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题名对准系统的Z向串扰解决方案
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作者
王朝宇
申淙
杨宇翔
杜婷婷
林佳
李林
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机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2023年第6期47-52,110,共7页
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文摘
在对准系统中,相机可以在焦深范围内采集到清晰的标记图像。当相机安装存在微小倾斜角度时,照明光束不能垂直照射在标记平面上,导致相机拍摄的标记中心相对于视场中心的偏移量会随着焦面高度的微小变化会发生细微的变化。尽管使用相同的图像处理算法,标记在焦深范围内的不同焦面高度下的水平向对准位置有所差异,这严重影响了设备的水平向对准性能。为保证设备的对准精度,提出一种校正光束倾斜的方法至关重要。因此,提出了一种基于坐标系转换的Z向串扰解决方案,以实现对系统的光束倾斜校正,从而使水平对准位置不受Z向高度影响。
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关键词
对准系统
光束倾斜校正
坐标系转换
Z向串扰
焦深范围
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Keywords
Alignment system
Beam tilt correction
Transformation of coordinate system
Z-direction crosstalk
Focal depth
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分类号
TN307
[电子电信—物理电子学]
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