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电极间距对防原子氧聚硅氧烷薄膜性能的影响
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作者 李毅 何延春 +5 位作者 王虎 王兰喜 曹生珠 袁璐 王江伟 李中华 《真空与低温》 2024年第1期71-77,共7页
与传统制备防护薄膜的方法相比,等离子体聚合法是一种更高效、干燥和简易的制备方法,可以在各种基底上制备数百纳米厚的致密薄膜涂层。采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)法在大面积柔性聚酰亚胺Kapton基底上制备了聚硅氧烷防原子氧薄... 与传统制备防护薄膜的方法相比,等离子体聚合法是一种更高效、干燥和简易的制备方法,可以在各种基底上制备数百纳米厚的致密薄膜涂层。采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)法在大面积柔性聚酰亚胺Kapton基底上制备了聚硅氧烷防原子氧薄膜。用SEM、AFM、FTIR和XPS等表征分析了电极间距对聚硅氧烷薄膜性能的影响。结果表明,减小电极间距加速了单体的解离和碳基成分的氧化。随着电极距离的减小,薄膜的沉积速度增大,薄膜从有机无机聚硅氧烷薄膜(SiO_(x)C_(y)H_(z))向无机薄膜(SiO_(2))转化。薄膜中高解离能Si-O键的增多,降低了原子氧的侵蚀率。研究结果为用PECVD方法制备其他有机硅功能薄膜奠定了技术基础。 展开更多
关键词 等离子增强化学气相沉积 六甲基二硅氧烷 电极间距 薄膜 原子氧
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准垂直肖特基二极管电极间距对耐压的影响
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作者 梁子彤 陈鹏 +4 位作者 徐儒 殷鑫燕 谢自力 陈敦军 赵红 《固体电子学研究与进展》 CAS 北大核心 2023年第5期419-423,共5页
研究了不同电极间距对准垂直肖特基势垒二极管(SBD)正反向Ⅰ-Ⅴ特性,尤其是击穿电压和漏电的影响。通过制备不同电极间距的准垂直GaN SBD,测量不同电极间距器件的击穿电压和反向漏电变化。测量发现当电极间距小于器件台面刻蚀深度时,器... 研究了不同电极间距对准垂直肖特基势垒二极管(SBD)正反向Ⅰ-Ⅴ特性,尤其是击穿电压和漏电的影响。通过制备不同电极间距的准垂直GaN SBD,测量不同电极间距器件的击穿电压和反向漏电变化。测量发现当电极间距小于器件台面刻蚀深度时,器件的击穿电压随着电极间距的增大而增大;当电极间距大于台面刻蚀深度时,器件的击穿电压随着电极间距的增大而几乎不发生变化。利用Silvaco软件进行了一系列的仿真研究,发现SBD的峰值电场强度不仅取决于电极间距,同时还受限于台面高度。研究表明在准垂直SBD研制中,为得到高击穿电压,电极间距应匹配器件台面的高度。 展开更多
关键词 准垂直结构 肖特基二极管 Silvaco 仿真 电极间距
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不同电极间距下纳秒脉冲表面介质阻挡放电分布特性 被引量:32
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作者 姜慧 邵涛 +1 位作者 章程 严萍 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2017年第2期33-42,共10页
电极间距是表面介质阻挡放电(SDBD)的一个重要结构参数。通过实验研究和仿真计算,研究电极间距对纳秒脉冲SDBD等离子体分布特性的影响,并从理论上分析类弥散和离散通道两种等离子体分布的形成机制。实验研究表明,电极间距是造成两种典... 电极间距是表面介质阻挡放电(SDBD)的一个重要结构参数。通过实验研究和仿真计算,研究电极间距对纳秒脉冲SDBD等离子体分布特性的影响,并从理论上分析类弥散和离散通道两种等离子体分布的形成机制。实验研究表明,电极间距是造成两种典型特性及不同等离子体分布的关键结构参数。通过对放电区域外电场的仿真计算发现,不同电极间距下外电场分布形态和数值的差异,是形成两种不同等离子体分布模式的直接原因。结合气体放电基本理论,分析认为:等离子体类弥散分布是由于流注前向发展和横向激发电离同时在起作用,而离散通道分布是因为流注通道以前向发展为主、横向电离作用较弱;两种等离子体分布模式形成的根本原因在于电场随时间的增大率和随空间的减小率以及流注通道的发展速度之间的匹配。 展开更多
关键词 纳秒脉冲 表面介质阻挡放电 电极间距 等离子体分布特性 外电场分布
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多针电极双极电晕放电电极间距优化 被引量:10
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作者 杨加元 陈海丰 朱益民 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期95-98,共4页
为了得到提高放电功率密度的有效方法,通过实验研究确定了多针电极双极电晕放电方式的优化电极参数。对不同相邻针尖间距s和电极间距d下电晕放电实验中s和d与放电功率密度P关系的分析结果表明,放电功率密度随s的增大总体呈下降趋势,但... 为了得到提高放电功率密度的有效方法,通过实验研究确定了多针电极双极电晕放电方式的优化电极参数。对不同相邻针尖间距s和电极间距d下电晕放电实验中s和d与放电功率密度P关系的分析结果表明,放电功率密度随s的增大总体呈下降趋势,但在12~22mm区间变化不大。兼顾放电稳定性和放电功率密度可优化s为16mm。放电功率密度随d下降,在d约为32mm时,放电具有最大可注入功率密度。 展开更多
关键词 多针电极 正电晕放电 放电功率密度 电极间距 针尖间距 优化
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等电势梯度下电极间距对电渗影响的试验研究 被引量:20
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作者 李瑛 龚晓南 《岩土力学》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期89-95,共7页
通过室内1:5的模型试验进行了等电势梯度下2 m×1 m和1 m×0.5 m两种工程常见矩形布置电极间距下的软黏土电渗性状的研究。利用监测排水量、排水速率、电流、电势、含水率和pH值等指标,对不同电极间距试样的电渗处理效果、能量... 通过室内1:5的模型试验进行了等电势梯度下2 m×1 m和1 m×0.5 m两种工程常见矩形布置电极间距下的软黏土电渗性状的研究。利用监测排水量、排水速率、电流、电势、含水率和pH值等指标,对不同电极间距试样的电渗处理效果、能量效率和电极腐蚀等方面进行了分析。结果表明:保持电势梯度不变而减半电极间距能够加快电渗排水,降低土体含水率,减小能量消耗和电极界面电阻,但也会导致土体pH值变化和阳极腐蚀量的增大。此外,采用较小的电极间距可使损失在电极和土接触面上的电势降减小,但损失的电势降占电源电压的比例增大。 展开更多
关键词 电极间距 矩形布置 电势梯度 电渗效率 电极腐蚀
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电极面积和电极间距对立方体型MFCs产电能力的影响 被引量:11
6
作者 王艳芳 刘百仓 +1 位作者 郑哲 郑雪艳 《可再生能源》 CAS 北大核心 2013年第8期68-74,共7页
以生活污水为底物,普通石墨棒为电极,构建立方体型双室微生物燃料电池(MFCs),研究了阴、阳极电极面积和电极间距对MFCs产电能力的影响。试验结果表明:当阴极表面积作为唯一变量时,阴极表面积越大,电池的产电性能越好,当Acat∶AAn=5时MF... 以生活污水为底物,普通石墨棒为电极,构建立方体型双室微生物燃料电池(MFCs),研究了阴、阳极电极面积和电极间距对MFCs产电能力的影响。试验结果表明:当阴极表面积作为唯一变量时,阴极表面积越大,电池的产电性能越好,当Acat∶AAn=5时MFC产电最佳;当阳极面积作为唯一变量,AAn∶Acat=0.41时,电池产电能力和运行效果最佳;减小电极间距能有效地减少内阻,同时有利于底物和生成物的流动传质;提高输出功率,电极间距为21 mm的装置产电能力和运行效果最佳。 展开更多
关键词 微生物燃料电池 阴极面积 阳极面积 电极间距 功率密度
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多针对板式负电晕放电电极间距确定 被引量:26
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作者 王晓臣 朱益民 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第7期40-42,共3页
分析了针尖和针板间距与放电功率密度的关系。放电功率密度随针尖间距的增大总体呈下降趋势,但针尖间距在9~20mm间变化时放电功率密度变化不大,考虑到放电稳定性和反应器制作成本选择针尖间距为20mm。放电功率密度随针板间距的增大而下... 分析了针尖和针板间距与放电功率密度的关系。放电功率密度随针尖间距的增大总体呈下降趋势,但针尖间距在9~20mm间变化时放电功率密度变化不大,考虑到放电稳定性和反应器制作成本选择针尖间距为20mm。放电功率密度随针板间距的增大而下降;在中等针板间距(约20mm)下,放电具有最大可注入功率密度。 展开更多
关键词 板式负电晕放电 放电特性 电极间距 放电功率密度
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电势梯度与电极间距变化的滨海软土电渗模型试验研究 被引量:9
8
作者 谢新宇 郑凌逶 +2 位作者 谢康和 臧俊超 许纯泰 《土木工程学报》 EI CSCD 北大核心 2019年第1期108-114,121,共8页
电势梯度和电极间距是电渗处理中的常见控制因素。为研究电势梯度和电极间距对滨海软土电渗效率的影响,进行等电极间距变电势梯度和等电势梯度变电极间距两种工况下的电渗模型试验。获取电渗过程中的排水量、通电电流和能耗系数等试验结... 电势梯度和电极间距是电渗处理中的常见控制因素。为研究电势梯度和电极间距对滨海软土电渗效率的影响,进行等电极间距变电势梯度和等电势梯度变电极间距两种工况下的电渗模型试验。获取电渗过程中的排水量、通电电流和能耗系数等试验结果,进一步研究能耗系数与电势梯度、电极间距的关系。在Helmholtz-Smoluchowski(H-S)电渗流方程的基础上,引入界面电阻和起始电势梯度概念进行电渗能耗分析。结果表明:在等电极间距工况下,考虑起始电势梯度的电渗流方程能够较切实地反映电渗能耗系数随电势梯度变化的非线性趋势,宁海滩涂淤泥存在起始电势梯度和相应的经济电势梯度;在等电势梯度工况下,界面电阻和起始电势梯度不影响能耗系数的线性变化规律。 展开更多
关键词 电渗法 电势梯度 电极间距 起始电势梯度 能耗系数 模型试验
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电压和电极间距对BDD电极电化学氧化效率的影响 被引量:2
9
作者 程川 高宝红 +3 位作者 张男男 杨志欣 孙铭斌 檀柏梅 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第12期803-806,共4页
掺硼金刚石(BDD)薄膜电极具有很宽的电势窗口、很小的背景电流、很高的电化学稳定性、其电化学响应在很长时间内保持稳定以及耐腐蚀等优点。采用热丝化学气相沉积(HF—CvD)方法制备掺硼金刚石薄膜,并用金相显微镜、原子力显微镜(... 掺硼金刚石(BDD)薄膜电极具有很宽的电势窗口、很小的背景电流、很高的电化学稳定性、其电化学响应在很长时间内保持稳定以及耐腐蚀等优点。采用热丝化学气相沉积(HF—CvD)方法制备掺硼金刚石薄膜,并用金相显微镜、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)这三种测试方式进行表征。BDD薄膜电极在电解过程中消耗很多能量。从提高氧化效率来降低能耗的角度出发,研究了电压及电极间距对BDD薄膜电极电化学氧化效率的影响。通过实验得出电压在5~13V时电化学氧化效率会随着电压的升高而升高;电极间距在0.5~4cm时电化学氧化效率随着电极间距的增大而降低。 展开更多
关键词 掺硼金刚石(BDD)薄膜电极 电化学 氧化效率 电解电压 电极间距
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脉冲电流冲击力对电极间距的影响 被引量:1
10
作者 李敏堂 王亮 +2 位作者 张大鹏 严萍 周媛 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期243-247,共5页
利用时变场理论和瞬态动力学方程建立了电极及其支撑结构的瞬态耦合模型,分析了瞬态电磁场各参数的分布特点,并求解了电极及其支撑结构的动态响应状态参数。计算结果表明:玻璃钢支撑结构对于脉冲电流形成的冲击力载荷具有很好的缓冲作用... 利用时变场理论和瞬态动力学方程建立了电极及其支撑结构的瞬态耦合模型,分析了瞬态电磁场各参数的分布特点,并求解了电极及其支撑结构的动态响应状态参数。计算结果表明:玻璃钢支撑结构对于脉冲电流形成的冲击力载荷具有很好的缓冲作用;低弹性模量支撑材料在脉冲上升沿和峰值阶段均会产生波动性形变,但该波动性形变对电极间距不会造成太大的影响。 展开更多
关键词 脉冲电流 电极间距 瞬态电磁力 冲击力 动态响应
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电极间距对单室微生物燃料电池处理老龄垃圾渗滤液性能的影响 被引量:5
11
作者 胡金凤 徐龙君 徐艳昭 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第9期2687-2694,共8页
以体积分数为60%的老龄垃圾渗滤液为单室无膜空气阴极微生物燃料电池底物,考察电极间距分别为1、2、3、4、5 cm时电池产电性能及底物中物污染物的去除效果。结果表明,间距为2 cm时输出电压和最大功率密度最大,间距为4 cm时输出电压和最... 以体积分数为60%的老龄垃圾渗滤液为单室无膜空气阴极微生物燃料电池底物,考察电极间距分别为1、2、3、4、5 cm时电池产电性能及底物中物污染物的去除效果。结果表明,间距为2 cm时输出电压和最大功率密度最大,间距为4 cm时输出电压和最大功率密度最小;电极间距为1~3 cm时电池内阻随电极间距的增大而增大,而电极间距大于3 cm时电池内阻随电极间距的增大而减小。电极间距为2 cm时,微生物燃料电池(MFC)对老龄垃圾渗滤液中化学需氧量(COD)和氨氮去除率最高;5个电池的库伦效率分别为35.6%、27.6%、35.4%、14.9%和14.9%,单室无膜空气阴极MFC可在一定程度上提高老龄垃圾渗滤液的可生化性。 展开更多
关键词 单室微生物燃料电池 电极间距 老龄垃圾渗滤液 产电性能 污染物去除
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电极间距对空腔阴极自脉冲放电影响的机制
12
作者 哈静 刘立芳 何寿杰 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第3期796-804,共9页
为了进一步揭示空腔阴极自脉冲放电特性和机理,利用槽型空腔放电结构实验研究了阴极和阳极间距对自脉冲放电特性的影响。同时利用流体模型模拟研究了空腔阴极放电击穿阶段的微观动力学过程。结果表明,自脉冲放电过程中存在明显的负微分... 为了进一步揭示空腔阴极自脉冲放电特性和机理,利用槽型空腔放电结构实验研究了阴极和阳极间距对自脉冲放电特性的影响。同时利用流体模型模拟研究了空腔阴极放电击穿阶段的微观动力学过程。结果表明,自脉冲放电过程中存在明显的负微分电阻现象,自脉冲频率随着平均电流的增加近似线性增加。阴极和阳极间距对自脉冲放电特性有一定影响。随着阴极和阳极间距的增加,极间平均电压和自脉冲频率增高,电流峰值减小,自脉冲电压峰值和最低值增高,自脉冲上升沿时间增长。电流最低值基本不随极间距的变化而变化。模拟结果表明,自脉冲放电为由位于孔口位置处的低电流、低电子密度、轴向电场为主放电模式,向孔内放电为主、较高电子密度、径向电场为主放电模式的周期性转换过程。空腔阴极自脉冲放电为净正空间电荷层或者说是虚拟阳极由孔外向孔内再移到孔外,强度先增强后减弱再增强的一个反复过程。阴极和阳极间距越小,阳极对腔内放电影响越明显,腔内放电更强烈,电流峰值越高。另外,研究结果表明,放电单元的等效电阻值主要由放电空间电子密度决定:电子密度越高,等效电阻越低。 展开更多
关键词 空腔放电 自脉冲 电极间距 流体模型 虚拟阳极
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调节液电式电极间距治疗上尿路结石208例分析
13
作者 杨秀书 刘军 +1 位作者 孙照林 罗明显 《贵州医药》 CAS 2001年第3期219-219,共1页
关键词 上尿路结石 治疗 液电式电极间距调节 病例报告
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高压脉冲电极间距对破碎后混凝土物理性能影响研究
14
作者 张岩 《混凝土》 CAS 北大核心 2020年第12期21-25,共5页
为了研究高压脉冲电极间距对破碎后混凝土物理性能影响规律,采用4种电极间距开展混凝土的破碎试验,分析电极间距对破碎后的骨料吸水率、失水率、粒度分布、压碎值和表面粗糙度的影响规律。试验结果表明:脉冲破碎后,破碎骨料主要有3种表... 为了研究高压脉冲电极间距对破碎后混凝土物理性能影响规律,采用4种电极间距开展混凝土的破碎试验,分析电极间距对破碎后的骨料吸水率、失水率、粒度分布、压碎值和表面粗糙度的影响规律。试验结果表明:脉冲破碎后,破碎骨料主要有3种表观形态;随着电极间距的加大,混凝土破碎后粒组呈现多样性,骨料连续级配逐渐形成;大粒组的吸水率较小粒组呈现加速降低的趋势,总体上1 h内,破碎骨料吸水程度迅速达到最大值,粒组为5~20、16~31.5 mm较0.16 h分别提高25.53%和12.86%,至24 h,二者较初期(1 h)仅分别提高18.82%和3.02%;失水方面,大、小粒组的失水率呈现提高的趋势;粒组范围内骨料的质量占比总体上呈现先增加后降低的趋势;同粒组下混凝土压碎值呈现基本不变的情况;破碎产物总体粗糙度呈现先增大后降低的趋势,降低拐点出现在电极间距157.5 mm处。 展开更多
关键词 混凝土 高压脉冲 电极间距 固废利用 粒度
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电极间距对ZnO基MSM紫外光电探测器性能的影响 被引量:3
15
作者 李超群 陈洪宇 +2 位作者 张振中 刘可为 申德振 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期1172-1175,共4页
利用金属有机物化学气相沉积法在蓝宝石衬底上制备了ZnO薄膜。利用Au电极,在ZnO薄膜上制备电极间距不同的金属-半导体-金属结构紫外光电探测器。发现随着电极间距从150μm降至5μm,探测器响应度呈现出从15 mA/W到75 mA/W的明显提高。同... 利用金属有机物化学气相沉积法在蓝宝石衬底上制备了ZnO薄膜。利用Au电极,在ZnO薄膜上制备电极间距不同的金属-半导体-金属结构紫外光电探测器。发现随着电极间距从150μm降至5μm,探测器响应度呈现出从15 mA/W到75 mA/W的明显提高。同时,随着电极间距的减小,器件的I-V曲线线形发生了显著改变。这被归结为电极间距变化改变了器件耗尽区宽度和电极间电阻造成的结果。 展开更多
关键词 ZNO 光电探测器 MSM 电极间距 响应度
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电极间距对微生物脱盐电池处理高浓度氨氮废水的影响
16
作者 李广 董晓航 《吉林建筑大学学报》 CAS 2022年第5期57-61,74,共6页
为解决传统去除高浓度氨氮方法能耗大、成本高等问题,本文以高浓度氨氮废水为处理对象,构建了一种同步进行“产电-脱氮-除COD”的微生物脱盐电池系统(Microbial desalination cell,MDC),探讨了3种不同电极间距(3.5 cm,4.5 cm,5.5cm)对... 为解决传统去除高浓度氨氮方法能耗大、成本高等问题,本文以高浓度氨氮废水为处理对象,构建了一种同步进行“产电-脱氮-除COD”的微生物脱盐电池系统(Microbial desalination cell,MDC),探讨了3种不同电极间距(3.5 cm,4.5 cm,5.5cm)对微生物脱盐电池产电性能、脱盐室脱氮速率以及阳极室COD去除率的影响.结果表明,不同电极间距下氨氮去除率均能超过94%,在电极间距为3.5 cm时脱氮效果最佳,从900 mg/L降至40 mg/L去除速率为3.27 mg/h,并且产电性能也是最优,最大功率密度、开路电压和内阻分别为6.04 W/m^(3),755 m V,43.07Ω;COD去除率及库伦效率达到最大,分别为96.4%,(4.62±0.05)%.研究结果为进一步优化MDC结构以及废水处理应用提供了参考. 展开更多
关键词 微生物脱盐电池 高浓度氨氮废水 电极间距 氨氮
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不同电极间距下自生电场膜生物反应器中的膜污染行为分析 被引量:1
17
作者 印霞棐 李秀芬 +2 位作者 华兆哲 任月萍 王新华 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第11期4485-4492,共8页
以自制铜纳米线(Cu-NWs)导电微滤膜为膜组件兼阴极,构建自生电场膜生物反应器(SEF-MBR),研究不同电极间距下自生电场强度、跨膜压差(TMP)与膜污染行为的变化规律,可为MBR技术升级及进一步推广应用提供理论依据。结果表明,当电极间距从4c... 以自制铜纳米线(Cu-NWs)导电微滤膜为膜组件兼阴极,构建自生电场膜生物反应器(SEF-MBR),研究不同电极间距下自生电场强度、跨膜压差(TMP)与膜污染行为的变化规律,可为MBR技术升级及进一步推广应用提供理论依据。结果表明,当电极间距从4cm减小到2cm时,自生电场强度从0.7mV/cm提高到1.2mV/cm,TMP的上升速度从0.15kPa/d降低到0.08kPa/d。缩短电极间距有利于缓解膜污染。随电极间距减小,静电斥力提高了40.5%,阴极产生的H_2O_2和·OH浓度也大大增加。电极间距对SEF-MBRs好氧活性污泥的胞外聚合物含量影响不大,但均低于对照MBR系统。共聚焦激光扫描电镜(CLSM)观察发现,与对照系统相比,导电微滤膜表面的污染层厚度减小了20.2%,膜表面污染物以微生物总细胞和β-D-glucopyranose多糖为主。缩短电极间距可提高系统自生电场强度,进而提高静电斥力及H_2O_2和·OH产生量,减缓膜污染。 展开更多
关键词 电极间距 电场强度 自生电场膜生物反应器 膜污染
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交直流叠加电解铜电极间距对阴极铜的影响
18
作者 王晓莉 《表面工程与再制造》 2015年第5期29-30,共2页
0前言 本文较系统研究了在小型电解精炼槽中,用交直流叠加电源电解精炼铜过程中的关键参数,以及影响交直流叠加电解精炼铜层质量的温度、电解液铜酸配比等因素。在确定了合适的镀铜工艺条件:交流电频率f=500 Hz,E=2 0 m V,电流密度280... 0前言 本文较系统研究了在小型电解精炼槽中,用交直流叠加电源电解精炼铜过程中的关键参数,以及影响交直流叠加电解精炼铜层质量的温度、电解液铜酸配比等因素。在确定了合适的镀铜工艺条件:交流电频率f=500 Hz,E=2 0 m V,电流密度280 A/m 2, 展开更多
关键词 阴极铜 电解精炼 电极间距 镀铜工艺 电极 铜层 铜沉积 电流密度 阳极钝化 溶液浓度
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基于sEMG和肌肉深度的多通道阵列电极间距研究 被引量:2
19
作者 于祥 赵翠莲 《电子测量技术》 北大核心 2021年第11期16-21,共6页
针对不同深度肌肉肌电信号检测的电极间距不明确的问题,首先分析了单纤维肌电信号仿真模型中电极间距和肌纤维深度对肌电信号的影响;然后结合尺侧腕伸肌和膈肌肌电信号采集实验,分析电极间距与肌电信号振幅和频谱之间的关系。计算电极... 针对不同深度肌肉肌电信号检测的电极间距不明确的问题,首先分析了单纤维肌电信号仿真模型中电极间距和肌纤维深度对肌电信号的影响;然后结合尺侧腕伸肌和膈肌肌电信号采集实验,分析电极间距与肌电信号振幅和频谱之间的关系。计算电极间距扩大对肌电信号振幅增长的贡献率,从而确定适合于不同层次肌肉肌电信号检测的阵列电极间距。仿真分析和实验结果均表明电极间距扩大可提高肌电信号的振幅,且用于深层肌肉肌电信号检测的电极较之浅层肌肉需要更大的电极间距。 展开更多
关键词 多通道阵列电极 表面肌电 肌肉深度 肌电信号仿真模型 电极间距 时频域矩
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电极间距对BeMgZnO薄膜光电探测器性能的影响
20
作者 裴卫杰 杨蓉慧子 +5 位作者 陈剑 张腾 汪洋 黎明锴 卢寅梅 何云斌 《湖北大学学报(自然科学版)》 CAS 2020年第3期253-258,共6页
通过脉冲激光沉积的方法在c面蓝宝石衬底上制备Be和Mg共掺的BeMgZnO四元合金薄膜.表征测试结果表明,所得薄膜为沿c轴外延生长、具有纤锌矿结构的高质量薄膜,其具有比纯ZnO明显更大的带隙(4.3 eV).在此薄膜表面分别蒸镀间距为10μm和100... 通过脉冲激光沉积的方法在c面蓝宝石衬底上制备Be和Mg共掺的BeMgZnO四元合金薄膜.表征测试结果表明,所得薄膜为沿c轴外延生长、具有纤锌矿结构的高质量薄膜,其具有比纯ZnO明显更大的带隙(4.3 eV).在此薄膜表面分别蒸镀间距为10μm和100μm的平行Au电极,得到电极间距不同的两种BeMgZnO基光电探测器.通过I-V,I-t测试,系统研究电极间距对光电探测器性能的影响,结果表明:当BeMgZnO光电探测器的电极间距较小时(10μm),其暗电流更大,光电流更小,响应速度更快.这些信息可为高性能光电探测器的设计提供有益参考. 展开更多
关键词 光电探测器 脉冲激光沉积 合金薄膜 BeMgZnO 电极间距
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