本文讨论了纯相位硅基液晶器件(liquid crystal on silicon device,LCOS)的芯片级封装技术.包括具体基础工艺介绍、关键工艺分析及封装检测、质量控制方法等.其中详细介绍了工艺步骤中的玻璃基板和硅基板的光学预先检测、基板清洗、取...本文讨论了纯相位硅基液晶器件(liquid crystal on silicon device,LCOS)的芯片级封装技术.包括具体基础工艺介绍、关键工艺分析及封装检测、质量控制方法等.其中详细介绍了工艺步骤中的玻璃基板和硅基板的光学预先检测、基板清洗、取向层处理、胶水涂覆、组装封装及灌注液晶工艺.同时在密封胶水涂覆、灌注液晶及如何控制器件厚度的原则问题上做出了重点阐述,最后定义了优质封装质量的纯相位硅基液晶器件应该具备的基本要素.展开更多
由于科技的发展和不同应用需求的提出,在过去的几十年时间内,新型显示技术层出不穷。但是,在微显示领域,由于可以在成本、显示性能、功耗和屏幕尺寸等方面实现性能的综合优化,硅基液晶(liquid crystal on silicon,LCoS)显示技术具有其...由于科技的发展和不同应用需求的提出,在过去的几十年时间内,新型显示技术层出不穷。但是,在微显示领域,由于可以在成本、显示性能、功耗和屏幕尺寸等方面实现性能的综合优化,硅基液晶(liquid crystal on silicon,LCoS)显示技术具有其独有的优势。LCoS微显示基于集成电路工艺实现,需高度集成电路和显示器件。随着集成电路技术的发展以及加工精度的提高,LCoS有望在保证其显示性能的前提下进一步实现显示微缩化,并成为微显示领域的主流。阐述了LCoS显示技术的原理和特性,以及国内外LCoS显示技术的发展现状,为LCoS显示从架构、方案及电路设计等方面提供了技术参考。展开更多
文摘本文讨论了纯相位硅基液晶器件(liquid crystal on silicon device,LCOS)的芯片级封装技术.包括具体基础工艺介绍、关键工艺分析及封装检测、质量控制方法等.其中详细介绍了工艺步骤中的玻璃基板和硅基板的光学预先检测、基板清洗、取向层处理、胶水涂覆、组装封装及灌注液晶工艺.同时在密封胶水涂覆、灌注液晶及如何控制器件厚度的原则问题上做出了重点阐述,最后定义了优质封装质量的纯相位硅基液晶器件应该具备的基本要素.
文摘由于科技的发展和不同应用需求的提出,在过去的几十年时间内,新型显示技术层出不穷。但是,在微显示领域,由于可以在成本、显示性能、功耗和屏幕尺寸等方面实现性能的综合优化,硅基液晶(liquid crystal on silicon,LCoS)显示技术具有其独有的优势。LCoS微显示基于集成电路工艺实现,需高度集成电路和显示器件。随着集成电路技术的发展以及加工精度的提高,LCoS有望在保证其显示性能的前提下进一步实现显示微缩化,并成为微显示领域的主流。阐述了LCoS显示技术的原理和特性,以及国内外LCoS显示技术的发展现状,为LCoS显示从架构、方案及电路设计等方面提供了技术参考。