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平行缝焊微电子器件的光学检漏 被引量:1
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作者 张泽丰 徐达 +2 位作者 谭亮 魏少伟 马紫成 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第3期285-291,共7页
光学检漏为非接触式封装漏率测量方法,且单次测试可同时完成粗检及细检,是一种快速的封装检漏技术。对光学检漏与氦质谱检漏的漏率计算公式进行了详细分析和对比。设计了多组实验探究如工装翘曲度、封装内空腔体积等因素对光学检漏检测... 光学检漏为非接触式封装漏率测量方法,且单次测试可同时完成粗检及细检,是一种快速的封装检漏技术。对光学检漏与氦质谱检漏的漏率计算公式进行了详细分析和对比。设计了多组实验探究如工装翘曲度、封装内空腔体积等因素对光学检漏检测结果的影响,分析了光学检漏的“充压”问题并给出解决方案,对比了光学检漏与氦质谱检漏的检测漏率。分析了光学检漏技术的优缺点,并通过实验验证了光学检漏的可行性及可靠性,为微电子器件的光学检漏应用提供参考。 展开更多
关键词 微电子器件 光学检漏 平行缝焊 密封 氦质谱检漏
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油气长输管道检漏技术综述 被引量:25
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作者 苏欣 袁宗明 +1 位作者 范小霞 谢英 《石油化工安全技术》 CAS 2005年第4期14-17,26,共5页
介绍相关检漏法、动态质量平衡检漏法、统计检漏法、瞬变流模型检漏法、用超声波流量计检漏法及基于神经网络的检漏法等几种常用的和较新的油气管道检漏系统和技术,说明各自的特点,并提出建议。
关键词 油气管道 检漏 技术综述 管道检漏 超声波流量计 检漏 瞬变流模型 质量平衡 检漏系统
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SJ-Ⅲ型水浸检漏仪的研制
3
作者 范立 桂谋刚 +1 位作者 杨荣军 李文辉 《今日制造与升级》 2024年第8期63-65,共3页
目前,在密封类电子元器件的气密性检验工序中,传统检测方法仍然是手工检漏,不但效率低,而且漏检、错检的情况时有发生,为进一步提高检测效率和检测质量,文章研制了一款SJ-Ⅲ型水浸检漏仪,可有效提高电子元器件检漏工序的检测效率和质量... 目前,在密封类电子元器件的气密性检验工序中,传统检测方法仍然是手工检漏,不但效率低,而且漏检、错检的情况时有发生,为进一步提高检测效率和检测质量,文章研制了一款SJ-Ⅲ型水浸检漏仪,可有效提高电子元器件检漏工序的检测效率和质量,实现一键化操作、智能高效。 展开更多
关键词 PLC+HMI控制技术 负压检漏 电子元器件 检漏 一键化
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氟油加压检漏装置校准方法探讨
4
作者 杨博 徐海东 《安徽科技》 2024年第10期51-54,共4页
加压检漏装置主要应用于半导体器件、密封元器件等电子元器件的密封性检测,是专门针对半导体器件、集成电路、电子产品等电子元器件进行细检和粗检的一套自动化检漏装置。随着工业技术的快速发展,加压检漏装置在各类设备和系统的密封性... 加压检漏装置主要应用于半导体器件、密封元器件等电子元器件的密封性检测,是专门针对半导体器件、集成电路、电子产品等电子元器件进行细检和粗检的一套自动化检漏装置。随着工业技术的快速发展,加压检漏装置在各类设备和系统的密封性检测中发挥着越来越重要的作用。它与氦质谱检漏仪和重氟油加热仪配合使用,可以进行电子元器件的整个细检和粗检过程。 展开更多
关键词 检漏装置 半导体器件 电子元器件 密封性 氦质谱检漏 电子产品 氟油 设备和系统
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真空—检漏技术在低温绝热压力容器制造中的应用研究
5
作者 葛党辉 李焕 《中文科技期刊数据库(全文版)工程技术》 2024年第11期122-125,共4页
随着社会经济的快速发展,人们对能源、资源的需求大幅度提升,能源资源的运输需求增加,这就需要做好能源资源的装配及运输,以确保能源供应工作的顺利开展。在能源运输过程中,低温绝热压力容器得到了广泛的运用,在满足能源运输方面起到了... 随着社会经济的快速发展,人们对能源、资源的需求大幅度提升,能源资源的运输需求增加,这就需要做好能源资源的装配及运输,以确保能源供应工作的顺利开展。在能源运输过程中,低温绝热压力容器得到了广泛的运用,在满足能源运输方面起到了至关重要的作用。对此,应注重做好低温绝热压力容器的制造,并注重对相关技术手段进行创新及优化,确保低温绝热压力容器制造的效果及质量。本文探索了真空—检漏技术运用于低温绝热压力容器制造中的应用策略,提升低温绝热压力容器制造质量。 展开更多
关键词 真空—检漏技术 低温绝热压力容器 容器制造 氦质检漏谱仪
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湿陷性黄土地区室外检漏井和检漏管沟设置探讨 被引量:3
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作者 张军 石敏娜 周旭辉 《给水排水》 CSCD 北大核心 2022年第5期115-118,124,共5页
在湿陷性黄土地区,常规方法设置检漏井及检漏管沟容易造成建筑物外检查井数量过多,严重影响室外的景观效果.且不利于工程项目日常维护管理。因此,需寻求更加科学合理的设置方式来满足规范规定和室外景观的需求。对检漏井常规做法、局部... 在湿陷性黄土地区,常规方法设置检漏井及检漏管沟容易造成建筑物外检查井数量过多,严重影响室外的景观效果.且不利于工程项目日常维护管理。因此,需寻求更加科学合理的设置方式来满足规范规定和室外景观的需求。对检漏井常规做法、局部集中式检漏井设置和其他新型检漏方式进行综合比较,指出湿陷性黄土地区室外检漏井及检漏管沟的设置和建筑物分类、场地湿陷性类型、地基湿陷等级以及地基处理后下部未处理湿陷性黄土层的剩余湿陷量密切相关,结合湿陷性黄土地区建筑经验和施工条件等因素设置室外检漏井和检漏管沟对于整个工程项目的安全性和美观性起至关重要的作用。 展开更多
关键词 湿陷性黄土地区 检漏管沟 检漏 局部集中式检漏
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细长管道检测长度对检漏结果及效率影响的实验测试及分析 被引量:1
7
作者 白国云 廖旭东 +2 位作者 陈涛 张宇 冯晓 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期1140-1144,共5页
为提高喷吹法检测细长管路的工作效率,需确定管路检漏长度与检漏效率之间的关系。本文以理论分析结果为依据,设计了管道内径为币40mm,长度分别为30,36,48,72,108,156m的实验。通过对关键检漏参数及实验数据的分析和讨论,研究... 为提高喷吹法检测细长管路的工作效率,需确定管路检漏长度与检漏效率之间的关系。本文以理论分析结果为依据,设计了管道内径为币40mm,长度分别为30,36,48,72,108,156m的实验。通过对关键检漏参数及实验数据的分析和讨论,研究结果认为:管路越长其检漏效率越低,不仅所需要的检漏时间多,而且不利于漏孔的定位与定量。当内径为西40mm时,最佳的管路检测长度为36~48m。 展开更多
关键词 细长管道 氦质谱检漏 检漏效率 检漏结果
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基于十字中心定位算法的MEMS真空封装光学检漏方法
8
作者 张浩威 侯虎旺 +1 位作者 赵旸 张鹏 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第10期146-149,共4页
典型的光学检漏方法需要对整幅干涉图甚至多幅干涉图进行图像处理,过程相对复杂。本文结合MEMS器件封装结构的对称特性以及变形分布特征,提出了一种简单、快捷的十字中心定位算法。通过确定干涉图案中心点坐标,获取中心线光强分布,进而... 典型的光学检漏方法需要对整幅干涉图甚至多幅干涉图进行图像处理,过程相对复杂。本文结合MEMS器件封装结构的对称特性以及变形分布特征,提出了一种简单、快捷的十字中心定位算法。通过确定干涉图案中心点坐标,获取中心线光强分布,进而拟合得到样品中心线形貌。进一步利用封装结构中心点随真空度变化的相对位移,计算得到漏气率。本文以圆形封装结构为例,证明了该方法的可行性。 展开更多
关键词 真空封装 激光干涉 光学检漏 十字中心定位法
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用于燃料棒氦质谱检漏的多级差分真空系统设计方案研究
9
作者 张周 胡耀峰 +4 位作者 杨佳 李涛 张学粮 黄乾 鲁立 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第10期912-921,共10页
用于燃料棒氦检漏的装置是燃料棒生产过程中的核心部件之一,关系到燃料棒的生产质量和核电站运行稳定。现有的检漏装置采用卧式检漏装置,将燃料棒成批放入其中进行检测,检漏效率有待提高。文章开发一种多级差分真空系统,用于燃料棒的在... 用于燃料棒氦检漏的装置是燃料棒生产过程中的核心部件之一,关系到燃料棒的生产质量和核电站运行稳定。现有的检漏装置采用卧式检漏装置,将燃料棒成批放入其中进行检测,检漏效率有待提高。文章开发一种多级差分真空系统,用于燃料棒的在线通过式检漏,根据系统特点,提出了系统的设计思路和流程,通过迭代计算的方法,进行极限差分比、抽速和稳态压力计算,并对系统的参数进行分析。研究表明,该多级差分真空系统的研制是可行的,检漏室压力能维持在较低的水平,检漏响应时间较快,检漏效率优于现有设备,且系统冗余度较高,有较大的降低成本的空间。该系统能实现单根燃料棒的氦质谱检漏,为燃料棒的质量管控和溯源提供了基础。 展开更多
关键词 燃料棒 检漏 差分真空系统 设计方案
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氦检漏在发电机定子冷却水系统检测中的应用
10
作者 赵敏 姜伟 许振兴 《无损检测》 CAS 2024年第10期55-58,共4页
核电厂发电机正常运行时充有氢气,其漏氢量(率)是汽轮发电机组运行的主要技术指标之一,也是发电机安全性评价的一个重要指标。为防止泄漏造成的含氧量超标或漏氢等事故的发生,保证发电机定子绕组的可靠运行,采用氦检漏方法检测核电厂定... 核电厂发电机正常运行时充有氢气,其漏氢量(率)是汽轮发电机组运行的主要技术指标之一,也是发电机安全性评价的一个重要指标。为防止泄漏造成的含氧量超标或漏氢等事故的发生,保证发电机定子绕组的可靠运行,采用氦检漏方法检测核电厂定子冷却水系统的泄漏缺陷。试验结果表明,所提方法能够准确地确定漏点位置从而为维修工作提供支持,可用于核电厂定子冷却水系统的在役检查及失效分析。 展开更多
关键词 定子冷却水系统 检漏 正压吸枪法 负压采样法
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核电厂安全壳氦质谱检漏方法的可行性分析 被引量:1
11
作者 李刚 李尚科 +2 位作者 陈英瑜 单强 杨中华 《科技创新与应用》 2024年第5期20-23,共4页
安全壳是“核”与公众之间的最后一道安全屏障,其密封性至关重要,核电厂需要定期执行安全壳密封性试验。为提高核电厂安全壳泄漏检测的精度和效率,探索一种安全壳泄漏定位检测的新方法,即通过将氦气作为示踪剂按照一定比例充压到安全壳... 安全壳是“核”与公众之间的最后一道安全屏障,其密封性至关重要,核电厂需要定期执行安全壳密封性试验。为提高核电厂安全壳泄漏检测的精度和效率,探索一种安全壳泄漏定位检测的新方法,即通过将氦气作为示踪剂按照一定比例充压到安全壳内,利用电厂辐射监测系统(KRT)在安全壳厂房周围的分布特点,检测出从安全壳内部泄漏出来的气体量分析判断泄漏区域,并通过现场试验验证该方法的可行性及氦气用量。实践证明,氦质谱检漏方法可用于核电厂安全壳检漏工作。 展开更多
关键词 核电厂 安全壳 氦质谱 检漏
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第七讲 : 真空检漏
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作者 关奎之 《真空》 CAS 北大核心 1997年第6期42-46,共5页
第七讲:真空检漏关奎之(东北大学)二、检漏仪器(接1997年第5期第44页)用于检漏的仪器有氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器、气敏半导体检漏仪及用于质谱分析的各种质谱计。这里主要介绍氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、... 第七讲:真空检漏关奎之(东北大学)二、检漏仪器(接1997年第5期第44页)用于检漏的仪器有氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器、气敏半导体检漏仪及用于质谱分析的各种质谱计。这里主要介绍氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器的工作原理、结构及国... 展开更多
关键词 真空检漏 氦质谱检漏 检漏仪器
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城市给水管道的检漏方法
13
作者 刘从久 黄敏 《江西能源》 2004年第2期35-36,22,共3页
本文简要介绍供水管道的几种检漏方法
关键词 供水管道 管道检漏 声音检漏 仪表监测法 普查法 分区检漏 相关检漏
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超灵敏度真空检漏技术进展 被引量:2
14
作者 董云宁 闫睿 +11 位作者 梁进智 魏萌萌 余荣 崔健 崔玉妹 佟亚珍 王欢 王汐月 陈俊儒 杨传森 齐京 卢耀文 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第8期647-653,共7页
文章主要介绍国内外超灵敏度真空检漏技术的现状与发展。超灵敏度真空检漏是指对小于10^(-12)Pa·m^(3)/s的漏率进行检测的技术,它是高可靠长寿命真空器件封装的重要诊断手段。当前普通商用检漏仪受质谱分析下限和微小电流测量下限... 文章主要介绍国内外超灵敏度真空检漏技术的现状与发展。超灵敏度真空检漏是指对小于10^(-12)Pa·m^(3)/s的漏率进行检测的技术,它是高可靠长寿命真空器件封装的重要诊断手段。当前普通商用检漏仪受质谱分析下限和微小电流测量下限等因素的限制,其实际检漏下限一般为10-11 Pa·m^(3)/s量级,采用软件修正后显示的检漏下限可达10^(-12)Pa·m^(3)/s量级。为了解决对微小漏率的超高灵敏度检测,国际上自上世纪60年代开始相关技术研究,主要围绕检漏下限的延伸和检漏精度的提高两方面开展工作。国内突破了多项技术难题,最新研制出下限为5×10^(-16)Pa·m^(3)/s的超灵敏度真空检漏仪,并将检漏结果的合成标准不确定度减小到15%以内。 展开更多
关键词 超灵敏度真空检漏 累积比较法 检漏下限 检漏精度 真空器件
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SF_6气体红外成像检漏仪与定量检漏仪现场使用经验探讨 被引量:20
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作者 胡连清 刘卫东 +2 位作者 李哲文 李喜桂 李浙 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2014年第10期126-130,共5页
通过应用SF6红外成像检漏仪与SF6定量检漏仪进行模拟、对比试验,对SF6红外成像检漏的检测灵敏度进行量化研究,同时研究了风速、温度等外部因素对检测灵敏度的影响情况,对SF6红外成像检漏仪与SF6定量检漏仪的现场使用经验进行了有益的探索。
关键词 SF6气体 红外成像 定量检漏 检漏 气率
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红外检漏成像仪在SF_6电气设备状态检修中的应用 被引量:43
16
作者 胡伟涛 隋少臣 韩建波 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2010年第10期90-92,96,共4页
简述了现有SF6电气设备检漏技术与红外成像检漏技术的基本原理。通过详述一起SF6断路器气体泄漏的处理方法及过程,得出该仪器检测SF6气体泄漏的灵敏度高,并能准确、快速定位泄漏源,具有广泛的应用价值。
关键词 SF6电气设备 红外检漏成像 检漏 处理
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氦质谱非真空积累检漏法中几个问题的研究 被引量:17
17
作者 王勇 邵容华 +3 位作者 闫荣鑫 孙立臣 李征 孙伟 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期118-122,共5页
氦质谱非真空积累检漏法被广泛应用于航天器的总漏率测试中,因此研究氦质谱非真空检漏法具有重要的工程实际意义。本文首次详细给出了氦质谱非真空积累检漏法计算公式的详细推导过程,同时讨论了采用柔性收集室技术可能产生的一些问题。... 氦质谱非真空积累检漏法被广泛应用于航天器的总漏率测试中,因此研究氦质谱非真空检漏法具有重要的工程实际意义。本文首次详细给出了氦质谱非真空积累检漏法计算公式的详细推导过程,同时讨论了采用柔性收集室技术可能产生的一些问题。研究结果表明:氦质谱非真空积累检漏法有着严格的理论依据;柔性收集室的技术在理论上是可行的。本文的研究结论可以为氦质谱非真空积累检漏法的工程应用提供理论依据。 展开更多
关键词 检漏 氦质谱非真空积累检漏 刚性收集室 柔性收集室
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真空罩盒气泡检漏法在常压储罐泄漏检测中的应用
18
作者 刘金生 张蔚 张连杰 《化工装备技术》 CAS 2024年第3期20-24,共5页
简要介绍了储罐常用泄漏检测技术的技术特点,和真空罩盒气泡检漏法的原理特点,分析了检测灵敏度的主要影响因素及检测方法优势。对某常压储罐泄漏事故现场进行勘察,结合储罐的基本情况和泄漏失效形式,制定了宏观检查、焊缝磁粉检测、真... 简要介绍了储罐常用泄漏检测技术的技术特点,和真空罩盒气泡检漏法的原理特点,分析了检测灵敏度的主要影响因素及检测方法优势。对某常压储罐泄漏事故现场进行勘察,结合储罐的基本情况和泄漏失效形式,制定了宏观检查、焊缝磁粉检测、真空罩盒气泡检漏法检测相结合的无损检测方案,确定储罐底板上表面机械损伤部位发生泄漏。储罐泄漏检测方案的制定方法及真空罩盒气泡检漏法的参数选取方法可以为储罐现场的泄漏检测提供理论指导,对降低企业运行维护成本和保护环境具有重要意义。 展开更多
关键词 储罐 真空罩盒气泡检漏
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渗透率对柔性收集室检漏测试结果的影响分析 被引量:8
19
作者 王勇 邵容平 +3 位作者 闫荣鑫 李征 孙立臣 孙伟 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期149-152,共4页
柔性收集室检漏技术是氦质谱非真空积累检漏技术的一个重要分支,因此研究柔性收集室检漏技术具有重要的工程实际意义。本文首先以柔性收集室中的氦气分压为研究变量,通过建立和求解常微分方程定量得到了氦气分压随时间变化的数学解析解... 柔性收集室检漏技术是氦质谱非真空积累检漏技术的一个重要分支,因此研究柔性收集室检漏技术具有重要的工程实际意义。本文首先以柔性收集室中的氦气分压为研究变量,通过建立和求解常微分方程定量得到了氦气分压随时间变化的数学解析解。其次,通过比较渗透情形与理想情形,得到了采用柔性收集室而导致的测试相对误差与时间之间的数学关系,并结合具体两例讨论了渗透系数对检漏测试结果的影响。研究结果表明:测试结果的相对误差与被测件的泄漏率、累积时间、材料的渗透系数、有效容积均相关。本文的研究结论可以为柔性收集室的工程应用提供理论依据。 展开更多
关键词 检漏 氦质谱非真空积累检漏 柔性收集室 渗透率
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生物安全实验室效率检漏型高效空气过滤装置的研制 被引量:8
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作者 张宗兴 赵明 +1 位作者 衣颖 祁建城 《医疗卫生装备》 CAS 2013年第7期18-20,共3页
目的:研制一种可安装在生物安全实验室内的效率检漏型排风高效过滤装置,可实现对高效空气过滤器的原位检漏和消毒。方法:依据高效空气过滤器效率法检测和气体消毒要求,进行高效空气过滤装置的结构设计。结果:该高效空气过滤装置,可采用... 目的:研制一种可安装在生物安全实验室内的效率检漏型排风高效过滤装置,可实现对高效空气过滤器的原位检漏和消毒。方法:依据高效空气过滤器效率法检测和气体消毒要求,进行高效空气过滤装置的结构设计。结果:该高效空气过滤装置,可采用效率法对高效过滤器进行原位检漏,并可对过滤器进行原位气体消毒及验证消毒效果,满足相关标准要求。结论:该装置适用于生物安全实验室的污染空气排放处置,可满足我国生物安全实验室建设的需要。 展开更多
关键词 高效空气过滤装置 原位检漏 效率检漏 原位消毒 生物安全实验室
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