脉冲射频等离子体聚合沉积乙烯基乙酸

通过脉冲射频等离子体聚合方法获得乙烯基乙酸沉积薄膜 ,并用红外光谱、x射线光电子能谱、表面张力、微分扫描量热分析及扫描电子显微镜等测试方法研究聚合沉积薄膜的化学结构、表面物理形貌与脉冲放电条件的关系 .实验结果表明 ,采用脉冲放电 ,在脉冲占空比较低时 ,能够保留较多的完整的单体分子官能团 .如果脉冲占空比较高或是采用连续波放电时 ,聚合沉积薄膜的化学结构与单体相比有较大改变 .聚合沉积薄膜在放置一段时间后表面为规整的高度交联的网络状结构 .放电形式不同 ,结构有所区别 .因此可以根据实际需要 ,选择不同的放电参数 ,“保留”或“裁剪”特定单体分子官能团 。

CO_(2)超脉冲激光联合微等离子体射频技术治疗面部痤疮凹陷性瘢痕的临床效果分析

目的 探讨CO_(2)超脉冲激光联合微等离子体射频技术治疗面部痤疮凹陷性瘢痕的效果。方法 回顾性分析2020-05—2021-09郑州大学第一附属医院整形外科收治的40例面部痤疮凹陷性瘢痕患者的临床资料,根据治疗方式的不同分为CO_(2)超脉冲激光联合微等离子体射频技术治疗组(联合治疗组)和微等离子体射频技术治疗组(等离子治疗组),每组20例。评价治疗前、治疗后3个月的痤疮瘢痕权重评分(ECCA),记录每次治疗后的不良反应情况并对治疗时的疼痛程度进行视觉模拟评分法(VAS)评分。根据瘢痕改善程度评价治疗效果,统计治疗有效率。结果 治疗前2组患者的ECCA评分差异无统计学意义(P>0.05)。治疗后3个月时,2组患者的ECCA评分均较治疗前显著改善,其中联合治疗组的改善效果优于等离子治疗组,差异均有统计学意义(P<0.05)。2组患者每次治疗后均出现水肿、渗液、持续性红斑、结痂等不良反应,痂皮脱落时间、红斑持续时间差异均无统计学意义(P>0.05)。联合治疗组患者每次治疗后的VAS评分低于等离子治疗组,治疗总有效率优于等离子治疗组,差异均有统计学意义(P<0.05)。结论 CO_(2)超脉冲激光联合微等离子体射频技术治疗面部痤疮凹陷性瘢痕,可有效改善痤疮瘢痕权重评分,减轻患者治疗后的疼痛程度和提升治疗有效率。

射频等离子体聚合沉积六甲基二硅氧烷

为研究新颖环保的材料表面改性技术,通过射频等离子体聚合方法聚合沉积六甲基二硅氧烷(HMDSO)薄膜,并使用发射光谱、红外光谱、扫描电镜、原子力显微镜等测试方法,研究了HMDSO聚合膜的化学结构和物理形貌。实验结果表明,等离子体放电空间内的活性粒子对聚合膜的组成有直接影响。HMDSO等离子体聚合膜中含有Si—O、—CH3、—OH、C O、C—O等官能团,其表面形貌为微米颗粒堆积膜,是一种新颖的聚合物膜。

射频等离子体自偏压及其对聚合成膜的影响

通过实验分析了射频等离子体自偏压的产生及与电子密度、电子温度的关系和对聚合成膜质量的影响并探讨了其机制,指出产生自偏压可明显改善等离子体聚合成膜质量,这是由于自偏压提高了等离子体中电子温度和电子密度的结果。在直接利用等离子体进行聚合反应制备薄膜时,应根据装置条件选择合适的自偏压值。

脉冲射频/40kV高压直接耦合等离子体离子注入电源系统研制

研制的用于等离子体浸没离子注入（PIII）的电源系统采用高压隔离与高频滤波技术,将40 kV高压脉冲电源与13.56 MHz射频电源直接耦合,由单一输出电缆连接到实验靶台上,通过射频与高压脉冲的时序控制,实现了40 kV的高压脉冲与脉冲射频交替输出。工作过程中,通过射频产生等离子体,而后施加高压脉冲获得离子注入,进而实现PIII与沉积。该电源系统的性能指标为：高压脉冲电压幅值10-40 kV,脉冲频率10-1000 Hz,射频脉冲宽度0.01-10 ms,射频与高压间隔0.1-10 ms,高压脉冲功率6 kW,射频脉冲功率1 kW。实验研究表明能够有效的实现PIII。本文将介绍该种新电源的设计思想、电路以及在内凹零部件（如管筒内壁）等离子体离子注入等方面的应用。

射频脉冲N_2等离子体蓝紫光源的发光性能研究及其应用

继续沿用传统PS版的计算机直接制版技术(CTP)对于我国的印刷包装行业具有特殊重要的意义。本文利用占空比可调的脉冲射频低温等离子体电源激励氮气等离子体,通过测量辐射光功率密度,从不同占空比、射频功率、气压等方面研究了等离子体光源的发光特性,在入射功率61W,占空比54.5%,气压550Pa条件下获得了256μW/cm2的蓝紫光输出,可以满足PS版感光的要求。最后给出了利用本光源使PS版感光的结果。

直流脉冲偏压协同射频等离子体对PET膜的表面改性

利用协同射频等离子体对聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜进行表面改性,主要研究了直流(DC)脉冲偏压协同作用对PET膜表面快速(15 s)处理效果的影响。实验表明:DC脉冲偏压作用后PET表面润湿性得到了明显的改善,接触角可在15 s的处理时间内降到20°。改性后的PET与Au膜的剥离力比未处理样品提升了近6倍。场发射扫描电镜测试结果发现,薄膜表面刻蚀现象明显,表面粗糙程度增加。经过X射线光电子能谱分析表明,改性后的PET表面生成了大量的含氧极性官能团,使得表面含氧量有了很大的提高。结果表明DC脉冲偏压可快速有效地提高PET膜表面粗糙程度和含氧官能团数量,进而影响其亲水性和表面黏结性,为进一步改善等离子体表面改性工艺提供了依据。

微等离子体射频技术联合长脉冲1064nmNd:YAG激光治疗增生性瘢痕的临床研究

目的：利用微等离子体射频技术联合长脉冲1064 nm Nd：YAG激光治疗增生性瘢痕并观察临床疗效。方法：选取2012年3月-2013年9月在本院整形科门诊和住院部诊断为增生性瘢痕的80例患者，按照随机数字表法将其分为治疗组和对照组各40例。治疗组采用微等离子体射频技术联合长脉冲1064 nm Nd：YAG激光治疗，对照组单独应用微等离子体射频技术，观察皮肤反应并对两种方法进行比较，评价其疗效。结果：治疗后随访3~6个月，治疗组中39例满意，1例不满意，满意率97.5%；对照组中32例满意，8例不满意，满意率80.0%，治疗组的患者满意率明显高于对照组，差异有统计学意义（P〈0.05）。结论：微等离子体射频技术联合长脉冲1064 nm Nd：YAG激光治疗增生性瘢痕比单独应用微等离子体射频技术疗效好，患者满意率高，值得临床推广。

射频等离子体放电的宏观参数与PET表面改性的关系

通过射频等离子体放电，采用O2，CF4及CH4／CF4混合气体等离子体对PET表面进行处理。改变射频等离子体放电的宏观参数，如放电时间、放电功率、电极间距离和复合参数，详细地研究了这些参数对PET表面改性的影响。结果表明：碳氟混合气体等离子体在PET表面的沉积速率为正值，在PET表面形成了聚合物；而O2和纯CF4气体的沉积速率为负值，两者在PET表面产生刻蚀效应。增加等离子体放电功率和放电时间，聚合或刻蚀效果更明显；而增加电极间距离和复合参数，聚合或刻蚀效果明显减弱。

采用连续、脉冲等离子体合成低表面能薄膜

采用连续与脉冲射频等离子体合成低表面能薄膜SiCxOy。通过对薄膜性能的表征,发现等离子体放电模式影响聚合膜的化学结构、表面成份、表面能数值大小,认为采用脉冲射频等离子体更易合成低表面能聚合物。

溴甲烷的等离子体发射光谱测量

利用脉冲射频空心阴极等离子体源激发含溴甲烷的工作气体产生等离子体,采用HR4000型高分辨力光谱仪测量了等离子体的发射光谱。通过光谱比较,在等离子体发射光谱图中得到了位于635.07,700.52nm的溴原子的特征峰,并实验研究了工作气压和溴甲烷密度对溴原子特征峰强度的影响。实验结果表明:在相同的溴甲烷密度下,溴原子的特征峰强度随气压的升高而降低;在相同的气压条件下,溴原子的特征峰强度随溴甲烷密度的升高而升高;溴甲烷密度测量的精度高于1g/m3。

飞秒激光等离子体通道传导能量特性的研究进展

基于强飞秒激光诱导等离子体通道的基本性质,分析了等离子体通道在传导电能和射频电磁能时的一些基本问题。综述了飞秒激光等离子体通道传输电能和电磁能方面的新概念和新技术,重点描述了该领域近几年所取得的一些理论及应用的最新成果。最后,展望了飞秒激光等离子体通道在传导能量技术领域中的发展趋势。

氦等离子体接枝聚合棉织物的疏水改性

采用氦为气氛的低压射频辉光放电等离子体在棉织物上一步法接枝聚合四甲基四乙烯基环四硅氧烷。考察了氦等离子体处理压强、时间和功率对接枝率的影响，并测试了处理前后棉织物的红外光谱、XPS、热重、扫描电镜和疏水性能。结果表明：经氦等离子体处理后的棉纤维表面被一层均匀、致密的薄膜包覆，并具有较好的耐热稳定性；在等离子体处理时间2～3min、压强20Pa、功率80w时，四甲基四乙烯基环四硅氧烷单体在棉织物上接枝增重率为4．52％，

脉冲调制射频空气等离子体固氮研究

工业合成氨固氮高度依赖于化石燃料,导致了诸多环境问题,人类若要维持可持续的粮食供应,就需要更加绿色高效的固氮方法。空气放电等离子体极易与可再生电力相结合,且即开即用、随关随停,是较为理想的绿色固氮技术。但现有空气放电等离子体固氮效率较低,针对这一关键问题,研究了脉冲调制(pulse modulated,PM)射频空气放电等离子体的固氮特性,发现脉冲调制会导致射频空气等离子体形态发生明显变化,在占空比一定的情况下,固氮效率随频率的增大而减小,相反,如果固定调制频率,NOx的浓度随占空比的增大逐渐增加,固氮效率在占空比为60%时达到最高。脉冲调制技术显著影响了射频空气放电固氮效率,为后续研究大功率射频空气放电固氮提供重要启示。

射频辅助脉冲激光沉积镀膜技术的特点

介绍了脉冲激光沉积(PLD)制备薄膜的原理,讨论了射频辅助脉冲激光沉积镀膜技术的特点,通过分析比较证实了射频辅助脉冲激光沉积比无射频辅助脉冲激光沉积具有更突出的优点。

大气压脉冲调制射频氦气放电特性的数值模拟

采用脉冲调制可以有效优化大气压射频放电行为。为此利用1维流体模型,考虑了氦等离子体放电过程中主要的13个反应及6种粒子,研究了大气压脉冲调制射频氦气放电特性,并分析了调制频率、占空比对放电特性的影响以及输入电压对达到最大电子数密度所需时间的影响。结果表明:脉冲调制之后,固定调制频率时,随着占空比的减小,氦气放电的击穿电压增大;固定输入电压时,最大电子数密度所需时间与剩余电子数密度成反比。利用功率输入时间及最大电子数密度所需时间的关系,合理选择占空比及调制频率可以在满足实际应用的同时,最大地节约功率损耗;固定占空比及调制频率时存在着最优输入电压,使得最大电子数密度所需时间最短。

常压直流脉冲辅助射频放电起辉过程研究

采用组合电极结构产生常压等离子体射流,对直流(DC)脉冲辅助射频放电进行试验研究.在每个射频脉冲产生之前,引入一个微秒级DC脉冲放电,通过采集放电电流和电压曲线以及时间分辨放电图像,研究这种组合放电的电学特性及时空分布.结果表明,在射频放电脉冲中间引入微秒级DC脉冲放电之后,使射频放电脉冲起辉电压从3.86kV降低到1.61kV,提高了常压脉冲射频放电的稳定性,可为常压射频放电在工业上的连续化应用提供技术依据.

大气压射频放电中放电参数对活性粒子影响的数值模拟研究

大气压射频放电是人们比较关注的气体放电形式,在合适的放电条件下,其产生的低温非平衡等离子体中可以产生大量的活性粒子,如何优化与调控这些活性粒子的产生与分布是实际应用中,特别是与环境相关的应用中人们非常关心的问题。因此数值求解了描述大气压射频等离子体的流体模型,研究了放电频率、放电间隙及脉冲调制对大气压射频等离子体中活性粒子的影响。计算结果表明,在相同的功率下,过高的放电频率(>20 MHz)会抑制活性粒子的产生,而较小的放电间隙(<1 mm,即在微等离子体范围内)则有助于提高活性粒子的数密度;通过选取合适的调制频率与占空比,借助于脉冲调制的方式在大气压射频放电中可以有效的调控活性粒子的产生,并降低功率消耗。研究结果可对大气压射频放电中活性粒子的应用提供一定的理论指导。

常压射频放电占空比对SiO_x薄膜形貌和成分的影响

采用常压射频等离子体放电技术,以六甲基二硅氧烷(HMDSO)和Ar的混合气体为反应源,成功制备了SiO_x薄膜.通过测量放电的电流-电压曲线以及发射光谱,研究不同占空比对射频放电段放电特性的影响;利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱仪(EDS)以及X射线光电子能谱(XPS)研究了不同占空比放电条件下沉积的SiO_x薄膜的表面形貌与化学成分.研究结果表明,占空比对射频放电段的放电特性影响不大,但是随着放电脉冲占空比的增加,薄膜表面变得不平滑,椭球形颗粒增多,薄膜中无机成分也相应增加.

微小卫星用低功率电推进技术研究进展

随着微小卫星任务的不断拓展,轨道机动、位置保持、姿态控制、自主离轨等任务对低功率推进系统的需求日益增加。结合微小卫星对低功率推进系统高比冲、推力精确、结构紧凑等技术需求,综述了射频离子电推进、微波离子电推进和脉冲等离子体电推进技术的研究和应用现状;通过列举各国应用案例,对比了各推进系统的性能和技术特点,总结了各推进系统的关键技术;在此基础上,分析了我国微小卫星用电推进技术发展趋势及后续攻关方向。研究结果可为微小卫星推进系统方案选择提供参考。