半导体超纯水中微粒子监测故障与对策

微粒子是半导体超纯水中核心的微污染控制指标,在线监测100nm和50nm粒子数浓度成为保障12英寸半导体生产工艺用水的关键措施。在超纯水制备系统的配送点(POD),激光粒子计数器(LPC)发生监测报警,影响了制备系统的运行和工艺设备的生产预警。研究简述了超纯水中颗粒物对半导体生产工艺的影响,分析了微纳气泡(MNBs)被光感应器累计测量导致计数器误判报警的原因。通过采样解吸系统(SDS)的中试试验,消除了气泡颗粒形成的83%的粒子浓度干扰,还原了真实的在线检测值(平均粒子浓度0.06pcs/mL),为半导体工厂湿法清洗的质量监控提供了稳定保障。

Ⅷ族过渡金属对电子级超纯水H_(2)O_(2)强化去除特性与研究进展

在电子级超纯水的生产过程中,痕量H_(2)O_(2)主要由真空紫外线降解器产生的羟基自由基复合而成,会影响半导体材料清洗的某些特定工艺。将复相纳米催化技术应用于电子级超纯水制备系统,可以有效去除超纯水中微污染H_(2)O_(2),是促进含O—O键活性氧物种快速解离的绿色清洁技术。简要阐述了微污染H_(2)O_(2)的产生及对半导体材料清洗工艺的影响,着重分析了Ⅷ族过渡元素中铂系金属纳米粒子对H_(2)O_(2)催化解离的反应途径和作用机理。还讨论了金属表面吸附构型、吸附能、电子结构以及载体化学性质、水中卤族阴离子等因素对纳米粒子强化去除特性的影响,综述了Ⅷ族过渡金属在超纯水生产、检测以及半导体工艺辅助系统的应用与研究进展,为超纯水新型反应体系的构建和水处理材料的研发及应用提供参考。

电子超纯水制备过程典型痕量有机污染物去除机理

基于某12寸半导体超纯水中试线,对超纯水系统各处理单元总有机碳(TOC)去除过程及有机组分分子质量分布情况进行了跟踪检测,探究了有机碳紫外降解(TOC-UV)装置照射强度、水力停留时间和有机物分子键能对水中典型痕量有机污染物去除效果的影响。结果表明:两级反渗透(RO)系统可去除98.5%的TOC,一级RO产水中含有97.3%分子质量低于350 u的中性小分子物质;在一定范围内提升紫外光照射强度与水力停留时间可提升对小分子有机物的去除效果,2.46 mW/cm2的185 nm紫外灯对TOC去除效果最好,水力停留时间为40 s时TOC去除效率最佳;UV对有机物的降解效果明显受物质键能影响,TOC-UV对具有较高键能的小分子有机物(如尿素728 kJ/mol)的去除率较低。

超纯水系统国产除硼树脂的筛选及应用研究

硼是超纯水水质的关键指标之一,可通过除硼树脂去除,但市场上除硼树脂主要被国外企业垄断,国产树脂应用少,运行参数和稳定性不明确,市场推广难度大。通过除硼树脂静态吸附试验和连续流中试,开展对典型国产除硼树脂的性能评价和项目应用研究。根据吸附容量、有机碳溶出、再生稳定性、长期运行稳定性、采购成本及货源稳定性等多元评价指标,筛选出性能优异的国产除硼树脂,硼吸附量可达5.1 g/L,TOC溶出量低至3.01μg/L,经过10次再生后除硼吸附量为新树脂的97.84%,在中试线实现了连续9个月高标准除硼和稳定运行,产水硼质量浓度稳定低于10 ng/L。将筛选出的国产树脂A及运行参数应用于实际工程中,实现了超纯水系统稳定除硼至50 ng/L以下,并长效稳定运行。

电子级超纯水制备用离子交换树脂产品研究进展

随着我国芯片产业的快速发展,电子级超纯水需求巨大。然而,电子级超纯水制备用的离子交换树脂产品长期依赖进口。尽管我国是离子交换树脂生产的大国,但传统的离子交换树脂产品难以达到电子级超纯水制备用的要求。本文在梳理我国传统离子交换树脂的基本情况、生产工艺、标准体系的基础上,围绕电子级超纯水制备对离子交换树脂的需求,对比国内外产品指标,综述了电子级超纯水制备用离子交换树脂产品研究进展。

ICP-MS快速检测超纯水中43种元素新方法

电感耦合等离子质谱法(ICP-MS)检测超纯水中43项超痕量金属杂质。将传统多仪器简化成一台ICP-MS,多次数实验减至一次,1天检验周期压缩至2 h。保证检验准确性及精密度的同时,达到降本增效的目的。实验结果证明:新检测方法实验校正曲线线性相关系数>0.999;检验回收率99.1%~104.8%;实验数据相对标准偏差<5%。该方法操作简便,分析速度快,结果准确可靠,可满足超纯水的43项元素快速检测需求。

电子级超纯水制备的现存问题及解决思路

电子行业的蓬勃发展催生电子级超纯水市场的广阔空间,其纯度直接影响到电子元器件的产品质量及生产成品率,因此电子级超纯水制备是电子行业发展的重要一环。然而,我国在电子级超纯水制备领域面临三大关键难题:一是国内电子级超纯水市场自主调节能力不足;二是设备部件过度依赖进口;三是制水工艺仍有待优化,设备运营成本高。为此,提出三条对应解决思路:一是优化制水工艺流程,提高自主生产能力;二是加快核心设备研发,推动市场应用进程;三是提高智能化水平,精准控制电子级超纯水的品质。

电子级超纯水制备的现存问题及解决思路

电子行业的蓬勃发展催生电子级超纯水市场的广阔空间,其纯度直接影响到电子元器件的产品质量及生产成品率,因此电子级超纯水制备是电子行业发展的重要一环。然而,我国在电子级超纯水制备领域面临三大关键难题:一是国内电子级超纯水市场自主调节能力不足;二是设备部件过度依赖进口;三是制水工艺仍有待优化,设备运营成本高。为此,提出三条对应解决思路:一是优化制水工艺流程,提高自主生产能力;二是加快核心设备研发,推动市场应用进程;三是提高智能化水平,精准控制电子级超纯水的品质。

沃顿科技 攻关超纯水 扬帆大市场

2关注点向科技要产能在沃顿科技股份有限公司(以下简称沃顿科技)产品发货厂房门口,一箱箱反渗透膜即将发往海外市场,工人们有序盘点出厂货物、装车发货,运输车辆来往频繁。过去一年,沃顿科技的海外订单持续增长,产品远销俄罗斯、印度、沙特、越南等130多个国家和地区。

浅谈离子交换树脂在超纯水处理中的应用

在半导体行业的超纯水处理过程中,离子交换树脂是不可或缺的。因为超纯水的质量要求非常高,仅含极低的杂质和离子浓度,而水中的微量离子和杂质对超纯水质量产生极大的影响,因此必须采取有效的处理手段。通过离子交换树脂,可以使超过99%的水中离子和杂质得到去除,产生更高纯度的超纯水。其中阳离子交换树脂通过吸收水中的阳离子,并用酸来恢复,从而去除水中的有机和无机离子,如铁、钙、镁、钠等。而阴离子交换树脂吸收水中的阴离子,并用碱来恢复,去除水中的硝酸盐、硫酸盐等离子。离子交换树脂也可以根据处理水的不同特点进行定制,以更好地满足要求。

某12英寸半导体超纯水工程工艺设计介绍及运行分析

文章介绍了江苏某12吋半导体芯片项目工厂超纯水系统的工程设计与运行情况。该系统共分三个工艺段,采用两床三塔离子交换预处理、RO反渗透及混床离子交换工艺的纯水后段制备系统、抛光混床以及膜脱气和终端超滤的抛光精处理系统,确保产水水质达到电子级高纯度纯水使用需求。该系统水平衡完整,满足同时考虑处理水量和自用水量,并且通过小流量循环的方式,能够适应用水量波动,有效降低系统能耗和药剂消耗的同时提升了整套系统超纯水供水的稳定性。系统在连续运行期间,超纯水离子浓度第三方检测合格,电阻率、颗粒度、TOC、DO、SiO2等指标连续在线监测合格,达到系统设计和使用要求。

脱气膜在超纯水制备中的应用

本研究通过观察超纯水制配过程中水质数据的变化,分析认为在超纯水的生产过程中,CO2是一个重要的影响因素。因此,降低水中的CO2含量是提高超纯水质量的关键。并且将传统加药系统和新型脱气膜进行对比,认为加药系统虽然可以一定程度上控制CO2的含量,但效果有限,且可能引入新的杂质。为解决这个问题,我们采用了脱气膜工艺。脱气膜利用膜材料的特殊性质,能够选择性去除水中的CO2等气体,同时保留水中的其他成分。

某电子洁净厂房超纯水方案设计

在半导体器件设备、电子元件及电子专用材料制造等电子洁净厂房设计时,工艺设备通常需要超纯水(18.2MΩ·cm)进行清洗,本文通过超纯水系统方案设计、供水管路系统、纯水管材选择等的介绍,以期为超纯水系统设计提供参考。

论超纯水系统在光伏行业生产中的制备及应用研究

本文主要探讨了超纯水系统在光伏行业生产中的制备及应用研究,强调了超纯水对于提升光伏产品质量和生产效率的关键作用。随着光伏产业对高效率和高品质产品的需求增长,超纯水在多晶硅提纯、硅片清洗、电池片制备以及组件封装等环节的重要性日益凸显。本文分析了超纯水在提高硅材料纯度、降低硅片污染、优化电池转换效率等方面的积极影响,并对比了国内外光伏行业在超纯水使用现状方面的异同。此外,本文还深入研究了超纯水系统的制备技术,包括反渗透(RO)、电去离子(EDI)等核心技术及其在预处理和后处理阶段的应用,为光伏企业进一步优化生产工艺、实现绿色可持续发展提供科学依据和技术指导。

超纯水组合式除硼工艺探讨

主要探讨了超纯水除硼工艺中,组合式的二级RO反渗透膜装置+EDI连续电除盐装置+后置SA阴床装置+抛光混床装置的除硼工艺,对硼的实际去除效果及运行数据分析。该组合式工艺可稳定满足B出水指标50PPT以下,满足现行半导体超纯水系统对终端B指标超高要求。通过对该组合式工艺运行效果分析,可为后续的超纯水除硼项目提供设计参考。

超纯水对维持性血液透析患者氧化应激和炎症水平的影响

目的研究超纯水对维持性血液透析患者氧化应激和炎症水平的影响。方法对36例符合条件的患者采用重复测量自身对照的方法,测定在使用超纯水前、后6个月及12个月时血清晚期氧化蛋白产物(AOPP)、丙二醛(MDA)、谷胱甘肽过氧化物酶(GSH-Px)、髓过氧化物酶(MPO)、白蛋白(Alb)、C-反应蛋白(CRP)、新喋呤、肿瘤坏死因子α(TNF-α)、白细胞介素6(IL-6)水平。结果改进水处理系统后,透析用水的细菌和内毒素含量明显下降(P<0.01)。随访一年中,各项检测指标在不同时间点的差异均有统计学意义(P<0.05);6个月时血清AOPP、MDA、GSH-Px、Alb、CRP、新喋呤、TNF-α水平较使用超纯水前明显改善(P<0.05),且MPO有非常显著的差异(P<0.01);12个月时IL-6(P<0.05)、MDA(P<0.01)水平进一步下降。相关分析显示血清MPO活性与AOPP及CRP水平在改用超纯水前后均呈正相关关系。结论改用超纯水后患者的氧化应激和炎症水平显著降低,且MPO也许可以同时提示氧化应激和炎症水平。

超纯水中甲酸、乙酸污染的实验研究及其对雪冰有机酸测定的意义

塑料容器是降水中生物有机酸研究的常用样品储集器．极地冰芯和粒雪样品钻取中也常用聚乙烯塑料袋盛装，且常常采用双封口方式保存这种样品保存方式和样品暴露于大气一样，都会造成样品中有机酸含量的污染．定量研究上述污染是准确分析降水中有机酸含量的前提和基础．以超纯水为主要实验样品，对聚乙烯塑料容器和空气的甲酸、乙酸污染的研究表明，甲酸、乙酸的污染主要来自聚乙烯塑料袋的热塑封口过程，而聚乙烯塑料桶的影响不明显．塑料袋热塑封口造成的乙酸污染在相同条件下是甲酸的１８倍左右．空气对甲酸、乙酸也存在着污染，但其影响远低于聚乙烯塑料袋．因此，在雪冰甲酸、乙酸的研究中，其融样过程必须避开塑料制品，尤其是聚乙烯塑料袋．此外，加大待测样品量（体积或重量）也可以一定程度地减小雪冰融化样品的甲酸、乙酸的污染．

深度脱盐在超纯水制备中的现状及发展趋势

超纯水制备流程一般分为预处理、脱盐、后处理三个阶段,其中脱盐工艺是超纯水制备的核心阶段,脱盐工艺的先进与否对最终的产品水质有着重大影响。该论文综述了纯水的深度脱盐技术,详细介绍了渗透法(RO)、离子交换法、电去离子法(EDI)、电吸附法(EST)等脱盐技术的相关原理及研究进展,并对六种主流脱盐技术的优缺点和适用范围进行了对比评述,在对当前深度脱盐技术在超纯水制备中应用的总结分析的基础上,指出了未来超纯水制备脱盐技术的发展将寄希望于新型脱盐材料的研发和多种脱盐技术联合使用情况下工艺流程的进一步优化。

超纯水对维持性血液透析患者营养不良及贫血的影响

目的 探讨超纯水对维持性血液透析患者营养不良及贫血的影响。方法 以 2台美国OSMONICS反渗机改造成二级反渗系统 ,再经微滤器滤过后形成超纯水 ,细菌生长数 <0 1CFU/ml,内毒素浓度 <0 0 3EU/ml。 6 6例无感染的维持性血液透析患者 ,一直应用符合AAMI标准的透析用水及透析液透析 1年～ 4年 ,4 0例患者依靠输血来改善贫血 ,平均输血间隔 (2 4 3± 7 6 )天 ,2 6例使用重组人红细胞生成素和铁剂治疗贫血。其它治疗不变 ,改用超纯水透析 8月 ,检测改用前、后 8月的C 反应蛋白 (CRP)、血清白蛋白 (ALB)、血红蛋白 (Hb)、红细胞压积 (HCT)、血清尿素氮 (BUN)、血清肌酐 (Scr)、甲状旁腺素 (iPTH)、计算体重矫正标准化蛋白分解率 (nPCR)、干体重和进行上臂肌围 (MACA)测定。结果 CRP水平显著下降 (P <0 0 1) ,ALB、Hb、HCT、干体重、MACA水平均显著升高 (P <0 0 5 ) ,nPCR显著升高 (P <0 0 1) ,平均输血间隔显著延长 (P <0 0 5 )。结论 超纯水能显著改善维持性血液透析患者营养状况及贫血。

BW中空纤维超滤组件在超纯水生产中的应用

研制的BW聚砜中空纤维超滤组件,在17～18 MΩ·cm(25℃)超纯水中运行,电阻值下降<0.5 MΩ·cm(25℃),并可有效去除水中颗粒和细菌,已达到美国Amicon公司生产80年代同类产品水平。