离子色谱法在湿电子化学品阴离子检测中的应用进展

湿电子化学品中的阴离子可能引发元件污染,导致短路、沉积、缺陷和腐蚀等问题,因此准确测定阴离子至关重要。离子色谱法因其检测灵敏度高,结果准确等特点,适用于湿电子化学品的产品质量检测。简要介绍了常见湿电子化学品及其应用领域和离子色谱仪的结构,综述了离子色谱法在检测湿电子化学品阴离子时的常用样品预处理(在线预浓缩和在线阀切换)技术,以及多种湿电子化学品(超纯水、无机酸/碱类超净高纯试剂、超净高纯有机试剂和光刻胶)中的应用。此外,还探讨了离子色谱法当前技术难点及未来发展方向(引用文献66篇)。

金属互连及其湿电子化学品的发展研究

随着集成电路关键尺寸的逐步减小,图形形貌分辨率要求提高。本文系统性地探讨了集成电路互连金属的发展路线,归纳了相应的湿电子化学品在清洗和电镀方面的工作原理,并阐述了光刻胶的发展路程以及抗反射涂层的基本原理。最后对互连材料以及湿电子化学品的未来要求进行了总结和展望。

超净高纯湿电子化学品的微污染控制技术研究

文章对超净高纯湿电子化学品微污染控制技术进行综合论述,阐明该技术对提高产品纯度和保证质量稳定性所发挥的巨大作用。文章对目前微污染控制技术中存在的纯度要求越来越高,污染来源复杂,检测技术受限等挑战进行了分析,并针对这些问题提出一系列应对策略,包括强化技术研发与创新,构建完善微污染控制体系,加强同其他方面的合作交流等,同时重视人才培养及团队建设。最后文章对今后微污染控制技术的发展进行了展望,并指出它在超净和高纯湿电子化学品中必将扮演更重要的角色。

湿电子化学品之刻蚀液领域技术发展现状

刻蚀液是功能性湿电子化学品中的一种,在集成电路、显示面板、太阳能电池等制程中均涉及,文章从刻蚀液专利申请量、申请人分布等方面分析了刻蚀液全球专利申请情况,并且基于刻蚀液的研发角度,从显示面板、集成电路、太阳能电池三个方面分析了刻蚀液的技术发展脉络。

洁净材料在腐蚀性湿电子化学品生产中的应用

半导体加工和制程技术的进步对其配套原料的品质提出了更高要求。为获得纯度更高的湿电子化学品,洁净材料的选择至关重要。从生产核心区域和公用工程区域两部分介绍了洁净材料在腐蚀性湿电子化学品中的选择和应用,其中生产核心区域主要采用含氟聚合物,包含聚四氟乙烯(PTFE)、可溶性聚四氟乙烯(PFA)、偏氟乙烯均聚物(PVDF)等;公用工程区域主要采用不锈钢和工程塑料。

湿电子化学品检验检测分析

本文以某企业为例,具体分析了在该企业中湿电子化学品检验检测技术。通过有效引进先进设备以及工艺技术,建立在有效技术研发基础上,该企业完成了对剥离液的研发、生产,在提升企业剥离液产量的同时,通过合理处理污染情况,可有效优化企业环境保护能力,有利于提升企业综合效益。

中国湿电子化学品发展现状与展望

通过分析世界及中国湿电子化学品供需现状,总结产业发展存在的问题,并提出相应的建议。外资企业加大在中国的产能布局,中国部分高端产品供应能力实现突破。预计2022~2027年,湿电子化学品市场需求将稳步较快增长,中国湿电子化学品需求年均增速约为10%。但是,中国湿电子化学品行业存在整体规模小、高端产品供应不足、部分产品同质化、创新能力弱,且关键配套设备和材料依赖进口、专业人才缺乏等问题。建议加强行业整合,打造行业领军企业;加强应用需求与材料研发对接,推动湿电子化学品及配套设施的国产化;加快专业人才队伍培养。

半导体市场复苏预示电子化学品前景乐观

半导体市场自去年开始复苏，但电子化学品前景却喜忧参半。由于低K值绝缘材料增长强劲，光阻材料市场前景光明，可以预计美国的电子化学品市场在中期内会出现温和增长，而湿法化学品市场则保持相对平稳。

电子级磷酸的制备工艺及研究进展

电子级磷酸是晶圆、薄膜液晶显示器生产不可或缺的关键清洗和蚀刻材料,随着芯片产业高端化发展,对电子级磷酸的要求越来越高。介绍了电子级磷酸的应用领域、质量标准和检测方法,综述了电子级磷酸的制备工艺及研究进展,阐述了相关方法的原理及优缺点,对我国电子级磷酸的研究与开发提出了建议。

电子化学品技术发展分析

通过分析全球电子化学品(含氟电子气体、湿电子化学品和光刻胶)生产技术相关专利的申请态势,研究电子化学品生产技术的发展全貌,并分别对含氟电子气体、湿电子化学品和光刻胶技术的成熟度进行分析。重点分析了全球电子化学品领先企业的技术布局,并提出了我国今后的发展建议。