1
|
湿法刻蚀条件对TFT中Cu电极坡度角和均一性的影响及工艺参数优化 |
刘丹
陈国良
黄中浩
方亮
李晨雨
陈启超
吴芳
张淑芳
|
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2024 |
0 |
|
2
|
界面钻蚀主导的准各向异性湿法刻蚀法制备玻璃微棱镜阵列 |
李菲尔
余佳珈
杜立群
吴梦希
刘军山
|
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2024 |
0 |
|
3
|
湿法刻蚀对硅微表面损伤层及金属离子残留控制研究 |
刘志彪
祝建敏
王少凡
李熊
李长苏
|
《清洗世界》
CAS
|
2024 |
0 |
|
4
|
蓝宝石晶体湿法刻蚀各向异性研究与机理分析 |
张辉
钱珺
洪莉莉
|
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
|
2023 |
0 |
|
5
|
单晶硅微结构湿法刻蚀工艺研究 |
游俊
邹继军
邹显学
陈煌
|
《电子测试》
|
2023 |
0 |
|
6
|
减少栅氧化层湿法刻蚀过程中侧掏的改善方法 |
李冰寒
卞仙
高超
|
《集成电路应用》
|
2023 |
0 |
|
7
|
熔融石英半球谐振子亚表面缺陷的湿法刻蚀工艺 |
苏定宁
于鑫海
刘奎
段杰
赵思涵
李绍良
赵万良
|
《飞控与探测》
|
2023 |
0 |
|
8
|
基于玻璃湿法刻蚀的微流控器件加工工艺研究 |
谢海波
傅新
刘玲
杨华勇
徐东
|
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2003 |
11
|
|
9
|
Cr薄膜的沉积与湿法刻蚀工艺研究 |
李兆泽
徐超
吴学忠
万红
李圣怡
|
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
|
2006 |
9
|
|
10
|
单晶硅各向异性湿法刻蚀的研究进展 |
唐彬
袁明权
彭勃
佐藤一雄
陈颖慧
|
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
|
2013 |
9
|
|
11
|
MEMS工艺中TMAH湿法刻蚀的研究 |
罗元
李向东
付红桥
黄尚廉
|
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
|
2003 |
8
|
|
12
|
各向异性湿法刻蚀z切石英后结构侧壁形貌的预测 |
谢立强
邢建春
王浩旭
董培涛
吴学忠
|
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2012 |
6
|
|
13
|
MEMS中硅的深度湿法刻蚀研究 |
张凯
顾豪爽
胡光
叶芸
吴雯
刘婵
|
《湖北大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
|
2007 |
8
|
|
14
|
飞秒激光湿法刻蚀微纳制造 |
陈烽
杨青
边浩
杜广庆
柳克银
孟祥卫
邓泽方
山超
|
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
|
2014 |
4
|
|
15
|
PZT铁电薄膜湿法刻蚀技术研究 |
郑可炉
褚家如
鲁健
李恒
|
《压电与声光》
CSCD
北大核心
|
2005 |
9
|
|
16
|
单晶硅各向异性湿法刻蚀的形貌控制 |
姚明秋
唐彬
苏伟
|
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2016 |
6
|
|
17
|
HF/CrO_3溶液对AlGaAs的选择性湿法刻蚀应用于楔型结构的制备 |
黄辉
黄永清
任晓敏
高俊华
罗丽萍
马骁宇
|
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2002 |
2
|
|
18
|
凸点下金属层湿法刻蚀与凸点底切的控制 |
陈波
陈焱
谷德君
|
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
|
2009 |
3
|
|
19
|
湿法刻蚀及其均匀性技术探讨 |
段成龙
舒福璋
宋伟峰
关宏武
|
《清洗世界》
CAS
|
2012 |
11
|
|
20
|
用湿法刻蚀技术制作衍射光学元件 |
周礼书
敬守勇
杨李茗
杨春林
|
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2002 |
1
|
|