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电子束加热与电阻加热蒸发锆膜的结构分析 被引量:2
1
作者 梁建华 彭述明 +3 位作者 张晓红 刘锦华 周晓松 龙兴贵 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期992-995,共4页
采用XRD与SEM分析了在钼衬底上电子束加热蒸发与电阻加热蒸发制备的锆膜的结构。结果表明,电子束加热蒸发与电阻加热蒸发在钼衬底上制备的锆膜为hcp结构;电子束加热蒸发的锆膜以(002)晶面生长为主,而电阻加热蒸发的则以(101)与(002)晶... 采用XRD与SEM分析了在钼衬底上电子束加热蒸发与电阻加热蒸发制备的锆膜的结构。结果表明,电子束加热蒸发与电阻加热蒸发在钼衬底上制备的锆膜为hcp结构;电子束加热蒸发的锆膜以(002)晶面生长为主,而电阻加热蒸发的则以(101)与(002)晶面生长为主;电阻加热蒸发的锆膜晶粒呈不规则堆积,大部分尺寸约为1μm,少部分约为500nm;电子束加热蒸发的锆膜织构强烈,晶粒规则,呈六棱柱型,尺寸约为300nm。 展开更多
关键词 蒸发 薄膜 电阻加热 电子束加热
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电子束加热时Fe-Dy多层膜的稳定性 被引量:1
2
作者 李胜利 王佩璇 +1 位作者 马如璋 阎风章 《金属热处理学报》 CSCD 1994年第3期34-38,共5页
用真空双源蒸镀法在NaC1单晶衬底上制备了金属Fe-Dy(镝)多层膜,用透射电镜(TEM)分析结构。结果表明,当Fe单层厚度≥2.4nm时,Fe为bcc结构,无明显择尤取向特征;Dy单层厚度<2.4nm时,Dy为非晶... 用真空双源蒸镀法在NaC1单晶衬底上制备了金属Fe-Dy(镝)多层膜,用透射电镜(TEM)分析结构。结果表明,当Fe单层厚度≥2.4nm时,Fe为bcc结构,无明显择尤取向特征;Dy单层厚度<2.4nm时,Dy为非晶态。在透射电镜样品台上经100kv加速的高强度电子束流加热多层膜,非晶Dy首先晶化变为hcp结构,随加热时间的延长,晶粒长大。150s时Fe晶粒尺寸约300nrn,此时出现了铁镝氧化物。 展开更多
关键词 铁镝多层膜 电子束加热 显微结构
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电子束加热产生的原子束中等离子体的除去
3
作者 康卫红 《等离子体应用技术快报》 1995年第5期17-18,共2页
关键词 电子束加热 等离子体 碰撞 原子束
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真空镀膜技术中的电子束加热式蒸发源
4
作者 程开富 《四川真空》 1998年第1期25-28,共4页
本文介绍了真空镀膜技术中电子束加热式蒸发源的结构、电子束加热原理、特点、优点和工作原理以及电子束加热源中电子枪坩埚的处理和电子枪冷却系统的供水问题。
关键词 真空镀膜 电子束加热 蒸发源
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电子束表面改性
5
《制造技术与机床》 北大核心 2015年第3期146-,共1页
高速运动的电子具有波的性质。当高速电子束照射到金属表面时,电子能深入金属表面一定深度,与基体金属的原子核及电子发生相互作用。电子与原子核的碰撞可看作为弹性碰撞,因此能量传递主要是通过电子束的电子与金属表层电子碰撞而完成... 高速运动的电子具有波的性质。当高速电子束照射到金属表面时,电子能深入金属表面一定深度,与基体金属的原子核及电子发生相互作用。电子与原子核的碰撞可看作为弹性碰撞,因此能量传递主要是通过电子束的电子与金属表层电子碰撞而完成的。所传递的能量立即以热能形式传于金属表层原子,从而使被处理金属的表层温度迅速升高。 展开更多
关键词 电子束表面改性 能量传递 电子 弹性碰撞 电子碰撞 表面处理 表层温度 电子束能量 电子束加热
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计算机控制电子束表面淬火
6
作者 R.C.Hanson 杜赓林 《热处理技术与装备》 1984年第6期57-62,共6页
1.引言在金属加工工业中,电子束用于焊接,已有15年以上的历史。当前控制技术的进步,我们有可能进行“束处理”,即以计算机指示束的折射方向,使散焦电子束呈微能点阵状照射到待处理的表面上(图1)。在普通可淬钢表面照射成形光点模型,可... 1.引言在金属加工工业中,电子束用于焊接,已有15年以上的历史。当前控制技术的进步,我们有可能进行“束处理”,即以计算机指示束的折射方向,使散焦电子束呈微能点阵状照射到待处理的表面上(图1)。在普通可淬钢表面照射成形光点模型,可以精确限定局部奥氏体化区域,仃止加热后表面自冷淬火,所获得的表面硬度值比炉子中处理的高1~2HRC。2.电子束系统与热处理工艺电子束处理工艺使用高速电子的聚集束为能源,有选择地对钢与铸铁表面进行局部热处理。 展开更多
关键词 电子束加热 加热 表面淬火 计算机控制 电脑控制
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电子束注入简单磁镜中被电子迴旋共振加热捕获的实验研究
7
作者 张军 王恩耀 +4 位作者 关维恕 程仕清 段淑云 顾彪 尚振奎 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1990年第8期1297-1302,共6页
在简单磁镜MM-2中,在采用15GHz大功率迴旋管进行电子迴旋共振加热(ECRH)的同时,以不同的方式向磁镜中注入电子束,进行了ECRH捕获电子束的实验研究。结果表明:由于电子束的提前注入,等离子体的预电离时间被大大地缩短。由上ECRH对电子束... 在简单磁镜MM-2中,在采用15GHz大功率迴旋管进行电子迴旋共振加热(ECRH)的同时,以不同的方式向磁镜中注入电子束,进行了ECRH捕获电子束的实验研究。结果表明:由于电子束的提前注入,等离子体的预电离时间被大大地缩短。由上ECRH对电子束的捕获,使得热电子环参数得到很大的改善,热电子环的反磁β值约增加62%,对应反磁增加的捕获效率约为(30—40%。在迴旋管输出约30kW的条件下,适应建立热电环的气体压力窗为(4.67—21.3)×10^(-4)Pa。 展开更多
关键词 简单磁镜 ECRH 电子束加热 捕获
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两种方法制备ITO薄膜的红外特性分析 被引量:14
8
作者 周平 黄昱勇 +3 位作者 林宇翔 李海峰 刘旭 顾培夫 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第8期985-988,共4页
比较了用电束加热蒸发法和直流磁控溅射法制备的氧化锡铟 (ITO)薄膜在红外波段的光学特性 实验发现 ,通过直流磁控溅射在常温下制备的ITO薄膜在红外波段折射率稳定、消光系数小 ,比电子束加热蒸发制备的膜有较高的透过率 在波长 1 5 5... 比较了用电束加热蒸发法和直流磁控溅射法制备的氧化锡铟 (ITO)薄膜在红外波段的光学特性 实验发现 ,通过直流磁控溅射在常温下制备的ITO薄膜在红外波段折射率稳定、消光系数小 ,比电子束加热蒸发制备的膜有较高的透过率 在波长 1 5 5 0nm附近的透过率可达 86%以上 ,消光系数约为 0 0 4 ,方电阻最低为 1 0 0Ω/□ . 展开更多
关键词 红外特性 ITO薄膜 光学特性 磁控溅射 电子束加热蒸发 氧化锡铟薄膜 制备方法
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卫星激光通信滤光膜的研制 被引量:12
9
作者 张静 付秀华 潘永刚 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期303-306,共4页
为满足卫星激光通信中超高速数据传输的特殊要求,采用电子束和离子辅助沉积技术,制备了532nm、632nm和1 064nm波长处高反射,808nm和1 550nm处高透射的多波段滤光膜.选取了H4和SiO2作为高低折射率材料,通过对膜系设计曲线的不断优化,减... 为满足卫星激光通信中超高速数据传输的特殊要求,采用电子束和离子辅助沉积技术,制备了532nm、632nm和1 064nm波长处高反射,808nm和1 550nm处高透射的多波段滤光膜.选取了H4和SiO2作为高低折射率材料,通过对膜系设计曲线的不断优化,减少了灵敏层的个数,得到了相对易于制备的膜系结构;采用电子束加热蒸发方法并加以离子辅助沉积系统制备薄膜,采用光控与晶控同时监控的方法控制膜厚;通过不断调整工艺,提高了薄膜的抗激光损伤能力,减小了膜厚控制误差,提高了透射波段的透过率及反射波段的反射率,最终得到了光谱性能较好的滤光膜.该薄膜能够承受雨淋、盐雾、高低温等环境测试,满足使用要求. 展开更多
关键词 卫星激光通信 电子束加热蒸发 离子辅助沉积 激光损伤阈值 膜系设计
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第二十一讲真空卷绕镀膜
10
作者 张以忱 《真空》 CAS 2021年第3期86-88,共3页
(接2021年第2期88页)2.3电子束加热蒸发卷绕镀膜随着薄膜技术的广泛应用,采用电阻加热蒸发已不能满足蒸镀难熔金属和氧化物材料的需要,电阻加热方法的局限性一是来自坩埚、加热体以及各种支撑部件所可能带来的污染;二是电阻加热法的加... (接2021年第2期88页)2.3电子束加热蒸发卷绕镀膜随着薄膜技术的广泛应用,采用电阻加热蒸发已不能满足蒸镀难熔金属和氧化物材料的需要,电阻加热方法的局限性一是来自坩埚、加热体以及各种支撑部件所可能带来的污染;二是电阻加热法的加热功率或温度也受到了一定的限制。因此电阻加热法不适用于高纯或难熔物质的蒸发。 展开更多
关键词 薄膜技术 电阻加热 卷绕镀膜 电子束加热 氧化物材料 难熔金属 支撑部件 加热
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镀厚膜工艺技术研究
11
作者 高建峰 邓宏洲 +1 位作者 高山城 赵卫 《电力电子技术》 CSCD 北大核心 2008年第12期39-40,共2页
通过分析现有镀膜工艺设备的电子束加热原理、结构和热量损耗,并针对实际应用过程中镀膜存在的问题,提出了对现有设备的改进措施,开发出一种新的镀厚膜工艺,较好解决了芯片镀厚膜的工艺技术难题和存在的镀厚膜工艺质量问题,大大提高了... 通过分析现有镀膜工艺设备的电子束加热原理、结构和热量损耗,并针对实际应用过程中镀膜存在的问题,提出了对现有设备的改进措施,开发出一种新的镀厚膜工艺,较好解决了芯片镀厚膜的工艺技术难题和存在的镀厚膜工艺质量问题,大大提高了镀厚膜工艺的工作效率,极大地改善了特高压超大功率电力电子器件的电性能参数,收到了良好的效果。 展开更多
关键词 镀膜 电子束加热/镀厚膜
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掌握国际标准话语权 提升我国非优势产业技术水平
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作者 刘西萍 《电器工业》 2011年第5期35-35,38,共2页
IEC60703:2008《具有电子枪的电热装置的试验方法》、IEC60519-7:2008《电热装置的安全第7部分对具有电子枪装置的特殊要求》两项国际标准研制荣获国家质检总局和国家标准委联合颁发的2010年中国标准创新贡献一等奖。《电子枪的电热装... IEC60703:2008《具有电子枪的电热装置的试验方法》、IEC60519-7:2008《电热装置的安全第7部分对具有电子枪装置的特殊要求》两项国际标准研制荣获国家质检总局和国家标准委联合颁发的2010年中国标准创新贡献一等奖。《电子枪的电热装置》两项国际标准研制由西安电炉研究所有限公司、西安交通大学、西北有色金属研究院。 展开更多
关键词 装置 电子 电子束加热 加热 带电粒子束 国家质检总局 标准委 西安电炉研究所 话语权
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俄罗斯科学家研制出生产碳化铪的新技术
13
《新材料产业》 2017年第8期93-93,共1页
俄罗斯科学院西伯利亚分院布德克尔核物理研究所与固体化学和力学化学研究所的研究人员联合研制出了制造碳化铪的新技术。这种新的制造技术高效、廉价,生产出的碳化铪质量高。科学家首先把铪和碳放在球磨机中旋转,研磨成粉末,进行同... 俄罗斯科学院西伯利亚分院布德克尔核物理研究所与固体化学和力学化学研究所的研究人员联合研制出了制造碳化铪的新技术。这种新的制造技术高效、廉价,生产出的碳化铪质量高。科学家首先把铪和碳放在球磨机中旋转,研磨成粉末,进行同步辐射的X射线衍射,然后通过电子束焊接方法进行定向电子束加热. 展开更多
关键词 俄罗斯科学家 碳化铪 新技术 生产 电子束加热 俄罗斯科学院 制造技术 化学研究所
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现代表面工程技术的新进展 被引量:8
14
作者 李金桂 《航空维修与工程》 1999年第2期13-15,共3页
用以改变材料表面特性的技术,可以追溯到远古,3000多年前中国的大漆、2000多年前秦始皇墓中的青铜剑表面改性层就是明证。油漆、电镀、涂层这些古典防护技术,随着科学技术的进步都在发展之中,而当电子束、离子束、激光束这... 用以改变材料表面特性的技术,可以追溯到远古,3000多年前中国的大漆、2000多年前秦始皇墓中的青铜剑表面改性层就是明证。油漆、电镀、涂层这些古典防护技术,随着科学技术的进步都在发展之中,而当电子束、离子束、激光束这些近代技术于60~70年代进入表面... 展开更多
关键词 表面工程技术 离子注入 表面改性 电子束加热 分子束外延 离子镀 离子束 沉积速度 超大规模集成电路 航空发动机
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Nb表面的清洁处理 被引量:1
15
作者 胡兹甫 吴建新 +1 位作者 刘先明 季明荣 《物理》 CAS 北大核心 1990年第1期47-48,18,共3页
本文介绍了用电子束加热(1500℃)及同时用氩离子溅射的方法进行金属Nb的表面清洁处理,处理结果良好.
关键词 表面清洁处理 电子束加热 氩离子溅射
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Momentum-space imaging spectroscopy for the study of nanophotonic materials 被引量:3
16
作者 Yiwen Zhang Maoxiong Zhao +12 位作者 Jiajun Wang Wenzhe Liu Bo Wang Songting Hu Guopeng Lu Ang Chen Jing Cui Weiyi Zhang Chia Wei Hsu Xiaohan Liu Lei Shi Haiwei Yin Jian Zi 《Science Bulletin》 SCIE EI CSCD 2021年第8期824-838,M0004,共16页
The novel phenomena in nanophotonic materials, such as the angle-dependent reflection and negative refraction effect, are closely related to the photonic dispersions EepT. EepT describes the relation between energy E ... The novel phenomena in nanophotonic materials, such as the angle-dependent reflection and negative refraction effect, are closely related to the photonic dispersions EepT. EepT describes the relation between energy E and momentum p of photonic eigenmodes, and essentially determines the optical properties of materials. As EepT is defined in momentum space(k-space), the experimental method to detect the energy distribution, that is the spectrum, in a momentum-resolved manner is highly required. In this review, the momentum-space imaging spectroscopy(MSIS) system is presented, which can directly study the spectral information in momentum space. Using the MSIS system, the photonic dispersion can be captured in one shot with high energy and momentum resolution. From the experimental momentumresolved spectrum data, other key features of photonic eigenmodes, such as quality factors and polarization states, can also be extracted through the post-processing algorithm based on the coupled mode theory. In addition, the interference configurations of the MSIS system enable the measurement of coherence properties and phase information of nanophotonic materials, which is important for the study of light-matter interaction and beam shaping with nanostructures. The MSIS system can give the comprehensive information of nanophotonic materials, and is greatly useful for the study of novel photonic phenomena and the development of nanophotonic technologies. 展开更多
关键词 Momentum space imaging Nanophotonic material Photonic dispersion Photonic eigenmode Quality factor Polarization state
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Non-thermal radiation heating synthesis of nanomaterials
17
作者 Guowei Xiong Jin Jia +4 位作者 Lili Zhao Xiaoyan Liu Xiaoli Zhang Hong Liu Weijia Zhou 《Science Bulletin》 SCIE EI CSCD 2021年第4期386-406,M0004,共22页
The nanoscale effect enables the unique magnetic,optical,thermal and electrical properties of nanostructured materials and has attracted extensive investigation for applications in catalysis,biomedicine,sensors,and en... The nanoscale effect enables the unique magnetic,optical,thermal and electrical properties of nanostructured materials and has attracted extensive investigation for applications in catalysis,biomedicine,sensors,and energy storage and conversion.The widely used synthesis methods,such as traditional hydrothermal reaction and calcination,are bulk heating processes based on thermal radiation.Differing from traditional heating methods,non-thermal radiation heating technique is a local heating mode.In this regard,this review summarizes various non-thermal radiation heating methods for synthesis of nanomaterials,including microwave heating,induction heating,Joule heating,laser heating and electron beam heating.The advantages and disadvantages of these non-thermal radiation heating methods for the synthesis of nanomaterials are compared and discussed.Finally,the future development and challenges of non-thermal radiation heating method for potential synthesis of nanomaterials are discussed. 展开更多
关键词 Synthesis of nanomaterials Microwave heating Induction heating Joule heating Laser heating
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