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硅基衬底Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3厚膜制备的Sol-gel新方法 被引量:7
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作者 王喆垚 刘建设 +2 位作者 任天令 刘理天 李志坚 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第8期830-834,共5页
介绍了一种改进的制备压电厚膜的 sol- gel新方法 ,通过添加聚乙烯吡咯烷酮 (poly vinyl pyrrolidone,PVP)来抑制厚膜中裂纹的产生 .文中讨论了最大无裂纹膜厚与 PVP摩尔比及热处理的关系 ,并给出了 BST的 SEM显微照片 .
关键词 硅基衬底 厚膜 MEMS 溶胶-凝胶 微电子机械 压电陶瓷
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基于硅基微纳结构衬底的光操控-表面增强拉曼光谱方法研究 被引量:1
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作者 张旭 辛坤 +1 位作者 史晓凤 马君 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第7期2116-2121,共6页
表面增强拉曼散射(SERS)增强基底的制备是实现SERS技术高灵敏度探测的关键因素,利用光操控技术制备金属纳米粒子聚集体是近来SERS领域研究的热点。利用飞秒激光湿法刻蚀技术,在硅片表面5 mm×5 mm范围内刻蚀横截面积(宽度×深度... 表面增强拉曼散射(SERS)增强基底的制备是实现SERS技术高灵敏度探测的关键因素,利用光操控技术制备金属纳米粒子聚集体是近来SERS领域研究的热点。利用飞秒激光湿法刻蚀技术,在硅片表面5 mm×5 mm范围内刻蚀横截面积(宽度×深度)为10μm×7μm, 30μm×12μm, 60μm×15μm, 70μm×19μm和90μm×21μm的狭槽线阵,制备截面积不同的微纳硅基衬底(SiMS)。应用光操控技术结合SERS方法,在金纳米溶胶中加入硅基衬底。并将激光对焦在衬底狭槽内,在光辐射压力的作用下,金纳米粒子沿光束的传播方向运动,聚集于微纳结构表面的狭槽内,形成金纳米粒子聚集体,促进"热点"效应,提高SERS探测的灵敏度,实现了在硅基微纳结构衬底上探测物的SERS增强。实验表明,利用光辐射压力和光梯度力的合力,金属纳米粒子能有效聚集在硅基微纳结构衬底表面的狭槽中,形成更多的"热点",从而可大幅提高SERS增强效果。以芘为探针分子,随着狭槽截面积的增加, SERS信号逐渐增强,狭槽截面积为70μm×19μm时达到最强,超过该截面积后,拉曼信号强度开始降低, SERS强度最高增强了约两个数量级,最低检测浓度为5.0×10^-9 mol·L^-1,在低浓度范围内(5.0×10^-9~1.0×10^-7 mol·L^-1),芘位于588和1 234 cm^-1处特征峰强与浓度的关系曲线呈现较好的线性相关性,其拟合方程及线性相关系数分别为0.992和0.971。以截面积为70μm×19μm的微纳衬底进行了重复性实验,每完成一次实验,关掉激光器,待激光的作用消失,狭槽内聚集的金纳米粒子重新分散在溶液中,进行下一次实验。选取微纳衬底8个不同位置,每个位置重复三次实验,衬底不同位置芘的588和1 234 cm^-1两个特征峰峰强的相对标准偏差(RSD)分别为9.9%和2.0%,具有较好的重复性。与仅使用金纳米颗粒相比,该方法保留了金纳米颗粒重复性好的优势,同时具有更高的增强效应和衬底清洗后可重复使用的优点。研究表明,基于硅基微纳结构衬底的光操控-SERS方法,可极大地提高金纳米颗粒的SERS效应,在化学和生物学等领域的物质检测分析方面具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 表面增强拉曼光谱(SERS) 微纳结构 光操控技术
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基于硅基图形衬底的Ⅲ-Ⅴ族材料异质生长
3
作者 吕奇峰 洪文婷 +3 位作者 马刘红 王昊 韩伟华 杨富华 《微纳电子技术》 北大核心 2015年第12期800-810,共11页
介绍了基于硅基图形衬底的Ⅲ-Ⅴ族材料异质生长的方法,主要包括选区生长Ⅲ-Ⅴ族纳米线和微通道外延薄膜。选区生长Ⅲ-Ⅴ族纳米线可以有效控制Ⅲ-Ⅴ族纳米线的直径,并控制位错扩散,从而可以在硅衬底上生长出高晶体质量的Ⅲ-Ⅴ族材料。同... 介绍了基于硅基图形衬底的Ⅲ-Ⅴ族材料异质生长的方法,主要包括选区生长Ⅲ-Ⅴ族纳米线和微通道外延薄膜。选区生长Ⅲ-Ⅴ族纳米线可以有效控制Ⅲ-Ⅴ族纳米线的直径,并控制位错扩散,从而可以在硅衬底上生长出高晶体质量的Ⅲ-Ⅴ族材料。同时,微沟道外延可以将位错限制在外延材料中极小范围内,保证外延材料的器件层晶体质量良好。微沟道外延分为两种形式:垂直生长和横向生长,原理分别是高深宽比陷阱和横向过生长。通过这两种生长形式,可以分别制备纳米条及纳米薄膜。硅基图形衬底的设计为Ⅲ-Ⅴ族材料在硅基衬底上集成提供了有效的途径,势必成为Ⅲ-Ⅴ族材料和硅异质集成的主流方法之一。 展开更多
关键词 图形 Ⅲ-Ⅴ族材料 微通道外延 选区生长 纳米结构
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束流强度分布与膜厚的关系 被引量:1
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作者 李震 王文燕 +2 位作者 强宇 王丛 高达 《红外》 CAS 2019年第9期23-27,共5页
为了验证束流强度分布对膜厚的影响,通过束流分布的理论计算模拟出外延膜的分布,并与外延实验样品数据进行了对比,结果证实了我们的猜测,可以部分解释膜厚分布不均的情况。利用公式计算束流强度的分布,得出最薄点应为最厚点的73.26%。... 为了验证束流强度分布对膜厚的影响,通过束流分布的理论计算模拟出外延膜的分布,并与外延实验样品数据进行了对比,结果证实了我们的猜测,可以部分解释膜厚分布不均的情况。利用公式计算束流强度的分布,得出最薄点应为最厚点的73.26%。实验测试的膜厚的最厚点为8.1582 m,最薄点为5.9362 m,比例为72.76%,与计算结果基本相符。因此,可以确定束流强度分布对膜厚有一定的影响。但实际材料的膜厚不仅受束流分布的影响,还与其他工艺参数相关。由于采用了理论计算与实验相互对比的方法,比单纯实验所得出的结果更准确可靠。 展开更多
关键词 MBE 硅基衬底 束流分布
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Ⅲ-Ⅴ族纳米线晶体管的研究进展 被引量:2
5
作者 张望 韩伟华 +2 位作者 吕奇峰 王昊 杨富华 《微纳电子技术》 北大核心 2016年第2期87-97,共11页
从器件结构和电学特性等方面,对具有垂直结构和水平结构的Ⅲ-Ⅴ族纳米线晶体管的最新研究进展进行了综述。对于垂直器件,虽然高质量的垂直Ⅲ-Ⅴ族纳米线易于获得,但栅极的逻辑布线难以实现;对于水平结构器件,虽然栅极的逻辑布线与当前... 从器件结构和电学特性等方面,对具有垂直结构和水平结构的Ⅲ-Ⅴ族纳米线晶体管的最新研究进展进行了综述。对于垂直器件,虽然高质量的垂直Ⅲ-Ⅴ族纳米线易于获得,但栅极的逻辑布线难以实现;对于水平结构器件,虽然栅极的逻辑布线与当前的平面硅差异不大,但无催化剂条件下难以选区定位生长水平Ⅲ-Ⅴ族纳米线。硅基Ⅲ-Ⅴ族纳米线晶体管不仅能有效提高沟道迁移率等性能,而且可以保证与硅工艺的兼容性,同时降低Ⅲ-Ⅴ族材料晶体管高昂的成本。研究表明,水平结构的硅基Ⅲ-Ⅴ族纳米线晶体管将具有更大的发展潜力。 展开更多
关键词 晶体管 Ⅲ-Ⅴ族纳米线 垂直结构 水平结构 硅基衬底
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Preparation of poly (N-isopropylacrylamide) brush bonded on silicon substrate and its water-based lubricating property 被引量:10
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作者 LIU YuHong XIAO YuQi LUO JianBin 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2012年第12期3352-3358,共7页
The poly (N-isopropylacrylamide) brush was covalently bonded on an initiator-coated silicon wafer via surface-initiated atom transfer radical polymerization. The polymer brush was (76.2±0.1) nm in thickness (by e... The poly (N-isopropylacrylamide) brush was covalently bonded on an initiator-coated silicon wafer via surface-initiated atom transfer radical polymerization. The polymer brush was (76.2±0.1) nm in thickness (by ellipsometer) with a grafting density of ca. 0.27 chains/nm 2 . The tribological properties of the poly (N-isopropylacrylamide) brush were investigated by means of ball-on-disk tests in a rotational mode under water lubrication for tribological application. The experimental results exhibited a low friction coefficient of ca. 0.03. The excellent lubrication property of the brush was due to its amide groups in the polymer chains. It was supposed that the good lubrication property of the brush was attributed to the cross-linked polymer network formed by the hydrogen bond association of N-H…O==C and the water molecular layer adsorbed by the terminal amide groups in the brush. The poly (N-isopropylacrylamide) solution also exhibits a lubrication property due to physical adsorption of the polymer chains. 展开更多
关键词 poly(N-isopropylacrylamide) brush surface-initiated atom transfer radical polymerization water-based lubricatingproperties
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Fast growth of graphene on SiO2/Si substrates by atmospheric pressure chemical vapor deposition with floating metal catalysts
7
作者 Na Liu Jia Zhang +2 位作者 Yunfeng Qiu Jie Yang PingAn Hu 《Science China Chemistry》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第6期707-712,共6页
Graphene on dielectric substrates is essential for its electronic applications. Graphene is typically synthesized on the surface of metal and then transferred to an appropriate substrate for fabricating device applica... Graphene on dielectric substrates is essential for its electronic applications. Graphene is typically synthesized on the surface of metal and then transferred to an appropriate substrate for fabricating device applications. This post growth transfer process is detrimental to the quality and performance of the as-grown graphene. Therefore, direct growth of graphene films on dielectric substrates without any transfer process is highly desirable. However, fast growth of graphene on dielectric substrates remains challenging. Here, we demonstrate a transfer-free chemical vapor deposition (CVD) method to directly grow graphene films on dielectric substrates at fast growth rate using Cu as floating catalyst. A large area (centimeter level) graphene can be grown within 15 min using this CVD method, which is increased by 500 times compared to other direct CVD growth on dielectric substrate in the literatures. This research presents a significant progress in transfer-free growth of graphene and graphene device applications. 展开更多
关键词 GRAPHENE fast growth dielectric substrates
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