影响硅片翘曲度的设备因素分析

剖析了多线切割的工作机理和硅片切割原理,对影响硅片翘曲度的设备关键部件进行理论分析,并通过切割试验来对分析的结果进行论证;同时,创建切割钢线的理想力学模型,利用偏微分方程对模型进行力学分析,分析出切割钢线工作时的振动特性,并进一步论证钢线振动诱发的加工特性对硅片翘曲度的影响。