所有的物质都被过滤到最小的粒径。这种做法对气体来说是相当容易的,但是过滤液体时相对较难,特别是光化学物质,如底部抗反射涂层(BARC),过滤器可能会出现堵塞、过滤速率下降的问题,进而导致通过过滤器的压降增加,或者过滤器退化。论文采用三种不同的底部抗反射涂层,基于泵中的不同粒径的过滤介质,并分别采用不同的速率,研究打胶过程和过滤过程的相互作用。 展开更多
关键词 底部抗反射涂层(BARC) 缺陷 过滤器 打胶
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具有自洁功能抗反射涂层研制成功
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《功能材料信息》 2014年第2期56-57,共2页
对于太阳能电池研究来说,能提高一个百分点的光转换效率都是十分重要的,而目前太阳能电池板的抗反射性能多会因其表面附着的一些脏污而降低,从而影响到电池效率。英国剑桥大学最新发布的新闻公报称,该校研究人员新近开发出一种具有自清... 对于太阳能电池研究来说,能提高一个百分点的光转换效率都是十分重要的,而目前太阳能电池板的抗反射性能多会因其表面附着的一些脏污而降低,从而影响到电池效率。英国剑桥大学最新发布的新闻公报称,该校研究人员新近开发出一种具有自清洁功能的新型抗反射涂层,可在阳光照射下快速分解附着其表面上的脏物,这种涂层不仅可使得建筑物窗户自洁,更可增强太阳能电池效率。 展开更多
关键词 抗反射涂层 自洁功能 太阳能电池板 表面附着 英国剑桥大学 电池效率 光转换效率 自清洁功能
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具有自洁功能的抗反射涂层
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《机械工程师》 2014年第4期I0005-I0005,共1页
基于飞蛾眼睛的结构,英国剑桥大学研究人员最近开发出一种具有自清洁功能的新型抗反射涂层,可在阳光照射下利用二氧化钛纳米晶体快速分解附着其表面上的脏物,如附着在涂层上的指纹油脂,可在90分钟内被完全分解。这种涂层不仅可使得建筑... 基于飞蛾眼睛的结构,英国剑桥大学研究人员最近开发出一种具有自清洁功能的新型抗反射涂层,可在阳光照射下利用二氧化钛纳米晶体快速分解附着其表面上的脏物,如附着在涂层上的指纹油脂,可在90分钟内被完全分解。这种涂层不仅可使得建筑物窗户自洁,更可增强太阳能电池效率。这是其首次有效地将纳米粒子纳入抗反射涂层的研究中,有望用于开发具有自清洁功能的抗反射塑料或者抗反射玻璃…… 展开更多
关键词 抗反射涂层 自洁功能 太阳能电池板 表面附着 英国剑桥大学 电池效率 光转换效率 自清洁功能
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反应性磁控管溅射在玻璃上制备大面积抗反射涂层
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作者 豫民 《等离子体应用技术快报》 1999年第12期6-8,共3页
关键词 反应性磁控管溅射 玻璃 大面积抗反射涂层 薄膜
全文增补中
热反射涂层抗滑技术研究 被引量:2
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作者 韩占闯 陈浙江 蒋应军 《路基工程》 2019年第2期125-129,143,共6页
为降低沥青路面温度、缓解城市热岛效应、提高热反射涂层路面抗滑能力,研究了抗滑颗粒及其最佳掺量、工艺等对热反射涂层路面抗滑性能与阻热性能影响,提出了热反射涂层抗滑技术。结果表明:0.60~1.18 mm机制砂作为抗滑颗粒,可以提高涂... 为降低沥青路面温度、缓解城市热岛效应、提高热反射涂层路面抗滑能力,研究了抗滑颗粒及其最佳掺量、工艺等对热反射涂层路面抗滑性能与阻热性能影响,提出了热反射涂层抗滑技术。结果表明:0.60~1.18 mm机制砂作为抗滑颗粒,可以提高涂层路面抗滑性能且不影响涂层路面阻热效果;抗滑颗粒最佳掺量为涂层质量的40%,与不掺抗滑颗粒相比,抗滑性能至少可提高1.6倍;撒布工艺对抗滑性能提高最明显,预拌工艺可提高涂层的抗滑耐久性;抗滑热反射涂层具有良好的黏附性能,拉拔强度可达0.76 MPa。 展开更多
关键词 沥青路面 反射涂层 阻热效果 滑性能 耐久性
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CF_(4)-GMET和G-PT处理对AR+AF涂层耐磨性能的影响
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作者 陈立 郑学军 +3 位作者 贺楚才 黄乐 彭井泉 左滨槐 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第13期104-117,共14页
目的在兼顾涂层抗反射性和疏水性的前提下,通过强化抗反射(AR)多层复合膜系与抗指纹(AF)涂层之间的黏附力,提升复合涂层的机械耐久性能。方法采用磁控溅射法在玻璃衬底上沉积AR多层复合膜系,首创性地采用CF_(4)气体微刻蚀(CF_(4)-Gas Mi... 目的在兼顾涂层抗反射性和疏水性的前提下,通过强化抗反射(AR)多层复合膜系与抗指纹(AF)涂层之间的黏附力,提升复合涂层的机械耐久性能。方法采用磁控溅射法在玻璃衬底上沉积AR多层复合膜系,首创性地采用CF_(4)气体微刻蚀(CF_(4)-Gas Micro-etching Treatment,CF_(4)-GMET)与石墨等离子体(Graphite Plasma Treatment,G-PT),依次对AR膜系表面进行处理后,将AF试剂蒸镀附于AR层表面并冷却,即可得到具有超强耐磨性的AF/CF_(4)-GMET&G-PT SiO_(2)/AR抗反射疏水涂层。结果CF_(4)-GMET对AR表层SiO_(2)处理后,其表面“柱状尖峰”消失,得到低粗糙度针状表面,并增大了SiO_(2)与AF涂层的接触比表面积。G-PT处理大幅提高了表层SiO_(2)亲水性,从而使得SiO_(2)表面黏附功增大。经2道工艺处理后,SiO_(2)表面粗糙度降低,黏附功先降后升为最大值,蒸镀AF疏水涂层后界面结合最为稳定,耐磨性能显著增强。在负载为1000 g的钢丝绒摩擦10000次后,抗反射疏水涂层的水接触角(WCA)从117.7°下降至113.6°,磨损率仅为3.4%,耐磨性能极佳。结论对AR膜系表层SiO_(2)进行CF_(4)-GMET和G-PT处理,能显著提高抗反射疏水涂层的耐磨性能,而对光学透过率基本无影响。 展开更多
关键词 疏水性 CF_(4)气体微刻蚀 石墨等离子体处理 反射疏水涂层 耐磨性
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抗静电涂料
15
《涂料技术与文摘》 2003年第6期69-70,共2页
关键词 静电涂料 视频显示屏 抗反射涂层 静电硬涂膜 活化能射线固化 纳米聚氨酯
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金属互连及其湿电子化学品的发展研究
16
作者 陈黎萍 《固体电子学研究与进展》 CAS 2024年第4期343-350,共8页
随着集成电路关键尺寸的逐步减小,图形形貌分辨率要求提高。本文系统性地探讨了集成电路互连金属的发展路线,归纳了相应的湿电子化学品在清洗和电镀方面的工作原理,并阐述了光刻胶的发展路程以及抗反射涂层的基本原理。最后对互连材料... 随着集成电路关键尺寸的逐步减小,图形形貌分辨率要求提高。本文系统性地探讨了集成电路互连金属的发展路线,归纳了相应的湿电子化学品在清洗和电镀方面的工作原理,并阐述了光刻胶的发展路程以及抗反射涂层的基本原理。最后对互连材料以及湿电子化学品的未来要求进行了总结和展望。 展开更多
关键词 金属互连 抗反射涂层 光刻胶 湿电子化学品
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AlGaN solar‐blind APD with low breakdown voltage 被引量:1
17
作者 Kexiu Dong Dunjun Chen +2 位作者 Yangyi Zhang Yizhe Sun Jianping Shi 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2017年第4期405-409,467,共6页
A p-i-i-n type AlG a N heterostructure avalanche photodiodes(APDs)is proposed to decrease the avalanche breakdown voltage and to realize higher gain by using high-Al-content AlG aN layer as multiplication layer and lo... A p-i-i-n type AlG a N heterostructure avalanche photodiodes(APDs)is proposed to decrease the avalanche breakdown voltage and to realize higher gain by using high-Al-content AlG aN layer as multiplication layer and low-Al-content AlG aN layer as absorption layer.The calculated results show that the designed APD can significantly reduce the breakdown voltage by almost 30%,and about sevenfold increase of maximum gain compared to the conventional Al GaN APD.The noise in designed APD is also less than that in conventional APD due to its low dark current at the breakdown voltage point.Moreover,the one-dimensional(1D)dual-periodic photonic crystal(PC)with anti-reflection coating filter is designed to achieve the solar-blind characteristic and cutoff wavelength of 282 nm is obtained. 展开更多
关键词 光电二极管 击穿电压 光子晶体 抗反射涂层
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Chrome Hearts最新唇形系列太阳镜面市
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《中国眼镜科技杂志》 2017年第16期52-52,共1页
最近,Chrome Hearts发布了“露齿笑”太阳镜系列,将镜框设计成唇形,还画上不同色号的“口红”,搭配5层抗反射涂层的镜片,有6种不同配色的镜框,是夏日防晒的利器。
关键词 太阳镜 镜面 抗反射涂层 镜框 口红 镜片 配色
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荷兰设备商Mapper获欧盟350万欧元资助 开发无掩膜光刻技术
19
《电子工业专用设备》 2008年第3期26-26,共1页
EE Times日前报道:IBM、Rohm&Haas电子材料部日前签署了一项共同开发协议,针对目前光刻技术的主要问题,为32nm及以下节点设计开发新型抗反射材料。双方计划开发全新248nm和193nm波长材料,包括底部抗反射涂层(BARC)和顶端抗发射... EE Times日前报道:IBM、Rohm&Haas电子材料部日前签署了一项共同开发协议,针对目前光刻技术的主要问题,为32nm及以下节点设计开发新型抗反射材料。双方计划开发全新248nm和193nm波长材料,包括底部抗反射涂层(BARC)和顶端抗发射涂层(TARC)。 展开更多
关键词 光刻技术 MAPPER 开发 设备商 抗反射涂层 资助 欧盟 荷兰
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新产品
20
《集成电路应用》 2007年第4期56-57,共2页
晶圆探针;晶圆加载装置;FEOL清洗/去胶设备;废弃物处理技术;抗反射涂层;干泵集成。
关键词 产品 废弃物处理 抗反射涂层 加载装置 晶圆 探针 设备 清洗
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